JPS59113676A - ガスレ−ザ装置 - Google Patents
ガスレ−ザ装置Info
- Publication number
- JPS59113676A JPS59113676A JP57224329A JP22432982A JPS59113676A JP S59113676 A JPS59113676 A JP S59113676A JP 57224329 A JP57224329 A JP 57224329A JP 22432982 A JP22432982 A JP 22432982A JP S59113676 A JPS59113676 A JP S59113676A
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- JP
- Japan
- Prior art keywords
- pulse
- oscillation
- voltage
- high voltage
- stopping
- Prior art date
- Legal status (The legal status is an assumption and is not a legal conclusion. Google has not performed a legal analysis and makes no representation as to the accuracy of the status listed.)
- Pending
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Classifications
-
- H—ELECTRICITY
- H01—ELECTRIC ELEMENTS
- H01S—DEVICES USING THE PROCESS OF LIGHT AMPLIFICATION BY STIMULATED EMISSION OF RADIATION [LASER] TO AMPLIFY OR GENERATE LIGHT; DEVICES USING STIMULATED EMISSION OF ELECTROMAGNETIC RADIATION IN WAVE RANGES OTHER THAN OPTICAL
- H01S3/00—Lasers, i.e. devices using stimulated emission of electromagnetic radiation in the infrared, visible or ultraviolet wave range
- H01S3/09—Processes or apparatus for excitation, e.g. pumping
- H01S3/097—Processes or apparatus for excitation, e.g. pumping by gas discharge of a gas laser
Landscapes
- Physics & Mathematics (AREA)
- Electromagnetism (AREA)
- Engineering & Computer Science (AREA)
- Plasma & Fusion (AREA)
- Optics & Photonics (AREA)
- Lasers (AREA)
Abstract
(57)【要約】本公報は電子出願前の出願データであるた
め要約のデータは記録されません。
め要約のデータは記録されません。
Description
【発明の詳細な説明】
産業上の利用分野
本発明は、ガスをレーザ発振媒質とした加工用。
医療用および計測用のガスレーザ装置に関するものであ
る。
る。
従来例の構成とその問題点
一般にガスレーザ装置には連続的発振と矩形波パルス信
号を用いて発振状態を調整し、パルス的発振としたパル
ス発振の二つの発振系体がある。
号を用いて発振状態を調整し、パルス的発振としたパル
ス発振の二つの発振系体がある。
レーザ発振に際しては、発振器内に高電圧を印加するこ
とにより一般に第１図に示すような電圧−電流特性で表
わされている。一般に特性は垂下特性を示し、放電を開
始するには動作圧力によシ差はあるが、かなりの高電圧
が必要であり（例えは連続発振時：開始電圧３６ ｋｖ
／ｍ、 動作圧力４（）Ｔｏｒｒ）、一度放電し、放
電電流が流れると放電管両端の放電維持電圧まで低下す
る。そして高電圧電源１の電圧と放電管２の放電維持電
圧との差分はリアクトル、抵抗３．真空管４により電圧
維持を行わせる構成か一般に用いられている。
とにより一般に第１図に示すような電圧−電流特性で表
わされている。一般に特性は垂下特性を示し、放電を開
始するには動作圧力によシ差はあるが、かなりの高電圧
が必要であり（例えは連続発振時：開始電圧３６ ｋｖ
／ｍ、 動作圧力４（）Ｔｏｒｒ）、一度放電し、放
電電流が流れると放電管両端の放電維持電圧まで低下す
る。そして高電圧電源１の電圧と放電管２の放電維持電
圧との差分はリアクトル、抵抗３．真空管４により電圧
維持を行わせる構成か一般に用いられている。
なお、５はパルス信号を印加する入力端子である（第２
図参照）ｅ、第１図において、ａは電源電圧特性曲線、
ｂは放電特性曲線、Ｃは放電開始電圧を示す。連続的発
振の場合は、動作電流が一定となれは、放電維持電圧も
一定となり、電源電圧としても放電開始電圧と同程度電
圧で良く問題はないが、パルス的発振を必要とする場合
は断続的発振を繰返すたびに動作電圧−電流特性上は無
