JPS59122193A - 固体撮像装置 - Google Patents
固体撮像装置Info
- Publication number
- JPS59122193A JPS59122193A JP57229039A JP22903982A JPS59122193A JP S59122193 A JPS59122193 A JP S59122193A JP 57229039 A JP57229039 A JP 57229039A JP 22903982 A JP22903982 A JP 22903982A JP S59122193 A JPS59122193 A JP S59122193A
- Authority
- JP
- Japan
- Prior art keywords
- solid
- photoelectric conversion
- imaging device
- state imaging
- color filter
- Prior art date
- Legal status (The legal status is an assumption and is not a legal conclusion. Google has not performed a legal analysis and makes no representation as to the accuracy of the status listed.)
- Pending
Links
Classifications
-
- H—ELECTRICITY
- H10—SEMICONDUCTOR DEVICES; ELECTRIC SOLID-STATE DEVICES NOT OTHERWISE PROVIDED FOR
- H10F—INORGANIC SEMICONDUCTOR DEVICES SENSITIVE TO INFRARED RADIATION, LIGHT, ELECTROMAGNETIC RADIATION OF SHORTER WAVELENGTH OR CORPUSCULAR RADIATION
- H10F77/00—Constructional details of devices covered by this subclass
- H10F77/30—Coatings
- H10F77/306—Coatings for devices having potential barriers
- H10F77/331—Coatings for devices having potential barriers for filtering or shielding light, e.g. multicolour filters for photodetectors
-
- H—ELECTRICITY
- H10—SEMICONDUCTOR DEVICES; ELECTRIC SOLID-STATE DEVICES NOT OTHERWISE PROVIDED FOR
- H10F—INORGANIC SEMICONDUCTOR DEVICES SENSITIVE TO INFRARED RADIATION, LIGHT, ELECTROMAGNETIC RADIATION OF SHORTER WAVELENGTH OR CORPUSCULAR RADIATION
- H10F77/00—Constructional details of devices covered by this subclass
- H10F77/40—Optical elements or arrangements
- H10F77/413—Optical elements or arrangements directly associated or integrated with the devices, e.g. back reflectors
Landscapes
- Solid State Image Pick-Up Elements (AREA)
- Color Television Image Signal Generators (AREA)
Abstract
(57)【要約】本公報は電子出願前の出願データであるた
め要約のデータは記録されません。
め要約のデータは記録されません。
Description
【発明の詳細な説明】
本発明は固体撮像装置の感度向上およびカラー撮像装置
の混色防止に関するものである。
の混色防止に関するものである。
一般に固体撮像製置は、半導体基板主面に光電変換部及
び信号読ろ出し部を有するため、有効な光電変換領域と
して１００−使用することはできない◇この欠点を解決
する手段として、光電変換領域と信号読み出し領域を分
離したＣＣＤ（電荷結合素子）フレーム拳トランスファ
一方式、あるいはＣＣＤインターライン転送方式、
ＭＯＳ ｍｔｉ＆像素子上に光導電膜を形成し、光１４
！変換効率を向上させる構成が提案されている。
び信号読ろ出し部を有するため、有効な光電変換領域と
して１００−使用することはできない◇この欠点を解決
