JPS5899021A - 圧電共振部品の製造方法 - Google Patents
圧電共振部品の製造方法Info
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- JPS5899021A JPS5899021A JP19878881A JP19878881A JPS5899021A JP S5899021 A JPS5899021 A JP S5899021A JP 19878881 A JP19878881 A JP 19878881A JP 19878881 A JP19878881 A JP 19878881A JP S5899021 A JPS5899021 A JP S5899021A
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Classifications
-
- H—ELECTRICITY
- H03—ELECTRONIC CIRCUITRY
- H03H—IMPEDANCE NETWORKS, e.g. RESONANT CIRCUITS; RESONATORS
- H03H9/00—Networks comprising electromechanical or electro-acoustic elements; Electromechanical resonators
- H03H9/02—Details
- H03H9/05—Holders or supports
- H03H9/10—Mounting in enclosures
- H03H9/1007—Mounting in enclosures for bulk acoustic wave [BAW] devices
- H03H9/1014—Mounting in enclosures for bulk acoustic wave [BAW] devices the enclosure being defined by a frame built on a substrate and a cap, the frame having no mechanical contact with the BAW device
- H03H9/1028—Mounting in enclosures for bulk acoustic wave [BAW] devices the enclosure being defined by a frame built on a substrate and a cap, the frame having no mechanical contact with the BAW device the BAW device being held between spring terminals
Landscapes
- Physics & Mathematics (AREA)
- Acoustics & Sound (AREA)
- Piezo-Electric Or Mechanical Vibrators, Or Delay Or Filter Circuits (AREA)
Abstract
(57)【要約】本公報は電子出願前の出願データであるた
め要約のデータは記録されません。
め要約のデータは記録されません。
Description
【発明の詳細な説明】
この発明は、圧電フィルタなどの圧電共振部品に関する
。
。
たとえばAM受信機用圧電フィルタの中心周波数は、数
100kl−1台、−例としては450kH7であり、
量産性等、種々の観点からいって以下の三種類のフィル
タ構造がある。その第一は、ヤーマン形のフィルタであ
る。このフィルタは、IFTが必須で、■IFTと圧電
共振子とのマツチングが難しい、■コイルの信頼性が低
い、■大形になる、■高価である、などの欠点がある。
100kl−1台、−例としては450kH7であり、
量産性等、種々の観点からいって以下の三種類のフィル
タ構造がある。その第一は、ヤーマン形のフィルタであ
る。このフィルタは、IFTが必須で、■IFTと圧電
共振子とのマツチングが難しい、■コイルの信頼性が低
い、■大形になる、■高価である、などの欠点がある。
その第二は、角板の拡がり振動モードや円板の径方向振
動モードを用いた三端子形のフィルタである。このフィ
ルタは、■比較的大形である、特に円板の第三次高講波
利用の場合、大きさが同題になる、■角板の場合、輪か
く振動モードによるスプリアス振動が強く励振される、
などの欠点がある。その第三は、長方形板の長さ方向振
