JPS5915033B2 - ノズルソウチ オヨビ ソノセイサクホウホウ - Google Patents
ノズルソウチ オヨビ ソノセイサクホウホウInfo
- Publication number
- JPS5915033B2 JPS5915033B2 JP50150680A JP15068075A JPS5915033B2 JP S5915033 B2 JPS5915033 B2 JP S5915033B2 JP 50150680 A JP50150680 A JP 50150680A JP 15068075 A JP15068075 A JP 15068075A JP S5915033 B2 JPS5915033 B2 JP S5915033B2
- Authority
- JP
- Japan
- Prior art keywords
- block
- nozzle
- wafer
- orifice
- aperture
- Prior art date
- Legal status (The legal status is an assumption and is not a legal conclusion. Google has not performed a legal analysis and makes no representation as to the accuracy of the status listed.)
- Expired
Links
Classifications
-
- B—PERFORMING OPERATIONS; TRANSPORTING
- B41—PRINTING; LINING MACHINES; TYPEWRITERS; STAMPS
- B41J—TYPEWRITERS; SELECTIVE PRINTING MECHANISMS, i.e. MECHANISMS PRINTING OTHERWISE THAN FROM A FORME; CORRECTION OF TYPOGRAPHICAL ERRORS
- B41J2/00—Typewriters or selective printing mechanisms characterised by the printing or marking process for which they are designed
- B41J2/005—Typewriters or selective printing mechanisms characterised by the printing or marking process for which they are designed characterised by bringing liquid or particles selectively into contact with a printing material
- B41J2/01—Ink jet
- B41J2/135—Nozzles
- B41J2/16—Production of nozzles
- B41J2/1621—Manufacturing processes
- B41J2/1623—Manufacturing processes bonding and adhesion
-
- B—PERFORMING OPERATIONS; TRANSPORTING
- B41—PRINTING; LINING MACHINES; TYPEWRITERS; STAMPS
- B41J—TYPEWRITERS; SELECTIVE PRINTING MECHANISMS, i.e. MECHANISMS PRINTING OTHERWISE THAN FROM A FORME; CORRECTION OF TYPOGRAPHICAL ERRORS
- B41J2/00—Typewriters or selective printing mechanisms characterised by the printing or marking process for which they are designed
- B41J2/005—Typewriters or selective printing mechanisms characterised by the printing or marking process for which they are designed characterised by bringing liquid or particles selectively into contact with a printing material
- B41J2/01—Ink jet
- B41J2/135—Nozzles
- B41J2/16—Production of nozzles
- B41J2/162—Manufacturing of the nozzle plates
-
- B—PERFORMING OPERATIONS; TRANSPORTING
- B41—PRINTING; LINING MACHINES; TYPEWRITERS; STAMPS
- B41J—TYPEWRITERS; SELECTIVE PRINTING MECHANISMS, i.e. MECHANISMS PRINTING OTHERWISE THAN FROM A FORME; CORRECTION OF TYPOGRAPHICAL ERRORS
- B41J2/00—Typewriters or selective printing mechanisms characterised by the printing or marking process for which they are designed
- B41J2/005—Typewriters or selective printing mechanisms characterised by the printing or marking process for which they are designed characterised by bringing liquid or particles selectively into contact with a printing material