する手段として、光電変換領域と信号読み出し領域を分
離したＣＣＤ（電荷結合素子）フレーム拳トランスファ
一方式、あるいはＣＣＤインターライン転送方式、
ＭＯＳ ｍｔｉ＆像素子上に光導電膜を形成し、光１４
！変換効率を向上させる構成が提案されている。
しかし、これらの方法はチップサイズの増大、製作の困
＃さ、光電変換以外の特性劣化など問題点も多い＝ｏ８
らに固体撮像装置をカラー撮像装置に応用する場合、光
電変換領域とカラーフィルタアレーとの目金せずによっ
て生じる混色の問題かあった０ 本発明は上に述べた欠点をなくシ、高感度で混色のない
固体撮像装置を提供するものである。
＃さ、光電変換以外の特性劣化など問題点も多い＝ｏ８
らに固体撮像装置をカラー撮像装置に応用する場合、光
電変換領域とカラーフィルタアレーとの目金せずによっ
て生じる混色の問題かあった０ 本発明は上に述べた欠点をなくシ、高感度で混色のない
固体撮像装置を提供するものである。
本発明によれば同一半導体基板上にモザイク上に形成さ
れた光電変素子群と、光電咄凛子群で形−換さう れた信号を読み出す手段とかｌなる固体撮像装置におい
て、前記光電変換素子群の各光電変換素子Ｊ。
れた光電変素子群と、光電咄凛子群で形−換さう れた信号を読み出す手段とかｌなる固体撮像装置におい
て、前記光電変換素子群の各光電変換素子Ｊ。
に対応し、な７２１．且つ、この光電変換素子の主面に
色フイルタアレーが形成されてなり、該色フイルタアレ
ー上に感光性樹脂を用いて前記光電変換素子に入射光を
集光させるだめの集光レンズが形成されていることを特
徴とする固体撮像装置が得られる。
色フイルタアレーが形成されてなり、該色フイルタアレ
ー上に感光性樹脂を用いて前記光電変換素子に入射光を
集光させるだめの集光レンズが形成されていることを特
徴とする固体撮像装置が得られる。
次に図面を用いて、本発明について説明する。
第１図〜第４図は本発明の固体撮像装置の一実施例をそ
の製造方法と共に説明するための図で主要工程における
固体撮像装置の断面概念図を示している。
の製造方法と共に説明するための図で主要工程における
固体撮像装置の断面概念図を示している。
第１図は通常のＣＯＤインターライン方式方式固装像装
置面を模式的に示したもので半導体基板ｌＯの主面には
例えばフォトダイオードからなる光電変換領域１１が配
置されている。１２は光電変換部ρ 埃１゛ｅ光電変換した信号を読み出すＣＯＤレジスタメ
領域で、第１図には図示してないが光電変換領域１１と
ＣＣＤレジスタ１２の間には信号電荷の転送を制御する
トランスファゲートが配置されている。
置面を模式的に示したもので半導体基板ｌＯの主面には
例えばフォトダイオードからなる光電変換領域１１が配
置されている。１２は光電変換部ρ 埃１゛ｅ光電変換した信号を読み出すＣＯＤレジスタメ
領域で、第１図には図示してないが光電変換領域１１と
ＣＣＤレジスタ１２の間には信号電荷の転送を制御する
トランスファゲートが配置されている。
またＣＯＤレジスタおよびトランスファゲート領域は例
えばＡｊのような光を通さない層１３で遮光／されてい
る。ＣＯＤレジスタ詔よびトランスファゲート領域の主
面と遮光層１３間には、絶縁層転送電極が配置されてい
るが本発明の動作と関係がないため図示されていない。
えばＡｊのような光を通さない層１３で遮光／されてい
る。ＣＯＤレジスタ詔よびトランスファゲート領域の主
面と遮光層１３間には、絶縁層転送電極が配置されてい
るが本発明の動作と関係がないため図示されていない。
第２図は第１図に示したＣＯＤインターライン転送方式
に色フィルターを形成した場合の一実施例である。１４
は例えばポリビニールアルコール、アクリルなどの可染
性樹脂層で、フォトレジスト技術を用いて、次々に赤１
５、緑１６、背１７の染料を染め分けたものである。第
３図は、素子表面上にモザイク状あるいはストライプ状
に色フィルターを形成した後、例えば１４の可染性樹脂
層あるいはＰ ＧＭＡのような透明で感光性のある樹脂
層１８を形成する。樹脂層１８は、染色層の保睦膜とし
ての役割も行っている。樹脂層１８を被着した後撮像装
置のボンデングパット部上のＰＧＭ人を光化学反応を用
いて除去する。
に色フィルターを形成した場合の一実施例である。１４
は例えばポリビニールアルコール、アクリルなどの可染
性樹脂層で、フォトレジスト技術を用いて、次々に赤１
５、緑１６、背１７の染料を染め分けたものである。第
３図は、素子表面上にモザイク状あるいはストライプ状
に色フィルターを形成した後、例えば１４の可染性樹脂
層あるいはＰ ＧＭＡのような透明で感光性のある樹脂
層１８を形成する。樹脂層１８は、染色層の保睦膜とし
ての役割も行っている。樹脂層１８を被着した後撮像装
置のボンデングパット部上のＰＧＭ人を光化学反応を用
いて除去する。
第４図は感光性樹脂層１８の表面に入射した光を感光領
域１１へ有効に集光するよう形成されたレンズアレーで
１９のような凸レンズを形成した一実施例である。
域１１へ有効に集光するよう形成されたレンズアレーで
