JPS59101044A - 記録再生装置 - Google Patents
記録再生装置Info
- Publication number
- JPS59101044A JPS59101044A JP20960382A JP20960382A JPS59101044A JP S59101044 A JPS59101044 A JP S59101044A JP 20960382 A JP20960382 A JP 20960382A JP 20960382 A JP20960382 A JP 20960382A JP S59101044 A JPS59101044 A JP S59101044A
- Authority
- JP
- Japan
- Prior art keywords
- recording
- recording medium
- grooves
- electrode
- groove
- Prior art date
- Legal status (The legal status is an assumption and is not a legal conclusion. Google has not performed a legal analysis and makes no representation as to the accuracy of the status listed.)
- Pending
Links
Classifications
-
- G—PHYSICS
- G11—INFORMATION STORAGE
- G11B—INFORMATION STORAGE BASED ON RELATIVE MOVEMENT BETWEEN RECORD CARRIER AND TRANSDUCER
- G11B9/00—Recording or reproducing using a method not covered by one of the main groups G11B3/00 - G11B7/00; Record carriers therefor
- G11B9/08—Recording or reproducing using a method not covered by one of the main groups G11B3/00 - G11B7/00; Record carriers therefor using electrostatic charge injection; Record carriers therefor
Landscapes
- Optical Record Carriers And Manufacture Thereof (AREA)
Abstract
(57)【要約】本公報は電子出願前の出願データであるた
め要約のデータは記録されません。
め要約のデータは記録されません。
Description
【発明の詳細な説明】
〔発明の技術的分野〕
この発明は、半導体層と絶！：、Ｖ膜とによって構成さ
れるディスク状の記録媒体を用いて信号を静電荷の形で
記録し、電気的に再生する装置に関する。
れるディスク状の記録媒体を用いて信号を静電荷の形で
記録し、電気的に再生する装置に関する。
従来ＩＣメモリ以外のいわゆる動的メモリ装置は大きく
わけて磁気方式のディスクまたはテープ、光学方式ディ
スク、静電容量方式ディスクに分類される０磁気方式の
ものは記録再生、消去を簡単に行なうことができるとい
う大きな利点を有しているが、記録密度が低いという欠
点がある。一方、光学方式ディスク、静電容量方式ディ
スクにおいては、ビデオ信号、オーディオ信号あるいは
データ信号等の信号全凹凸の形で塩化ビニルなどのディ
スク状記録媒体に記録し、光学的あるいは静電的に再生
する方法を採用しているので、高密度に信号を記録し再
生することが可能であるが、消去、再記録が実用上不可
能という欠点がある。再記録可能な光ディスクも鍾々提
案されてはいるが、まだ実験段階のものがほとんどであ
る。
わけて磁気方式のディスクまたはテープ、光学方式ディ
スク、静電容量方式ディスクに分類される０磁気方式の
ものは記録再生、消去を簡単に行なうことができるとい
う大きな利点を有しているが、記録密度が低いという欠
