JPS5899112A - 高純度微細炭化珪素の製造方法 - Google Patents
高純度微細炭化珪素の製造方法Info
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- JPS5899112A JPS5899112A JP56196877A JP19687781A JPS5899112A JP S5899112 A JPS5899112 A JP S5899112A JP 56196877 A JP56196877 A JP 56196877A JP 19687781 A JP19687781 A JP 19687781A JP S5899112 A JPS5899112 A JP S5899112A
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Landscapes
- Carbon And Carbon Compounds (AREA)
Abstract
(57)【要約】本公報は電子出願前の出願データであるた
め要約のデータは記録されません。
め要約のデータは記録されません。
Description
【発明の詳細な説明】
本発明は高純度の微細炭化珪素の製造方法に関する。
近時、省エネルギーの要望から、エネルギー変換の高効
率化のためタービン、エンジン等の変換機の高温操作が
望まれている。そのため耐熱材料の研究開発が盛に研究
されてきた。炭化珪素は優れた高温特性を有するため、
耐火材料や研磨材ばかりでなく最近では特に高温構造材
料の焼結体原料として微粉末の製造が注目されてきた。
率化のためタービン、エンジン等の変換機の高温操作が
望まれている。そのため耐熱材料の研究開発が盛に研究
されてきた。炭化珪素は優れた高温特性を有するため、
耐火材料や研磨材ばかりでなく最近では特に高温構造材
料の焼結体原料として微粉末の製造が注目されてきた。
高温材料としては、より緻密で高純度の焼結体が望まれ
るが、そのためには原料としてより焼結活性の高く、し
かも高純度な微粉末が望まれる。
るが、そのためには原料としてより焼結活性の高く、し
かも高純度な微粉末が望まれる。
この微粉末の製造には一般に、粉砕による微細化が行な
われているが、炭化珪素のような硬い材料の粉砕のため
には単に微細化が困難であるのみならず、粉砕機材料か
らの汚染による純度の低下が焼結体そのものの高温性状
を損うというジレンマが存在した。
われているが、炭化珪素のような硬い材料の粉砕のため
には単に微細化が困難であるのみならず、粉砕機材料か
らの汚染による純度の低下が焼結体そのものの高温性状
を損うというジレンマが存在した。
それ故本発明者等はこの要望に応するため、珪素原料と
して珪弗化アルカリ化合物を使用し、これに金属アルミ
ニウムと炭素または炭素含有物質とを混合し、加熱処理
して炭化珪素を微細な状態で造らんとして種々研究を行
った。
して珪弗化アルカリ化合物を使用し、これに金属アルミ
ニウムと炭素または炭素含有物質とを混合し、加熱処理
して炭化珪素を微細な状態で造らんとして種々研究を行
った。
その結果によると、微粉状の珪弗化アルカリと金属アル
ミニウム粉末とをモル比で5:2〜5:6、そして珪弗
化アルカリと炭素質物の粉末とをモル比で1:1〜1:
3の範囲に混合し、この混合物を非酸化性雰囲気で、金
属アルミニウムと生成するシリコンとの共融点(575
℃)未満で400’CD上の温度に数10分間以上加熱
してシリコンを生成せしめた後、引続いて1300’C
以上1414℃未満の温度で数10分間以上加熱し、炭
化せしめたところ、平均粒径が0.5μ程度の炭化珪素
が得られることを知見した 本発明はこの知見に基くものであって、粉末状態の゛珪
弗化アルカ1ハ金属アルミニウムおよび炭素質物を何れ
もモル比で珪弗化アルカリ:金属アルミニウムを5:2
〜5:6そして珪弗化アルカリ:炭素質物を1:1〜1
:3で混合したものを非酸化性雰囲気で400’C以上
515℃(生成するシリコンとアルミニウムとの共融点