動の二重モード利用のフィルタである。このフィルタは
、■二つの共振子の調整が難かしい、■構造が複雑、■
高価である、などの欠点がある。
動モードを用いた三端子形のフィルタである。このフィ
ルタは、■比較的大形である、特に円板の第三次高講波
利用の場合、大きさが同題になる、■角板の場合、輪か
く振動モードによるスプリアス振動が強く励振される、
などの欠点がある。その第三は、長方形板の長さ方向振
動の二重モード利用のフィルタである。このフィルタは
、■二つの共振子の調整が難かしい、■構造が複雑、■
高価である、などの欠点がある。
この発明は、種々の特徴をもつもので、前)!iした構
造のものとはまったく異なる構造をもつ圧電共振部品の
製造方法に関するもので以下の目的をもつ。
造のものとはまったく異なる構造をもつ圧電共振部品の
製造方法に関するもので以下の目的をもつ。
この発明の目的は安価な圧電共振部品を提供することで
ある。
ある。
この発明の他の目的は、製品毎の特性バラツ4゜が小さ
い圧電共振部品を提供することである。
い圧電共振部品を提供することである。
この発明の他の目的は製造効率が優れた圧電共振部品を
提供することである。
提供することである。
この発明の他の目的は、密封効果に優れた、ケース構造
をもつ圧電共振部品を提供することである。
をもつ圧電共振部品を提供することである。
この発明の他の目的は、自動組立ができる構造をもつ圧
電共振部品を提供することである。
電共振部品を提供することである。
この発明の他の目的は組立が容易な構造をもつ圧電共振
部品を提供することである。
部品を提供することである。
すなわち、この発明の要旨は、略板状のベースに少なく
とも内部素子の一部が装着され、このベースがケースの
せま11g1口部よりケースに収容されて開口部が樹脂
封止される圧電共振部品において、ベース主平面の一方
に内部素子の位置決めのための凸部を有してこの凸部上
方から内部素子がベースに装着されるようにするととも
に、ケースの開口部をふさぐ壁部分をベースが有するこ
とを特徴とする圧電共振部品である。
とも内部素子の一部が装着され、このベースがケースの
せま11g1口部よりケースに収容されて開口部が樹脂
封止される圧電共振部品において、ベース主平面の一方
に内部素子の位置決めのための凸部を有してこの凸部上
方から内部素子がベースに装着されるようにするととも
に、ケースの開口部をふさぐ壁部分をベースが有するこ
とを特徴とする圧電共振部品である。
以下にこの発明の実施例について図面を参照しながら説
明する。
明する。
第1図は圧電共振部品の構成素子ぐある圧電共振素子1
を示す。図において、2は圧電セラミック基板で、その
−力士表面に長さβ方向に沿った溝3が設けてあり、こ
の満3によって一方主表面が長さβ方向に二等分されて
いる。また、長さQ方向と交差する方向に溝4,5がそ
れぞれ長さβ方向の中心から1/3!の位置に設けであ
る。したがって基板2の一方主表面には、入力電極6、
出力電極7、独立電極8〜11が、溝3〜5で区切られ
て設けられている。また、基板2の他方主表面には、全
面電極12が設けられている。そして長さり方向に伸縮
する長さ振動モードを用いることとし、基板2における
各部寸法は、たとえば中心周波数が450k)lzのと
き、長さりが約4.0511IIG、幅が0 、611
111 、厚みが0.3111R1,溝3の深さが0.
151+1翰、溝3の幅が0,1511 、溝4.5の
深さと幅は、電極6.7を電極8もしくは9.10もし
くは11から電気的に分離させるだけのものであるから
適当でよい。第2図は第1図に示す圧電共振素子1の電
気的シンボルを示す。このように第1図に示す圧電共振
素子1は、長さ方向の単一モードの振動を用いたフィル
タ素子として使える。
を示す。図において、2は圧電セラミック基板で、その
−力士表面に長さβ方向に沿った溝3が設けてあり、こ
の満3によって一方主表面が長さβ方向に二等分されて
いる。また、長さQ方向と交差する方向に溝4,5がそ
れぞれ長さβ方向の中心から1/3!の位置に設けであ
る。したがって基板2の一方主表面には、入力電極6、
出力電極7、独立電極8〜11が、溝3〜5で区切られ
て設けられている。また、基板2の他方主表面には、全
面電極12が設けられている。そして長さり方向に伸縮
する長さ振動モードを用いることとし、基板2における
各部寸法は、たとえば中心周波数が450k)lzのと
き、長さりが約4.0511IIG、幅が0 、611
111 、厚みが0.3111R1,溝3の深さが0.
