JPS59101317A - 内周刃切断装置 - Google Patents

Abstract

(57)【要約】本公報は電子出願前の出願データであるた
め要約のデータは記録されません。

Description

【発明の詳細な説明】 〔発明の技術分野〕 本発明は、主として半導体インゴットよシウェハを切断
するための内周刃切断装置に関する。

〔発明の技術的背景とその問題点〕

従来の内周刃切断装置は、第１図に示すように、内周部
に内周刃（１）を有するブレード（２）と、このブレー
ド（２）の外周部をブレード取付部（３）にて水平に保
持する皿形のブレード回転部（４）とからなっている。

このブレード回転部（４）は、このブレード回転部（４
）に同軸に連結された中空主軸（５）を中心に回転し、
この中空主軸（５）の内側には非回転の受皿（６）が配
設されている。被切断物である半導体インゴット（力は
、回転するブレード（２）の内周刃（１）に接して矢印
（８）方向に送シ移動することによ多切断が行われる。

切断されたウェハ（９）は、一部を切残され接着材ａＱ
に保持された状態で回収される。しかるに、ウェハ（９
）の反しが大きくなったシ、プレート責２）の内周刃（
１）の切れ味が悪くなると、ウェハ（９）の切断終了時
若しくは切断途中で、ウェハ（９）が割れたシ、接着材
部から剥離すると、ブレード（２）の回転による遠心力
で、ウェハ（９）がブレード回転部（４）に飛ばされて
小片に粉砕され、ブレード回転部（４）の内壁部に付着
・堆積する。まだ、切断の際に生じる切屑は、冷却液用
ノズル（図示せず）によ多切断局部に供給される冷却液
によ如一部は流出されるが、大部分は、上記ウェハ（９
）の小片と同様に、ブレード回転部（４）の内壁部に付
着・堆積する。この堆積物が多くなるとブレード回転部
（４）の中空主軸（５）の回転動バランスが悪化する。

その結果、切断機の各部に異なるモードの振動を誘発し
、切断面の擾乱及びウェハ（９）の破損等の種々の問題
を惹起する。

したがって、従来においては、ブレード回転部（４）か
ら受皿（６）を分解し、堆積物除去のための清掃を適時
に行う必要があった。しかし、このような分解清掃作業
は、極めて煩雑かつ非能率であるので、堆積物を迅速か
つ確実に除去できる内周刃切断装置が要望されていた。

〔発明の目的〕

本発明は、上記事情を参酌してなされたもので、半導体
インゴットの切断時に発生した切屑や破損片がブレード
回転部内壁に堆積することを防止して、主軸回転系の動
バランスの低下することのない内周刃切断装置を提供す
ることを目的とする。

〔発明の概要〕

ブレード回転部内壁に対向する吸入孔を受皿に設け、こ
の吸入孔を経由して、吸入機構によシブレード回転部内
壁に堆積した切屑及びブレードの破片を除去するように
したものである。

