JPS59135741A - 静電チヤツク - Google Patents
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- JPS59135741A JPS59135741A JP58008745A JP874583A JPS59135741A JP S59135741 A JPS59135741 A JP S59135741A JP 58008745 A JP58008745 A JP 58008745A JP 874583 A JP874583 A JP 874583A JP S59135741 A JPS59135741 A JP S59135741A
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- signal
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- electrode
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- H—ELECTRICITY
- H10—SEMICONDUCTOR DEVICES; ELECTRIC SOLID-STATE DEVICES NOT OTHERWISE PROVIDED FOR
- H10P—GENERIC PROCESSES OR APPARATUS FOR THE MANUFACTURE OR TREATMENT OF DEVICES COVERED BY CLASS H10
- H10P72/00—Handling or holding of wafers, substrates or devices during manufacture or treatment thereof
- H10P72/70—Handling or holding of wafers, substrates or devices during manufacture or treatment thereof for supporting or gripping
- H10P72/72—Handling or holding of wafers, substrates or devices during manufacture or treatment thereof for supporting or gripping using electrostatic chucks
-
- H—ELECTRICITY
- H10—SEMICONDUCTOR DEVICES; ELECTRIC SOLID-STATE DEVICES NOT OTHERWISE PROVIDED FOR
- H10P—GENERIC PROCESSES OR APPARATUS FOR THE MANUFACTURE OR TREATMENT OF DEVICES COVERED BY CLASS H10
- H10P72/00—Handling or holding of wafers, substrates or devices during manufacture or treatment thereof
- H10P72/50—Handling or holding of wafers, substrates or devices during manufacture or treatment thereof for positioning, orientation or alignment
Abstract
(57)【要約】本公報は電子出願前の出願データであるた
め要約のデータは記録されません。
め要約のデータは記録されません。
Description
し発明の技備分す（（〕
本発明ｉｔ、 ！４（導体ウェハ等ケチ−プルに等υて
固カー゛す之）ためのＦｔＴ侍Ｆ１．チャックに１ル１
する。 〔発明の技術重石１ｐ〕 例えば上ＨＢ４′１１１１画装置によってシリコンウェ
ハ等の試料に面接描画するしこ際しては、テーブル上に
載１６＝声れた試料の１°そり１′を無ぐシフ、子し２
てチーＸプル移動時に試料がすれないようにするために
静電チャック条で使用してテーブル上６・ζ試峯・１を
： ＜＋ｎ”実に密着固定する必要があえ）２、 このための＃ｉ’ ′小゛チャックとして、チーフル」
二Ｖこ設けた基盤と基盤上に載置した試Ａ）Ｉとに的υ
ｉｔ、高１１１１汁ケ印加して、Ｈノ峙ｂ、力によって
基盤ヒに試料を吸着する構造のものが知られている、 このようＩＩ構造の静電チャックにおいては、試峯１吸
着に先立つて、試料、基盤間に高〒↑（１汁イで・印加