151+1翰、溝3の幅が0,1511 、溝4.5の
深さと幅は、電極6.7を電極8もしくは9.10もし
くは11から電気的に分離させるだけのものであるから
適当でよい。第2図は第1図に示す圧電共振素子1の電
気的シンボルを示す。このように第1図に示す圧電共振
素子1は、長さ方向の単一モードの振動を用いたフィル
タ素子として使える。
この圧電共振素子1の製造方法を以下に説明する。−辺
が数cmオーダーの矩形板状のセラミック焼結体101
をラッピングして表面を整える。対向主表面に電極を設
ける。この電極は分極処理用の電極であるとともに、電
極6〜12になるものである。分極処理によって圧電性
を付与されたセラミック焼結体101は、第3図に示す
ように、製造能率を上げるために、多数集結させて、ダ
イシングソー 13を用いて所定寸法の圧電共振素子1
を切り出すと同時に、満3〜5を形成する。すなわち、
ダイシングソー 13によれば、カット精度が±2μm
と高いため:正確な長・さ2を有する圧電共振素子1を
切り出すことができ、従来の製造方法に比べ、周波数選
別、周波数調整といった工程が省略できる。たとえば中
心周波数455kH7のものを得たいとき、中心周波数
のバラツキは最大1.2kHz内におさめられた。また
、1II3〜5を形成することによって必要な外形寸法
を有する入力電極6、出力電極7が分極電極を流用して
得られる。この点、従来の製造方法では、分極後、分極
電極に振動電極のパターンをレジストインキで印刷し、
エツチングするといった工程があり、あきらかに、本発
明の方が簡単であるといえる。満4.5は、入力電極6
、出力電極7の長さβ方向の□良さを2/3・りにする
もので、第3高調波を抑圧する作用効果を有する。した
がって、電極8〜11は遊んでいることになる。ダイシ
ングソー13は、刃が高速回転しながら第4図の矢印六
方向に移動するもので、深くは切れないが、本発明が対
象にする圧電板の厚み位なら充分役に立つ。
が数cmオーダーの矩形板状のセラミック焼結体101
をラッピングして表面を整える。対向主表面に電極を設
ける。この電極は分極処理用の電極であるとともに、電
極6〜12になるものである。分極処理によって圧電性
を付与されたセラミック焼結体101は、第3図に示す
ように、製造能率を上げるために、多数集結させて、ダ
イシングソー 13を用いて所定寸法の圧電共振素子1
を切り出すと同時に、満3〜5を形成する。すなわち、
ダイシングソー 13によれば、カット精度が±2μm
と高いため:正確な長・さ2を有する圧電共振素子1を
切り出すことができ、従来の製造方法に比べ、周波数選
別、周波数調整といった工程が省略できる。たとえば中
心周波数455kH7のものを得たいとき、中心周波数
のバラツキは最大1.2kHz内におさめられた。また
、1II3〜5を形成することによって必要な外形寸法
を有する入力電極6、出力電極7が分極電極を流用して
得られる。この点、従来の製造方法では、分極後、分極
電極に振動電極のパターンをレジストインキで印刷し、
エツチングするといった工程があり、あきらかに、本発
明の方が簡単であるといえる。満4.5は、入力電極6
、出力電極7の長さβ方向の□良さを2/3・りにする
もので、第3高調波を抑圧する作用効果を有する。した
がって、電極8〜11は遊んでいることになる。ダイシ
ングソー13は、刃が高速回転しながら第4図の矢印六
方向に移動するもので、深くは切れないが、本発明が対
象にする圧電板の厚み位なら充分役に立つ。
また、第4図の矢印の8方向にダイシングソー13を動
かして適当な値に設定することによって、切断ができた
り、任意深さの溝が形成される。したがって、切断した
り、溝を形成する一方法としては、第3図に示すように
、複数の圧電エレメント1を集結仮固定してまとめて図
の左右方向に設けるべき溝形成や、切断を行なったのら
、図のF下方向に設けるべき溝形成や、切断を行なうと
能率的である。
かして適当な値に設定することによって、切断ができた
り、任意深さの溝が形成される。したがって、切断した
り、溝を形成する一方法としては、第3図に示すように
、複数の圧電エレメント1を集結仮固定してまとめて図
の左右方向に設けるべき溝形成や、切断を行なったのら
