JPS5892981A - Ｘ線分析装置 - Google Patents
Ｘ線分析装置Info
- Publication number
- JPS5892981A JPS5892981A JP19323781A JP19323781A JPS5892981A JP S5892981 A JPS5892981 A JP S5892981A JP 19323781 A JP19323781 A JP 19323781A JP 19323781 A JP19323781 A JP 19323781A JP S5892981 A JPS5892981 A JP S5892981A
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- JP
- Japan
- Prior art keywords
- ray
- wavelength
- peak
- pulse
- measured
- Prior art date
- Legal status (The legal status is an assumption and is not a legal conclusion. Google has not performed a legal analysis and makes no representation as to the accuracy of the status listed.)
- Pending
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Classifications
-
- G—PHYSICS
- G01—MEASURING; TESTING
- G01T—MEASUREMENT OF NUCLEAR OR X-RADIATION
- G01T1/00—Measuring X-radiation, gamma radiation, corpuscular radiation, or cosmic radiation
- G01T1/36—Measuring spectral distribution of X-rays or of nuclear radiation spectrometry
Landscapes
- Physics & Mathematics (AREA)
- Spectroscopy & Molecular Physics (AREA)
- Health & Medical Sciences (AREA)
- Life Sciences & Earth Sciences (AREA)
- General Physics & Mathematics (AREA)
- High Energy & Nuclear Physics (AREA)
- Molecular Biology (AREA)
- Measurement Of Radiation (AREA)
- Analysing Materials By The Use Of Radiation (AREA)
Abstract
(57)【要約】本公報は電子出願前の出願データであるた
め要約のデータは記録されません。
め要約のデータは記録されません。
Description
【発明の詳細な説明】
本発明はＸ線分光法によるＸ線分析装置に関し、特に波
長走査を行わない型の装置に適する発明である。
長走査を行わない型の装置に適する発明である。
Ｘ線分光法で定量分析を行う場合、Ｘ線分光器の波長分
解能が有限なので、Ｘ線分光器で測定しようとするＸ線
波長位置にＸ線検出器をセットして測定を行うと妨害波
長のＸ線に対しても若干の感度があるため測定しようと
するＸ線の強度とバ屋 ツクグラウンドとが重貨した測定出力が得られ、従って
バックグラウンド補正が必要となる。従来このようなバ
ックグラウンドの補正は次のような方法で行われていた
。その一つは波長走査を行うもので、波長走査を行うと
例えば第１図に示すように横軸方向にＸ線波長（或は検
出器の角位置）を採り、縦軸にＸ線検出出力を記録する
とＸ線の波長分布のプロファイルが得られる。こ＼で角
位置θＰ・におけるＸ線強度を求めるのが測定目的であ
るとする。この位置でのＸ線検出器出力は測定目的であ