負荷電流状態（放電開始電圧Ｃ）から動作電流状態（動
作電流状態における放電維持電圧）′！！’で特性線す
上を移動していることになり、高速での断続的発振（０
，１ｍＳ程度）になるとりアクドル分による放電の遅れ
および断続時の停止が長くなったとき（例えは０．１
ｍｓ発振１００ｍ５停止）では発振が不確実になりやす
い欠点を有し、パルス発振動作を確実に行えない問題を
有していた。
図参照）ｅ、第１図において、ａは電源電圧特性曲線、
ｂは放電特性曲線、Ｃは放電開始電圧を示す。連続的発
振の場合は、動作電流が一定となれは、放電維持電圧も
一定となり、電源電圧としても放電開始電圧と同程度電
圧で良く問題はないが、パルス的発振を必要とする場合
は断続的発振を繰返すたびに動作電圧−電流特性上は無
負荷電流状態（放電開始電圧Ｃ）から動作電流状態（動
作電流状態における放電維持電圧）′！！’で特性線す
上を移動していることになり、高速での断続的発振（０
，１ｍＳ程度）になるとりアクドル分による放電の遅れ
および断続時の停止が長くなったとき（例えは０．１
ｍｓ発振１００ｍ５停止）では発振が不確実になりやす
い欠点を有し、パルス発振動作を確実に行えない問題を
有していた。
発明の目的
本発明は、パルス的断続発振機構を有するガスレーザ装
置がパルス発振を行う際、設定された発振、停止信号に
同期されたパルス発振を確実に行わせることを目的とし
たものである。
置がパルス発振を行う際、設定された発振、停止信号に
同期されたパルス発振を確実に行わせることを目的とし
たものである。
発明の構成
そのだめの構成として、本発明はパルス信号を増幅する
パルス変圧器を設け、このパルス変圧器の出力電圧を高
電圧電源に付加し、直流高電圧にパルス発振信号と同期
した高電圧パルス電圧を重畳させる回路を設けたもので
ある。この構成により、無負荷時（放電開始時）のみ電
源電圧を高くし、放電開始を確実化することができるも
のである。
パルス変圧器を設け、このパルス変圧器の出力電圧を高
電圧電源に付加し、直流高電圧にパルス発振信号と同期
した高電圧パルス電圧を重畳させる回路を設けたもので
ある。この構成により、無負荷時（放電開始時）のみ電
源電圧を高くし、放電開始を確実化することができるも
のである。
実施例の説明
以下、本発明の実施例につき第３図〜第６図に沿って説
明する。１は従来同様の高電圧電源で、タイオードをブ
リッジ結線とし直流高電圧電源としている。２，５は従
来同様の放電管およびパルス信号端子、３，４はそれぞ
れ従来同様の抵抗。
明する。１は従来同様の高電圧電源で、タイオードをブ
リッジ結線とし直流高電圧電源としている。２，５は従
来同様の放電管およびパルス信号端子、３，４はそれぞ
れ従来同様の抵抗。
真空管で、放電電流を一定とした場合の放電維持電圧と
電源電圧との差分がこの両者に加わっている。そしてパ
ルス信号端子已にパルス発振、停止をつかさどるパルス
信号を入れることによりトランジスタをスイッチングさ
′せ１発振をパルス的に発振、停止を繰返えさせている
が、このパルス信号を同時にトランジスタにより電流電
圧ともに増幅し、さらにパルス変圧器６を高電圧電源１
の電源電圧に重脣訟せて結線することにより、放電開始
電圧より、かなり高い電圧を放電起動時に印加するもの
である。これにより非常に早いパルスの発振、停止（例
えば０．１ ｍｓ ＯＮ、 −０，１ｍｓ ０ＦＦ）な
らびに停止が長い場合（例えは０．１ｍ５ＯＮ−１００
ｍｓ ＯＦＦ ）においても、起動遅れ、起動不良など
がなく、確実に発振、停止を繰返えすことができる。な
お実施例においては、このパルス高電圧は電源電圧よシ
もｃｓＫＶ〜１ｏＫｖ高くなるように設計すると効果が
犬であった。なお、第４図において、ｄは電源電圧特性
曲線、ｅは放電特性曲線、量は放電開始電圧、ｑはパル
ス電圧重畳による無負荷時の高圧電圧を示す。
電源電圧との差分がこの両者に加わっている。そしてパ
ルス信号端子已にパルス発振、停止をつかさどるパルス
信号を入れることによりトランジスタをスイッチングさ
′せ１発振をパルス的に発振、停止を繰返えさせている
が、このパルス信号を同時にトランジスタにより電流電
圧ともに増幅し、さらにパルス変圧器６を高電圧電源１
の電源電圧に重脣訟せて結線することにより、放電開始
電圧より、かなり高い電圧を放電起動時に印加するもの
である。これにより非常に早いパルスの発振、停止（例
えば０．１ ｍｓ ＯＮ、 −０，１ｍｓ ０ＦＦ）な
らびに停止が長い場合（例えは０．１ｍ５ＯＮ−１００
ｍｓ ＯＦＦ ）においても、起動遅れ、起動不良など
がなく、確実に発振、停止を繰返えすことができる。な
お実施例においては、このパルス高電圧は電源電圧よシ
もｃｓＫＶ〜１ｏＫｖ高くなるように設計すると効果が
犬であった。なお、第４図において、ｄは電源電圧特性
曲線、ｅは放電特性曲線、量は放電開始電圧、ｑはパル
ス電圧重畳による無負荷時の高圧電圧を示す。
また本実施例では第３図に示すように、パルス電圧の一
端は直流高電圧の一端と接続しているが、これは第５図
のように一端全接続せず、直流高電圧の低圧端と同程度
電圧とし、パルス変圧器６を直流高電圧より５〜１０Ｋ
ｖ高い電圧発生変圧器、となるように設計されたものを
用いても同一の効果を得ることかできる。
端は直流高電圧の一端と接続しているが、これは第５図
のように一端全接続せず、直流高電圧の低圧端と同程度
電圧とし、パルス変圧器６を直流高電圧より５〜１０Ｋ
ｖ高い電圧発生変圧器、となるように設計されたものを
用いても同一の効果を得ることかできる。
発明の効果
本発明によれは、高１圧電源に／＜ルス信号ｆｆ：増巾
