JPS59103430U - ベ−ク炉 - Google Patents
ベ−ク炉Info
- Publication number
- JPS59103430U JPS59103430U JP19752282U JP19752282U JPS59103430U JP S59103430 U JPS59103430 U JP S59103430U JP 19752282 U JP19752282 U JP 19752282U JP 19752282 U JP19752282 U JP 19752282U JP S59103430 U JPS59103430 U JP S59103430U
- Authority
- JP
- Japan
- Prior art keywords
- support legs
- heater
- furnace body
- guide plate
- bake oven
- Prior art date
- Legal status (The legal status is an assumption and is not a legal conclusion. Google has not performed a legal analysis and makes no representation as to the accuracy of the status listed.)
- Pending
Links
Landscapes
- Vertical, Hearth, Or Arc Furnaces (AREA)
Abstract
(57)【要約】本公報は電子出願前の出願データであるた
め要約のデータは記録されません。
め要約のデータは記録されません。
Description
第１図及び第２図はこの発明の一実施例を示す図で、第
１図は部分断面を示す斜視図、第２図は断面図、第３図
及び第４図は従来例を示す図で、第３図は斜視図、第４
図は断面図である。
１図は部分断面を示す斜視図、第２図は断面図、第３図
及び第４図は従来例を示す図で、第３図は斜視図、第４
図は断面図である。
Claims (1)
- 筒状をなす炉本体の天井部にヒータープレート等のヒー
タを配し、炉本体の底部に支持脚を設け、この支持脚上
に長手方向にもたる案内板を長手方向側壁との間に間隔
を設けて配し、この案内板の上方にウェーハを支持する
ベルト（チェーンを含む）を配し、案内板は長手方向両
側から中央にかけて上面側に膨出するよう形成し、案内
板の長手方向両側部において炉本体の底面から側壁部に
かけて案内補助板を傾斜配設して成るベーク炉。
Priority Applications (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP19752282U JPS59103430U (ja) | 1982-12-28 | 1982-12-28 | ベ−ク炉 |
Applications Claiming Priority (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP19752282U JPS59103430U (ja) | 1982-12-28 | 1982-12-28 | ベ−ク炉 |
Publications (1)
| Publication Number | Publication Date |
|---|---|
| JPS59103430U true JPS59103430U (ja) | 1984-07-12 |
Family
ID=30422925
Family Applications (1)
| Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
|---|---|---|---|
| JP19752282U Pending JPS59103430U (ja) | 1982-12-28 | 1982-12-28 | ベ−ク炉 |
Country Status (1)
| Country | Link |
|---|---|
| JP (1) | JPS59103430U (ja) |
-
1982
- 1982-12-28 JP JP19752282U patent/JPS59103430U/ja active Pending
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