)未満の温度範囲に加熱し、シリコンを生成せしめた後
、引続いて1300℃以上1414℃未満の温度で加熱
し炭化珪素を生成せしめ、その後反応生成物中に浅凹す
る炭素質物を燃焼除去後副生成物を酸処理により除去す
ることを特徴とする^純度微細炭化珪素の報造方法であ
る。
ミニウム粉末とをモル比で5:2〜5:6、そして珪弗
化アルカリと炭素質物の粉末とをモル比で1:1〜1:
3の範囲に混合し、この混合物を非酸化性雰囲気で、金
属アルミニウムと生成するシリコンとの共融点(575
℃)未満で400’CD上の温度に数10分間以上加熱
してシリコンを生成せしめた後、引続いて1300’C
以上1414℃未満の温度で数10分間以上加熱し、炭
化せしめたところ、平均粒径が0.5μ程度の炭化珪素
が得られることを知見した 本発明はこの知見に基くものであって、粉末状態の゛珪
弗化アルカ1ハ金属アルミニウムおよび炭素質物を何れ
もモル比で珪弗化アルカリ:金属アルミニウムを5:2
〜5:6そして珪弗化アルカリ:炭素質物を1:1〜1
:3で混合したものを非酸化性雰囲気で400’C以上
515℃(生成するシリコンとアルミニウムとの共融点
)未満の温度範囲に加熱し、シリコンを生成せしめた後
、引続いて1300℃以上1414℃未満の温度で加熱
し炭化珪素を生成せしめ、その後反応生成物中に浅凹す
る炭素質物を燃焼除去後副生成物を酸処理により除去す
ることを特徴とする^純度微細炭化珪素の報造方法であ
る。
本発明に使用する原料は何れも100μ以下の微粉状の
ものが好ましく、また炭素質物としては炭素単体または
樹脂、樹脂炭化物、セルローズなどの含炭素物質が使用
される。この場合含炭素物質のモル数は、これを非酸化
性雰囲気において1300℃以上1414℃未満の温度
にて加熱した場合に得られる炭素のモル数を意味する。
ものが好ましく、また炭素質物としては炭素単体または
樹脂、樹脂炭化物、セルローズなどの含炭素物質が使用
される。この場合含炭素物質のモル数は、これを非酸化
性雰囲気において1300℃以上1414℃未満の温度
にて加熱した場合に得られる炭素のモル数を意味する。
さらにまた珪弗化アルカリはリチウム、ナトリウムおよ
びカリウム ゛の珪弗化物が使用される。
びカリウム ゛の珪弗化物が使用される。
本発明において、珪弗化アルカリに対する金属アルミニ
ウムのモル比が615よりも大きい時には未反応の金属
アルミニウムが最終製品中に残留し炭化珪素の純度を低
下するので好ましくなく、215よりも小さいときには
加熱中に揮発する成分および最終製品中より除去する部
分が多くなるので経済的でない。また珪弗化アルカリに
対する炭素質物のモル比が1/1よりも少ない時には未
反応のシリコンが残り、3/1よりも大きいときは未反
応の炭素が多く残り過ぎるため、この炭素を炊却処理す
る操作が厄介であり、かつ不経済である。
ウムのモル比が615よりも大きい時には未反応の金属
アルミニウムが最終製品中に残留し炭化珪素の純度を低
下するので好ましくなく、215よりも小さいときには
加熱中に揮発する成分および最終製品中より除去する部
分が多くなるので経済的でない。また珪弗化アルカリに
対する炭素質物のモル比が1/1よりも少ない時には未
反応のシリコンが残り、3/1よりも大きいときは未反
応の炭素が多く残り過ぎるため、この炭素を炊却処理す
る操作が厄介であり、かつ不経済である。
本発明における炭化珪素の生成を反応式で示せば次の如
くなる。
くなる。
M2S1 F6→2MF+Si F4 (但しM
=u、 Na、 K) ■381 F4 +
4A11→3Si + 4AQ Fs ■
αMF + AItF3→ フルオロアルミン酸塩
■Sl+C−+SiC■ これらの反応のうち反応■で示されるS1生成反応は発
熱反応であるので過熱が起り易いが、例えばM2S1F
6とAtとのモル比を5=6にして500℃附近で加熱
反応した場合には生成したSi中にAt金属が含有され
たり、比較的大粒のSi粒子が生成するようになるが、