点がある。一方、光学方式ディスク、静電容量方式ディ
スクにおいては、ビデオ信号、オーディオ信号あるいは
データ信号等の信号全凹凸の形で塩化ビニルなどのディ
スク状記録媒体に記録し、光学的あるいは静電的に再生
する方法を採用しているので、高密度に信号を記録し再
生することが可能であるが、消去、再記録が実用上不可
能という欠点がある。再記録可能な光ディスクも鍾々提
案されてはいるが、まだ実験段階のものがほとんどであ
る。
これらに対し、最近記録密度が高く、シかも再記録可能
な記録再生全行として、シリコンなどの半導体層の上に
電荷蓄積機能を有する絶縁膜を形成して記録媒体を構成
し、絶縁股上全相対的に移動する記録電極に記録信号電
圧を印加することにより、絶縁膜中に電荷を蓄殺して信
号の記録を行ない、一方、再生は再生電極を同様に記録
媒体上を移動させ、絶縁膜中の電荷蓄積状態に対応して
半導体層中に生じる空乏層の有無を静電容量の変化とし
て検出することで行なう方式が提案されているＯ この方式によれば、記録電極の記録媒体に対する接触面
績ヲ小さくすることにより記録密度を上げ、記録容量を
大きくすることができる０しかし、実際には記録電極の
寸法は、記録媒体に対する相対的移動方向の寸法も、ト
ラック幅方向の寸法も小さくするには限度があり、電極
の寿命の点からもあまり小さくすることはできない０さ
らに記録電極のトラック幅方向の寸法を小さくして狭ト
ランク化していった場合、トラッキングが困難となると
いう問題もある。
な記録再生全行として、シリコンなどの半導体層の上に
電荷蓄積機能を有する絶縁膜を形成して記録媒体を構成
し、絶縁股上全相対的に移動する記録電極に記録信号電
圧を印加することにより、絶縁膜中に電荷を蓄殺して信
号の記録を行ない、一方、再生は再生電極を同様に記録
媒体上を移動させ、絶縁膜中の電荷蓄積状態に対応して
半導体層中に生じる空乏層の有無を静電容量の変化とし
て検出することで行なう方式が提案されているＯ この方式によれば、記録電極の記録媒体に対する接触面
績ヲ小さくすることにより記録密度を上げ、記録容量を
大きくすることができる０しかし、実際には記録電極の
寸法は、記録媒体に対する相対的移動方向の寸法も、ト
ラック幅方向の寸法も小さくするには限度があり、電極
の寿命の点からもあまり小さくすることはできない０さ
らに記録電極のトラック幅方向の寸法を小さくして狭ト
ランク化していった場合、トラッキングが困難となると
いう問題もある。
この発明の目的は、半導体を利用した記録媒体を用いて
信号の記録再生全行なう装置において、記録容量を効果
的に増大させるとともにトラッキングを良好に行なうこ
とができる信号記録再生装置を提供することにある。
信号の記録再生全行なう装置において、記録容量を効果
的に増大させるとともにトラッキングを良好に行なうこ
とができる信号記録再生装置を提供することにある。
この発明は、半導体層の上に電荷蓄積機能を有する絶縁
膜全形成してなる記録媒体の表面上にスパイラル状また
は同心円状の溝を形成し、この溝に沿って記録電極およ
び再生電極を相対的に移動させて信号の記録および再生
を行なうことを特徴としている。
膜全形成してなる記録媒体の表面上にスパイラル状また
は同心円状の溝を形成し、この溝に沿って記録電極およ
び再生電極を相対的に移動させて信号の記録および再生
を行なうことを特徴としている。
この発明によれば、記録媒体に溝を形成することで、記
録媒体の表面積を大きくして記録容量を増やすことがで
き、結果的に記録電極と記録媒体の接触面積を小さくし
記録密度を上げて記録容量を増やすのと同等の効果が得
られる。
録媒体の表面積を大きくして記録容量を増やすことがで
き、結果的に記録電極と記録媒体の接触面積を小さくし
記録密度を上げて記録容量を増やすのと同等の効果が得
られる。
この場合、記録電極として極端に徽細な形状のものを用
いる必要がないので、製作上有利であり、また記録電極
の寿命を長くすることができる。しかも、この溝をその
まま記録、再生のトラッキング用溝として利用できるこ
とから極めて狭トラツクとなっても正確なトラッキング
が容易となる。
いる必要がないので、製作上有利であり、また記録電極
の寿命を長くすることができる。しかも、この溝をその