するために必安な電極を、試料」−に固定し−ｒ両渚ケ
導］１りさせなけれはならない１、ぞのプこめ第１図に
概略ｔ＜ｊｔ面図で示され石ように、デープル〔図示せ
す〕１−ＶＣ設けられた基盤１の上面上に１成１１２ケ
載置し、試料用の′［ｈ、極３の先端と、さらに放７１
ＮＪＩＪのＶｔ電極の先☆１１１．１とゲ万いに近接さ
ぜると共に両′１１１極３．４を試料２十面上にバネ等
の圧カイζ１加千１ツ′５によってｌツｒ定Ｈ−力で押
伺け、イし７て両１ｉｔ、榛３□４間に放′Ｉｈ、用′
市源からの高％： １．４ゲ印加［２−Ｃその両う１；
端間で放電を起こさせ、かくし７千光生む／こ熱’ｒｃ
Ｌって試料２の１−面上の酸化膜□□□−（ｆ！４壊
（１，で試を団１の山付］３と試本１２と庖：２、Ｆ約
Ｈ４１Δせ、山イ歩３鞘試木」２に１、！ｉｌ定−ｆゐ
。１左試料２とＭ、極３とが導通したことクーイＩ’ｆ
ｆｌ ｒ沼するには、′電極３に印加される高電Ｉ＋ケ
′ｌｈ。 Ｉ（６１にｊ：つ゛Ｃ監ネｈ’ｔ〜、その、い片言１の
振ｔ１が負の特ｆ＋ゲ示１，１こときに、試料２表１１
１１の数比ルア１か破壊さ）′１て試料２と石、極３と
が導通し７たことが確認される１、 こσ、ようにして試料２と″［（ｆ、極３とか導通し−
７たこ−シ・ とケ４’１ｇ ｉ沼し２に後、ｈシミ用市極０．１叫１
゛に１−１試刺吸〔昔１ン１技術の問題点〕 し−２かじなが「）Ｐ述のような篩箱７チヤ゛ツクにお
いては、試料２と′「）ｊ極３とか導通したか否力・を
基盤上に載置されλ、試料４σに確認しなけれし、ｌな
らす、し、かもその後に重、伽を切替えて試料２ケ基盤
１上に吸着ば−Ｖ斤けｔｌはな０かい。 コノ／こめ、ＥＢ描画装ｆｌ ｖにのような静電チャッ
クを適用すると、システム全体とし２千作業の自動化ケ
図ることが困難である。 〔発明の［１的〕 本発明し１−以上のよう１（４Ｉ−悄’ｆ Ｊ’ Ｉ帳
して〃さ）１にもので、試料上Ｃ（二重極を固定し７両
渚會導ｊ支０さ１ｔ、しかも基盤上（（試料ケ吸別させ
る−１４・、の動作ゲ１］４１ｊ１的に行ηつことがで
きる静■１：チ＾パンクゲ得るＣとを目的とする。 〔発明の棚列〕 本発明においては、基盤上に載置し、７たバネ’Ｉ ｌ
ｖｃ！−１−いに近接１′石ように固定し７た試料Ｈ
’ＪτＩイ債−・よび放電用電極間に、出力型１（−ヶ
変更１扛能な直ＩＡＬ ｉＲｌ ）−を市１温た「）の
ランプ抜出力■、圧を印加してｌｉ［＋ｌ ’ｔ４＋’
、 ｌｘとＥ ｘ：＊とをｖ７いに導通させ、この導通
によてンで１ｉｉｌζ；（已高圧電源からの電流に重信
した交かｔ、 （Ｆ 、４４１’＋ｆ、流、プ）ζ色、
増したことを検出し、この検出結果に基つＩ−″）て、
前記高Ｉｆ ｆｉｊ ｍ ノｌｔｌ力１１ｔ 圧ｙ、１
＋ｐ） Ｂ エテ、ｆｉ’ｌ １ｆｉ２ Ｗｒｈ Ｂ
’ｎ（。 源から、試料土に固定した試料）１１電イ徹金介（〜Ｃ
１試料、基盤間に試料を基盤上に吸糸さ−を上２）に・
ゼ・安な電圧を印加することＫよって、「）１ｆ記目的
含Ｓ、１”れ／ｊ見している。 〔発明の実施例〕 第２１：ＲＪ ｉ’Ｊ：本発明にがかる＃ｌＩ”ｄもチ
ャックの回路ブロック図である。 第２図に示ｔ、ｃうに６は、出力重圧が変更可能な直流
の給ＩＨ−箪折であり、この高圧和飾６は、その−（マ
イナス）倶１が接地さハ、その＋（ブラスノ佃が、保護
用抵抗７（高摂抗値：例えば２〜３ＭΩ〕および第１リ
レー８の第１九級点８ａ、１からｌる内列回路を介して
基盤夏に接続されている。 基盤１上面上にＣ１試相２が載置さノする１、基盤１１
１−に試料２が載置されることによって、両考間に所定
静電、容計のコンデンサが形成される、試料２上面上に
は、試料用の電極３の先端と、さらに放電用のｔｊｆ極
４の先端とを、バネ等の圧力付加手段（図示省略） ｒ
ｔｃよって所定押）１−力で押伺けである。 電極３ｄ接地され、Ｗ棒４け検出トランス９０１次４１
！１巻線、結合トランス１００２次側巻線、第２リン−
１１のａ接点１１ａおよび保縛用抵抗７からなる直列回
路を介シー、て高圧電源６の＋側に接続きれている、 高Ｈ： ｍ’、 泥（ｉに（ｄ、出力型Ｂ［史用の■１
１１仰個月として、ランン信−け発生器１２からの出力
１１１号が第３リレー１３の第１ａ接点１３ａＪ、 ｋ
介しＴ１さｌｌ−）に基準電圧発生器１４からの出力信
号が第１ｊｌＬｚ−８の第２ａ接点８ａ２を介し、て入
力さｉＩるようになっており、こｔｃら制御信号によ′
」−）て高圧電６３Ａ６の出力沖、Ｅｆ：九変・史され
る。高圧電源６および保護抵抗７からなる直列回路には
コンデンサ１５が並列に接続されでいる。結合トランス
１０の１次義線には、交流発生器（周波数−二例えば５