、図のF下方向に設けるべき溝形成や、切断を行なうと
能率的である。
第5図〜第7図は、ベース14を示し、ベース14へは
後述する入・出力端子板15、導電性ゴムシート16、
圧電共振素子1、アース端子板17が相互の位置関係が
規制されて装着される。アース端子板17は、後述する
が、ケース18にこれら内部素子を挿入するときケース
18の内壁面に対するアース端子板17の形状寸法を工
夫して圧電共振素子1との間に適当な接触圧が得られる
ようにしている。ベース14は、以−トの構造を有して
いる。長方形板状部分19の両長辺からは@ 20,2
0が部分19と一体に設けてあり、両短辺からも低l
21,21が一体に設けである。また、これら壁20,
20,21.21で囲まれた内部には、一対の柱状体2
2,22 、四つ一組の柱状体23,23.2323が
部分19と一体にそれぞれ設けである。そして、入・出
力端子板15を図中一点鎖線で象徴的に示したように装
置!する。
後述する入・出力端子板15、導電性ゴムシート16、
圧電共振素子1、アース端子板17が相互の位置関係が
規制されて装着される。アース端子板17は、後述する
が、ケース18にこれら内部素子を挿入するときケース
18の内壁面に対するアース端子板17の形状寸法を工
夫して圧電共振素子1との間に適当な接触圧が得られる
ようにしている。ベース14は、以−トの構造を有して
いる。長方形板状部分19の両長辺からは@ 20,2
0が部分19と一体に設けてあり、両短辺からも低l
21,21が一体に設けである。また、これら壁20,
20,21.21で囲まれた内部には、一対の柱状体2
2,22 、四つ一組の柱状体23,23.2323が
部分19と一体にそれぞれ設けである。そして、入・出
力端子板15を図中一点鎖線で象徴的に示したように装
置!する。
入・出力端子板15は第8図により明確に示すように、
入力端子部分24、出力端子部分25を有す壁20の右
端と右側の低121の下端との間、右側の柱状体22と
右側の低121との間、上側の壁20と右上の柱状体2
3との間、そして左上の柱状体23と右上の柱状体23
との間の各すき間にはめこまれる。
入力端子部分24、出力端子部分25を有す壁20の右
端と右側の低121の下端との間、右側の柱状体22と
右側の低121との間、上側の壁20と右上の柱状体2
3との間、そして左上の柱状体23と右上の柱状体23
との間の各すき間にはめこまれる。
出力端子部分25は、第5図において、左側の低壁21
の下端と下側の1120の左端との間、左下の柱状体2
3と下側の壁20との間、そして左下の柱状体23と右
下の柱状体23との間の各すき間にはめこまれる。図か
らあきらかなようにはめごみを容易にするためのテーパ
をずい所に設けている。
の下端と下側の1120の左端との間、左下の柱状体2
3と下側の壁20との間、そして左下の柱状体23と右
下の柱状体23との間の各すき間にはめこまれる。図か
らあきらかなようにはめごみを容易にするためのテーパ
をずい所に設けている。
つぎに、第5図において、四つの柱状体23,23゜2
3.23で囲まれた区域に、第9図に示すような導電性
ゴムシート16を載置する。さらにゴムシート16の上
に、満3〜5側を下にして圧電共振素子1を載置する。
3.23で囲まれた区域に、第9図に示すような導電性
ゴムシート16を載置する。さらにゴムシート16の上
に、満3〜5側を下にして圧電共振素子1を載置する。
圧電共振素子1はベース14の一対の柱状体22および
四つの柱状体23で佼H規制される。すると、入・出力
端子板15の入力端子部分24、出力端子部分25の各
先端26.27は、圧電共振素子1の入力電極6、出力
電極7に、導電性ゴムシート16を介して接触するので
ある。このゴムシート16は、異方導電性ゴムシートと
呼G、fれるもので、たとえば、シリコンゴムシートの
厚み方向にグラフ7イトの繊維や金属の細い線を埋めこ
んだ構成からなり、シートの厚み方向には導電性を示し
、横方向では絶縁性を示J0したがって圧電共振素子
1の入力電極6、出力電極゛7それぞれが、相互短絡な
しに、異方導電性ゴムシート16を介して入力端子部分
24の先端26、出力端子部分25の先端27に接触す
ることになる。
四つの柱状体23で佼H規制される。すると、入・出力