したパルス電圧全重畳することによりパルス発振を確実
化することができる優れた効果を奏するものである。
したパルス電圧全重畳することによりパルス発振を確実
化することができる優れた効果を奏するものである。
第１図は従来のガスレーザ装置における電源電圧および
放電特性を示す特性図、第２図は従来のカスレーザ装置
の起動回路図、第３図は本発明のガスレーザ装置の実施
例を示す起動回路図、第４図はその電源電圧および放電
特性図、第５図は本発明の他の実施例を示す起動回路図
である。 １・・・・・・高電圧電源、２・・・・・・放電管、３
・・・・・・抵抗。 ４・・・・・・真空管、６・・・・・・入力端子、６・
・・・・・パルス変圧器。 代理人の氏名 弁理士 中 尾 敏 男 ほか１名第１
図 第２図 ？ 第３図 第 ５ 図 故先背慎 手続補正書 昭和６８年７ 月２ｚ口 特許庁長官殿 １事件の表示 昭和６７年特許願第２２４３２９ 号 ２発明の名称 ガスレーザ装置 ３補正をする者 事１７１との関係 特 許 出 願
人任 所 大阪府門真市大字門真１００６番地名
称 （５８２）松下電器産業株式会社代表考
山 下 俊 彦４代理人 〒５７１ 住 所 大阪府門真市大字門真１００６番地松下電器
産業株式会社内 〔連絡先、Ｌｌ；占（東原）４３７−１１２１東Ｊバ法
規分室」第２図 ？ 第３図 第 ５ 口
放電特性を示す特性図、第２図は従来のカスレーザ装置
の起動回路図、第３図は本発明のガスレーザ装置の実施
例を示す起動回路図、第４図はその電源電圧および放電
特性図、第５図は本発明の他の実施例を示す起動回路図
である。 １・・・・・・高電圧電源、２・・・・・・放電管、３
・・・・・・抵抗。 ４・・・・・・真空管、６・・・・・・入力端子、６・
・・・・・パルス変圧器。 代理人の氏名 弁理士 中 尾 敏 男 ほか１名第１
図 第２図 ？ 第３図 第 ５ 図 故先背慎 手続補正書 昭和６８年７ 月２ｚ口 特許庁長官殿 １事件の表示 昭和６７年特許願第２２４３２９ 号 ２発明の名称 ガスレーザ装置 ３補正をする者 事１７１との関係 特 許 出 願
人任 所 大阪府門真市大字門真１００６番地名
称 （５８２）松下電器産業株式会社代表考
山 下 俊 彦４代理人 〒５７１ 住 所 大阪府門真市大字門真１００６番地松下電器
産業株式会社内 〔連絡先、Ｌｌ；占（東原）４３７−１１２１東Ｊバ法
規分室」第２図 ？ 第３図 第 ５ 口
Claims (1)
- ガスをレーザ発振媒質としてパルス的断続発振機構を有
するガスレーザ装置を構成し、ノ（ルス発振、停止をつ
かさどるパルス信号を増幅する。＜レス変圧器を設け、
このパルス変圧器の出力電圧をレーザガス励起、発振用
の高電圧電源に付加し、直流高電圧にパルス発振信号と
同期した高電圧）（ルス電圧を重畳させる回路を高電圧
電源と放電管の間に接続したガスレーザ装置。
Priority Applications (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP57224329A JPS59113676A (ja) | 1982-12-20 | 1982-12-20 | ガスレ−ザ装置 |
Applications Claiming Priority (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP57224329A JPS59113676A (ja) | 1982-12-20 | 1982-12-20 | ガスレ−ザ装置 |
Publications (1)
| Publication Number | Publication Date |
|---|---|
| JPS59113676A true JPS59113676A (ja) | 1984-06-30 |
Family
ID=16812045
Family Applications (1)
| Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
|---|---|---|---|
| JP57224329A Pending JPS59113676A (ja) | 1982-12-20 | 1982-12-20 | ガスレ−ザ装置 |
Country Status (1)
| Country | Link |
|---|---|
| JP (1) | JPS59113676A (ja) |
Cited By (1)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| FR2575010A1 (fr) * | 1984-12-19 | 1986-06-20 | Sp K Bjur | Bloc d'alimentation pour laser pulse a decharge electrique |
-
1982
- 1982-12-20 JP JP57224329A patent/JPS59113676A/ja active Pending
Cited By (1)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| FR2575010A1 (fr) * | 1984-12-19 | 1986-06-20 | Sp K Bjur | Bloc d'alimentation pour laser pulse a decharge electrique |
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