JPS5911687A - 太陽電池 - Google Patents

太陽電池

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Publication number
JPS5911687A
JPS5911687A JP57122511A JP12251182A JPS5911687A JP S5911687 A JPS5911687 A JP S5911687A JP 57122511 A JP57122511 A JP 57122511A JP 12251182 A JP12251182 A JP 12251182A JP S5911687 A JPS5911687 A JP S5911687A
Authority
JP
Japan
Prior art keywords
diffusion layer
solar cell
light
type diffusion
paste
Prior art date
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Pending
Application number
JP57122511A
Other languages
English (en)
Inventor
Toshihiro Nakajima
中嶋 利廣
Current Assignee (The listed assignees may be inaccurate. Google has not performed a legal analysis and makes no representation or warranty as to the accuracy of the list.)
Mitsubishi Electric Corp
Original Assignee
Mitsubishi Electric Corp
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Filing date
Publication date
Application filed by Mitsubishi Electric Corp filed Critical Mitsubishi Electric Corp
Priority to JP57122511A priority Critical patent/JPS5911687A/ja
Publication of JPS5911687A publication Critical patent/JPS5911687A/ja
Pending legal-status Critical Current

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Classifications

    • H—ELECTRICITY
    • H10—SEMICONDUCTOR DEVICES; ELECTRIC SOLID-STATE DEVICES NOT OTHERWISE PROVIDED FOR
    • H10F—INORGANIC SEMICONDUCTOR DEVICES SENSITIVE TO INFRARED RADIATION, LIGHT, ELECTROMAGNETIC RADIATION OF SHORTER WAVELENGTH OR CORPUSCULAR RADIATION
    • H10F77/00—Constructional details of devices covered by this subclass
    • H10F77/20—Electrodes
    • H10F77/206—Electrodes for devices having potential barriers
    • H10F77/211—Electrodes for devices having potential barriers for photovoltaic cells
    • Y—GENERAL TAGGING OF NEW TECHNOLOGICAL DEVELOPMENTS; GENERAL TAGGING OF CROSS-SECTIONAL TECHNOLOGIES SPANNING OVER SEVERAL SECTIONS OF THE IPC; TECHNICAL SUBJECTS COVERED BY FORMER USPC CROSS-REFERENCE ART COLLECTIONS [XRACs] AND DIGESTS
    • Y02—TECHNOLOGIES OR APPLICATIONS FOR MITIGATION OR ADAPTATION AGAINST CLIMATE CHANGE
    • Y02E—REDUCTION OF GREENHOUSE GAS [GHG] EMISSIONS, RELATED TO ENERGY GENERATION, TRANSMISSION OR DISTRIBUTION
    • Y02E10/00—Energy generation through renewable energy sources
    • Y02E10/50—Photovoltaic [PV] energy

Landscapes

  • Photovoltaic Devices (AREA)

