JPS59145034U - ウエハ−取扱装置 - Google Patents

ウエハ−取扱装置

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JPS59145034U
JPS59145034U JP3756883U JP3756883U JPS59145034U JP S59145034 U JPS59145034 U JP S59145034U JP 3756883 U JP3756883 U JP 3756883U JP 3756883 U JP3756883 U JP 3756883U JP S59145034 U JPS59145034 U JP S59145034U
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JP
Japan
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wafer
water
shaped opening
wafers
water tank
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JP3756883U
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JPS6244534Y2 (ja
Inventor
平野　好也
Original Assignee
第一精機株式会社
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Publication date
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Abstract

(57)【要約】本公報は電子出願前の出願データであるた
め要約のデータは記録されません。

Description

【図面の簡単な説明】
第１図は本考案の一実施例を示す正面図、第２図はＵ字
形開口部を有する側板を示す第１図■−■断面図、第３
図は他の実施例を示す正面図、第４図はその上面図を示
す第３図のＩＶ−ＩＶ断面図。　　　１・・・水槽、２
・・・Ｕ字形開口部、３・・・側壁、５・・・ウェハー
押し付は軸、７・・・吸着装置、８・・・吸引孔、９．
１０・・・移動機構、１１・・・ゲート、１３・・・た
て膨水槽、１５・・・噴水孔、１６・・・ゲート。

Claims (3)

    【実用新案登録請求の範囲】
  1. （１）Ｕ字形開口部を一面に有して、ウェハーを積み重
    ねて収容する水槽と、ウェハーを上記Ｕ字形開口を有す
    る面に押し付けるウェハー押し付は機構と、開口部にお
    いて１枚目のウェハーを吸着状態において積み重ね方向
    に対して直角に移動可能とする吸着装置並びにその移動
    機構と、ウェハーの第２枚目以下の移動を抑ルリするゲ
    ートと、６エハーブロツクを常に水に浸けた状態とする
    手段とからなるウェハー取扱装置。
  2. （２）請求の範囲第１項において、水槽を水平とし、Ｕ
    字形開口を有する面を側壁として、ウェハーを縦に装着
    し、その下部を水槽内の水に浸した状態とするウェハー
    取扱装置。
  3. （３）請求の範囲第１項において、水槽を垂直に立てて
    、Ｕ字形開口を有する面を上部に位置させてウェハーを
    横積にして装着し、ウェハーブロックに対して噴水孔を
    設けて水に浸けた状態とするウェハー取扱装置。
JP3756883U 1983-03-17 1983-03-17 ウエハ−取扱装置 Granted JPS59145034U (ja)

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JP3756883U JPS59145034U (ja) 1983-03-17 1983-03-17 ウエハ−取扱装置

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JP3756883U JPS59145034U (ja) 1983-03-17 1983-03-17 ウエハ−取扱装置

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JPS59145034U true JPS59145034U (ja) 1984-09-28
JPS6244534Y2 JPS6244534Y2 (ja) 1987-11-25

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JP2009515349A (ja) * 2005-11-09 2009-04-09 ウルフギャング クーネン， 付着力を用いて円盤状基板を分離する方法

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JPS6244534Y2 (ja) 1987-11-25

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