１９のような凸レンズを形成した一実施例である。
入射光側はレンズ１９の曲率半径と樹脂層１８の厚さに
より光電変換領域の中に完全に集光することができる０ このように入射光を光電変換部の１点あるいは、小さな
面積上に集光することにより、色フィルタ１５．１６．
１７の目合せがずれても、充分マージンを。
より光電変換領域の中に完全に集光することができる０ このように入射光を光電変換部の１点あるいは、小さな
面積上に集光することにより、色フィルタ１５．１６．
１７の目合せがずれても、充分マージンを。
もって混色のない固体撮像装置を得ることができる０
また感光性樹脂層１８上に形成するレンズ１９の形状は
凸レンズに限定することなく、■溝形あるいは台形構造
により入射光を光電変換領域に集光することもできる。
凸レンズに限定することなく、■溝形あるいは台形構造
により入射光を光電変換領域に集光することもできる。
さらに本発明はＣＣＤフレーム
第１−第４図は本発明の固体撮像装置の一実施例をその
製造方法と共に説明するための図で、各主要工程におけ
る固体撮像装置の断面を模式的に示したものである〇 第１図はＣＯＤイン−！−ライン転送方式撮像装置の断
面模式図、第２図は、第１図に示した撮像装置上に色フ
ィルタを形成した断面図、第３図は色フィルター上にさ
らに樹脂層を被着した断面図、第４図樹脂層上に入射光
を集光するレンズを形成した断面図を示す。 ＩＯは基板半導体、ＩＩは光電変換領域、１２は信号読
み出し領域、１３は遮光層、１５，１６．１７は色フィ
ル夛、１８は感光性透明樹脂、１９はレンズを示す。
製造方法と共に説明するための図で、各主要工程におけ
る固体撮像装置の断面を模式的に示したものである〇 第１図はＣＯＤイン−！−ライン転送方式撮像装置の断
面模式図、第２図は、第１図に示した撮像装置上に色フ
ィルタを形成した断面図、第３図は色フィルター上にさ
らに樹脂層を被着した断面図、第４図樹脂層上に入射光
を集光するレンズを形成した断面図を示す。 ＩＯは基板半導体、ＩＩは光電変換領域、１２は信号読
み出し領域、１３は遮光層、１５，１６．１７は色フィ
ル夛、１８は感光性透明樹脂、１９はレンズを示す。
Claims (1)
- 同−半導体基板上にモザイク状に形成された光電変換素
子群と、光電変換素子群で光電変換された信号を読ろ出
す手段からなる固体撮像装置において、前記充電変換素
子群の各光電変換素子に対応し、この主面に色フイルタ
−アレーか形成されてなり、該色フイルタ−アレー上に
感光性樹脂を用いて前記光を変換素子に入射光を集光さ
せるための集光レンズが形成きれていることを＊ａとす
る固体撮像装置。
Priority Applications (2)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP57229039A JPS59122193A (ja) | 1982-12-28 | 1982-12-28 | 固体撮像装置 |
| US06/564,403 US4667092A (en) | 1982-12-28 | 1983-12-22 | Solid-state image device with resin lens and resin contact layer |
Applications Claiming Priority (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP57229039A JPS59122193A (ja) | 1982-12-28 | 1982-12-28 | 固体撮像装置 |
Publications (1)
| Publication Number | Publication Date |
|---|---|
| JPS59122193A true JPS59122193A (ja) | 1984-07-14 |
Family
ID=16885783
Family Applications (1)
| Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
|---|---|---|---|
| JP57229039A Pending JPS59122193A (ja) | 1982-12-28 | 1982-12-28 | 固体撮像装置 |
Country Status (1)
| Country | Link |
|---|---|
| JP (1) | JPS59122193A (ja) |
Cited By (6)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| JPS59148482A (ja) * | 1983-02-14 | 1984-08-25 | Hitachi Ltd | 固体撮像素子の製造方法 |
| JPS61203663A (ja) * | 1985-02-13 | 1986-09-09 | Nec Corp | 固体撮像装置の製造方法 |