炭素が存在している場合には、このような現象は起りに
くくなる。
=u、 Na、 K) ■381 F4 +
4A11→3Si + 4AQ Fs ■
αMF + AItF3→ フルオロアルミン酸塩
■Sl+C−+SiC■ これらの反応のうち反応■で示されるS1生成反応は発
熱反応であるので過熱が起り易いが、例えばM2S1F
6とAtとのモル比を5=6にして500℃附近で加熱
反応した場合には生成したSi中にAt金属が含有され
たり、比較的大粒のSi粒子が生成するようになるが、
炭素が存在している場合には、このような現象は起りに
くくなる。
すなわち、本発明のように、反応物質として炭素質物が
存在している場合には、この炭素が発生する熱の分散剤
として作用するので過熱は起り難く、反応温度が400
℃以上575℃未満の温度範囲であれば、反応の温度制
御が容易に行われ、反応系の温度を575℃附近にした
場合でも微細粒度の81が得られる。
存在している場合には、この炭素が発生する熱の分散剤
として作用するので過熱は起り難く、反応温度が400
℃以上575℃未満の温度範囲であれば、反応の温度制
御が容易に行われ、反応系の温度を575℃附近にした
場合でも微細粒度の81が得られる。
一般に金属シリコンを炭化して炭化珪素を得る反応■も
発熱反応であるため、この反応温度に加熱すると反応系
の温度は上昇しSiの融点まで温度が上昇して、3iは
大滴になり、反応は進行し難くなり微粒子SiCは得ら
れなくなる。
発熱反応であるため、この反応温度に加熱すると反応系
の温度は上昇しSiの融点まで温度が上昇して、3iは
大滴になり、反応は進行し難くなり微粒子SiCは得ら
れなくなる。
しかしながら本発明のように反応■および■で生成した
MFおよびフルオロアルミン酸塩が原料中に存在する場
合には1300℃以上1414℃未満に反応系の温度を
保てば、反応■によるSiCの生成は極めて容易になり
、上記範囲の温度調整は容易になることを知見した。こ
の理由は、反応中に存在するMFまたはフルオロアルミ
ン酸塩がおそらく熱の分散剤として作用すると共にSi
Cが生成する1300℃以上では相当な蒸気圧を持つた
め、その気化熱により反応系から適度に熱を奪うものと
考えられる。
MFおよびフルオロアルミン酸塩が原料中に存在する場
合には1300℃以上1414℃未満に反応系の温度を
保てば、反応■によるSiCの生成は極めて容易になり
、上記範囲の温度調整は容易になることを知見した。こ
の理由は、反応中に存在するMFまたはフルオロアルミ
ン酸塩がおそらく熱の分散剤として作用すると共にSi
Cが生成する1300℃以上では相当な蒸気圧を持つた
め、その気化熱により反応系から適度に熱を奪うものと
考えられる。
以上要するに本発明においては、反応混合物によるSt
の生成による発熱反応は混在する炭素質物により熱の緩
衝作用が行われ、次にSiCの生成による発熱反応は副
生物であるAQ F、 、M F 、フルオロアルミン
酸塩の存在により反応系の加熱を防ぐ役割りをなすため
微細粒子のSiCが得られるものと考えられる。
の生成による発熱反応は混在する炭素質物により熱の緩
衝作用が行われ、次にSiCの生成による発熱反応は副
生物であるAQ F、 、M F 、フルオロアルミン
酸塩の存在により反応系の加熱を防ぐ役割りをなすため
微細粒子のSiCが得られるものと考えられる。
本発明においては、微細粒子のSiCと共にAQF、、
MF、フルオロアルミン酸塩などの副生成物が未反応炭
素質物と共に副生きれるが、これらのうちAQF5はそ
の昇華温度が1260℃であ゛るのでSiCが生成され
る温度(1300〜1414℃)に上昇して除去するこ
とができる。またフルオロアルミン酸塩およびM、Fも
この温度では揮散するので相当程度除去することができ
る。あるいはこれらの塩は酸または塩基性溶液に溶解す
るので、生成物を酸または塩基性溶液に溶解して除去す
ることができる。
MF、フルオロアルミン酸塩などの副生成物が未反応炭