まま記録、再生のトラッキング用溝として利用できるこ
とから極めて狭トラツクとなっても正確なトラッキング
が容易となる。
第１図はこの発明の一実施例における記録媒体の半径方
向の断面の一部を示すものである。
向の断面の一部を示すものである。
図に５号いて、記録媒体１０１は半導体層１０２上にパ
ターニングを行なったあとエツチングによりＶ字型の溝
をスパイラル状または同心円状に形成し、この上に第１
の絶縁膜１ｏ３、例えば２０ｙＳ−程度の酸化シリコン
（Ｓｉｎ２）股を形成し、さらにその上に５ｏｏｘ程度
またはそれ以下の厚さのＳｉ３Ｎ４等の電荷蓄積機能を
有する第２の絶縁膜１０４を形成したもので、その表面
には半導体層１０２の表面形状に対応して、吋溝１０６
が形成されている○尚、半導体層１０２の裏面には導電
層１０５が積着される。
ターニングを行なったあとエツチングによりＶ字型の溝
をスパイラル状または同心円状に形成し、この上に第１
の絶縁膜１ｏ３、例えば２０ｙＳ−程度の酸化シリコン
（Ｓｉｎ２）股を形成し、さらにその上に５ｏｏｘ程度
またはそれ以下の厚さのＳｉ３Ｎ４等の電荷蓄積機能を
有する第２の絶縁膜１０４を形成したもので、その表面
には半導体層１０２の表面形状に対応して、吋溝１０６
が形成されている○尚、半導体層１０２の裏面には導電
層１０５が積着される。
第２図は、記録媒体１０１の表面に１０６の溝を形成す
ることによる記録容量の増大効果を説明するためのもの
で、溝１０６の７字の角度をα、溝１０６の対向する壁
面１０６ａ、１０６ｂの幅をｌとした時、ｔをトラック
幅として記録を行なうとすれば、同じトラック幅でＶ字
型の溝を形成しないで平面上に記録した時に比べて記録
容量は１ ／ｓｉｎ （α／２）倍となることがわかる
。
ることによる記録容量の増大効果を説明するためのもの
で、溝１０６の７字の角度をα、溝１０６の対向する壁
面１０６ａ、１０６ｂの幅をｌとした時、ｔをトラック
幅として記録を行なうとすれば、同じトラック幅でＶ字
型の溝を形成しないで平面上に記録した時に比べて記録
容量は１ ／ｓｉｎ （α／２）倍となることがわかる
。
例えば、ｃｔ−９０度とすれば記録容量は５倍、ｃｔ−
６０度とすれば２倍になる。さらに第１図に示すように
溝１０６の相互間にある平坦部１０７を狭くすれば、さ
らに記録容量を増やすことができる。また第３図に示す
ように溝１０６の断面形状は完全なＶ字型をしている必
要はなく、７字の底部が平坦な逆台形状でもかまわない
。
６０度とすれば２倍になる。さらに第１図に示すように
溝１０６の相互間にある平坦部１０７を狭くすれば、さ
らに記録容量を増やすことができる。また第３図に示す
ように溝１０６の断面形状は完全なＶ字型をしている必
要はなく、７字の底部が平坦な逆台形状でもかまわない
。
信号の記録および再生は、針状基体の側面上に電極膜を
被着した記録電極および再生電極を用いて行なうが、そ
の様子を示したのが第４図である。記録媒体１０１の構
成は第１図におけるものと同様である。記録電極４０１
の針状基体４０２の先端は記録媒体１０１上に形成され
たＶ字型の溝１０６の対向する両壁面１０６ａ。
被着した記録電極および再生電極を用いて行なうが、そ
の様子を示したのが第４図である。記録媒体１０１の構
成は第１図におけるものと同様である。記録電極４０１
の針状基体４０２の先端は記録媒体１０１上に形成され
たＶ字型の溝１０６の対向する両壁面１０６ａ。
１０６ｂに接触するようにＶ字型になっている。
そして、この針状基体４０２の移動方向（紙面に直角の
方向）側の側面上に、溝１０６の両壁面１０６ＰＬ、１
０６ｂに対向してそれぞれ独立の電極膜４０３，４０４
が被着されている。電極４０１ｆ上述のような形にする
ことにエリ、記録媒体１０１上の溝１０６をトラッキン
グ用溝としても利用することかできる０ 信号の記録は記録電極４０１の電極膜４０３゜４０４に
記録信号電圧全印加し、記録電極４０１全記録媒体１０
ノに対し、溝１０６に沿って相対的に移動させることに
よって行なわれる。例えば、第５図に示すように記録媒
体１０１上にスパイラル状に溝１０６を形成した場合、
記録媒体１０１全一定方向に回転させ、第４図に示した
ような記録電極４０１を用い、最初は、２つ被着されて