端子板15の入力端子部分24、出力端子部分25の各
先端26.27は、圧電共振素子1の入力電極6、出力
電極7に、導電性ゴムシート16を介して接触するので
ある。このゴムシート16は、異方導電性ゴムシートと
呼G、fれるもので、たとえば、シリコンゴムシートの
厚み方向にグラフ7イトの繊維や金属の細い線を埋めこ
んだ構成からなり、シートの厚み方向には導電性を示し
、横方向では絶縁性を示J0したがって圧電共振素子
1の入力電極6、出力電極゛7それぞれが、相互短絡な
しに、異方導電性ゴムシート16を介して入力端子部分
24の先端26、出力端子部分25の先端27に接触す
ることになる。
第10図〜第12図に、アース端子板17をより明確に
示す。アース端子板17はリード部分28に略H字の先
端部29が一体に形成されたもので中心に4よ接触突起
291を有している。先端81129は、第10図、第
12図に示すように弓状に形状されて必要な弾性方が付
与されている。さらに、リード部分28のケース18に
収容される部分に略クランク状に折曲【Iた部分30を
有する。この折曲げ具合によって、先端部29とリード
部分28とが平行ではなく、それぞれの延長線が交差す
るよう(−例として交差角θ−10°)にしておく。
示す。アース端子板17はリード部分28に略H字の先
端部29が一体に形成されたもので中心に4よ接触突起
291を有している。先端81129は、第10図、第
12図に示すように弓状に形状されて必要な弾性方が付
与されている。さらに、リード部分28のケース18に
収容される部分に略クランク状に折曲【Iた部分30を
有する。この折曲げ具合によって、先端部29とリード
部分28とが平行ではなく、それぞれの延長線が交差す
るよう(−例として交差角θ−10°)にしておく。
第13図〜第15図に、ケース18の形状をより明確に
示す。図に示すように、方向性をもIこすためにテーパ
31を有する略箱状の成型体の底面、つまり、入・出力
端子板15やアース端子板17が導IBされる面に開口
部32を有する。内空間33(よベース14の外形に相
似させるべく奥に向かって断面凸字状の拡がりをもって
いる。開口部32の縁(ま内部素子の挿入を容易にする
ためテーパ34を有する。
示す。図に示すように、方向性をもIこすためにテーパ
31を有する略箱状の成型体の底面、つまり、入・出力
端子板15やアース端子板17が導IBされる面に開口
部32を有する。内空間33(よベース14の外形に相
似させるべく奥に向かって断面凸字状の拡がりをもって
いる。開口部32の縁(ま内部素子の挿入を容易にする
ためテーパ34を有する。
第16図は、この発明に関連して示すもので、ベース1
4に、人・出力端子板15、ゴムシート16、圧電共振
素子1が積み重ねられ、入・出力端子板15のリードフ
レーム連結部分にアース端子板17のjJ−ドフレーム
が重ねられて、アース端子板17の接触突起291が圧
電共振子1の全面゛電極12の中央位置に圧接されたも
のを、ケース18に挿入する前の状態を示すものである
。図からもあきら力1なように、ケース18へ挿入する
内部素子が集結されたものを側、面からみると、アース
端子板17の成]T5形状によってクサビのようになっ
ている。この状態でケース18へ内部素子を挿入すると
、アース端子板17の先端部29、折り曲げ部分30が
ケース18内壁面に圧接されることによる反作用で挿入
開始から完了する間も、アース端子板11とベース14
との間にある圧電共振素子1、導電性ゴムシート16、
入・出力端子板15に適当な圧力が加わっており、挿入
完了後は、アース端子板17が前述するようにアーチ状
になっていることによる弾性力と、ゴムシート16の弾
性力とによって圧電共振素子1保持に必要な接触圧力が
得られるので、各部品相互の位置ずれもなくケース18
内に収容される。
4に、人・出力端子板15、ゴムシート16、圧電共振
素子1が積み重ねられ、入・出力端子板15のリードフ
レーム連結部分にアース端子板17のjJ−ドフレーム
が重ねられて、アース端子板17の接触突起291が圧
電共振子1の全面゛電極12の中央位置に圧接されたも
のを、ケース18に挿入する前の状態を示すものである
。図からもあきら力1なように、ケース18へ挿入する