| FR2671198A1 (fr) * | 1990-12-31 | 1992-07-03 | Samsung Electronics Co Ltd | Filtre colore et son procede de fabrication. |
| WO2007116887A1 (ja) | 2006-04-03 | 2007-10-18 | Toppan Printing Co., Ltd. | カラー撮像素子及びカラー撮像素子製造方法 |
| US7683302B2 (en) | 2004-10-08 | 2010-03-23 | Panasonic Corporation | Solid-state imaging device having on-chip color filter layers and solid-state imaging device manufacturing method of the solid-state imaging device |
| CN111405256A (zh) * | 2018-12-13 | 2020-07-10 | 爱思开海力士有限公司 | 具有有机像素阵列和无机像素阵列的图像感测装置 |
-
1982
- 1982-12-28 JP JP57229039A patent/JPS59122193A/ja active Pending
Cited By (12)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| JPS59148482A (ja) * | 1983-02-14 | 1984-08-25 | Hitachi Ltd | 固体撮像素子の製造方法 |
| JPS61203663A (ja) * | 1985-02-13 | 1986-09-09 | Nec Corp | 固体撮像装置の製造方法 |
| FR2671198A1 (fr) * | 1990-12-31 | 1992-07-03 | Samsung Electronics Co Ltd | Filtre colore et son procede de fabrication. |
| US7683302B2 (en) | 2004-10-08 | 2010-03-23 | Panasonic Corporation | Solid-state imaging device having on-chip color filter layers and solid-state imaging device manufacturing method of the solid-state imaging device |
| US7989752B2 (en) | 2004-10-08 | 2011-08-02 | Panasonic Corporation | Solid-state imaging device and solid-state imaging device manufacturing method |
| US8134110B2 (en) | 2004-10-08 | 2012-03-13 | Panasonic Corporation | Solid-state imaging device and solid-state imaging device manufacturing method |
| WO2007116887A1 (ja) | 2006-04-03 | 2007-10-18 | Toppan Printing Co., Ltd. | カラー撮像素子及びカラー撮像素子製造方法 |
| US8049805B2 (en) | 2006-04-03 | 2011-11-01 | Toppan Printing Co., Ltd. | Color imaging device and color imaging device manufacturing method |
| EP2482316A1 (en) | 2006-04-03 | 2012-08-01 | Toppan Printing Co., Ltd. | Color imaging device and color imaging device manufacturing method |
| CN111405256A (zh) * | 2018-12-13 | 2020-07-10 | 爱思开海力士有限公司 | 具有有机像素阵列和无机像素阵列的图像感测装置 |
| US11244975B2 (en) | 2018-12-13 | 2022-02-08 | SK Hynix Inc. | Image sensing device having organic pixel array and inorganic pixel array |
| CN111405256B (zh) * | 2018-12-13 | 2022-03-08 | 爱思开海力士有限公司 | 具有有机像素阵列和无机像素阵列的图像感测装置 |
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