００ＫＨｚ〜１ＭＨ２） １６が接続されている。従１
）で、ランフ信月発４を一器１２〃汀、の匍制御信号が
高用市、源６に入力されることによって、高１＋電源６
か
固カー゛す之）ためのＦｔＴ侍Ｆ１．チャックに１ル１
する。 〔発明の技術重石１ｐ〕 例えば上ＨＢ４′１１１１画装置によってシリコンウェ
ハ等の試料に面接描画するしこ際しては、テーブル上に
載１６＝声れた試料の１°そり１′を無ぐシフ、子し２
てチーＸプル移動時に試料がすれないようにするために
静電チャック条で使用してテーブル上６・ζ試峯・１を
： ＜＋ｎ”実に密着固定する必要があえ）２、 このための＃ｉ’ ′小゛チャックとして、チーフル」
二Ｖこ設けた基盤と基盤上に載置した試Ａ）Ｉとに的υ
ｉｔ、高１１１１汁ケ印加して、Ｈノ峙ｂ、力によって
基盤ヒに試料を吸着する構造のものが知られている、 このようＩＩ構造の静電チャックにおいては、試峯１吸
着に先立つて、試料、基盤間に高〒↑（１汁イで・印加
するために必安な電極を、試料」−に固定し−ｒ両渚ケ
導］１りさせなけれはならない１、ぞのプこめ第１図に
概略ｔ＜ｊｔ面図で示され石ように、デープル〔図示せ
す〕１−ＶＣ設けられた基盤１の上面上に１成１１２ケ
載置し、試料用の′［ｈ、極３の先端と、さらに放７１
ＮＪＩＪのＶｔ電極の先☆１１１．１とゲ万いに近接さ
ぜると共に両′１１１極３．４を試料２十面上にバネ等
の圧カイζ１加千１ツ′５によってｌツｒ定Ｈ−力で押
伺け、イし７て両１ｉｔ、榛３□４間に放′Ｉｈ、用′
市源からの高％： １．４ゲ印加［２−Ｃその両う１；
端間で放電を起こさせ、かくし７千光生む／こ熱’ｒｃ
Ｌって試料２の１−面上の酸化膜□□□−（ｆ！４壊
（１，で試を団１の山付］３と試本１２と庖：２、Ｆ約
Ｈ４１Δせ、山イ歩３鞘試木」２に１、！ｉｌ定−ｆゐ
。１左試料２とＭ、極３とが導通したことクーイＩ’ｆ
ｆｌ ｒ沼するには、′電極３に印加される高電Ｉ＋ケ
′ｌｈ。 Ｉ（６１にｊ：つ゛Ｃ監ネｈ’ｔ〜、その、い片言１の
振ｔ１が負の特ｆ＋ゲ示１，１こときに、試料２表１１
１１の数比ルア１か破壊さ）′１て試料２と石、極３と
が導通し７たことが確認される１、 こσ、ようにして試料２と″［（ｆ、極３とか導通し−
７たこ−シ・ とケ４’１ｇ ｉ沼し２に後、ｈシミ用市極０．１叫１
゛に１−１試刺吸〔昔１ン１技術の問題点〕 し−２かじなが「）Ｐ述のような篩箱７チヤ゛ツクにお
いては、試料２と′「）ｊ極３とか導通したか否力・を
基盤上に載置されλ、試料４σに確認しなけれし、ｌな
らす、し、かもその後に重、伽を切替えて試料２ケ基盤
１上に吸着ば−Ｖ斤けｔｌはな０かい。 コノ／こめ、ＥＢ描画装ｆｌ ｖにのような静電チャッ
クを適用すると、システム全体とし２千作業の自動化ケ
図ることが困難である。 〔発明の［１的〕 本発明し１−以上のよう１（４Ｉ−悄’ｆ Ｊ’ Ｉ帳
して〃さ）１にもので、試料上Ｃ（二重極を固定し７両
渚會導ｊ支０さ１ｔ、しかも基盤上（（試料ケ吸別させ
る−１４・、の動作ゲ１］４１ｊ１的に行ηつことがで
きる静■１：チ＾パンクゲ得るＣとを目的とする。 〔発明の棚列〕 本発明においては、基盤上に載置し、７たバネ’Ｉ ｌ
ｖｃ！−１−いに近接１′石ように固定し７た試料Ｈ
’ＪτＩイ債−・よび放電用電極間に、出力型１（−ヶ
変更１扛能な直ＩＡＬ ｉＲｌ ）−を市１温た「）の
ランプ抜出力■、圧を印加してｌｉ［＋ｌ ’ｔ４＋’
、 ｌｘとＥ ｘ：＊とをｖ７いに導通させ、この導通
によてンで１ｉｉｌζ；（已高圧電源からの電流に重信
した交かｔ、 （Ｆ 、４４１’＋ｆ、流、プ）ζ色、
増したことを検出し、この検出結果に基つＩ−″）て、
前記高Ｉｆ ｆｉｊ ｍ ノｌｔｌ力１１ｔ 圧ｙ、１
＋ｐ） Ｂ エテ、ｆｉ’ｌ １ｆｉ２ Ｗｒｈ Ｂ
’ｎ（。 源から、試料土に固定した試料）１１電イ徹金介（〜Ｃ
１試料、基盤間に試料を基盤上に吸糸さ−を上２）に・
ゼ・安な電圧を印加することＫよって、「）１ｆ記目的
含Ｓ、１”れ／ｊ見している。 〔発明の実施例〕 第２１：ＲＪ ｉ’Ｊ：本発明にがかる＃ｌＩ”ｄもチ
ャックの回路ブロック図である。 第２図に示ｔ、ｃうに６は、出力重圧が変更可能な直流
の給ＩＨ−箪折であり、この高圧和飾６は、その−（マ
イナス）倶１が接地さハ、その＋（ブラスノ佃が、保護
用抵抗７（高摂抗値：例えば２〜３ＭΩ〕および第１リ
レー８の第１九級点８ａ、１からｌる内列回路を介して
基盤夏に接続されている。 基盤１上面上にＣ１試相２が載置さノする１、基盤１１
１−に試料２が載置されることによって、両考間に所定
静電、容計のコンデンサが形成される、試料２上面上に
は、試料用の電極３の先端と、さらに放電用のｔｊｆ極