- B41J2/01—Ink jet
- B41J2/135—Nozzles
- B41J2/16—Production of nozzles
- B41J2/1621—Manufacturing processes
- B41J2/1632—Manufacturing processes machining
Landscapes
- Engineering & Computer Science (AREA)
- Manufacturing & Machinery (AREA)
- Particle Formation And Scattering Control In Inkjet Printers (AREA)
- Nozzles (AREA)
- Facsimile Heads (AREA)
Description
【発明の詳細な説明】
本発明はノズルに関し、更に具体的にはインク・１５ジ
ェット記録装置に使用するノズル及びその製作方法に関
する。
ェット記録装置に使用するノズル及びその製作方法に関
する。
インク・ジェット記録装置において、液体インクは圧力
下で非常に小さなオリフィスを有するノズル装置へ与え
られ、非常に微細なかつ連続したク０ インク・ジェッ
トがオリフィスを通して噴射される。
下で非常に小さなオリフィスを有するノズル装置へ与え
られ、非常に微細なかつ連続したク０ インク・ジェッ
トがオリフィスを通して噴射される。
オリフィス素子が、液体通過路を有しかつ圧力を加えら
れた液体インクの源へ接続されるノズル・ブロツクヘ固
定されたノズル装置は知られている。記録のために最も
望ましいジェット流は、ク５ オリフィスの縦横比、即
ちオリフィスの直径対長さの比が非常に小さく、例えば
１より少ないオーダである時に発生されることが発見さ
れた。これは、オリフィス素子が極度に小さくなければ
ならないことを意味する。このような小さなオリフイ３
０ ス素子の処理は、組立工程において困難であつた。
更に、極度に小さなオリフィス素子をノズル構成体へ付
加することは、特に照準の点で１つの問題を提起する。
ストリーム噴射の方向は、インク・ジェット記録装置に
おいてジェット制御素子と共３５に組立てられた時に正
確に配置されねばならないからである。オリフィス素子
の配列がノズル構成体に関して非常に微小な誤差を有し
ても、ジエツハ、下流の方向に非常に大きな誤差を生じ
る。
れた液体インクの源へ接続されるノズル・ブロツクヘ固
定されたノズル装置は知られている。記録のために最も
望ましいジェット流は、ク５ オリフィスの縦横比、即
ちオリフィスの直径対長さの比が非常に小さく、例えば
１より少ないオーダである時に発生されることが発見さ
れた。これは、オリフィス素子が極度に小さくなければ
ならないことを意味する。このような小さなオリフイ３
０ ス素子の処理は、組立工程において困難であつた。
更に、極度に小さなオリフィス素子をノズル構成体へ付
加することは、特に照準の点で１つの問題を提起する。
ストリーム噴射の方向は、インク・ジェット記録装置に
おいてジェット制御素子と共３５に組立てられた時に正
確に配置されねばならないからである。オリフィス素子
の配列がノズル構成体に関して非常に微小な誤差を有し
ても、ジエツハ、下流の方向に非常に大きな誤差を生じ
る。
この誤差は、記録装置素子の汚染を惹起し、もしくは記
録装置において正確な照準を達成するため複雑な構造を
必要とするに至る。本発明の目的は、インク・ジニット
記録装置のためのノズル装置を製作する改善された方法
を提供することである。
録装置において正確な照準を達成するため複雑な構造を
必要とするに至る。本発明の目的は、インク・ジニット
記録装置のためのノズル装置を製作する改善された方法
を提供することである。
本発明の他の目的は、照準済みのノズル装置を製作する
ための方法を提供することである。
ための方法を提供することである。
本発明の他の目的は、優れた正確度がノズル・オリフイ
スの照準において得られる、インク・ジニット記録装置
のためのノズル製作方法を提供することである。本発明
の他の目的は、インク・ジニット記録装置のノズル装置
で使用するオリフイス素子を製作する改善された方法を
提供ことである。
スの照準において得られる、インク・ジニット記録装置
のためのノズル製作方法を提供することである。本発明
の他の目的は、インク・ジニット記録装置のノズル装置
で使用するオリフイス素子を製作する改善された方法を
提供ことである。
本発明に従うノズル装置は、支持プロツクとオリフイス
・ウエーハとより成る。
・ウエーハとより成る。
ブ田ソクは液体インクの源へ接続可能な流体通路を有し
、この流体通路はプロツクの平坦表面にある開孔で終つ
ている。オリフイス・ウエーハは、その本体部分に固着
された環状オリフイス素子を含み、オリフイス素子の環
状端部表面及びウエーハ本体表面は共通平面を形成し、
オリフイス素子中の開孔軸はこの共通表面に垂直になつ
ている。ウエーハの共通表面は、支持プロツクの平坦表
面へ接着され、オリフイス素子の開孔とプロツク中の液
体開孔は整夕１ルている。位置ずけ表示（水平面及び垂
直面を有する溝の形態であることが望ましい。）は、オ
リフイス素子をノズル・プロツク中の流体開孔と整列さ
せるため、プロツク中に形成される。プロツク中の開孔
は、オリフイス開孔より大きいが、オリフイス素子の環
の直径よりも小さく、流体防止シールがプロツク中の流
体開孔の周り、及びオリフイス素子とノズル・プロツク
との間に達成される。この事は、圧縮されたインクがプ
ロツクへ与えられる時、オリフイス装置の周りで漏れが
生じないことを保証する。ノズル装置の正確な照準のた
めに、ノズル・プロツクは照準表面を設けられる。ウエ
ーハの共通表面と、ウエーハが接着されるプロツクの表
面とは、この照準表面と平行している。このような構成
において、ノズル装置は、インク・ジニット記録装置の
支持構成体中に載せられた時、容易にかつ手早く高い正