〔発明の実施例〕

以下、本発明を図面を参照して、実施例に基づいて詳述
する。

第２図は、本実施例の内周刃切断装置の要部を示してい
る。被切断部である半導体インゴットαυは、棒状の接
着材ａ湯により外周面の一部を軸方向に支持されている
。さらに、この接着材（１つは、図示せぬ支持機構によ
シ上下動（第２図矢印人方向）自在及び左右動（第２図
矢印Ｂ方向）自在に支持されている。一方、接着材（ｌ
ａの下方には、内周部に内周刃（１′５を有する円環状
のブレードＱ４）と、このブレードＱ４）の外周部をブ
レード取付部ａＱにて水平に保持する皿形のブレード回
転部ａＱとが配設されている。このブレード回転部αｅ
の底部は、中空主軸（１′０の一端部に同軸に連結され
て中空主軸αηの中空部が開口し、この中空主軸（１７
）の他端部は図示せぬ回転部Ｉｊｈ機構に連結されてい
る。上記ブレード回転部ＱｌＧの内側には、非回転の受
皿Ｑ樽がブレード回転ｓ四と同軸に配設されている。こ
の受皿（１８は、その底部を案内管（１１の一端部によ
シ支持されている。この案内管（１１は、中空主軸Ｈの
内部に、この中空主軸Ｑｌとほぼ同軸に挿入されている
。さらに、受皿α樽の側壁には、第３図に示すような吸
入孔−が設けられている。この吸入孔（至）には、可撓
性の吸入管ｆ２］）の一方の開口端部が接続されている
。この吸入管Ｑυの本体は、案内管０の内部を案内され
るとともに、吸入管Ｃυの他方の開口端部は、グレード
回転部（１１からは離間して設置されている図示せぬ減
圧装置に接続されている。また、受皿α樟の側壁には、
吸入孔−に近接して、開閉体（社）が矢印（至）方向に
回動自在に軸支されている。この開閉体（ハ）は、受皿
Ｑｌの側壁と等しい曲率に形成され側壁に密着する密着
板（２２ａ）と、この密着板（２２ａ）にほぼ直交し受
皿（ハ）の底部に対向する三角形状の係合板（２２ｂ）
とからなっている。上記密着板（２２ａ）は、金属基材
の上にセラミック粒子やダイヤモンド粒子が電着される
ことによシ、耐磨耗性が強化されている。一方、ブレー
ド回転部Ｏｅの底部と受皿賭との間には、この底部に突
設されたビン（２４）に回動自在にエア・シリンダ（ハ
）が支承されている。

このエア・シリンダ（ハ）のピストン・ロッド（至）の
先端は連結子（５）を介して、係合板（２２ｂ）の頂部
に連結されている。そして、ピストン・ロッド（イ）の
軸方向の進退運動によ）密着板（２２ａ）が吸入孔（至
）を開閉できるようになっている。上記エア・シリンダ
（ハ）に空気を供給するだめの給気管（ハ）は、エア・
シリンダＱ５）より案内管Ｑｌ中を案内されて、ブレー
ド回転部αＱからは離間して設置されている図示せてい
る。そして、エア・シリンダ（ハ）により吸入孔−が開
状態になるように回動した保合板（２２ｂ）が上記ピン
翰によシ係止され、密着板（２２ａ　）がプレ−ド回転
部Ｕｔｉｌの内壁面に接触しないように、開閉体（２々
の回動量が規制されている。

つぎに、上記構成の内周刃切断装置の作動について説明
する。エア・シリンダ（２喝のピストン串ロッド（イ）
を後退させ、開閉体０２の密着板（２２ａ）を受皿ｔｉ
ｓの外周向に密着させ吸入孔端を閉状態にする。

この状態で、中空主軸（１７）を回転駆動して、ブレー
ド回転部αｅを第３図矢印Ｃ方向に回転させるとともに
、半導体インゴットαυ側を矢印Ｂ方向に送り移動させ
る。すると、ブレード（１４）の内周刃Ｑ３にょ夛半導
体インゴッ）Ｑυが切断され、ウェハ（至）が得られる
。かくて、切断を長時間にわたって行うと、切屑及びウ
ェハ（至）が破砕したときの破片がブレード回転部Ｑ０
の内壁に堆積物０１）として付着する。そこで、ブレー
ド回転部ｔｌｂ’）の回転を停止させた状態で、エア・
シリンダ（２最のピストン・ロッド（イ）を前進させ、
開閉体Ｃつを係合板（２２ｂ）がビン翰により係止され
るまで回動させる。しかして、吸入管ｔ、２］）が接続
されている減圧装置を作動させ、吸入孔端よシ吸気する
。これにともない堆積物０υも吸入孔端よりｇ３図矢印
り方向に吸い込まれる。この吸入作業とともに、ブレー
ド回転部０６）を手で回転させ、ブレード回転部ｔｔｔ
ｉの内壁全周部にわたって堆積物０１）の除去を行う。

このようにして、堆積物０１）は、ブレード回転部（Ｉ
Ｇより排出される。その結果、回転系主軸のバランスが
悪化することなく、常に円滑なブレード回転部（１６）
の回転を維持することができる。

