JPS59126500U - プラズマ発生装置の拡散防止装置 - Google Patents
プラズマ発生装置の拡散防止装置Info
- Publication number
- JPS59126500U JPS59126500U JP1956283U JP1956283U JPS59126500U JP S59126500 U JPS59126500 U JP S59126500U JP 1956283 U JP1956283 U JP 1956283U JP 1956283 U JP1956283 U JP 1956283U JP S59126500 U JPS59126500 U JP S59126500U
- Authority
- JP
- Japan
- Prior art keywords
- reaction tube
- plasma
- prevention device
- diffusion prevention
- plasma generation
- Prior art date
- Legal status (The legal status is an assumption and is not a legal conclusion. Google has not performed a legal analysis and makes no representation as to the accuracy of the status listed.)
- Granted
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- Drying Of Semiconductors (AREA)
Abstract
(57)【要約】本公報は電子出願前の出願データであるた
め要約のデータは記録されません。
め要約のデータは記録されません。
Description
第１図は本考案を実施した石英反応管を用いたプラズマ
発生装置の構成側図、第２図は第１図の１部を用いたプ
ラズマの説明図である。 １・・・高周波発振機、２・・・プラズマ発生用電極、
３・・・石英反応管、４・・・プラズマ遮蔽電極、５・
・・圧力センサ、６・・・排気ポンプ、７・・・プラズ
マ。
発生装置の構成側図、第２図は第１図の１部を用いたプ
ラズマの説明図である。 １・・・高周波発振機、２・・・プラズマ発生用電極、
３・・・石英反応管、４・・・プラズマ遮蔽電極、５・
・・圧力センサ、６・・・排気ポンプ、７・・・プラズ
マ。
Claims (1)
- 石英管状反応管とその外周管壁に沿って巻付けたプラズ
マ発生電極と反応管内の反応域前後の配管に取付けた圧
力センサを有するプラズマ発生装置において、反応管の
長さに沿うプラズマ発生領域両端近くに反応管に近接し
てベルト状に取巻き、相互の距離を可変とした１点接地
の金属帯状遮蔽電極板１対を設け、プラズマ領域の必要
でない区域への拡散防止を図ったことを特徴とするプラ
ズマ発生装置の拡散防止装置。
Priority Applications (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP1956283U JPS59126500U (ja) | 1983-02-15 | 1983-02-15 | プラズマ発生装置の拡散防止装置 |
Applications Claiming Priority (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP1956283U JPS59126500U (ja) | 1983-02-15 | 1983-02-15 | プラズマ発生装置の拡散防止装置 |
Publications (2)
| Publication Number | Publication Date |
|---|---|
| JPS59126500U true JPS59126500U (ja) | 1984-08-25 |
| JPH0231760Y2 JPH0231760Y2 (ja) | 1990-08-28 |
Family
ID=30150705
Family Applications (1)
| Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
|---|---|---|---|
| JP1956283U Granted JPS59126500U (ja) | 1983-02-15 | 1983-02-15 | プラズマ発生装置の拡散防止装置 |
Country Status (1)
| Country | Link |
|---|---|
| JP (1) | JPS59126500U (ja) |
Cited By (1)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| JPS58193726A (ja) * | 1982-05-08 | 1983-11-11 | Ushio Inc | 蒸着方法 |
-
1983
- 1983-02-15 JP JP1956283U patent/JPS59126500U/ja active Granted
Cited By (1)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| JPS58193726A (ja) * | 1982-05-08 | 1983-11-11 | Ushio Inc | 蒸着方法 |
Also Published As
| Publication number | Publication date |
|---|---|
| JPH0231760Y2 (ja) | 1990-08-28 |
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