確度で照準を行うことができる。更に、本発明に従つて
、ウエーハを製作するための方法は、ガラス又は繊維質
の細長い管のまつすぐな一本をカプセル化物質で囲み、
それを管の軸に垂直の薄い断片として切断することより
成る。予め照準を合せられたノズル装置に望まれる正確
度を達成するため、カプセル化物質は、少なくとも２つ
の平坦な直角外部位置ずけ表面を有するように機械加工
されたセラミツク・プロツクの形式をとる。プロツクの
第３表面は、２つの外部位置ずけ表面に平行な２つの直
角平坦内部位置ずけ表面を有する溝を有するように機械
加工される。所望の外部直径及び厚さに予め引抜かれた
管のまつすぐな１本が、溝の中に置かれて、管の周囲が
溝の長さにわたつて双方の内部位置ずけ表面と接触する
ようにされる。カプセル化は、管と内部位置ずけ表面と
の接触を保ちつつ、溝の空間を凝固物質で充填すること
によつて完了する。実施例において、管はガラスであり
、充填物質は管の上部の溝に置かれた接着用ガラスであ
り、加熱されると（真空中が望ましい）、融解した接着
用ガラスは管の周囲の空間へ流れてそこを充填する。冷
却した後、管と凝固充填物質より成るプロツクは、ウエ
ーハ・プロツクの外部位置ずけ表面に垂直の平面に沿つ
て、薄い断片へ切断される（オリフイス素子の究極的な
所望の長さより厚いことが望ましい。）。管は溝の内部
で外部位置ずけ表面に関して正確に配列されているから
、外部位置ずけ表面に対して垂直に切断することは、オ
リフイス素子の開孔がウエーハ表面に対して正確に直角
でありかつ共通平面を有することを保証する。かくて、
オリフイス素子の正確な照準は、切断ツールを管の中実
軸と整列させるため、時間のかかる労力を要することな
く容易に達成される。更に精密なノズル装置を製作する
方法は、ノズル・プロツクを形成することを考慮するも
のである。このノズル・プロツクは、平行な平坦な前面
及び背面を有するセラミツクであることが望ましく、背
面は照準のための基準表面を形成する。圧力を加えられ
た流体の源へ接続するための流体通路は、ノズル・プロ
ツク中に形成され、プロツクの前面にある開孔は、環状
オリフイス素子の外側直径よりも小であるが、オリフイ
ス素子中の開孔よりも大である。オリフイス・ウエーハ
はノズル・プロツクの前面へ固着され、オリフイス素子
の開孔は通路の流体開孔と整列される。このため、オリ
フイス素子及びウエーハ本体の環状端表面をノズル・プ
ロツクの前面へ接着することによつて、流体防止シール
がノズル・プロツクの前面にある開孔の周りで形成され
る。本発明の実施例において、接着は、ノズル．プロツ
クの前面へ接着用ガラスの薄い被覆を与えることによつ
て達成される。被覆は、少なくともウエーハの面と同一
平面のノズル・プロツクの前面部分及び通路開孔の周囲
を完全に包む。ウエーハが正しく整列され、その共通平
面をはんだ用ガラスの層と接触させた後、その組立体が
加熱されると、接着用ガラスは融解し、それが冷却され
ると、ウエーハ及びオリフイス素子はノズル・プロツク
の前面へ接着される。次いで、ウエーハは、ノズル・プ
ロツク上の背面と平行になるように、機械加工で所望の
厚さにされる。この事は、オリフイス素子が所望の縦横
比を有し、かつノズル・プロツクの照準表面に関して正
確に照準を合せられることを保証する。かくて、大きさ
及び方向上の照準に関して非常に正確なノズル装置が提
供されることが明らかである。
、この流体通路はプロツクの平坦表面にある開孔で終つ
ている。オリフイス・ウエーハは、その本体部分に固着
された環状オリフイス素子を含み、オリフイス素子の環
状端部表面及びウエーハ本体表面は共通平面を形成し、
オリフイス素子中の開孔軸はこの共通表面に垂直になつ
ている。ウエーハの共通表面は、支持プロツクの平坦表
面へ接着され、オリフイス素子の開孔とプロツク中の液
体開孔は整夕１ルている。位置ずけ表示（水平面及び垂
直面を有する溝の形態であることが望ましい。）は、オ
リフイス素子をノズル・プロツク中の流体開孔と整列さ
せるため、プロツク中に形成される。プロツク中の開孔
は、オリフイス開孔より大きいが、オリフイス素子の環
の直径よりも小さく、流体防止シールがプロツク中の流
体開孔の周り、及びオリフイス素子とノズル・プロツク
との間に達成される。この事は、圧縮されたインクがプ
ロツクへ与えられる時、オリフイス装置の周りで漏れが
生じないことを保証する。ノズル装置の正確な照準のた
めに、ノズル・プロツクは照準表面を設けられる。ウエ
ーハの共通表面と、ウエーハが接着されるプロツクの表
面とは、この照準表面と平行している。このような構成
において、ノズル装置は、インク・ジニット記録装置の
支持構成体中に載せられた時、容易にかつ手早く高い正
確度で照準を行うことができる。更に、本発明に従つて
、ウエーハを製作するための方法は、ガラス又は繊維質
の細長い管のまつすぐな一本をカプセル化物質で囲み、
それを管の軸に垂直の薄い断片として切断することより
成る。予め照準を合せられたノズル装置に望まれる正確
度を達成するため、カプセル化物質は、少なくとも２つ
の平坦な直角外部位置ずけ表面を有するように機械加工
されたセラミツク・プロツクの形式をとる。プロツクの
第３表面は、２つの外部位置ずけ表面に平行な２つの直
角平坦内部位置ずけ表面を有する溝を有するように機械
加工される。所望の外部直径及び厚さに予め引抜かれた
管のまつすぐな１本が、溝の中に置かれて、管の周囲が
溝の長さにわたつて双方の内部位置ずけ表面と接触する
ようにされる。カプセル化は、管と内部位置ずけ表面と
の接触を保ちつつ、溝の空間を凝固物質で充填すること
によつて完了する。実施例において、管はガラスであり
、充填物質は管の上部の溝に置かれた接着用ガラスであ
り、加熱されると（真空中が望ましい）、融解した接着
用ガラスは管の周囲の空間へ流れてそこを充填する。冷
却した後、管と凝固充填物質より成るプロツクは、ウエ
ーハ・プロツクの外部位置ずけ表面に垂直の平面に沿つ
て、薄い断片へ切断される（オリフイス素子の究極的な
所望の長さより厚いことが望ましい。）。管は溝の内部
で外部位置ずけ表面に関して正確に配列されているから