る波長のＸ線強度と傍にある強い妨害ピークの裾の部分
とが重なったものである。そこで適当な方法で妨害ピー
クの裾の部分のθＰにおける強度を内挿的に求めてＸ線
検出出力から引算するものである。この方法では波長走
査を行うので測定に時間がか＼る。もう一つの方法はＸ
線分光器を複数台用い、その一つを測定したいＸ線波長
に合せておき、他の分光器を測定目的の波長と異る波長
にセットして、その波長における妨害波長のＸ線の強度
を求め、その値から測定波長における妨害波長のＸ１ｌ
ｌｌ！強度を計算するもので、複数のＸ線分光装置を必
要とするから分析装置全体として高価になり、ま”だ個
々のＸ線分光器間の特性の差が経時的に変化するので次
第に妨害Ｘ線に対する補正そのものの誤差が大きくなる
と云った欠点がある。
解能が有限なので、Ｘ線分光器で測定しようとするＸ線
波長位置にＸ線検出器をセットして測定を行うと妨害波
長のＸ線に対しても若干の感度があるため測定しようと
するＸ線の強度とバ屋 ツクグラウンドとが重貨した測定出力が得られ、従って
バックグラウンド補正が必要となる。従来このようなバ
ックグラウンドの補正は次のような方法で行われていた
。その一つは波長走査を行うもので、波長走査を行うと
例えば第１図に示すように横軸方向にＸ線波長（或は検
出器の角位置）を採り、縦軸にＸ線検出出力を記録する
とＸ線の波長分布のプロファイルが得られる。こ＼で角
位置θＰ・におけるＸ線強度を求めるのが測定目的であ
るとする。この位置でのＸ線検出器出力は測定目的であ
る波長のＸ線強度と傍にある強い妨害ピークの裾の部分
とが重なったものである。そこで適当な方法で妨害ピー
クの裾の部分のθＰにおける強度を内挿的に求めてＸ線
検出出力から引算するものである。この方法では波長走
査を行うので測定に時間がか＼る。もう一つの方法はＸ
線分光器を複数台用い、その一つを測定したいＸ線波長
に合せておき、他の分光器を測定目的の波長と異る波長
にセットして、その波長における妨害波長のＸ線の強度
を求め、その値から測定波長における妨害波長のＸ１ｌ
ｌｌ！強度を計算するもので、複数のＸ線分光装置を必
要とするから分析装置全体として高価になり、ま”だ個
々のＸ線分光器間の特性の差が経時的に変化するので次
第に妨害Ｘ線に対する補正そのものの誤差が大きくなる
と云った欠点がある。
以上のような現状に鑑み本発明は、波長走査を行わず、
Ｘ線分光器を複数用いることなく、単一のＸ線分光器で
上述した妨害Ｘ線に対する補正を可能にすることを目的
としてなされた。以下実施例によって本発明を説明する
。
Ｘ線分光器を複数用いることなく、単一のＸ線分光器で
上述した妨害Ｘ線に対する補正を可能にすることを目的
としてなされた。以下実施例によって本発明を説明する
。
第２図は本発明の一実施例を示す。１はＸ線分光器、２
はＸ線検出器でθＰの角位置にセットされている。３は
プリアンプでＸ線検出器２の出力を増幅する。４，４′
は波高分析器でプリアンプ３の出力が振分けて印加され
る。５，５°は波高分析器４，４′を通過したく（ルス
を計数するカウンタで両カウンタの計数出力が演算回路
６に入力される。
はＸ線検出器でθＰの角位置にセットされている。３は
プリアンプでＸ線検出器２の出力を増幅する。４，４′
は波高分析器でプリアンプ３の出力が振分けて印加され
る。５，５°は波高分析器４，４′を通過したく（ルス
を計数するカウンタで両カウンタの計数出力が演算回路
６に入力される。
Ｘ線検出器の出力はパルス状であシ、その波高はＸ線の
エーネルギーが高い程即ち波長が短い程高生するＸ線の
波長強度分布をＸ線分光器で波長走査して測定した結果
が第１図のようであったとし、があるとする。このよう
な場合に試料から出るＸ線をθＰめ１１麿で検出した場
合のＸ線検出パルスの波高の出現頻度分布を第３図とす
る。波高分析器４は皺高選別の窓の上限をＬＵＩ、下限
をＬＬｌとし、波高分析器４１の窓の上限をＬＵ２．下
限をＬＬ２とする。こ＼でＬ Ｕ ｌ、 Ｌ Ｌ ’ｌ
−を第３図に示すようにピークＡの両裾に設定する。第
３図で斜線部の上に乗っているピークＡは第１図に示す
検出器角位置θＰの波長のＸ線に対応する検出′１１１ 器２の出力パルスの波高分布であり、ピークＢは妨害Ｘ
