JPS59120433U - 半導体秤り - Google Patents
半導体秤りInfo
- Publication number
- JPS59120433U JPS59120433U JP1320283U JP1320283U JPS59120433U JP S59120433 U JPS59120433 U JP S59120433U JP 1320283 U JP1320283 U JP 1320283U JP 1320283 U JP1320283 U JP 1320283U JP S59120433 U JPS59120433 U JP S59120433U
- Authority
- JP
- Japan
- Prior art keywords
- semiconductor
- pressure sensor
- semiconductor scale
- scale
- soft body
- Prior art date
- Legal status (The legal status is an assumption and is not a legal conclusion. Google has not performed a legal analysis and makes no representation as to the accuracy of the status listed.)
- Pending
Links
Landscapes
- Measuring Fluid Pressure (AREA)
- Pressure Sensors (AREA)
Abstract
(57)【要約】本公報は電子出願前の出願データであるた
め要約のデータは記録されません。
め要約のデータは記録されません。
Description
第１図は本考案実施例の半導体枠りを示す断面図、第２
図は荷重−センサ出力特性を示すグラフである。 １・・・シリコンダイヤフラム、８・・・軟質体、１０
・・・伝達棒。
図は荷重−センサ出力特性を示すグラフである。 １・・・シリコンダイヤフラム、８・・・軟質体、１０
・・・伝達棒。
Claims (1)
- ダイヤフラム型半導体圧力センサと、該圧力センサをモ
ールドする軟質体と、該軟質体に被測定物の荷重を伝達
する手段とを具備した事を特徴とする半導体枠り。
Priority Applications (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP1320283U JPS59120433U (ja) | 1983-01-31 | 1983-01-31 | 半導体秤り |
Applications Claiming Priority (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP1320283U JPS59120433U (ja) | 1983-01-31 | 1983-01-31 | 半導体秤り |
Publications (1)
| Publication Number | Publication Date |
|---|---|
| JPS59120433U true JPS59120433U (ja) | 1984-08-14 |
Family
ID=30144593
Family Applications (1)
| Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
|---|---|---|---|
| JP1320283U Pending JPS59120433U (ja) | 1983-01-31 | 1983-01-31 | 半導体秤り |
Country Status (1)
| Country | Link |
|---|---|
| JP (1) | JPS59120433U (ja) |
-
1983
- 1983-01-31 JP JP1320283U patent/JPS59120433U/ja active Pending
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