、外部位置ずけ表面に対して垂直に切断することは、オ
リフイス素子の開孔がウエーハ表面に対して正確に直角
でありかつ共通平面を有することを保証する。かくて、
オリフイス素子の正確な照準は、切断ツールを管の中実
軸と整列させるため、時間のかかる労力を要することな
く容易に達成される。更に精密なノズル装置を製作する
方法は、ノズル・プロツクを形成することを考慮するも
のである。このノズル・プロツクは、平行な平坦な前面
及び背面を有するセラミツクであることが望ましく、背
面は照準のための基準表面を形成する。圧力を加えられ
た流体の源へ接続するための流体通路は、ノズル・プロ
ツク中に形成され、プロツクの前面にある開孔は、環状
オリフイス素子の外側直径よりも小であるが、オリフイ
ス素子中の開孔よりも大である。オリフイス・ウエーハ
はノズル・プロツクの前面へ固着され、オリフイス素子
の開孔は通路の流体開孔と整列される。このため、オリ
フイス素子及びウエーハ本体の環状端表面をノズル・プ
ロツクの前面へ接着することによつて、流体防止シール
がノズル・プロツクの前面にある開孔の周りで形成され
る。本発明の実施例において、接着は、ノズル．プロツ
クの前面へ接着用ガラスの薄い被覆を与えることによつ
て達成される。被覆は、少なくともウエーハの面と同一
平面のノズル・プロツクの前面部分及び通路開孔の周囲
を完全に包む。ウエーハが正しく整列され、その共通平
面をはんだ用ガラスの層と接触させた後、その組立体が
加熱されると、接着用ガラスは融解し、それが冷却され
ると、ウエーハ及びオリフイス素子はノズル・プロツク
の前面へ接着される。次いで、ウエーハは、ノズル・プ
ロツク上の背面と平行になるように、機械加工で所望の
厚さにされる。この事は、オリフイス素子が所望の縦横
比を有し、かつノズル・プロツクの照準表面に関して正
確に照準を合せられることを保証する。かくて、大きさ
及び方向上の照準に関して非常に正確なノズル装置が提
供されることが明らかである。
更に、実施するのに比較的容易であり、かつ取扱い易い
部品を使用してオリフイス素子の正確な配列照準を提供
する、ノズル素子及びノズル装置を製造する方法が提供
されることが分る。第１図を参照すると、本発明に従つ
て照準済みのノズル装置２０は、平行な前面２２及び背
面２３を有するノズル・プロツク２１を含む。流体通路
２４（第１１図参照）はノズル・プロツク２１の下部に
形成され、前面２２の開孔２５で終端する１つの端部と
、背面２３で終端する第２の端部２６とを有する。通路
２４の第２部分２６は、圧力下にある液体インクの源へ
接続するための管を受取るよう拡大されるのが望ましい
。流体通路２４は、プロツク２１の背面から生じるよう
に示されるが、圧縮液体インク源への接続は、プロツク
２１の側面における開孔を介してなされてもよいことが
明らかである。位置ずけ溝２７及び２８は、プロツク２
１の側面２９及び３０に形成される。位置ずけ溝２８及
び２９の垂直面３１及び水平面３２は、前面２２におけ
る開孔２５に関してＸ−Ｙ座標基準点として働く。本発
明で使用されるオリフイス・ウエーハ３３は、該ウエー
ハに固定されかつ接着層３５によつてノズル・プロツク
２１の前面へウエーハと共に接着されたオリフイス素子
３４を含む。
部品を使用してオリフイス素子の正確な配列照準を提供
する、ノズル素子及びノズル装置を製造する方法が提供
されることが分る。第１図を参照すると、本発明に従つ
て照準済みのノズル装置２０は、平行な前面２２及び背
面２３を有するノズル・プロツク２１を含む。流体通路
２４（第１１図参照）はノズル・プロツク２１の下部に
形成され、前面２２の開孔２５で終端する１つの端部と
、背面２３で終端する第２の端部２６とを有する。通路
２４の第２部分２６は、圧力下にある液体インクの源へ
接続するための管を受取るよう拡大されるのが望ましい
。流体通路２４は、プロツク２１の背面から生じるよう
に示されるが、圧縮液体インク源への接続は、プロツク
２１の側面における開孔を介してなされてもよいことが
明らかである。位置ずけ溝２７及び２８は、プロツク２
１の側面２９及び３０に形成される。位置ずけ溝２８及
び２９の垂直面３１及び水平面３２は、前面２２におけ
る開孔２５に関してＸ−Ｙ座標基準点として働く。本発
明で使用されるオリフイス・ウエーハ３３は、該ウエー
ハに固定されかつ接着層３５によつてノズル・プロツク
２１の前面へウエーハと共に接着されたオリフイス素子
３４を含む。
オリフイス素子３４は、ノズル・プロツク２１中の開孔
２５と整列された開孔３６を有する。第１１図で分るよ
うに、オリフイス開孔３６は、開孔２５より実質的に小
さな直径を有し（開孔２５も接着層３５中へ延長される
）、オリフイス素子３４の外側直径は、開孔２５の直径
より実質的に大きい。以下の説明で明らかになるように
、開孔３６はノズル・プロツク２１の背面２３へ垂直の
中実軸を有する。背面２３はノズル装置２０のために照
準表面として働く。第２図から分るように、ノズル・プ
ロツク２１はハウジング・プロツク４０から横断部分を
切断することによつてなされる。
２５と整列された開孔３６を有する。第１１図で分るよ
うに、オリフイス開孔３６は、開孔２５より実質的に小
さな直径を有し（開孔２５も接着層３５中へ延長される
）、オリフイス素子３４の外側直径は、開孔２５の直径
より実質的に大きい。以下の説明で明らかになるように
、開孔３６はノズル・プロツク２１の背面２３へ垂直の
中実軸を有する。背面２３はノズル装置２０のために照
準表面として働く。第２図から分るように、ノズル・プ
ロツク２１はハウジング・プロツク４０から横断部分を
切断することによつてなされる。
切断する前に、横溝２７及び２８がハウジング・プロツ
ク４０の側面に設けられる。溝は合いくぎ（図示されず
）を受取るのに適した大きさである。合いくぎは、溝２
７及び２８の垂直表面３１及び水平表面３２の１つと接
触一致を保つように設計される。更に、プロツク４０を
切断する前に、孔４１が全体のプロツクを通して穿孔さ
れる。この孔は、溝２７及び２８の垂直表面３１及び水
平表面３２に関しておおよその所に設けられる。ハウジ