４の先端とを、バネ等の圧力付加手段（図示省略） ｒ
ｔｃよって所定押）１−力で押伺けである。 電極３ｄ接地され、Ｗ棒４け検出トランス９０１次４１
！１巻線、結合トランス１００２次側巻線、第２リン−
１１のａ接点１１ａおよび保縛用抵抗７からなる直列回
路を介シー、て高圧電源６の＋側に接続きれている、 高Ｈ： ｍ’、 泥（ｉに（ｄ、出力型Ｂ［史用の■１
１１仰個月として、ランン信−け発生器１２からの出力
１１１号が第３リレー１３の第１ａ接点１３ａＪ、 ｋ
介しＴ１さｌｌ−）に基準電圧発生器１４からの出力信
号が第１ｊｌＬｚ−８の第２ａ接点８ａ２を介し、て入
力さｉＩるようになっており、こｔｃら制御信号によ′
」−）て高圧電６３Ａ６の出力沖、Ｅｆ：九変・史され
る。高圧電源６および保護抵抗７からなる直列回路には
コンデンサ１５が並列に接続されでいる。結合トランス
１０の１次義線には、交流発生器（周波数−二例えば５
００ＫＨｚ〜１ＭＨ２） １６が接続されている。従１
）で、ランフ信月発４を一器１２〃汀、の匍制御信号が
高用市、源６に入力されることによって、高１＋電源６
か
【）ランプ状に高電月が出力さｔｌｌ これが保ｉ
値用砥ノ九７、第２リレー１１のａ接点１１ａ（閉時）
、結合トランス１００２次側巻Ｙ−１検出トランス９の
１次（ｔａｌ１巻線を介して電極３に印加され、その結
果１１ｆ、極３，４の先端間で放電が起こり、かくして
発生した熱によって試料２上面上の酸化膜が破壊されて
両ｇ極；つ。 ４と試料２とが互いに導通する。このように、ｔｌ：ｉ
：極３．４か試料２に専辿することによって、高圧’Ｉ
ｆ源６、第２リレー１１のａ接点１１ａ１結合トランス
１００２次巻勝、検出トランス９の１次側巻ＩＴＩ！１
１、電極４、試料２および′電極３刀）らなる導通確認
用ＩＹ］回路が形成さｉｌ−る。従って、全３ｔｃ発生
器１６からの交流信号は結合トランス１０￥・介［２て
導通確認用閉回路中を流れ、これが検出トランス９ Ｖ
Ｃよって検出される。この導通確認用閉回路の等価回路
？＝を第３図に示す通りであ６．、コンデンサ＋５？−
，ｌ：、導通音ト認用閉回路のインピーダンス有・下げ
てＩＩｉＩｍ回路中を交流発生器１６からの交ｌ′ｉ′
７ｒ、イハー号が流Ｊヒ交）すいようにし２、もって検
出トランス９の２次側に誘起される交流信号のθ／Ｎ比
を改善する、−力、丑！極３力く試料２に導通すること
してＬ′″：）１、高目−市、源６、保撞用訊抗７、第
１リレー８の第１ａ接点８ａ１（閉時）、基盤１、基盤
１と基盤１」二に載置された試料２とによって形成され
たコンチン−１−Ｃ１試相２の等価枳抗Ｒおよび電極３
からなる試料吸着片■１回路が形成ばれる。この等仙１
回路も第３図に合わせて示しである。 検出ｉ・ランス９の２次０Ｉｌ１巻称には、バッファ貯
ノ巾器１７か接続さノ１″′Ｃおり、検出ｌ・ランス９
の２次側に誘起された交流信号がバッファ増＋１−Ｊ器
１７に入力され増巾されて出力食れる。バッファ増＋ｊ
Ｊ器１７の出力信号は、検波積分器１８１／７Ｔ人力さ
ｆｊここにおいて検波積分され直流信号ＫＸ変換されえ
〕。 検波積分器１８刀Ｓらの出力信号に５、比較器１９に入
力される。比較器１９に訃いてしｔ、あｃ−Ｎ′Ｄ１［
Ｃめ定ｄ）Ｉ−れた基準設定値と検波積分器１８からの
出力信号値とが比較され、検波積分器１８からの出力信
号４＾が基準設定値を越えたときに信号≠；出力される
。この基鵡設定値は、あらかじめ検定ｒＣよって、′ポ
極３，４と試料２とが導通したときにイ４Ｉられる検波
積分器１８からの出力材−←）植よりも７り［定値たけ
低い価になるうに定められている。 比較器１９からの出力信号Ｖ１、バソノア増ＦｌＪ器２
０に入力されて増巾され、そして匍制御用トランジ、７
゜り２１のベークに入力される。 制御用トランジスタ２１のエミッタに接地さえｔコレク
タは第４リレー２Ｓｌ介して供ｙ４・１１イ、源（図小
（Ｆず）の＋（ノラス） （ｉｉｌｌ （ｆｃ接経１貞
れている。このイへ１ト′巾′源の＋１１１１１にハ、
第；３ リレー１３の第２ａ接点１３ａ２オ・工び始
動スイッチ２３（′帛開ンの−Ｖｊｌ、ｉが接続され、
これら第２ａ接点１３ａ２シ・よぴ始動スイッチ２３の
他端は第４１ル−２２のｂ接点２２１）の−婦ｖｃ４ヅ
続され、ｂ接点２２１）の他臨は第２リレー１１および
ψ３リレー１３の−婦に接続され、これ【）リレー１ｉ
、第３の他端ｔ−［耕地されてい；ｔＳ、、また１１１
１バ１言氏圧電源の」−イ則には、第１ ＩＩシレーの
第３ａ接点シ（ａ３および第４１多レー２２σ・ａ接点
２２ａの一嬬ガ接続さえｌ、これら第３ａ接点７改３お
よびａｌざ点２２ａの仙ψ：Ａ（ｋ↓停停止スラッチ２