Abstract

(57)【要約】本公報は電子出願前の出願データであるた
め要約のデータは記録されません。

Description

【発明の詳細な説明】 この発明は光電変換効率を向上することができる太陽電
池に関するものである。
第1図は従来のシリコン単結晶太陽電池の概要構成を示
す断面図である。同図において、(1)は例えば500
μm程度の厚さのP形シリコンの半導体基板、(2)は
この半導体基板(1)の一方の主面上に受光面を形成す
るため、n形不純物を浅く拡散して、0.3〜0.5/
1m程度の厚さに形成したn膨拡散層、(3)はこ環元
面を形成するn膨拡散層(2)からマイナス電位を取シ
出すため、300μm程度の幅で4〜5rn?It間隔
で例えばAgペーストをスクリーン印刷で形成したグリ
ッド電極、(4)は半導体基板(1)の他方の主面上に
設けて、プラス電位を取シ出す裏面電極、(5)は受光
面を形成するn膨拡散層(2)上に設けた光反射防止膜
である。
次に上記構成による太陽電池の製造工程について簡単に
説明する。まず、500μm程度の厚さのP形シリコン
単結晶の半導体基板(1)の一方の主面にn形不純物を
浅く拡散して、0.3〜0,5μm程度のn膨拡散層(
2)を形成して受光面とする。そして、このn膨拡散層
(2)に例えばAgペーストをスクリーン印刷して、4
〜5 rnm間隔に30μm程度の幅のグリッド電極(
3)を形成すると共に半導体基板(1)の裏面全体に例
えばAg−Alペーストをスクリーン印刷して、裏面電
極(4)を形成する。そして、大気中で、700°C〜
750°Cのベルト焼成炉で30秒程度焼成する。そし
て、n膨拡散層(2)上にTLO,。
Ta205などの反射防止膜(5)を形成する。
なお、このようにして製造した太陽電池の受光面にAM
I相当の光をあてたときの暗電流曲線(イ)および光照
射時でのV−I特性曲線(ロ)を第3図に示す。
しかしながら、従来の太陽電池ではグリッド電極(3)
を大気中で焼成するため、n膨拡散層(2)とのオーミ
ック性が悪(、V−I特性および光電変換効率が悪いと
いう欠点があった。
したがって、この発明の目的はグリッド電極のn膨拡散
層とのオーミック性を良好にして、■−■特性および光
電変換効率を大幅に改善することができる太陽電池を提
供するものである。
このような目的を達成するため、この発明は少なくとも
、受光面側の電極を、Tiを含むAgペースト材料で形
成するものであυ、以下実施例を用いて詳細に説明する
。
第2図はこの発明に係る太陽電池の一実施例を示す概要
構成の断面図である。同図において、(3a)はAgペ
ーストに粒径が数μmのTiの金属粉末を1〜10%程
度添加混合したグリッド電極である。
次に、上記構成による太陽電池の製造工程について説明
する。まず、500μm程度のP形シリコン単結晶の半
導体基板(1)の一方の主面にn形不純物を拡散して0
.3〜0.5/11n−程度のp膨拡散層(2)を形成
して受光面とする。そして、このn膨拡散層(2)に、
Tlを含むAgペーストをスクリーン印刷して、4〜5
 mm間隔に30μm程度の幅のグリッド電極(3a)
を形成すると共に、半導体基板(1)の裏面全体に例え
ばAg−Alペーストをスクリーン印刷して裏面電極(
4)を形成する。そして、焼成条件として、720°C
で30分程度で焼成する。そして、前記n膨拡散層(2
)上にT i02 、’ra2o1などの反射防止膜(
5)を形成する。
このようにして製造した太陽電池では順方向ノ(イアス
の電圧降下が大幅に小さくなり、しかもグリッド電極(
3a)のオーミック性を大幅に改善することができる。
すなわち、この太陽電池の受光面にAMI相当の光をあ
てた場合、暗電流曲線Cつおよび光照射時でのV−I特
性曲線に)を第3図に示すことができる。
なお、以上の実施例ではシリコン単結晶太陽電池につい
て説明したが、これに限定せず、他の太陽電池について
も同様にできることはもちろんである。
以上詳細に説明したように、この発明に係不太陽電池に
よればグリッド電極のn膨拡散層へのオーミック性を大
幅に改善できるので、光照射時のV−I特性が良好にな
シ、光変換効率が大幅に向上する。しかも、製造歩留シ
が向上し、原価低減になるなどの効果がある。
【図面の簡単な説明】
第1図は従来のシリコン単結晶太陽電池の概要構成を示
す断面図、第2図はこの発明に係る太陽電池の一実施例
の概要構成を示す断面図、第3図は第1図および第2図
に示す太陽電池の暗電流曲線および光照射時の特性を示
す図である。 (1)・・・・半導体基板、(2)・・・・n膨拡散層
、(3)および(3a)・・・・グリッド電極、(4)
・・・・裏面電極、(5)・・・・光反射防止膜。 なお、図中、同一符号は同一または相当部分を示す。 ・ 、へ      代 理 人    葛  野  
信  −手続補正書(自発) 特許庁長官1.ij# ]、事件の表示    持19イ1昭 57−1225
11号2、発明の名(ら、 太陽電池 3、補正をする宥 代表者片山仁へ部 4、代理人 5、補正′の対象 明細書の発明の詳細な説明の欄 6、補正の内容 (11叩細書第2頁第12行の「30μm」を「300
μm」と補正する。 (2)同書同頁第16行の「30秒」を「30分」と補
正する。 (3)回書同頁第20行のrAMIJをrAMIJと補
正する。 (4)同省第4頁第6行の130μm」を1300μm
」と補正する。 (5)同書同頁第17行の「AMI」をrAMljと補
正する。 以  上

Claims (1)

    【特許請求の範囲】
  1. 半導体基板上に1この半導体基板とは異なる導電層を薄
    く形成して、受光面の近くにPn接合を形成した太陽電
    池において、少なくとも受光面側の電極を、Tiを含む
    AgペースIJ料で形成することを特徴とする太陽電池
    。
JP57122511A 1982-07-12 1982-07-12 太陽電池 Pending JPS5911687A (ja)

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JP57122511A JPS5911687A (ja) 1982-07-12 1982-07-12 太陽電池

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JP57122511A JPS5911687A (ja) 1982-07-12 1982-07-12 太陽電池

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JPS5911687A true JPS5911687A (ja) 1984-01-21

Family

ID=14837656

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JP57122511A Pending JPS5911687A (ja) 1982-07-12 1982-07-12 太陽電池

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JP (1) JPS5911687A (ja)

Cited By (3)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
JPH03256368A (ja) * 1990-03-06 1991-11-15 Seiko Instr Inc 光電気変換半導体装置及びその製造方法
JP2002141520A (ja) * 2000-10-31 2002-05-17 Kyocera Corp 太陽電池素子およびその製造方法
WO2010118004A1 (en) 2009-04-08 2010-10-14 E. I. Du Pont De Nemours And Company Solar cell electrode

Citations (1)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
JPS5426676A (en) * 1977-07-29 1979-02-28 Matsushita Electric Ind Co Ltd Semiconductor device and its manufacture

Patent Citations (1)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
JPS5426676A (en) * 1977-07-29 1979-02-28 Matsushita Electric Ind Co Ltd Semiconductor device and its manufacture

Cited By (4)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
JPH03256368A (ja) * 1990-03-06 1991-11-15 Seiko Instr Inc 光電気変換半導体装置及びその製造方法
JP2002141520A (ja) * 2000-10-31 2002-05-17 Kyocera Corp 太陽電池素子およびその製造方法
WO2010118004A1 (en) 2009-04-08 2010-10-14 E. I. Du Pont De Nemours And Company Solar cell electrode
US8263858B2 (en) 2009-04-08 2012-09-11 E I Du Pont De Nemours And Company Solar cell electrode

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