JPS59145036U - ウエハカセツト - Google Patents
ウエハカセツトInfo
- Publication number
- JPS59145036U JPS59145036U JP3841683U JP3841683U JPS59145036U JP S59145036 U JPS59145036 U JP S59145036U JP 3841683 U JP3841683 U JP 3841683U JP 3841683 U JP3841683 U JP 3841683U JP S59145036 U JPS59145036 U JP S59145036U
- Authority
- JP
- Japan
- Prior art keywords
- wafer
- wafer cassette
- guide grooves
- cassette
- abstract
- Prior art date
- Legal status (The legal status is an assumption and is not a legal conclusion. Google has not performed a legal analysis and makes no representation as to the accuracy of the status listed.)
- Pending
Links
Abstract
(57)【要約】本公報は電子出願前の出願データであるた
め要約のデータは記録されません。
め要約のデータは記録されません。
Description
第１図は本考案によるカセットの一実ｍ例を示す斜視外
観図、第２図は第１図のＡ−Ａ視断面図、第３図は第２
図のＢ−Ｂ視断面図である。 Ｉ Ｑａ、 １０ｂ−・・フＬ／−ム、１１ａ、
１ ｌｂ−・・ウェハガイドＬ １４ａ、 １４ｂ・
・・ウェハ位置決め溝、１５・・・カセット。
観図、第２図は第１図のＡ−Ａ視断面図、第３図は第２
図のＢ−Ｂ視断面図である。 Ｉ Ｑａ、 １０ｂ−・・フＬ／−ム、１１ａ、
１ ｌｂ−・・ウェハガイドＬ １４ａ、 １４ｂ・
・・ウェハ位置決め溝、１５・・・カセット。
Claims (1)
- ウェハガイド溝が高さ方向に複数条、形成された２個の
フレームを、前記ウェハガイド溝を対向させ、かつ、対
向するウェハガイド溝をウェハが移動可能な間隔で設け
ると共に、前記ウェハガイド溝にウェハ位置決め溝を形
成したことを特徴とするウェハカセット。
Priority Applications (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP3841683U JPS59145036U (ja) | 1983-03-18 | 1983-03-18 | ウエハカセツト |
Applications Claiming Priority (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP3841683U JPS59145036U (ja) | 1983-03-18 | 1983-03-18 | ウエハカセツト |
Publications (1)
| Publication Number | Publication Date |
|---|---|
| JPS59145036U true JPS59145036U (ja) | 1984-09-28 |
Family
ID=30169085
Family Applications (1)
| Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
|---|---|---|---|
| JP3841683U Pending JPS59145036U (ja) | 1983-03-18 | 1983-03-18 | ウエハカセツト |
Country Status (1)
| Country | Link |
|---|---|
| JP (1) | JPS59145036U (ja) |
Citations (1)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| JPS5475272A (en) * | 1977-11-07 | 1979-06-15 | Kasper Instruments | Semiconductor wafer carrier |
-
1983
- 1983-03-18 JP JP3841683U patent/JPS59145036U/ja active Pending
Patent Citations (1)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| JPS5475272A (en) * | 1977-11-07 | 1979-06-15 | Kasper Instruments | Semiconductor wafer carrier |
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