JPS5914261U - 走査電子顕微鏡 - Google Patents
走査電子顕微鏡Info
- Publication number
- JPS5914261U JPS5914261U JP10998682U JP10998682U JPS5914261U JP S5914261 U JPS5914261 U JP S5914261U JP 10998682 U JP10998682 U JP 10998682U JP 10998682 U JP10998682 U JP 10998682U JP S5914261 U JPS5914261 U JP S5914261U
- Authority
- JP
- Japan
- Prior art keywords
- timer
- output signal
- electron microscope
- scanning electron
- supplied
- Prior art date
- Legal status (The legal status is an assumption and is not a legal conclusion. Google has not performed a legal analysis and makes no representation as to the accuracy of the status listed.)
- Pending
Links
Abstract
(57)【要約】本公報は電子出願前の出願データであるた
め要約のデータは記録されません。
め要約のデータは記録されません。
Description
第１図は本考案の一実施例を示すブロック図、第２図は
第１図の実施例の説明に用いた信号波形図である。 １：撮影手段、２：ＮＡＮＤゲート回路、３：第１のタ
イマー、４：スイッチ制御回路、５：油拡散ポンプ、６
：電源、７：スイッチ、８：第２のタイマー、９：増幅
器、１０：ランプ。
第１図の実施例の説明に用いた信号波形図である。 １：撮影手段、２：ＮＡＮＤゲート回路、３：第１のタ
イマー、４：スイッチ制御回路、５：油拡散ポンプ、６
：電源、７：スイッチ、８：第２のタイマー、９：増幅
器、１０：ランプ。
Claims (1)
- 【実用新案登録請求の範囲】 １ 鏡体内を排気するための油拡散ポンプと、該ポンプ
へ交流電力を供給するための電源と、その一方の入力端
子に走査像の撮影開始信号が供給されるＮＡＮＤゲート
回路と、該ＮＡＮＤゲート回路の出力信号が供給される
第１のタイマーと、該第１のタイマーに接続され、その
出力信号が該ＮＡＮＤゲート回路の他方の入力端子に供
給される第２のタイマーとを備え、該第１のタイマーの
出力信号に応じて、該ポンプへの交流電力−の供給、停
止を制御するように構成した走査電子顕微鏡。 ２ 該第２のタイマーの出力信号レベルの変化を示す
表示手段が設けられた実用新案登録請求の範囲第１項記
載の走査電子顕微鏡。
Priority Applications (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP10998682U JPS5914261U (ja) | 1982-07-20 | 1982-07-20 | 走査電子顕微鏡 |
Applications Claiming Priority (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP10998682U JPS5914261U (ja) | 1982-07-20 | 1982-07-20 | 走査電子顕微鏡 |
Publications (1)
| Publication Number | Publication Date |
|---|---|
| JPS5914261U true JPS5914261U (ja) | 1984-01-28 |
Family
ID=30255986
Family Applications (1)
| Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
|---|---|---|---|
| JP10998682U Pending JPS5914261U (ja) | 1982-07-20 | 1982-07-20 | 走査電子顕微鏡 |
Country Status (1)
| Country | Link |
|---|---|
| JP (1) | JPS5914261U (ja) |
-
1982
- 1982-07-20 JP JP10998682U patent/JPS5914261U/ja active Pending
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