線の波高分布である。ＬＵ２・ ＬＬ２はこのピークＢ
において、ピークＡのパルスト重なっていない部分に設
定しである。第３図で斜線を入れた部分はピークＢの裾
であって、この部分に含まれるパルスは妨害Ｘ線による
ものであり、波高分析器４の窓ＬＵＩ、ＬＬＩを通過し
たパルス中この斜線部のパルスを除いたものが正しく測
定しようとしている波長のＸ線によるパルスによる部分
である。今この斜線部に相当するカウンタ５の計数値を
ｉＢとする。他方波高分析器４°の窓ｉ測定しようとす
るＸ線によるパルスは通さないように設定されているか
ら、カウンタ５′の計数出力よりは純粋にピークＢの高
さを表わし、ｉＢ−に・よりの関係でＫは試料励起線の
強弱変動及び試料から出るＸ線の減衰精度等によってピ
ークＢの高さが変っても波高分布そのものは変らないか
ら一定である。カウンタ５の計数値を１人とすると、こ
れは測定しようとしている波長のＸ線によるパルスの計
数工Ａと上記ＩＢとの和であり、１Ｂは直接には判らな
いがカウンタ５′の計数出力ＩＢからに４１よりとして
求まるから、測定しようとしている波長のＸ線によ、る
パルスの計数ＩＡはＩＡ＝ｉＡ−に・ＩＢ ・・曲ｌ
・・・・間開・（１）与えられる。一定時間内のパルス
の計数がＸ線の強度を表わすから上の演算によって目的
の波長のＸ線の強度が測定できたことになる。演算回路
６は上記（１）式の演算を行うものである。
エーネルギーが高い程即ち波長が短い程高生するＸ線の
波長強度分布をＸ線分光器で波長走査して測定した結果
が第１図のようであったとし、があるとする。このよう
な場合に試料から出るＸ線をθＰめ１１麿で検出した場
合のＸ線検出パルスの波高の出現頻度分布を第３図とす
る。波高分析器４は皺高選別の窓の上限をＬＵＩ、下限
をＬＬｌとし、波高分析器４１の窓の上限をＬＵ２．下
限をＬＬ２とする。こ＼でＬ Ｕ ｌ、 Ｌ Ｌ ’ｌ
−を第３図に示すようにピークＡの両裾に設定する。第
３図で斜線部の上に乗っているピークＡは第１図に示す
検出器角位置θＰの波長のＸ線に対応する検出′１１１ 器２の出力パルスの波高分布であり、ピークＢは妨害Ｘ
線の波高分布である。ＬＵ２・ ＬＬ２はこのピークＢ
において、ピークＡのパルスト重なっていない部分に設
定しである。第３図で斜線を入れた部分はピークＢの裾
であって、この部分に含まれるパルスは妨害Ｘ線による
ものであり、波高分析器４の窓ＬＵＩ、ＬＬＩを通過し
たパルス中この斜線部のパルスを除いたものが正しく測
定しようとしている波長のＸ線によるパルスによる部分
である。今この斜線部に相当するカウンタ５の計数値を
ｉＢとする。他方波高分析器４°の窓ｉ測定しようとす
るＸ線によるパルスは通さないように設定されているか
ら、カウンタ５′の計数出力よりは純粋にピークＢの高
さを表わし、ｉＢ−に・よりの関係でＫは試料励起線の
強弱変動及び試料から出るＸ線の減衰精度等によってピ
ークＢの高さが変っても波高分布そのものは変らないか
ら一定である。カウンタ５の計数値を１人とすると、こ
れは測定しようとしている波長のＸ線によるパルスの計
数工Ａと上記ＩＢとの和であり、１Ｂは直接には判らな
いがカウンタ５′の計数出力ＩＢからに４１よりとして
求まるから、測定しようとしている波長のＸ線によ、る
パルスの計数ＩＡはＩＡ＝ｉＡ−に・ＩＢ ・・曲ｌ
・・・・間開・（１）与えられる。一定時間内のパルス
の計数がＸ線の強度を表わすから上の演算によって目的
の波長のＸ線の強度が測定できたことになる。演算回路
６は上記（１）式の演算を行うものである。
第４図は本発明の他の実施例であり、第２図の各部と同
じ部分には同じ符号がつけである。この例では波高分析
器は４の一個だけであり、カウンタも５の一個だけであ
る。マイクロコンピュータ６は初めの一定時間は波高分
析器４の窓をＬＵＩ、ＬＬＩに設定し、その間のパルス
計数出力ｉＡをメモリに取込み、次の一定時間は波高分
析器４の窓をＬＵ２．ＬＬ２に設定してそのときのカウ
ンタ５の計数出力よりをメモリに取込み、その後上記（
１）式の演算を行って目的波長のＸ線の強度工Ａを求め
る。
じ部分には同じ符号がつけである。この例では波高分析
器は４の一個だけであり、カウンタも５の一個だけであ