素質物と共に副生きれるが、これらのうちAQF5はそ
の昇華温度が1260℃であ゛るのでSiCが生成され
る温度(1300〜1414℃)に上昇して除去するこ
とができる。またフルオロアルミン酸塩およびM、Fも
この温度では揮散するので相当程度除去することができ
る。あるいはこれらの塩は酸または塩基性溶液に溶解す
るので、生成物を酸または塩基性溶液に溶解して除去す
ることができる。
最後に未反応炭素質物は空気中で燃焼することにより除
去できる。
去できる。
本発明によれば、原料として使用する珪弗化アルカリ、
金属アルミニウムおよび炭素質物は高純度のものが何れ
も安価に入手でき、簡単な加熱操作で微細粒子の炭、化
珪素を製造することができるので、本発明の経済的価値
は大きい。
金属アルミニウムおよび炭素質物は高純度のものが何れ
も安価に入手でき、簡単な加熱操作で微細粒子の炭、化
珪素を製造することができるので、本発明の経済的価値
は大きい。
実施例1
珪弗化カリウム(純度99%)と金属アルミニウム(純
度99.9%)の微粉(それぞれ粒度40μ以下、80
μ以下)にカーボンブラックをモル比で5:6:7の割
合に配合し、ボットミルで良く混合した後、圧縮成形し
たちの41.8(Jを電気炉で減圧下(2トール)で5
00℃で1時間側、熱した後、引続き、減圧下で140
0℃で40分間加熱しtc、Wlられた反応生成物を空
気中で700℃で30分間加熱した後、10%塩酸溶液
で処理して純度98%以上の微細炭化珪素5.3gを得
た。この微細炭化珪素の大径は1.0μ、小径は0.1
μ、平均粒径は0.5μであった。
度99.9%)の微粉(それぞれ粒度40μ以下、80
μ以下)にカーボンブラックをモル比で5:6:7の割
合に配合し、ボットミルで良く混合した後、圧縮成形し
たちの41.8(Jを電気炉で減圧下(2トール)で5
00℃で1時間側、熱した後、引続き、減圧下で140
0℃で40分間加熱しtc、Wlられた反応生成物を空
気中で700℃で30分間加熱した後、10%塩酸溶液
で処理して純度98%以上の微細炭化珪素5.3gを得
た。この微細炭化珪素の大径は1.0μ、小径は0.1
μ、平均粒径は0.5μであった。
実施例2
珪弗化ナトリウム(純度99%)と金属アルミニウム(
純度99.9%)の微粉(粒度は何れも60μ以下)に
セルロースをモル比で2:1:4の割合に配合した。(
ただし、セルロースのモル数はセルロースを減圧下で加
熱した後に残る炭素質物をモル数で表したもの) これらの原料をボットミルで良く混合した後、圧縮成形
したもの178.40を、電気炉でアルゴン雰囲気下で
480℃で90分加熱した後、引続き、減圧下で138
0℃で1時間加熱した。得られた反応生成物を空気中で
800℃で30分間加熱した後、10%弗酸溶液で処理
して純度98%以上の微細炭化珪素9.6gを得た。こ
の微細炭化珪素の大径は1.2μ、小径は0.1μで平
均粒径は0.6μであった。
純度99.9%)の微粉(粒度は何れも60μ以下)に
セルロースをモル比で2:1:4の割合に配合した。(
ただし、セルロースのモル数はセルロースを減圧下で加
熱した後に残る炭素質物をモル数で表したもの) これらの原料をボットミルで良く混合した後、圧縮成形
したもの178.40を、電気炉でアルゴン雰囲気下で
480℃で90分加熱した後、引続き、減圧下で138
0℃で1時間加熱した。得られた反応生成物を空気中で
800℃で30分間加熱した後、10%弗酸溶液で処理
して純度98%以上の微細炭化珪素9.6gを得た。こ
の微細炭化珪素の大径は1.2μ、小径は0.1μで平
均粒径は0.6μであった。
実施例3
珪弗化カリウム(純度99%)と金属アルミニウム(純
度99.9%)の微粉(粒度何れも40μ以下)にカー
ボンブラックをモル比で5:6:6の割合に配合し、ボ
ットミルで良く混合した債、粉状のままで81.617
を電気炉に入れ、アルゴン雰囲気中で550℃、90分
間加熱した後、引続いて1400℃で60分間加熱した
。得られた反応生成物を空気中で700℃で30分間加