なお、上記実施例においては、牧人孔翰の数は１個であ
るが、場合によっては、たとえば受皿ａ槌の側壁に等配
して３個設けるというように、適宜増加してよい。また
、吸入孔（瀉の穿設位置についても受皿賭の側壁に限る
ことなく、底部に設けてよい。さらに、かならずしも吸
入孔Ｕｎを開閉体（２りによ）開閉する必要はなく、開
閉体０鐵を設けずして、吸入孔（イ）を常時開口状態に
してもよい。また、堆積物６１）の吸入は、ブレード回
転部ｕｅの回転中、すなわち切断作業中に行ってもよい
。さらにまた、切断装置Ｋ例えば圧１Ｍ素子などの振動
検出子を取付け、堆積物Ｃ３１）の大量付着に基因して
発生した異常振動を検出して吸入孔１２１から堆積物０
１）を吸入するようにしてもよい。すなわち、第４図に
示すように振動検出子Ｃ３２１からの検出信号ＳＡは、
増幅器（ハ）にて検出信号８（３に増幅され、この検出
信号は、比較器Ｃ１４）にて設定値と比較され、異常の
有無判定がなされる。しかして、検出信号ＳＢが異常で
あると判定されると、信号ＳＣが−ｔ４ｒ、磁弁駆動回
路（至）に出力され、この電磁弁駆動回路０５１からの
駆動信号ＳＤによシミ磁弁（（４）が作動して、エア・
シリンダ（ハ）が起動し、開閉体（２ｚが回動して、吸
入孔ｔ２１から堆積物（３１）が吸入・排出されるよう
にする。これによシ、堆積物Ｃ３１）の除去を自動化す
ることができる。

〔発明の効果〕

本発明の内周刃切断装置は、受皿に設けた吸入孔よシブ
レード回転部内壁に堆積した切屑やブレードの破片など
からなる堆積物を迅速かつ確実に吸入・排出するように
したので、回転系主軸の回転動バランスが悪化すること
がなく、常に円滑なブレード回転部の回転を維持するこ
とができる。

したがって、回転動バランスの悪化によ多発生する異常
振動により切断面が擾乱してウェハの表向があれたり、
ウェハの破損を招いたシすることがなくなる。しかも、
堆積物除去のために分解清掃する必要がなくなるので、
切断加工工程が合理化される。

【図面の簡単な説明】

第１図は従来の内周刃切断装置の狭部を示す断面図、第
２図は本発明の一実施例の内周刃切断装置の要部を示す
断面図、第３図は第２図における吸入孔近傍の拡大斜視
図、第４図は本発明の他の実施例の内周刃切断装置の電
気回路系統図であるα階：内周刃、　　　　　（ｌ養ニ
ゲレード。 （ｌｅ　ニブレード回転部、　　　（１７）：中全主軸
。 α樽：受　皿、　　　　　　（１１：案内管。 Ｃυ：吸入管、　　　　　０υ：堆積物。 代理人　弁理士　　則　近　憲　佑 （１１か１名） 了　１０ 輩　２　図 ず３図 頁４　図

Claims (1)

【特許請求の範囲】
1. 皿形のブレード回転部と、このグレード回転部に外周部
   が保持され内周部に内周刃が設けられたブレードと、上
   記ブレード回転部の底部に同軸に連結された中空主軸と
   、この中空主軸を回転駆動する回転駆動機構と、上記中
   空主軸中に挿設された案内・Ｑと、この案内管の一端部
   に上記案内管の中空部が開口して連結され上記ブレード
   回転部中に配設された受皿と、上記案内管中に挿設され
   るとともに一方の開口端部が上記ブレード回転部の内壁
   に対向して上記受皿に取付けられた吸入管と、上記吸入
   管の他方の開口端部が接続され上記吸入管の一方の開口
   端部から上記ブレード回転部の内壁に付着した堆積物を
   吸入除去する減圧装置とを具備することを特徴とする内
   周刃切断装置。