内部素子が集結されたものを側、面からみると、アース
端子板17の成]T5形状によってクサビのようになっ
ている。この状態でケース18へ内部素子を挿入すると
、アース端子板17の先端部29、折り曲げ部分30が
ケース18内壁面に圧接されることによる反作用で挿入
開始から完了する間も、アース端子板11とベース14
との間にある圧電共振素子1、導電性ゴムシート16、
入・出力端子板15に適当な圧力が加わっており、挿入
完了後は、アース端子板17が前述するようにアーチ状
になっていることによる弾性力と、ゴムシート16の弾
性力とによって圧電共振素子1保持に必要な接触圧力が
得られるので、各部品相互の位置ずれもなくケース18
内に収容される。
なお、第17図〜第19図は、完成品の状態を示づもの
である。アース端子板17のリード部分28が、ベース
14の第5図における下側の壁20の真中にある凹部2
01にはまりこんでいる。
である。アース端子板17のリード部分28が、ベース
14の第5図における下側の壁20の真中にある凹部2
01にはまりこんでいる。
ケース18の開口部32は、一般的なシール用樹脂35
によって封止される。このとき、ベース14の第5図に
おける下側の壁20が開口部32のほとんどをふさいで
いるので、封止が確実になされるとともに余分な樹脂が
内部にまわりこむことがなくな大きさが小さい稈確実に
なされることは当然である。ところが、ケースの開口部
から内部部品を挿入するには開口部が小ざい程困難にな
る。本発明では前述したように、内部部品全体形状をク
リビ形に集結した上で挿入するので、開(」部が小さく
ても挿入が容易になって、機械による組立てが可能にな
り、このため自動組立が可能な上に封止も確実になされ
るといった相乗的効果をもつのである。
によって封止される。このとき、ベース14の第5図に
おける下側の壁20が開口部32のほとんどをふさいで
いるので、封止が確実になされるとともに余分な樹脂が
内部にまわりこむことがなくな大きさが小さい稈確実に
なされることは当然である。ところが、ケースの開口部
から内部部品を挿入するには開口部が小ざい程困難にな
る。本発明では前述したように、内部部品全体形状をク
リビ形に集結した上で挿入するので、開(」部が小さく
ても挿入が容易になって、機械による組立てが可能にな
り、このため自動組立が可能な上に封止も確実になされ
るといった相乗的効果をもつのである。
第、20図は本発明に関する圧電共振素子を一個用いた
フィルタの選択特性曲線を示す。第21図はこれにさら
にIFTを一個縦続接続したものの選択特性曲線を示す
。第22図は、本発明に関する圧電共振素子を二個結合
コンデンサを介さずに直接縦続接続したものの選択特性
曲線を示す。第23図はこれにさらにIFTを一個縦続
接続したものの選択特性曲線を示す。第24図は本発明
に関する圧電共振素子を二個とIFT−個を縦続接続し
たフィルタのスプリアス特性を示す。
フィルタの選択特性曲線を示す。第21図はこれにさら
にIFTを一個縦続接続したものの選択特性曲線を示す
。第22図は、本発明に関する圧電共振素子を二個結合
コンデンサを介さずに直接縦続接続したものの選択特性
曲線を示す。第23図はこれにさらにIFTを一個縦続
接続したものの選択特性曲線を示す。第24図は本発明
に関する圧電共振素子を二個とIFT−個を縦続接続し
たフィルタのスプリアス特性を示す。
以上の説明からもあきらかなように、この発明は、略板
状のベースに少なくとも内部素子の一部が装着され、こ
のベースがケース−面の狭0開口部よりケースに収容さ
れて開口部が樹脂封止される圧電共振部品において、ベ
ース主平面の一方に内部素子の位置決めのための凸部を
もしてこの凸部上方から内部素子がベースにi着される
ようにするとともに、ケースの開口部をislさく゛壁
部分をベースが有することを特徴とする圧電共振部品で
あるから、以下のような効果を有する。
状のベースに少なくとも内部素子の一部が装着され、こ
のベースがケース−面の狭0開口部よりケースに収容さ
れて開口部が樹脂封止される圧電共振部品において、ベ
ース主平面の一方に内部素子の位置決めのための凸部を
もしてこの凸部上方から内部素子がベースにi着される
ようにするとともに、ケースの開口部をislさく゛壁