いる電＠ｆＪ４０３ 、４０４のうち例えば４０３を用
いて記録媒体１０１上の溝１０６の始点５０１より溝１
０６の一方の壁面例えばｌ０ｆｙｆＬに記録全行ない、
溝１０６の終点５０２に到達したら、記録電極４０１を
溝１０６の始点５０１に戻し、今度はもう１つの電極膜
４０４の方に記録信号電圧を印加し、溝１０６の他方の
壁面１０６ｂに記録すれば、全面に記録することができ
る。再生も記録電極と同様な再生電極を用い、記録と同
様な手順で行なえばよい。
方向）側の側面上に、溝１０６の両壁面１０６ＰＬ、１
０６ｂに対向してそれぞれ独立の電極膜４０３，４０４
が被着されている。電極４０１ｆ上述のような形にする
ことにエリ、記録媒体１０１上の溝１０６をトラッキン
グ用溝としても利用することかできる０ 信号の記録は記録電極４０１の電極膜４０３゜４０４に
記録信号電圧全印加し、記録電極４０１全記録媒体１０
ノに対し、溝１０６に沿って相対的に移動させることに
よって行なわれる。例えば、第５図に示すように記録媒
体１０１上にスパイラル状に溝１０６を形成した場合、
記録媒体１０１全一定方向に回転させ、第４図に示した
ような記録電極４０１を用い、最初は、２つ被着されて
いる電＠ｆＪ４０３ 、４０４のうち例えば４０３を用
いて記録媒体１０１上の溝１０６の始点５０１より溝１
０６の一方の壁面例えばｌ０ｆｙｆＬに記録全行ない、
溝１０６の終点５０２に到達したら、記録電極４０１を
溝１０６の始点５０１に戻し、今度はもう１つの電極膜
４０４の方に記録信号電圧を印加し、溝１０６の他方の
壁面１０６ｂに記録すれば、全面に記録することができ
る。再生も記録電極と同様な再生電極を用い、記録と同
様な手順で行なえばよい。
また同様にスパイラル状に溝１０６を形成した記録媒体
１０１上に、第６図に示すような記録電極６０１、すな
わち、先端がＶ字型の溝１０６にきっちりはまる↓うに
Ｖ字型全しており、針状基体６０２の移動方向の前側面
と後側面にそれぞれ溝１０６の２つの壁面１０６ａ。
１０１上に、第６図に示すような記録電極６０１、すな
わち、先端がＶ字型の溝１０６にきっちりはまる↓うに
Ｖ字型全しており、針状基体６０２の移動方向の前側面
と後側面にそれぞれ溝１０６の２つの壁面１０６ａ。
１０６ｂの一方づつに接触するように電極膜６０３゜６
０４を被着さぜた記録室ｖｉ６０１ ’ｆｆ：用いて、
記録媒体１０１をまず一方向に回転させ、溝１０６の始
点より例えば電極膜６０３ 愛用いて溝１０６の終点ま
で記録し、次に記録媒体１０１の回転方向を逆転させ、
もう一つの電極膜６０４を用いて溝１０６の始点まで記
録を行なっても全面に記録することができる。再生も同
様な手順で行なえる。
０４を被着さぜた記録室ｖｉ６０１ ’ｆｆ：用いて、
記録媒体１０１をまず一方向に回転させ、溝１０６の始
点より例えば電極膜６０３ 愛用いて溝１０６の終点ま
で記録し、次に記録媒体１０１の回転方向を逆転させ、
もう一つの電極膜６０４を用いて溝１０６の始点まで記
録を行なっても全面に記録することができる。再生も同
様な手順で行なえる。
７、（お、この発明において記録媒体上に形成する溝の
断面形状はＶ字型に限定されず、例えば第７図（ａ）
、 （ｂ）に示すようなＵ字型あるいは半円型等であっ
ても工い０また、溝の全体形状はスパイラル状でなく、
同心円状であってもよい。
断面形状はＶ字型に限定されず、例えば第７図（ａ）
、 （ｂ）に示すようなＵ字型あるいは半円型等であっ
ても工い０また、溝の全体形状はスパイラル状でなく、
同心円状であってもよい。
第１図はこの発明の一実施例における記録條体の半径方
向の断面図、ん２図は同実施例において記録媒体上に断
面Ｖ字型の溝全形成することによる記録容量の増大効果
を・説明するための図、第３図は断面Ｖ字型の溝の変形
パターンを示す図、第４図および第５図は同実施例に、
おいて記録再生を行なう様子を示す断面図および平面図
、第６図（ａ） ｚ （ｂ） ｔ （ｃ）は記録電極（
再生電極）の他の構成例を示す平面図と正面図および側
面図、第７図（ａ） 、 （ｂ）は記録磁体上に形成す
る溝の断面形状の他の例を示す図である。 １０１・・・記録媒体、１０２・・・半導体層、ＩＯ２
・・・第１の絶縁膜、ＩＯ４・・・第２の絶縁膜、１０
５・・・４電層、１０６−・・溝、１０６ａ、ｌ０６ｂ
