JPS59134012U - 光学式機械量測定装置 - Google Patents

光学式機械量測定装置

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JPS59134012U
JPS59134012U JP2565483U JP2565483U JPS59134012U JP S59134012 U JPS59134012 U JP S59134012U JP 2565483 U JP2565483 U JP 2565483U JP 2565483 U JP2565483 U JP 2565483U JP S59134012 U JPS59134012 U JP S59134012U
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JP
Japan
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mechanical quantity
measuring device
quantity measuring
optical mechanical
image sensor
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Application number
JP2565483U
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English (en)
Inventor
敏嗣 植田
英治 荻田
大輔 山崎
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Yokogawa Electric Corp
Original Assignee
Yokogawa Electric Corp
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Publication date
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Pending legal-status Critical Current

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Abstract

(57)【要約】本公報は電子出願前の出願データであるた
め要約のデータは記録されません。

Description

【図面の簡単な説明】
第１図は従来装置の一例を示す構成説明図、第２図及び
第３図は本考案に係る装置の一例を示す構成ブロック図
である。 １・・・・・・レーザ光源、２・・・・・・ターゲット
、３・・・・・・イメージセンサ、５１．５２・・・５
ｎ・・・・・・バンドパスフィルタ、６１．６２・・・
６ｎ・・・・・・位相調整回路、７・・・・・・加算回
路、８・・・・・・ピーク検出回路。

Claims (1)

    【実用新案登録請求の範囲】
  1. レーザ光源からの光を被測定機械量が与えられるターゲ
    ットの拡散面に照射し、そこからの拡散光をイメージセ
    ンサで把え、当該イメージセンサからの周期信号を各周
    波数成分に分離し、この分離した信号の位相を一致させ
    た後及び又は周波数を一致させた後加算し、この加算信
    号のピーク位置又は位相から前記被測定機械量を知るよ
    うにした光学式機械量測定装置。
JP2565483U 1983-02-23 1983-02-23 光学式機械量測定装置 Pending JPS59134012U (ja)

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JP2565483U JPS59134012U (ja) 1983-02-23 1983-02-23 光学式機械量測定装置

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JPS59134012U true JPS59134012U (ja) 1984-09-07

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