JPS5898639U - フオトマスクホルダ - Google Patents
フオトマスクホルダInfo
- Publication number
- JPS5898639U JPS5898639U JP1981196493U JP19649381U JPS5898639U JP S5898639 U JPS5898639 U JP S5898639U JP 1981196493 U JP1981196493 U JP 1981196493U JP 19649381 U JP19649381 U JP 19649381U JP S5898639 U JPS5898639 U JP S5898639U
- Authority
- JP
- Japan
- Prior art keywords
- photo mask
- mask holder
- photomask
- frame members
- holder
- Prior art date
- Legal status (The legal status is an assumption and is not a legal conclusion. Google has not performed a legal analysis and makes no representation as to the accuracy of the status listed.)
- Pending
Links
Abstract
(57)【要約】本公報は電子出願前の出願データであるた
め要約のデータは記録されません。
め要約のデータは記録されません。
Description
第１図と第２図は本考案に係るフォトマスクホ・ ル
ダを露光装置受台にセットした状態を示す平面−図と側
面図である。 〔符号の説明〕、１，２・・・・・・枠部材、３・・・
・・・フォトマスク、４・・・・・・受台。
ダを露光装置受台にセットした状態を示す平面−図と側
面図である。 〔符号の説明〕、１，２・・・・・・枠部材、３・・・
・・・フォトマスク、４・・・・・・受台。
Claims (1)
- フォトマスクの４隅を２枚の枠部材ではさむように保持
すると共に、該枠部材を露光装置の受台に着脱自在に取
付けてフォトマスクの位置設定を行なうようにしなるこ
とを特徴としたフォトマスクホルダ。
Priority Applications (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP1981196493U JPS5898639U (ja) | 1981-12-26 | 1981-12-26 | フオトマスクホルダ |
Applications Claiming Priority (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP1981196493U JPS5898639U (ja) | 1981-12-26 | 1981-12-26 | フオトマスクホルダ |
Publications (1)
| Publication Number | Publication Date |
|---|---|
| JPS5898639U true JPS5898639U (ja) | 1983-07-05 |
Family
ID=30109733
Family Applications (1)
| Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
|---|---|---|---|
| JP1981196493U Pending JPS5898639U (ja) | 1981-12-26 | 1981-12-26 | フオトマスクホルダ |
Country Status (1)
| Country | Link |
|---|---|
| JP (1) | JPS5898639U (ja) |
-
1981
- 1981-12-26 JP JP1981196493U patent/JPS5898639U/ja active Pending
Similar Documents
| Publication | Publication Date | Title |
|---|---|---|
| JPS58141847U (ja) | 検出器の校正装置 | |
| JPS60140056U (ja) | フオトマスク観察用ホルダ− | |
| JPS5826629U (ja) | 台秤におけるシ−トの着脱装置 | |
| JPS6090434U (ja) | マイクロフイルム | |
| JPS5989352U (ja) | 縮小投影露光用フォトマスク | |
| JPS60101179U (ja) | パ−ス用シ−ト | |
| JPS5944042U (ja) | フオトマスク、レチクル等のホルダ− | |
| JPS59169804U (ja) | Ｘ線写真撮影用仰臥台 | |
| JPS6088338U (ja) | フオトマスク | |
| JPS5917441U (ja) | フオトマスク | |
| JPS60923U (ja) | マスクケ−ス | |
| JPS5811427U (ja) | 鍋蓋上おたま定着装置 | |
| JPS6096089U (ja) | 平行線引き用定規 | |
| JPS5854202U (ja) | 洗髪用顔面マスク | |
| JPS598346U (ja) | メガネの曇らないマスク | |
| JPS59109348U (ja) | マスクホルダ− | |
| JPS5892091U (ja) | 下敷 | |
| JPS58166647U (ja) | 露光装置 | |
| JPS612658U (ja) | 感光キヤンバス | |
| JPS58168271U (ja) | 保安用衝立 | |
| JPS5823330U (ja) | フオトマスク | |
| JPS58153068U (ja) | スライド枠用インデツクスシ−ト | |
| JPS594541U (ja) | レテイクル | |
| JPS58152987U (ja) | 透明親子サイコロ | |
| JPS61182535U (ja) |