ング・プロツクは、表面２２及び２３が平行となり、表
面３１及び３２に対して垂直となるように切断される。
１つの断片が切断された後、孔４１は背面２３中で拡大
され、第１０図で分るように拡大部分２６を与えるが、
これは前述した如く管を装着するためである。
ク４０の側面に設けられる。溝は合いくぎ（図示されず
）を受取るのに適した大きさである。合いくぎは、溝２
７及び２８の垂直表面３１及び水平表面３２の１つと接
触一致を保つように設計される。更に、プロツク４０を
切断する前に、孔４１が全体のプロツクを通して穿孔さ
れる。この孔は、溝２７及び２８の垂直表面３１及び水
平表面３２に関しておおよその所に設けられる。ハウジ
ング・プロツクは、表面２２及び２３が平行となり、表
面３１及び３２に対して垂直となるように切断される。
１つの断片が切断された後、孔４１は背面２３中で拡大
され、第１０図で分るように拡大部分２６を与えるが、
これは前述した如く管を装着するためである。
ノズル装置２０を製作する次のステツプは、オリフイス
・ウエーハを組立てることである。
・ウエーハを組立てることである。
オリフイス・ウエーハ３３を製作する方法は、次の如く
である。実質的に正方形横断面を有するセラミツク・ウ
エーノいプロツク４３（第３図〜第６図参照）が、正確
に直交した側面４４と底面４５とを有するように機械加
工される。
である。実質的に正方形横断面を有するセラミツク・ウ
エーノいプロツク４３（第３図〜第６図参照）が、正確
に直交した側面４４と底面４５とを有するように機械加
工される。
位置ずけ溝４６（正方形横断面を有するのが望ましい）
が、プロツク４３の上部に設けられる。溝４６の設置は
、内部表面４７が外部表面４４と平行になり、底面４８
が外部底面４５と平行になるようになされる。次の処理
ステツ７゜は、オリフイス・ガラス管４９のまつすぐな
１本を溝４６へ置き、この管の周囲が内部位置ずけ表面
４７及び４８と接触するようにすることである。オリフ
イス・ガラス管４９はウエーハ・プロツク４３より長い
ことが望ましく、その両端がウエーハ・プロツク４３の
終端表面５０及び５１を越えて延長される。オリフイス
・ガラス管４９は、その全長にわたつて実質的に均一の
外部直径を有するように前もつて伸長されている。この
外部直径は、前述した如くノズル・プロツク２１の前面
２２にある開孔２５の直径より大である。更に、管４９
にある開孔３６は、ノズル・プロツク２１の前面２２に
ある開孔２５の直径より幾分小さい所望のサイズに製造
されている。ガラス伸長の各種の装置が使用されてよく
、かつ先行技術として周知である。これらは本発明の１
部を形成しない。管４９を溝４６へ配置した後、終端プ
レート５２及び５３が、ウエーハ・プロツク４３の前面
５０及び背面５１を越えて延長される管にゆるやかに付
けられる。端末プレート５２，５３及び管は内部位置ず
け表面４７及び４８に接触するように管４９を保持する
。プロツク４３は、管４９が溝４６の内部表面４７及び
４８と接触を保つように、垂直状態からや＼傾けられる
。管４９を内部位置ずけ表面４７及び４８と接触させる
他の方法は、管の直径と実質的に同じ大きさに溝４６を
カツトするか、管４９に沿つた１つ以上の地点でセラミ
ツクを使用するくさび形を溝４６に設けることである。
これらの方法は、管がまつすぐでない場合に使用されて
よい。次いで、溝４６は粉末状の接着用ガラスか、又は
寸断した繊維で充填され、管の外側の空間が実質的に満
たされる。セラミツクのカバープレート５４が、ウエー
ハ・プロツクの上部表面５５に置かれ、接着用ガラスで
充填された溝４６を完全に閉じる。次に組立体は、空室
に置かれ、第５図に示される如く、や＼傾斜状態にされ
る。次に組立体は、接着用ガラスのみを融解する温度（
例えば４６『Ｃ）へ加熱され、ウエーハ・プロツク４３
における管４９のカプセル化が完了する。加熱は、接着
用ガラスが管４９によつて占有されない空間を充填する
のに必要な時間だけ（例えば、３０分）なされ、その間
に管はその全長にわたつて内部位置ずけ表面４７及び４
８と接触を保つようにされる。加熱に続いて、全体の組
立体は冷却され、接着用ガラスは凝固し、ガラス管４９
をウエーハ・プロツク４３へ固着する。
が、プロツク４３の上部に設けられる。溝４６の設置は
、内部表面４７が外部表面４４と平行になり、底面４８
が外部底面４５と平行になるようになされる。次の処理
ステツ７゜は、オリフイス・ガラス管４９のまつすぐな
１本を溝４６へ置き、この管の周囲が内部位置ずけ表面
４７及び４８と接触するようにすることである。オリフ
イス・ガラス管４９はウエーハ・プロツク４３より長い
ことが望ましく、その両端がウエーハ・プロツク４３の
終端表面５０及び５１を越えて延長される。オリフイス
・ガラス管４９は、その全長にわたつて実質的に均一の
外部直径を有するように前もつて伸長されている。この
外部直径は、前述した如くノズル・プロツク２１の前面
２２にある開孔２５の直径より大である。更に、管４９
にある開孔３６は、ノズル・プロツク２１の前面２２に
ある開孔２５の直径より幾分小さい所望のサイズに製造
されている。ガラス伸長の各種の装置が使用されてよく
、かつ先行技術として周知である。これらは本発明の１
部を形成しない。管４９を溝４６へ配置した後、終端プ
レート５２及び５３が、ウエーハ・プロツク４３の前面
５０及び背面５１を越えて延長される管にゆるやかに付
けられる。端末プレート５２，５３及び管は内部位置ず
け表面４７及び４８に接触するように管４９を保持する
。プロツク４３は、管４９が溝４６の内部表面４７及び
４８と接触を保つように、垂直状態からや＼傾けられる
。管４９を内部位置ずけ表面４７及び４８と接触させる
他の方法は、管の直径と実質的に同じ大きさに溝４６を
カツトするか、管４９に沿つた１つ以上の地点でセラミ
ツクを使用するくさび形を溝４６に設けることである。
これらの方法は、管がまつすぐでない場合に使用されて
よい。次いで、溝４６は粉末状の接着用ガラスか、又は
寸断した繊維で充填され、管の外側の空間が実質的に満
たされる。セラミツクのカバープレート５４が、ウエー