４常閉）の一端に接続され、停止スイッチ２４の他端は
第１リレー７の一グＭＫ接続さね、第１リレー７の他端
は接地されている、 以上のような４色成によって次のように１７で電極３が
試料２に接続され、ぞＬ７て試料２が基盤１に吸着され
る。、ます、基盤１上に試料２を載置し、市、極３．４
の先端を互いに近接上せてこれらを圧カイで１加手段５
によって試料２の土面」二に押倒ける。 そして、始動スイッチ２３ゲ閉［−ると、第２リレー１
１およ０・第３リレー１３に電流が茄ｔして、これらが
作動して、第２１Ｊレー１１のａ括一点１１ａ方閉じ、
しかも、第３リレー１３の第１ａおよｒ７−第２ａ接点
１３１１１．１．１３ａ２が閉じる。その結果、第１お
よび第３リレー１１．１．３ｉ士作動イ呆本〜され、卯
。 ４図中（１）で示すように、これら第１、第３リレー１
１．１３に継続的に低Ｈ−宙、源からの宵１１＝が印加
され、一方、面圧甫豹６にランプ信号発生器１２刀＼ら
のランプ物、丹が印加され、高圧電源６からランプ状出
力電Ｊトが、保護用ｔＸ抗７、第２１Ｊレー１１の８接
点１１ａ１結合トランス１０の２次佃１イ＝Ｓ＜、検出
トランス９の１次（Ｉｌ１巻絢全介し千′山極４に印加
される（第４図中χ２）参照）、 電極４（Ｃ高圧電源６からのランフ状の■（′、１■−
が印加されると、電極３．４間に放電が起こり、その結
果発生しまた熱に２１ンって試料２上面十のレジスト膜
が破壊され、電極３．４と試料２とが導通し、導通確認
用閉回路が形成される。その結果、高圧筒：臨６からの
ランプ状箪庄が印加された’？Ｑ極４ ｉ１′万７１１
的ＶＣ接地され、ここにおける市ｎ−＋：ｌ急激に低−
トシてｏｖｃｙｒる。 そ［７で、このようＫｔ、て市イ傘３と試料２とが漕。 １ｉＩｌすると、導通４″ｆｆｒ認用閉回路中を流ねる
交流発生器１６からの交流信号の仙が急増［７、その結
果、検出トランス９の２次（ｔｍにおける交流信−け値
が第４図中（３）で示すよう（Ｃ急増し、比較器１≦）
に入力される検波積分器１８の出力車Ｆトも第４図中（
４）で示すように角、増し、て、ζ第１が比較器１９に
おける基僧設定値（第４図１１−＋（４）におばでａで
示す）レベルを越え、そして、第４図中（５）で示すＪ
う（てバッファ増巾器２０力１らの、電極３と試料２と
が導］１η（−７たことを確望する出力（ｔｒ号が制御
用トランジスタ２１のベースに入力されるう 制御用トランジスタ２１のベースにバッファ」曽Ｔｌ］
５２０からの信号力；入力されると、同トランジスタ２
１のコレクタに′電流、がＭＣれて第４リレー２２が作
ＩＮｙし、そ、のａ接点２２ａが閉じ、同時に子のし接
点２２ｂが開いて、第１リレー８が作動し、同時に第２
リレー１１、第３リレー１３が作動停止する。その結果
、第１リレー８の第１ａ接点８ａ１ｉ２ａ接点３ａ２、
第３ａ接点８ａ３カ閉じ、１１１１時に第３リレー１３
の第１ａ接点１３ａ】、第２ａＰ一点ｌ３ａ２Ｊ２リレ
ー１１のａ接点１ ｉ ａ ％に開いて、（１）、基準
ｔｉｔ ＩＪｉ−発生器１４からの制御信弓が高１１−
市諒６に入力され、高厘市、源６７Ｊ＼ら篩箱′チャッ
ク月１ 、Ｖ：１霜圧が発生し２て、これが保護用４■
１１冗７、第１リレー８のぎ１．１ａ接点８ａｌを介し
て基盤１に印加さｔｌ、（第４図中（６）参照）、同時
に、（２）、第４リレー２２が作動停止して、そのａ接
点２２ａが開くと共に様。 １リレー８の第３ａ接点８ａ、３が閉じることにＬ″′
）で、第１リレー８は引続いて作ｄＩ′１１保持さｔす
る。 基準１に高１１−電極６かＣ）の高１ｊ ＥｔＦが印加
さ第１私と、試料２、基盤１間に静電力が発生し、試１
２は基盤１シこ吸着される。 なお、基盤１への試料２の吸糸を解除するにｒ１停止ス
イッチ２４を開いて、第１リレー８の作動を停止させる
。その結果、第１リレー８の各ａ接点８ａ１．３ａ２．
８ａ３ ｆ’ｒ開いて基ｆｉｌｉｃ高’ｉＩｓ’、 Ｊ
Ｔ−が印加され方〈斤るので、基盤１、試料２間のｎ員
ｆｆ１． ｊｙがなくな−ラて、基ａ：１への試料２の
吸尤プノ晴（除され／：）。 〔発明の効果〕 以ｌ二説、明したように、本発明によれは、試料を基盤
」−に自動的に吸着することができ、システム全体の能
率？向上させることができる。
値用砥ノ九７、第２リレー１１のａ接点１１ａ（閉時）
、結合トランス１００２次側巻Ｙ−１検出トランス９の
１次（ｔａｌ１巻線を介して電極３に印加され、その結
果１１ｆ、極３，４の先端間で放電が起こり、かくして
発生した熱によって試料２上面上の酸化膜が破壊されて
両ｇ極；つ。 ４と試料２とが互いに導通する。このように、ｔｌ：ｉ
：極３．４か試料２に専辿することによって、高圧’Ｉ
