JPS59113714U - 流速・流量検出装置 - Google Patents

流速・流量検出装置

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JPS59113714U
JPS59113714U JP1983006361U JP636183U JPS59113714U JP S59113714 U JPS59113714 U JP S59113714U JP 1983006361 U JP1983006361 U JP 1983006361U JP 636183 U JP636183 U JP 636183U JP S59113714 U JPS59113714 U JP S59113714U
Authority
JP
Japan
Prior art keywords
flow rate
ceramic plate
detection device
recess
vortex generator
Prior art date
Legal status (The legal status is an assumption and is not a legal conclusion. Google has not performed a legal analysis and makes no representation as to the accuracy of the status listed.)
Pending
Application number
JP1983006361U
Other languages
English (en)
Inventor
照史 岩田
妹尾　良夫
Original Assignee
トキコ株式会社
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Filing date
Publication date
Application filed by トキコ株式会社 filed Critical トキコ株式会社
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Abstract

(57)【要約】本公報は電子出願前の出願データであるた
め要約のデータは記録されません。

Description

【図面の簡単な説明】
、　　　第１・、図乃至第３図は先願に係る流速・流量
検出装置を示し、第１図は一部を破断にした全体図、第
２図は第１図中の■−■線に沿う断面図、第３図は同じ
く第１図中の■−■線に沿う断面図、第４図は本願考案
に係る流速・流量検出装置を示す第３図と同様の断面図
である。 １・・・渦発生体、１４．１５・・・凹部、１６・・・
連通穴、１７．１８・・・ダイアフラム式電極、２３゜
：　　２４・・・対向電極、３１．３２・・・セラミッ
ク板、３５．３６・・・スペーサ、３９．４０・・・ね
じ。

Claims (1)

    【実用新案登録請求の範囲】
  1. 側面に凹部が形成された渦発生体と、前記凹部を覆うよ
    うに該渦発生体に取付けられたダイアフラム式電極と、
    前記凹部内に設けられ該ダイアプラム式電極と対向する
    表面に対向電極を有するセラミック板と、該セラミック
    板と前記凹部底面との間に介在されたスペーサと、前記
    セラ（ツク板を固定するための該スペーサを貫通して前
    記渦発生体に螺着されたねじとを有し、かつ前記スペー
    サは前記ねじの線膨張係数よりも大なる線膨張係数を有
    する材料を用いたことを特徴とする流速・流量検出装置
    。
JP1983006361U 1983-01-20 1983-01-20 流速・流量検出装置 Pending JPS59113714U (ja)

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JP1983006361U JPS59113714U (ja) 1983-01-20 1983-01-20 流速・流量検出装置

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JPS59113714U true JPS59113714U (ja) 1984-08-01

Family

ID=30137918

Family Applications (1)

Application Number Title Priority Date Filing Date
JP1983006361U Pending JPS59113714U (ja) 1983-01-20 1983-01-20 流速・流量検出装置

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