ハ・プロツクの上部表面５５に置かれ、接着用ガラスで
充填された溝４６を完全に閉じる。次に組立体は、空室
に置かれ、第５図に示される如く、や＼傾斜状態にされ
る。次に組立体は、接着用ガラスのみを融解する温度（
例えば４６『Ｃ）へ加熱され、ウエーハ・プロツク４３
における管４９のカプセル化が完了する。加熱は、接着
用ガラスが管４９によつて占有されない空間を充填する
のに必要な時間だけ（例えば、３０分）なされ、その間
に管はその全長にわたつて内部位置ずけ表面４７及び４
８と接触を保つようにされる。加熱に続いて、全体の組
立体は冷却され、接着用ガラスは凝固し、ガラス管４９
をウエーハ・プロツク４３へ固着する。
オリフイス・ガラス管４９の直径に対する溝４６の幅は
変えることができるから、望ましい幅としては、接着用
ガラスが融解する時に毛細管現象が起つて、溝の両端間
の領域でより完全な接着が生じるような幅である。室温
へ冷却された後、ウエーハ・プロツク・オリフイス管組
立体は、第６図に示される如く、ウエーハ３３へ切断さ
れる準備が完了する。切断は、組立体に関して移動可能
な、均一に間隔を設けられた複数個の鋸５６を使用して
なされるのが望ましい。第１図のオリフイス素子３４の
正確な照準を達成するため、鋸は、ウエーハ・プロツク
４３の外部表面４４及び４５に垂直な平面に沿つて切断
するようにされる。セツト及びカツトは、当技術分野に
おける周知の各種の方法でなされてよいが、ウエーハ・
プロツク４３の組立体をギヤング鋸機械の作業片固定台
へ載せるのが望ましい。組立体は、表面４４及ひ４５が
鋸面に対して正確に垂直となるよう調節することができ
る。セツトした後、このプロツクは鋸面と平行に送られ
、切断が生じる。回転鋸が示されているが、往復鋸も使
用されてよい。ウエーハは、本発明に従つて１個宛切断
されてもよいが、第６図に示される如く、ギヤング鋸装
置を使用して各ウエーハを同時に切断するのが望ましい
。何故ならば、それによりウエーハの全長を通じて均一
の厚さが得られるからである。もし切断が、１本刃鋸で
なされると、ウエーハは切断の過程で均一な厚さでない
ように切断されるおそれがあり、個々のウエーハを均一
の厚さに保証するために、追加的な仕上げ工程が必要と
なろう。更に、プロツクから端部のウエーハを切断する
ことは放棄されてよい。何故ならば、管４９の端部はこ
れら端部ウエーハのウエーハ本体の外に延長されている
からである。更に前述した如く、溝４６及ひ管４９の相
対的大きさに依存して、接着用ガラス充填材は、ウエー
ハ・プロツクの端部に近い預域において、管によつて占
有されない空間を完全に満たさず、領域中で十分な緊密
接着を与えないかも知れない。前述した如くウエーハは
、オリフイス素子３４の開孔３６の最終的な所望の長さ
より厚い大きさに切断される。
変えることができるから、望ましい幅としては、接着用
ガラスが融解する時に毛細管現象が起つて、溝の両端間
の領域でより完全な接着が生じるような幅である。室温
へ冷却された後、ウエーハ・プロツク・オリフイス管組
立体は、第６図に示される如く、ウエーハ３３へ切断さ
れる準備が完了する。切断は、組立体に関して移動可能
な、均一に間隔を設けられた複数個の鋸５６を使用して
なされるのが望ましい。第１図のオリフイス素子３４の
正確な照準を達成するため、鋸は、ウエーハ・プロツク
４３の外部表面４４及び４５に垂直な平面に沿つて切断
するようにされる。セツト及びカツトは、当技術分野に
おける周知の各種の方法でなされてよいが、ウエーハ・
プロツク４３の組立体をギヤング鋸機械の作業片固定台
へ載せるのが望ましい。組立体は、表面４４及ひ４５が
鋸面に対して正確に垂直となるよう調節することができ
る。セツトした後、このプロツクは鋸面と平行に送られ
、切断が生じる。回転鋸が示されているが、往復鋸も使
用されてよい。ウエーハは、本発明に従つて１個宛切断
されてもよいが、第６図に示される如く、ギヤング鋸装
置を使用して各ウエーハを同時に切断するのが望ましい
。何故ならば、それによりウエーハの全長を通じて均一
の厚さが得られるからである。もし切断が、１本刃鋸で
なされると、ウエーハは切断の過程で均一な厚さでない
ように切断されるおそれがあり、個々のウエーハを均一
の厚さに保証するために、追加的な仕上げ工程が必要と
なろう。更に、プロツクから端部のウエーハを切断する
ことは放棄されてよい。何故ならば、管４９の端部はこ
れら端部ウエーハのウエーハ本体の外に延長されている
からである。更に前述した如く、溝４６及ひ管４９の相
対的大きさに依存して、接着用ガラス充填材は、ウエー
ハ・プロツクの端部に近い預域において、管によつて占
有されない空間を完全に満たさず、領域中で十分な緊密
接着を与えないかも知れない。前述した如くウエーハは
、オリフイス素子３４の開孔３６の最終的な所望の長さ
より厚い大きさに切断される。
最大精度のためには、ノズル・プロツク２１の前面２２
へ接着されるべき側面にあるウエーハ３３の表面は、ラ
ツプ仕上げされて研磨される。第８図〜第１１図から分
るように、プロツク２１の上にウエーハを載せる工程は
次のようである。
へ接着されるべき側面にあるウエーハ３３の表面は、ラ
ツプ仕上げされて研磨される。第８図〜第１１図から分
るように、プロツク２１の上にウエーハを載せる工程は
次のようである。
均一な厚さの接着材の薄い層が、ノズル・プロツク２１
の前面２２に付着される。接着材は接着用ガラスである
ことが望ましい。接着用ガラスは、刷毛で塗布されてよ
い。その場合、塗布は溝２７及び２８の整列表面３２の
端部より幾分下にある前面２２の下部においてのみなさ
れる。接着用ガラス層３５は、遠心力作用を受けるコロ
イド懸濁液から接着用ガラス粒子を堆積する方法によつ
て製作されてもよい。その場合、全体の表面２２が被覆
されてよく、又は上の部分がマスクされ、次いで底層上
のみに粘着性被覆を残すように除去されてよい。接着用
ガラス層を表面２２上に堆積する遠心力利用方法によつ
て、非常に薄い均一層が、直接的に達成される。しかし
、接着用ガラス層が塗布によつてなされるならば、第１