ｆ源６、第２リレー１１のａ接点１１ａ１結合トランス
１００２次巻勝、検出トランス９の１次側巻ＩＴＩ！１
１、電極４、試料２および′電極３刀）らなる導通確認
用ＩＹ］回路が形成さｉｌ−る。従って、全３ｔｃ発生
器１６からの交流信号は結合トランス１０￥・介［２て
導通確認用閉回路中を流れ、これが検出トランス９ Ｖ
Ｃよって検出される。この導通確認用閉回路の等価回路
？＝を第３図に示す通りであ６．、コンデンサ＋５？−
，ｌ：、導通音ト認用閉回路のインピーダンス有・下げ
てＩＩｉＩｍ回路中を交流発生器１６からの交ｌ′ｉ′
７ｒ、イハー号が流Ｊヒ交）すいようにし２、もって検
出トランス９の２次側に誘起される交流信号のθ／Ｎ比
を改善する、−力、丑！極３力く試料２に導通すること
してＬ′″：）１、高目−市、源６、保撞用訊抗７、第
１リレー８の第１ａ接点８ａ１（閉時）、基盤１、基盤
１と基盤１」二に載置された試料２とによって形成され
たコンチン−１−Ｃ１試相２の等価枳抗Ｒおよび電極３
からなる試料吸着片■１回路が形成ばれる。この等仙１
回路も第３図に合わせて示しである。 検出ｉ・ランス９の２次０Ｉｌ１巻称には、バッファ貯
ノ巾器１７か接続さノ１″′Ｃおり、検出ｌ・ランス９
の２次側に誘起された交流信号がバッファ増＋１−Ｊ器
１７に入力され増巾されて出力食れる。バッファ増＋ｊ
Ｊ器１７の出力信号は、検波積分器１８１／７Ｔ人力さ
ｆｊここにおいて検波積分され直流信号ＫＸ変換されえ
〕。 検波積分器１８刀Ｓらの出力信号に５、比較器１９に入
力される。比較器１９に訃いてしｔ、あｃ−Ｎ′Ｄ１［
Ｃめ定ｄ）Ｉ−れた基準設定値と検波積分器１８からの
出力信号値とが比較され、検波積分器１８からの出力信
号４＾が基準設定値を越えたときに信号≠；出力される
。この基鵡設定値は、あらかじめ検定ｒＣよって、′ポ
極３，４と試料２とが導通したときにイ４Ｉられる検波
積分器１８からの出力材−←）植よりも７り［定値たけ
低い価になるうに定められている。 比較器１９からの出力信号Ｖ１、バソノア増ＦｌＪ器２
０に入力されて増巾され、そして匍制御用トランジ、７
゜り２１のベークに入力される。 制御用トランジスタ２１のエミッタに接地さえｔコレク
タは第４リレー２Ｓｌ介して供ｙ４・１１イ、源（図小
（Ｆず）の＋（ノラス） （ｉｉｌｌ （ｆｃ接経１貞
れている。このイへ１ト′巾′源の＋１１１１１にハ、
第；３ リレー１３の第２ａ接点１３ａ２オ・工び始
動スイッチ２３（′帛開ンの−Ｖｊｌ、ｉが接続され、
これら第２ａ接点１３ａ２シ・よぴ始動スイッチ２３の
他端は第４１ル−２２のｂ接点２２１）の−婦ｖｃ４ヅ
続され、ｂ接点２２１）の他臨は第２リレー１１および
ψ３リレー１３の−婦に接続され、これ【）リレー１ｉ
、第３の他端ｔ−［耕地されてい；ｔＳ、、また１１１
１バ１言氏圧電源の」−イ則には、第１ ＩＩシレーの
第３ａ接点シ（ａ３および第４１多レー２２σ・ａ接点
２２ａの一嬬ガ接続さえｌ、これら第３ａ接点７改３お
よびａｌざ点２２ａの仙ψ：Ａ（ｋ↓停停止スラッチ２
４常閉）の一端に接続され、停止スイッチ２４の他端は
第１リレー７の一グＭＫ接続さね、第１リレー７の他端
は接地されている、 以上のような４色成によって次のように１７で電極３が
試料２に接続され、ぞＬ７て試料２が基盤１に吸着され
る。、ます、基盤１上に試料２を載置し、市、極３．４
の先端を互いに近接上せてこれらを圧カイで１加手段５
によって試料２の土面」二に押倒ける。 そして、始動スイッチ２３ゲ閉［−ると、第２リレー１
１およ０・第３リレー１３に電流が茄ｔして、これらが
作動して、第２１Ｊレー１１のａ括一点１１ａ方閉じ、
しかも、第３リレー１３の第１ａおよｒ７−第２ａ接点
１３１１１．１．１３ａ２が閉じる。その結果、第１お
よび第３リレー１１．１．３ｉ士作動イ呆本〜され、卯
。 ４図中（１）で示すように、これら第１、第３リレー１
１．１３に継続的に低Ｈ−宙、源からの宵１１＝が印加
され、一方、面圧甫豹６にランプ信号発生器１２刀＼ら
のランプ物、丹が印加され、高圧電源６からランプ状出
力電Ｊトが、保護用ｔＸ抗７、第２１Ｊレー１１の８接
点１１ａ１結合トランス１０の２次佃１イ＝Ｓ＜、検出
トランス９の１次（Ｉｌ１巻絢全介し千′山極４に印加
される（第４図中χ２）参照）、 電極４（Ｃ高圧電源６からのランフ状の■（′、１■−
が印加されると、電極３．４間に放電が起こり、その結
果発生しまた熱に２１ンって試料２上面十のレジスト膜
が破壊され、電極３．４と試料２とが導通し、導通確認
用閉回路が形成される。その結果、高圧筒：臨６からの
ランプ状箪庄が印加された’？Ｑ極４ ｉ１′万７１１
