JPS5914262U - 電子顕微鏡における自動撮影装置 - Google Patents

電子顕微鏡における自動撮影装置

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Publication number
JPS5914262U
JPS5914262U JP10998882U JP10998882U JPS5914262U JP S5914262 U JPS5914262 U JP S5914262U JP 10998882 U JP10998882 U JP 10998882U JP 10998882 U JP10998882 U JP 10998882U JP S5914262 U JPS5914262 U JP S5914262U
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JP
Japan
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voltage
power source
accelerating
excitation power
lens
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Pending
Application number
JP10998882U
Other languages
English (en)
Inventor
本田　敏和
実 中島
石橋　有
誠一郎 森
Current Assignee (The listed assignees may be inaccurate. Google has not performed a legal analysis and makes no representation or warranty as to the accuracy of the list.)
Jeol Ltd
Original Assignee
Jeol Ltd
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Filing date
Publication date
Application filed by Jeol Ltd filed Critical Jeol Ltd
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Publication of JPS5914262U publication Critical patent/JPS5914262U/ja
Pending legal-status Critical Current

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Landscapes

  • Electron Sources, Ion Sources (AREA)
  • Microscoopes, Condenser (AREA)
  • Cameras Adapted For Combination With Other Photographic Or Optical Apparatuses (AREA)

Abstract

(57)【要約】本公報は電子出願前の出願データであるた
め要約のデータは記録されません。

Description

【図面の簡単な説明】
第１図は本考案の一実施例の概略図を示すための図、第
２図は第１図の各回路要素よりの出力信号を例示するた
めの図である。 １：鏡体、２：電子銃、３：高圧電源、４ａ、　　４ｂ
：軸合わせ用偏向コイル、６：集束レンズ、７：対物レ
ンズ、８：投影レンズ、５，９，１０，１１゜１５：励
磁電源、１３：電子線、１４：試料、１２ａ。 １２ｂ＝偏向コイル、１６，１７．１Ｂ、１９゜２０：
エンコーダ、２１．２２．２３．２４゜２５．３９．４
０：ＤＡ変換器、２６：カメラ装置、２７：カメラ駆動
部、２８：演算制御部、２９゜３０．３１：Ｌ／レジス
タ３２：加算器、３３：タイマー、３４：入力／制御部
、３５：カウンタ、３６：比較器、３７：撮影制御信号
発生回路、３８：演算器、Ｓ：切換スイッチ。

Claims (1)

    【実用新案登録請求の範囲】
  1. 電子銃と、該電子銃よりの電子線を加速するための加速
    電圧を発生する高圧発生回路と、軸合せ用偏向コイルと
    、集束レンズと、照射位置及び照射角度調整用の偏向コ
    イルと、対物、投影レンズと、写真撮影用カメラ装置を
    具備した電子顕微鏡において、加速電圧を一定のシーケ
    ンスに従ってステップ状に変化させるための加速電圧指
    楚信号を発生し前記高圧発生回路に供給する手段と、該
    手段による加速電圧のステップ状の変化にかかわらず電
    子線が常に同一の軌跡をとるように前記各コイルの励磁
    電源及び各レンズの励磁電源の基準電圧を補正するため
    前記加速電圧の変化に同期した補正信号を発生する手段
    と、前記ステップ状に変化する加速電圧の変化に同期し
    て前記カメラ装置を駆動させ各加速電圧における写真撮
    影を行なうための手段とを具備する電字顕微鏡における
    自動撮影装置。
JP10998882U 1982-07-20 1982-07-20 電子顕微鏡における自動撮影装置 Pending JPS5914262U (ja)

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Citations (1)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
JPS55126954A (en) * 1979-03-23 1980-10-01 Jeol Ltd Scanning electron microscope

Patent Citations (1)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
JPS55126954A (en) * 1979-03-23 1980-10-01 Jeol Ltd Scanning electron microscope

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