熱した後、10%弗酸溶液で処理して純度98%以上の
微細炭化珪素10.5(lを得た。
度99.9%)の微粉(粒度何れも40μ以下)にカー
ボンブラックをモル比で5:6:6の割合に配合し、ボ
ットミルで良く混合した債、粉状のままで81.617
を電気炉に入れ、アルゴン雰囲気中で550℃、90分
間加熱した後、引続いて1400℃で60分間加熱した
。得られた反応生成物を空気中で700℃で30分間加
熱した後、10%弗酸溶液で処理して純度98%以上の
微細炭化珪素10.5(lを得た。
この微細炭化珪素の大径iよ0.9μ、小径は0.1μ
で、平均粒径は0.4μであった。
で、平均粒径は0.4μであった。
Claims (1)
- 粉末状態の珪弗化アルカリ、金属アルミニウムおよび炭
素質物を何れもモル比で珪弗化アルカリ:金属アルミニ
ウムを5:2〜5:6、そして珪弗化アルカリ:炭素質
物を1=1〜1:3で混合したものを非酸化性雰囲気で
400℃以上575℃(生成するシリコンとアルミニウ
ムとの共融点)未満の湿度範囲に加熱し、シリコンを生
成せしめた後、引続いて1300℃以上1414℃未満
の温度で加熱して炭化珪素を生成せしめ、その後生成し
た反応生成物中に残留する炭素質物を燃焼除去後副生物
を酸処理により除去することを特徴とする高純度微細炭
化珪素の製造方法。
Priority Applications (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP56196877A JPS5899112A (ja) | 1981-12-09 | 1981-12-09 | 高純度微細炭化珪素の製造方法 |
Applications Claiming Priority (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP56196877A JPS5899112A (ja) | 1981-12-09 | 1981-12-09 | 高純度微細炭化珪素の製造方法 |
Publications (1)
| Publication Number | Publication Date |
|---|---|
| JPS5899112A true JPS5899112A (ja) | 1983-06-13 |
Family
ID=16365131
Family Applications (1)
| Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
|---|---|---|---|
| JP56196877A Pending JPS5899112A (ja) | 1981-12-09 | 1981-12-09 | 高純度微細炭化珪素の製造方法 |
Country Status (1)
| Country | Link |
|---|---|
| JP (1) | JPS5899112A (ja) |
Cited By (1)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| JPS6197125A (ja) * | 1984-08-03 | 1986-05-15 | Natl Inst For Res In Inorg Mater | 易焼結性炭化けい素粉末の製造法 |
-
1981
- 1981-12-09 JP JP56196877A patent/JPS5899112A/ja active Pending
Cited By (1)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| JPS6197125A (ja) * | 1984-08-03 | 1986-05-15 | Natl Inst For Res In Inorg Mater | 易焼結性炭化けい素粉末の製造法 |
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