的ＶＣ接地され、ここにおける市ｎ−＋：ｌ急激に低−
トシてｏｖｃｙｒる。 そ［７で、このようＫｔ、て市イ傘３と試料２とが漕。 １ｉＩｌすると、導通４″ｆｆｒ認用閉回路中を流ねる
交流発生器１６からの交流信号の仙が急増［７、その結
果、検出トランス９の２次（ｔｍにおける交流信−け値
が第４図中（３）で示すよう（Ｃ急増し、比較器１≦）
に入力される検波積分器１８の出力車Ｆトも第４図中（
４）で示すように角、増し、て、ζ第１が比較器１９に
おける基僧設定値（第４図１１−＋（４）におばでａで
示す）レベルを越え、そして、第４図中（５）で示すＪ
う（てバッファ増巾器２０力１らの、電極３と試料２と
が導］１η（−７たことを確望する出力（ｔｒ号が制御
用トランジスタ２１のベースに入力されるう 制御用トランジスタ２１のベースにバッファ」曽Ｔｌ］
５２０からの信号力；入力されると、同トランジスタ２
１のコレクタに′電流、がＭＣれて第４リレー２２が作
ＩＮｙし、そ、のａ接点２２ａが閉じ、同時に子のし接
点２２ｂが開いて、第１リレー８が作動し、同時に第２
リレー１１、第３リレー１３が作動停止する。その結果
、第１リレー８の第１ａ接点８ａ１ｉ２ａ接点３ａ２、
第３ａ接点８ａ３カ閉じ、１１１１時に第３リレー１３
の第１ａ接点１３ａ】、第２ａＰ一点ｌ３ａ２Ｊ２リレ
ー１１のａ接点１ ｉ ａ ％に開いて、（１）、基準
ｔｉｔ ＩＪｉ−発生器１４からの制御信弓が高１１−
市諒６に入力され、高厘市、源６７Ｊ＼ら篩箱′チャッ
ク月１ 、Ｖ：１霜圧が発生し２て、これが保護用４■
１１冗７、第１リレー８のぎ１．１ａ接点８ａｌを介し
て基盤１に印加さｔｌ、（第４図中（６）参照）、同時
に、（２）、第４リレー２２が作動停止して、そのａ接
点２２ａが開くと共に様。 １リレー８の第３ａ接点８ａ、３が閉じることにＬ″′
）で、第１リレー８は引続いて作ｄＩ′１１保持さｔす
る。 基準１に高１１−電極６かＣ）の高１ｊ ＥｔＦが印加
さ第１私と、試料２、基盤１間に静電力が発生し、試１
２は基盤１シこ吸着される。 なお、基盤１への試料２の吸糸を解除するにｒ１停止ス
イッチ２４を開いて、第１リレー８の作動を停止させる
。その結果、第１リレー８の各ａ接点８ａ１．３ａ２．
８ａ３ ｆ’ｒ開いて基ｆｉｌｉｃ高’ｉＩｓ’、 Ｊ
Ｔ−が印加され方〈斤るので、基盤１、試料２間のｎ員
ｆｆ１． ｊｙがなくな−ラて、基ａ：１への試料２の
吸尤プノ晴（除され／：）。 〔発明の効果〕 以ｌ二説、明したように、本発明によれは、試料を基盤
」−に自動的に吸着することができ、システム全体の能
率？向上させることができる。
第１図（ｒＬ基盤部分の概略断面図、第２図は本発明に
かが２．静電ヂーヤツクの回路ブロック図、第；）図は
同回路要部の等価回路図、第４図＆−１本発明静電ヂャ
ツクの作動全説明するグこめの波形図である。 １・・・基盤、 ２・・・試料、 ３，４・・・ｉ１
〕極、６・・・高圧′６源、 ｓ 、＝ 第１リレー
、 ８ａ、１．８ａ２゜８ａ、３・・・ａ接点、
９・・・検出トランス、 １０・・・結合！・ランス
、 １１・・・第２リレー、１１ａ・・・ａ＋ｇ点、
１２・・・ランプ信ぢ発生器、 １３・・悄！３
リレー１３ａｌ、 １３ａ２・・・８４接点、 １４
・・・〃・準１し圧発牛器、 １６・・・交流発生器
、 １８・・・構成積分器、１９・・・比較器、
２１・・・制御用トランジスタ、２２・・・第４リレー
、 ２２ａ・・・ａ接点、 ２２ｂ・・・ｂ接点、
２３・・・始動スイッチ。
かが２．静電ヂーヤツクの回路ブロック図、第；）図は
同回路要部の等価回路図、第４図＆−１本発明静電ヂャ
ツクの作動全説明するグこめの波形図である。 １・・・基盤、 ２・・・試料、 ３，４・・・ｉ１
〕極、６・・・高圧′６源、 ｓ 、＝ 第１リレー
、 ８ａ、１．８ａ２゜８ａ、３・・・ａ接点、
９・・・検出トランス、 １０・・・結合！・ランス
、 １１・・・第２リレー、１１ａ・・・ａ＋ｇ点、
１２・・・ランプ信ぢ発生器、 １３・・悄！３
リレー１３ａｌ、 １３ａ２・・・８４接点、 １４
・・・〃・準１し圧発牛器、 １６・・・交流発生器
、 １８・・・構成積分器、１９・・・比較器、
２１・・・制御用トランジスタ、２２・・・第４リレー
、 ２２ａ・・・ａ接点、 ２２ｂ・・・ｂ接点、
２３・・・始動スイッチ。
Claims (1)
- 【特許請求の範囲】 基盤と、 出力電圧を一変史＋Ｊ能な泊流高圧電源と、前記高ＩＦ
電源からランプ状出力電圧を発生さゼーるための匍制御
信号全前訃）高圧′巾、飾に印加するランプ信号発生器
と・、 前記基盤上に試料を吸着させるに必要な出力電圧を前記
