JPS5914007U - 表面粗さ計 - Google Patents

表面粗さ計

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Publication number
JPS5914007U
JPS5914007U JP10878682U JP10878682U JPS5914007U JP S5914007 U JPS5914007 U JP S5914007U JP 10878682 U JP10878682 U JP 10878682U JP 10878682 U JP10878682 U JP 10878682U JP S5914007 U JPS5914007 U JP S5914007U
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JP
Japan
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surface roughness
roughness meter
elements
recorded
dielectric material
Prior art date
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Pending
Application number
JP10878682U
Other languages
English (en)
Inventor
孝 鈴木
Original Assignee
イ−グル工業株式会社
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Filing date
Publication date
Application filed by イ−グル工業株式会社 filed Critical イ−グル工業株式会社
Priority to JP10878682U priority Critical patent/JPS5914007U/ja
Publication of JPS5914007U publication Critical patent/JPS5914007U/ja
Pending legal-status Critical Current

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  • Measurement Of Length, Angles, Or The Like Using Electric Or Magnetic Means (AREA)

Abstract

(57)【要約】本公報は電子出願前の出願データであるた
め要約のデータは記録されません。

Description

【図面の簡単な説明】
図面は本考案の一実施例を示すもので、第１図は基準計
測盤の断面図、第２図はエレメントの拡大断面図、第３
図は表面粗さ計の全体系統図、第４図は第１図における
要部拡大図である。 １・・・基準計測盤、２・・・エレメント、３・・・金
属体、３・・・誘電体、５・・・計測表面、６・・・電
荷附与装置、７・・・切換装置、８・・・電位計測装置
、９・・・電算機、１０・・・表示装置、１１・・・記
憶装置、ａ・・・対象物。

Claims (1)

    【実用新案登録請求の範囲】
  1. 金属体３上に誘電体４を配置してなり、電気容量法で対
    象面との間隔を計測する微少な計測表面５を有する複数
    のエレメント２を規則的に配列した基準計測盤１を有し
    、前記各エレメント２における計測値を全体的もしくは
    部分的に表示あるいは記録することを特徴とする表面粗
    さ計。
JP10878682U 1982-07-20 1982-07-20 表面粗さ計 Pending JPS5914007U (ja)

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JP10878682U JPS5914007U (ja) 1982-07-20 1982-07-20 表面粗さ計

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JPS5914007U true JPS5914007U (ja) 1984-01-27

Family

ID=30253666

Family Applications (1)

Application Number Title Priority Date Filing Date
JP10878682U Pending JPS5914007U (ja) 1982-07-20 1982-07-20 表面粗さ計

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Cited By (5)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
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