−・・溝の壁面、４０１，６０１・・・記録電極（再生
電極）、４０２．６０２・・・針状基体、４０３，４０
４゜６０３．６０４・・・電極膜、５０１・゛・溝の始
点、５０２・・・溝の終点。 第１図 第２図 第３図 第４図 第５図
向の断面図、ん２図は同実施例において記録媒体上に断
面Ｖ字型の溝全形成することによる記録容量の増大効果
を・説明するための図、第３図は断面Ｖ字型の溝の変形
パターンを示す図、第４図および第５図は同実施例に、
おいて記録再生を行なう様子を示す断面図および平面図
、第６図（ａ） ｚ （ｂ） ｔ （ｃ）は記録電極（
再生電極）の他の構成例を示す平面図と正面図および側
面図、第７図（ａ） 、 （ｂ）は記録磁体上に形成す
る溝の断面形状の他の例を示す図である。 １０１・・・記録媒体、１０２・・・半導体層、ＩＯ２
・・・第１の絶縁膜、ＩＯ４・・・第２の絶縁膜、１０
５・・・４電層、１０６−・・溝、１０６ａ、ｌ０６ｂ
−・・溝の壁面、４０１，６０１・・・記録電極（再生
電極）、４０２．６０２・・・針状基体、４０３，４０
４゜６０３．６０４・・・電極膜、５０１・゛・溝の始
点、５０２・・・溝の終点。 第１図 第２図 第３図 第４図 第５図
Claims (1)
- 【特許請求の範囲】 （１）半導体層の上に電荷蓄積機能を有する絶縁膜を形
成してなるディスク状の記録媒体と、この記録媒体上を
記録信号電圧が印加された記録電極を相対的に移動せし
めて記録信号電圧に対応した電荷を前記絶縁膜に蓄積す
ることにより信号の記録を行なう記録手段と、前記記録
媒体上を再生電極を相対的に移動せしめて、この再生電
極を介して記録媒体の電気的特性の変化を検出すること
により信号の再生を行なう再生手段と全備えた記録再生
装置において、前記記録媒体上にスパイラル状または同
心円状の溝を形成し、この溝に沿って前記記録電極およ
び再生電極を移動させるようにしたことを特徴とする記
録再生装置０（２）記録電極および再生電極は、先端が
記録媒体上の溝の対向する壁面に接触する形状の針状基
体の移動方向側の、側面」二に、上記溝の対向する両壁
面に対向して、それぞれ独立の電極膜を被着したもので
あることを特徴とする特許請求の範囲第１項記載の記録
再生装置。 （３）記録媒体上に形成された溝の断面形状はＶ字型で
あることを特徴とする特許請求の範囲第１項記載の記録
再生装置。
Priority Applications (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP20960382A JPS59101044A (ja) | 1982-11-30 | 1982-11-30 | 記録再生装置 |
Applications Claiming Priority (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP20960382A JPS59101044A (ja) | 1982-11-30 | 1982-11-30 | 記録再生装置 |
Publications (1)
| Publication Number | Publication Date |
|---|---|
| JPS59101044A true JPS59101044A (ja) | 1984-06-11 |
Family
ID=16575541
Family Applications (1)
| Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
|---|---|---|---|
| JP20960382A Pending JPS59101044A (ja) | 1982-11-30 | 1982-11-30 | 記録再生装置 |
Country Status (1)
| Country | Link |
|---|---|
| JP (1) | JPS59101044A (ja) |
-
1982
- 1982-11-30 JP JP20960382A patent/JPS59101044A/ja active Pending
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