部分をベースが有することを特徴とする圧電共振部品で
あるから、以下のような効果を有する。
この発明によると、ケースの側面すなわち、弓1出リー
ドを引出している面から素子等をケース内に収容したの
で、封j1シるが短かく、封止h(I実にされやす°い
。また、樹脂でシーJしするが、内部ベースに樹脂が侵
入するのをさまた【fる壁部分を設けであるので、樹脂
が内部にまわりこむことがなくなる。
ドを引出している面から素子等をケース内に収容したの
で、封j1シるが短かく、封止h(I実にされやす°い
。また、樹脂でシーJしするが、内部ベースに樹脂が侵
入するのをさまた【fる壁部分を設けであるので、樹脂
が内部にまわりこむことがなくなる。
なお、圧電共振素子の種類や圧電共振素子の保持構造等
が前述の実施例と異なるようにしても本発明が適用でき
る余地があること(ま0うまでもない。
が前述の実施例と異なるようにしても本発明が適用でき
る余地があること(ま0うまでもない。
第1図は、圧電共振素子の斜視図、第2図【ま、第1図
示のものの電気シンボル図、第3図【ま、セラミック焼
結体複数の正面図、第4図は、本発明を説明するための
側面説明図、第5図は、ベースの正面図、第6図は、同
、底面からみた破断図、第7図は、同、側面からみた破
断図、第8図【よ、入・出力端子板の正面図、第9図は
、ゴムシー1〜の正面図、第10図は、アース端子板の
上面図、第11図は、同、正面図、第12図は、+=+
、側面図、第13図は、ケースの側面図、第14図は、
同、正面図、第15図は、同、底面図、第16図は、本
発明に関する圧電共振部品の分解断面図、第17図(よ
、同、正面図、第18図は、同、断面図、第19図【よ
、底面からみた破断図、第20図〜第23図は、選択特
性曲線図、第24図は、スプリアス特性曲線図である。 1・・・・・・圧電共振素子、2・・・・・・圧電セラ
ミ・ツク基板、3へ55・・・・・・溝、6・・・・・
・入力電極、7・・・・・・出力電極、8〜11・・・
・・・独立電極、12・・・・・・全面電極、13・・
・・・・ダンシングソー、14・・・・・・ベース、1
5・・・・・・入・出力端子板、1G・・・・・・導電
性ゴムシート、17・・・・・・アース端子板、18・
・・・・・ケース、19・・・・・・長方形板状部分、
20・・・・・・壁、21・・・・・・低壁、22・・
・・・・柱状体、23・・・・・・柱状体、24・・・
・・・入力端子部分、25・・・・・・出力端子部分、
26・・・・・・先端、27・・・・・・先端、28・
・・・・・リード部分、29・・・・・・先端部、30
・・・・・・折り曲げ部分、31・・・・・・テーパ、
32・・・・・・開口部、33・・・・・・内空間、3
4・・・・・・テーパ、35・・・・・・シール用樹脂
、101・・・・・・セラミック焼結体、291・・・
・・・接触突起。 特 許 出 願 人 株式会社村田製作所 M1図 第Z図 MlO図
示のものの電気シンボル図、第3図【ま、セラミック焼
結体複数の正面図、第4図は、本発明を説明するための
側面説明図、第5図は、ベースの正面図、第6図は、同
、底面からみた破断図、第7図は、同、側面からみた破
断図、第8図【よ、入・出力端子板の正面図、第9図は
、ゴムシー1〜の正面図、第10図は、アース端子板の
上面図、第11図は、同、正面図、第12図は、+=+
、側面図、第13図は、ケースの側面図、第14図は、
同、正面図、第15図は、同、底面図、第16図は、本
発明に関する圧電共振部品の分解断面図、第17図(よ
、同、正面図、第18図は、同、断面図、第19図【よ
、底面からみた破断図、第20図〜第23図は、選択特
性曲線図、第24図は、スプリアス特性曲線図である。 1・・・・・・圧電共振素子、2・・・・・・圧電セラ
ミ・ツク基板、3へ55・・・・・・溝、6・・・・・
・入力電極、7・・・・・・出力電極、8〜11・・・
・・・独立電極、12・・・・・・全面電極、13・・
・・・・ダンシングソー、14・・・・・・ベース、1
5・・・・・・入・出力端子板、1G・・・・・・導電
性ゴムシート、17・・・・・・アース端子板、18・
・・・・・ケース、19・・・・・・長方形板状部分、
20・・・・・・壁、21・・・・・・低壁、22・・