０図の線５７で示される如く、層は所望の厚さへ研削さ
れ、層が均一となりかつノズル・プロツク２１の背面２
３と実質的に平行になるようにされる。接着層３５を研
削した後に、オリフイス・ウエーハ３３がその上に置か
れ、オリフイス素子３４の開孔３６が開孔２５と整列さ
れる。整列は、溝２７の垂直面３１、及び溝２７及ひ２
８の水平面３２を基準として正確になされる。これらの
面は、開孔３６の中心を開孔２５内で正確に位置ずける
。次にウエーハ３３は、プロツク２１へ軽く重ねられる
。組立体は、接着用ガラスの接着層３５を融解するよう
な温度へ加熱される。ウエーハ整整をプロツク２１へ重
ねることは、接着用ガラスが融解した時、それがオリフ
イス素子３４の開孔３６へ突出されないよう、相対的に
軽くなされなければならない。合理的な加熱時間の後（
約３０分）、組立体は冷却される。層３５の接着用ガラ
スは、ウエーハ３３をノズル・プロツク２１の前面２２
へ強固に接着する。この接着は、開孔２５の周囲及びオ
リフイス素子とプロツク２１との間に流体防止シールを
与える。冷却に続いて、オリフイス・ウエーハ３３はラ
ツプ仕上げされ、開孔３２の所望の縦横比が得られるよ
う、所望の厚さへ研削される。オリフイス・ウエーハ３
３の外面の研削は、ノズル・フロツク２１の背面２３に
平行した線５８に沿つてなされる。この事は、オリフイ
ス素子３４の開孔３６が、ノズル・プロツク２１の背面
２３に関して正確に照準を合せられることを保証する。
かくて、完成したノズル装置組立体がインク・ジニット
記録装置へ載せられる時、オリフイス素子３４は、背面
２３及び表面３１，３２によつて形成されるＸ−Ｙ位置
を基準としてノズル・プロツク２１を位置ずけることに
より、正確に照準を合せられる。かくて、オリフイスの
大きさ及び方向において精度を有する改善されたノズル
装置が提供されることが分る。
の前面２２に付着される。接着材は接着用ガラスである
ことが望ましい。接着用ガラスは、刷毛で塗布されてよ
い。その場合、塗布は溝２７及び２８の整列表面３２の
端部より幾分下にある前面２２の下部においてのみなさ
れる。接着用ガラス層３５は、遠心力作用を受けるコロ
イド懸濁液から接着用ガラス粒子を堆積する方法によつ
て製作されてもよい。その場合、全体の表面２２が被覆
されてよく、又は上の部分がマスクされ、次いで底層上
のみに粘着性被覆を残すように除去されてよい。接着用
ガラス層を表面２２上に堆積する遠心力利用方法によつ
て、非常に薄い均一層が、直接的に達成される。しかし
、接着用ガラス層が塗布によつてなされるならば、第１
０図の線５７で示される如く、層は所望の厚さへ研削さ
れ、層が均一となりかつノズル・プロツク２１の背面２
３と実質的に平行になるようにされる。接着層３５を研
削した後に、オリフイス・ウエーハ３３がその上に置か
れ、オリフイス素子３４の開孔３６が開孔２５と整列さ
れる。整列は、溝２７の垂直面３１、及び溝２７及ひ２
８の水平面３２を基準として正確になされる。これらの
面は、開孔３６の中心を開孔２５内で正確に位置ずける
。次にウエーハ３３は、プロツク２１へ軽く重ねられる
。組立体は、接着用ガラスの接着層３５を融解するよう
な温度へ加熱される。ウエーハ整整をプロツク２１へ重
ねることは、接着用ガラスが融解した時、それがオリフ
イス素子３４の開孔３６へ突出されないよう、相対的に
軽くなされなければならない。合理的な加熱時間の後（
約３０分）、組立体は冷却される。層３５の接着用ガラ
スは、ウエーハ３３をノズル・プロツク２１の前面２２
へ強固に接着する。この接着は、開孔２５の周囲及びオ
リフイス素子とプロツク２１との間に流体防止シールを
与える。冷却に続いて、オリフイス・ウエーハ３３はラ
ツプ仕上げされ、開孔３２の所望の縦横比が得られるよ
う、所望の厚さへ研削される。オリフイス・ウエーハ３
３の外面の研削は、ノズル・フロツク２１の背面２３に
平行した線５８に沿つてなされる。この事は、オリフイ
ス素子３４の開孔３６が、ノズル・プロツク２１の背面
２３に関して正確に照準を合せられることを保証する。
かくて、完成したノズル装置組立体がインク・ジニット
記録装置へ載せられる時、オリフイス素子３４は、背面
２３及び表面３１，３２によつて形成されるＸ−Ｙ位置
を基準としてノズル・プロツク２１を位置ずけることに
より、正確に照準を合せられる。かくて、オリフイスの
大きさ及び方向において精度を有する改善されたノズル
装置が提供されることが分る。
更に、製作方法は比較的に簡単である。オリフイス素子
を大型ウエーハ素子の一体的な１部として形成すること
によつて、オリフイス・ブロツク２１中の開孔２５と対
向するオリフイス素子及びその位置の取扱いが、容易に
管理される。更に、位置ずけ溝を使用することにより、
オリフイス開孔３６は、比較的容易な方法で非常に正確
に位置ずけられ得る。各種の物質が、本発明に従つてノ
ズル装置を製造するために使用され得るが、本発明を実
施する望ましい物質は、ノズル・プロツク２３、ウエー
ハ本体３３、カバー・プレート５４を形成するための機
械処理可能なセラミツクである。
を大型ウエーハ素子の一体的な１部として形成すること
によつて、オリフイス・ブロツク２１中の開孔２５と対
向するオリフイス素子及びその位置の取扱いが、容易に
管理される。更に、位置ずけ溝を使用することにより、
オリフイス開孔３６は、比較的容易な方法で非常に正確
に位置ずけられ得る。各種の物質が、本発明に従つてノ
ズル装置を製造するために使用され得るが、本発明を実
施する望ましい物質は、ノズル・プロツク２３、ウエー
ハ本体３３、カバー・プレート５４を形成するための機
械処理可能なセラミツクである。
前述した如く、オリフイス素子３４は、ガラス管から形
成され、充填物質及び接着物質は、接着用ガラスである
。これら特定物質の選択は、それらの膨張係数が相対的
に近接するようになされればよい。
成され、充填物質及び接着物質は、接着用ガラスである
。これら特定物質の選択は、それらの膨張係数が相対的
に近接するようになされればよい。
第１図は本発明に従つて製作されたノズル装置の斜視図
、第２図は本発明のノズル装置のノズルプロツク部分を