高圧電源から発生させるだめの匍」御信号を印加する基
準電圧発生器と、 前記基盤上に載置した試料−にに互いに近接するように
固定１−７た試料用電極および放′市用′電極と、 前記ランプ信号発生器からの■ＩＩ御信号を開閉するた
めの第１開閉手段と、 前記基準筒；Ｊ］：発生器からのｉ制御信号を開閉する
ための第２開閉手段と、 前記高Ｌ１−昂５源、前記放電、用電極、前記試料およ
び前記試料用’ａ極全全直列接続てＩＩる導通確認用開
閉回路の一部を開閉するための第３開閉−１・段と、 前記高圧電源、前記基盤、＝ｆ１記基盤と前記試料とに
よって形成されたコンテンツ、前記試料および前記試料
上に固定した前記試料用１１：極￥１白列接続してなる
試料１ｙり着用閉回路の一部を開閉する／こめの第４開
閉手段と、 前記第１、第２．、第３、第４開閉手段の開閉を制御す
るための制御手段番と、 前記導通確認用閉回路中に交流信号を加えるだめの交流
発生器と、 前記導通確認用閉回路中を流れえ、前記交流発生器から
の交流信号を検出するための検出）：（と、前記検出器
からの出力信号を検波１．”−（−的流信匙に変換する
ための変換器と、 前記変換器からの出力信号をあｃ−）かしめ定めた基準
設定値と比較して、前記変換器からの出力信号が前記基
準設定値を越えた値であるときに（す音信号ケ前記皿制
御手段に入力するための比較器とを４＋ｒ＋＋え、 １！：、Ｉ ｒＧ市１１１１仙ｊに段（′１１、始動ス
イッチと、前ｈ［シ始動スイッチを１チ］じることによ
って、前記第１および第３開閉手段ケ閉じて、■）１］
記高汗１１ｒ源からランプ状出力（（」汗（・全発生さ
、（１′１″乙と共に前記導通４ｉｆｌｉ認用閉回路ケ
形成さぜる機１１）（と、前記切替信号が人力食れ２）
ことしてよって、前記第１および第３開閉手段を開くと
共Ｃτ前ｈ１（第２あ・よひ第４開閉手段ケ１９１じて
「）１霞己９吉ｆｌＷ １−ＦＣＩＩ！Ｊ Ｒ’ｆ２
Ｋ本（１１段着させ６に必要ｈＮＬ＋を・前記高月−市
：飾か「１発生させると共に前ｎ［）試料吸措用閉回路
を形成させる機能とをイｉ’ Ｌ １いるこ２−ｋｑ）
徴とする０イ１１１１チヤツク、
Priority Applications (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP58008745A JPS59135741A (ja) | 1983-01-24 | 1983-01-24 | 静電チヤツク |
Applications Claiming Priority (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP58008745A JPS59135741A (ja) | 1983-01-24 | 1983-01-24 | 静電チヤツク |
Publications (1)
| Publication Number | Publication Date |
|---|---|
| JPS59135741A true JPS59135741A (ja) | 1984-08-04 |
Family
ID=11701465
Family Applications (1)
| Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
|---|---|---|---|
| JP58008745A Pending JPS59135741A (ja) | 1983-01-24 | 1983-01-24 | 静電チヤツク |
Country Status (1)
| Country | Link |
|---|---|
| JP (1) | JPS59135741A (ja) |
Cited By (1)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| JPH08191099A (ja) * | 1994-09-30 | 1996-07-23 | Nec Corp | 静電チャック及びその製造方法 |
-
1983
- 1983-01-24 JP JP58008745A patent/JPS59135741A/ja active Pending
Cited By (1)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| JPH08191099A (ja) * | 1994-09-30 | 1996-07-23 | Nec Corp | 静電チャック及びその製造方法 |
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