る。マイクロコンピュータ６は初めの一定時間は波高分
析器４の窓をＬＵＩ、ＬＬＩに設定し、その間のパルス
計数出力ｉＡをメモリに取込み、次の一定時間は波高分
析器４の窓をＬＵ２．ＬＬ２に設定してそのときのカウ
ンタ５の計数出力よりをメモリに取込み、その後上記（
１）式の演算を行って目的波長のＸ線の強度工Ａを求め
る。
こ＼でｉＢ＝に・よりＫおける比例定数には予め測定対
象の波長のＸ線を出す元素（定量しようとす名元素で、
一般には素材中の不純物のようなものりを含まない試料
でＩＡ及びよりを求袷る。
象の波長のＸ線を出す元素（定量しようとす名元素で、
一般には素材中の不純物のようなものりを含まない試料
でＩＡ及びよりを求袷る。
この場合は第３図でピークＡは存在せず、１Ａは第３図
の斜線部のみのパルス計数になるから、Ｋ＝ｉＡ／より で直ちに求められる。
の斜線部のみのパルス計数になるから、Ｋ＝ｉＡ／より で直ちに求められる。
なお上側では妨害ピークは一つだけとしたが複数の妨害
ピークＣ，Ｄ・・・等がある場合でも、夫々に対応した
波高分析器とカウンタを用意し各妨害ピーク毎に上述ピ
ークＢの場合と同様に窓を設定し、比例定数を予め測定
に・よって決めておき工Ａ＝ｉＡ−（Ｋ・より＋Ｋｌ・
工Ｃ＋Ｋｌｌ・より＋・・・）・・・（２）として工Ａ
を求めることができる。
ピークＣ，Ｄ・・・等がある場合でも、夫々に対応した
波高分析器とカウンタを用意し各妨害ピーク毎に上述ピ
ークＢの場合と同様に窓を設定し、比例定数を予め測定
に・よって決めておき工Ａ＝ｉＡ−（Ｋ・より＋Ｋｌ・
工Ｃ＋Ｋｌｌ・より＋・・・）・・・（２）として工Ａ
を求めることができる。
また上述ではピークＢに対する波高分析器５′の窓をピ
ークＡの裾を含まないように選定したが、一般論として
はどれを含んでもよい。その場合、カウンタ５°の計数
出力よりはピークＡの成分ｊ・工ＡとピークＢの成分よ
り１との和即ちＩＢ＝Ｊ・工Ａ十よりＩ Ｊは比例定数
００１１０．２９．（３）で与えられ、カウンタ５の計
数量ｉ１ＡはｉＡ＝工Ａ ＋ Ｋ ＠より′・・・・・
・・・・（４）で与えられるから、工Ａは（３）（４）
を連立させて解くことにより算出できる。
ークＡの裾を含まないように選定したが、一般論として
はどれを含んでもよい。その場合、カウンタ５°の計数
出力よりはピークＡの成分ｊ・工ＡとピークＢの成分よ
り１との和即ちＩＢ＝Ｊ・工Ａ十よりＩ Ｊは比例定数
００１１０．２９．（３）で与えられ、カウンタ５の計
数量ｉ１ＡはｉＡ＝工Ａ ＋ Ｋ ＠より′・・・・・
・・・・（４）で与えられるから、工Ａは（３）（４）
を連立させて解くことにより算出できる。
更に上の説明では、ｉＢ＝によりとしたが、一般には１
Ｂ＝ｆ（より）であるから、厳密な測定の場合等では目
的元素を含まない試料で励起線強度を何段階かに変えて
ｉＢとよりとの関係関数を求めておくのがよい。なお更
に本発明は妨害元素の影響だけでなく装置自体によるパ
ックグラウンドの補正にも適用できる。
Ｂ＝ｆ（より）であるから、厳密な測定の場合等では目
的元素を含まない試料で励起線強度を何段階かに変えて
ｉＢとよりとの関係関数を求めておくのがよい。なお更
に本発明は妨害元素の影響だけでなく装置自体によるパ
ックグラウンドの補正にも適用できる。
本発明Ｘ線分析装置は上述したような構成で、から装置
価格は安価である。
価格は安価である。
第１図はＸ９分光器で波長走査した場合のＸ線強度分布
の一例のグラフ、第２図は本発明の一実施例装置のブロ
ック図、第・３図は第１図のような波長−強度分布を示
すＸ線によるＸ線検出器の出力パルスの波高分布の夛ｉ
′１１ラフ、第４図は本発明の他の実施例装置のブロッ
ク図である。 １・・・Ｘ線分光器、２・・・Ｘ線検出器、ご・・・プ
リアン７’、４．４’・・・波高分析器、５．５１・・
カウンタ、６６・・・演算回路。
の一例のグラフ、第２図は本発明の一実施例装置のブロ
ック図、第・３図は第１図のような波長−強度分布を示
すＸ線によるＸ線検出器の出力パルスの波高分布の夛ｉ
′１１ラフ、第４図は本発明の他の実施例装置のブロッ
ク図である。 １・・・Ｘ線分光器、２・・・Ｘ線検出器、ご・・・プ
リアン７’、４．４’・・・波高分析器、５．５１・・
カウンタ、６６・・・演算回路。
