JPS59129155U - 電界放射型イオン源 - Google Patents
電界放射型イオン源Info
- Publication number
- JPS59129155U JPS59129155U JP2254983U JP2254983U JPS59129155U JP S59129155 U JPS59129155 U JP S59129155U JP 2254983 U JP2254983 U JP 2254983U JP 2254983 U JP2254983 U JP 2254983U JP S59129155 U JPS59129155 U JP S59129155U
- Authority
- JP
- Japan
- Prior art keywords
- ion source
- field emission
- shield plate
- anode
- extraction electrode
- Prior art date
- Legal status (The legal status is an assumption and is not a legal conclusion. Google has not performed a legal analysis and makes no representation as to the accuracy of the status listed.)
- Granted
Links
- 238000000605 extraction Methods 0.000 claims 4
- 239000002184 metal Substances 0.000 claims 1
- 229910001338 liquidmetal Inorganic materials 0.000 description 1
Landscapes
- Electron Sources, Ion Sources (AREA)
Abstract
(57)【要約】本公報は電子出願前の出願データであるた
め要約のデータは記録されません。
め要約のデータは記録されません。
Description
第１図は、従来の電界放射型イオン源の麟面図１、第２
図は、本考案の好適実施例を示す電界放射型イオン源で
ある。 １はアノード、２は液体金属、３はリザーバ、４はエミ
ッタニードル、５は電極、６はカソードである。
図は、本考案の好適実施例を示す電界放射型イオン源で
ある。 １はアノード、２は液体金属、３はリザーバ、４はエミ
ッタニードル、５は電極、６はカソードである。
Claims (1)
- 絶縁板上に取付けられたアノードと、このアノードをと
り囲む全体がほぼ箱形をなす引出上電極と、この引出し
電極の下部位置に配設されたカソードとからなる電界放
射型イオン源において、前記アノードの下端近辺に円盤
状の第１のシールド板を設け、さらに引出し電極内面に
おいて前記第１のシールド板よりも上方位置に設けられ
、第１のシールド板の外径より小さい穴径をその中心部
に持つ第２のシールド板を設けることにより、引出し電
極及びカソードからスパッタされる金属が絶縁板に付着
するのを防止するようにしたことを特徴とする電界放射
型イオン源。
Priority Applications (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP2254983U JPS59129155U (ja) | 1983-02-18 | 1983-02-18 | 電界放射型イオン源 |
Applications Claiming Priority (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP2254983U JPS59129155U (ja) | 1983-02-18 | 1983-02-18 | 電界放射型イオン源 |
Publications (2)
| Publication Number | Publication Date |
|---|---|
| JPS59129155U true JPS59129155U (ja) | 1984-08-30 |
| JPS6345734Y2 JPS6345734Y2 (ja) | 1988-11-28 |
Family
ID=30153645
Family Applications (1)
| Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
|---|---|---|---|
| JP2254983U Granted JPS59129155U (ja) | 1983-02-18 | 1983-02-18 | 電界放射型イオン源 |
Country Status (1)
| Country | Link |
|---|---|
| JP (1) | JPS59129155U (ja) |
-
1983
- 1983-02-18 JP JP2254983U patent/JPS59129155U/ja active Granted
Also Published As
| Publication number | Publication date |
|---|---|
| JPS6345734Y2 (ja) | 1988-11-28 |
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