・・・・柱状体、23・・・・・・柱状体、24・・・
・・・入力端子部分、25・・・・・・出力端子部分、
26・・・・・・先端、27・・・・・・先端、28・
・・・・・リード部分、29・・・・・・先端部、30
・・・・・・折り曲げ部分、31・・・・・・テーパ、
32・・・・・・開口部、33・・・・・・内空間、3
4・・・・・・テーパ、35・・・・・・シール用樹脂
、101・・・・・・セラミック焼結体、291・・・
・・・接触突起。 特 許 出 願 人 株式会社村田製作所 M1図 第Z図 MlO図
Claims (1)
- 略板状のベースに少なくとも内部素子の一部が装着され
、このベースがケース−面の狭い開口部よりケース4に
収容されて開口部が樹脂封止される圧電共振部品におい
て、ベース主平面の一方に内部素子の位置決めのための
凸部を有してこの凸部上方から内部素子がベースに装着
されるようにするとともに、ケースの開口部をふさぐ壁
部分をベースが有することを特徴とする圧電共振部品。
Priority Applications (4)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP19878881A JPS5899021A (ja) | 1981-12-09 | 1981-12-09 | 圧電共振部品の製造方法 |
| US06/446,729 US4431938A (en) | 1981-12-09 | 1982-12-03 | Grooved piezoelectric resonating element and a mounting therefore |
| GB08235045A GB2113461B (en) | 1981-12-09 | 1982-12-08 | Piezoelectric resonating element and method of manufacture thereof |
| DE19823245658 DE3245658A1 (de) | 1981-12-09 | 1982-12-09 | Piezoelektrisches resonanzelement, verfahren zur herstellung desselben und piezoelektrische resonanzeinrichtung mit demselben |
Applications Claiming Priority (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP19878881A JPS5899021A (ja) | 1981-12-09 | 1981-12-09 | 圧電共振部品の製造方法 |
Publications (2)
| Publication Number | Publication Date |
|---|---|
| JPS5899021A true JPS5899021A (ja) | 1983-06-13 |
| JPH0148692B2 JPH0148692B2 (ja) | 1989-10-20 |
Family
ID=16396913
Family Applications (1)
| Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
|---|---|---|---|
| JP19878881A Granted JPS5899021A (ja) | 1981-12-09 | 1981-12-09 | 圧電共振部品の製造方法 |
Country Status (1)
| Country | Link |
|---|---|
| JP (1) | JPS5899021A (ja) |
-
1981
- 1981-12-09 JP JP19878881A patent/JPS5899021A/ja active Granted
Also Published As
| Publication number | Publication date |
|---|---|
| JPH0148692B2 (ja) | 1989-10-20 |
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