Claims (1)
- 【特許請求の範囲】 す 測定しようとする波長のＸ＃の検出パルスｄ″＋心高さ
を中心とする窓を有する波高分析器及び妨害Ｘ線の検出
パルスを主として通すように設定された波高分析器を並
列的或は時系列的に設け、と８ｇ れら各波高分析器を通過したパルスを各〆に計数し、そ
れらの計数出力から測定しようとす・る波長のＸ線の強
度を算出する演算手段を設けたことを特徴とするＸ線分
析装置。
Priority Applications (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP19323781A JPS5892981A (ja) | 1981-11-30 | 1981-11-30 | Ｘ線分析装置 |
Applications Claiming Priority (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP19323781A JPS5892981A (ja) | 1981-11-30 | 1981-11-30 | Ｘ線分析装置 |
Publications (1)
| Publication Number | Publication Date |
|---|---|
| JPS5892981A true JPS5892981A (ja) | 1983-06-02 |
Family
ID=16304606
Family Applications (1)
| Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
|---|---|---|---|
| JP19323781A Pending JPS5892981A (ja) | 1981-11-30 | 1981-11-30 | Ｘ線分析装置 |
Country Status (1)
| Country | Link |
|---|---|
| JP (1) | JPS5892981A (ja) |
Cited By (2)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| JPH06121277A (ja) * | 1993-06-07 | 1994-04-28 | Pioneer Electron Corp | ビデオ信号の記録再生方式 |
| JP2001050918A (ja) * | 1999-08-09 | 2001-02-23 | Rigaku Industrial Co | 蛍光ｘ線分析方法およびその装置 |
Citations (1)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| JPS5321313A (en) * | 1976-08-10 | 1978-02-27 | Hiroyuki Nagano | Fannshaped wall of rotary engine |
-
1981
- 1981-11-30 JP JP19323781A patent/JPS5892981A/ja active Pending
Patent Citations (1)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| JPS5321313A (en) * | 1976-08-10 | 1978-02-27 | Hiroyuki Nagano | Fannshaped wall of rotary engine |
Cited By (2)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| JPH06121277A (ja) * | 1993-06-07 | 1994-04-28 | Pioneer Electron Corp | ビデオ信号の記録再生方式 |
| JP2001050918A (ja) * | 1999-08-09 | 2001-02-23 | Rigaku Industrial Co | 蛍光ｘ線分析方法およびその装置 |
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