製作する方法を示す斜視図、第３図〜第６図は本発明の
ノズル装置に使用されるオリフイス・ウエーハを製作す
る方法を示す一連の図、第７図は第３図から第６図まで
に示された方法に従つて製作されたオリフイス・ウエー
ハの正面図、第８図〜第１１図は第７図のウエーハ素子
を第２図に従つて形成された，／ズル・プロツクへ組込
むステツプを示す一連の図である。 ２０・・・・・・ノズル装置、２１・・・・・・ノズル
・プロツク、２２・・・・・・前面、２３・・・・・・
背面、２４・・・・・・流体通路、２５・・・・・開孔
、２６・・・−・・通路の第２部分、２７，２８・・・
・・・位置ずけ溝、２９，３０・・・・・・側面、３１
・・・・・・垂直面、３３・・・−・・オリフイス・ウ
エーハ、３４・・・・・・オリフイス素子、３５・・・
・・・接着層、３６・・・・・・開孔、・・・・・・開
孔、 ・・・側面、４ 部表面、４ ４０・・・・・・ハウジング・プロツク、４１４３・・
・・・・ウエーノいプロツク、４４・・・５・・・・・
・底面、４６・・・・・・溝、４７・・・・・・内８・
・・・・・底面、４９・・・・・・オリフイス管、５０
，５１・・・・・・端面、５２，５３・・・・・・終端
プレート、５４・・・・・・カバー・プレート、５５・
・・・・・上部表面。
、第２図は本発明のノズル装置のノズルプロツク部分を
製作する方法を示す斜視図、第３図〜第６図は本発明の
ノズル装置に使用されるオリフイス・ウエーハを製作す
る方法を示す一連の図、第７図は第３図から第６図まで
に示された方法に従つて製作されたオリフイス・ウエー
ハの正面図、第８図〜第１１図は第７図のウエーハ素子
を第２図に従つて形成された，／ズル・プロツクへ組込
むステツプを示す一連の図である。 ２０・・・・・・ノズル装置、２１・・・・・・ノズル
・プロツク、２２・・・・・・前面、２３・・・・・・
背面、２４・・・・・・流体通路、２５・・・・・開孔
、２６・・・−・・通路の第２部分、２７，２８・・・
・・・位置ずけ溝、２９，３０・・・・・・側面、３１
・・・・・・垂直面、３３・・・−・・オリフイス・ウ
エーハ、３４・・・・・・オリフイス素子、３５・・・
・・・接着層、３６・・・・・・開孔、・・・・・・開
孔、 ・・・側面、４ 部表面、４ ４０・・・・・・ハウジング・プロツク、４１４３・・
・・・・ウエーノいプロツク、４４・・・５・・・・・
・底面、４６・・・・・・溝、４７・・・・・・内８・
・・・・・底面、４９・・・・・・オリフイス管、５０
，５１・・・・・・端面、５２，５３・・・・・・終端
プレート、５４・・・・・・カバー・プレート、５５・
・・・・・上部表面。
Claims (1)
- １ ウェーハブロックに溝を設け、該溝に環状オリフィ
ス素子となる開口を有する細長い管を入れ、該溝の残り
の空間を凝固充填剤で充満固定し、該ウェーハブロック
を両断面が平行な平坦面となるように切断することによ
り、環状オリフィス素子の周囲をウェーハで保持して成
るオリフィスウェーハを形成する段階と、前部及び後部
に平坦面を持ち該平坦面が互に平行であるノズルブロッ
クを形成する段階と、加圧流体源に接続するための流体
通路を上記ノズルブロック内に形成する段階と、上記流
体通路は上記環状オリフィス素子の外径より小さく該オ
リフィス素子の開口より大きい径の開口を上記ノズルブ
ロックの前部平坦面内に有することと、上記オリフィス
素子の開口が上記流体通路の開口と整列するよう上記オ
リフィスウェーハを上記ノズルブロックの前部平坦面に
接着して上記、ノズルブロツクの前部平坦面内の開口と
環状オリフィス素子との周辺に流体密封シールを形成す
る段階とより成るノズル装置の製造方法。
Applications Claiming Priority (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| US54408775A | 1975-01-27 | 1975-01-27 |
Publications (2)
| Publication Number | Publication Date |
|---|---|
| JPS5198922A JPS5198922A (en) | 1976-08-31 |
| JPS5915033B2 true JPS5915033B2 (ja) | 1984-04-07 |
Family
ID=24170695
Family Applications (2)
| Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
|---|---|---|---|
| JP50150680A Expired JPS5915033B2 (ja) | 1975-01-27 | 1975-12-19 | ノズルソウチ オヨビ ソノセイサクホウホウ |
| JP58191050A Pending JPS5989168A (ja) | 1975-01-27 | 1983-10-14 | オリフイスウエ−ハの製造方法 |
Family Applications After (1)
| Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
|---|---|---|---|
| JP58191050A Pending JPS5989168A (ja) | 1975-01-27 | 1983-10-14 | オリフイスウエ−ハの製造方法 |
Country Status (5)
| Country | Link |
|---|---|
| JP (2) | JPS5915033B2 (ja) |
| DE (1) | DE2555295C2 (ja) |
| FR (1) | FR2298372A1 (ja) |
| GB (1) | GB1492088A (ja) |
| SE (1) | SE411493B (ja) |
Cited By (1)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| JPS63170633A (ja) * | 1987-01-09 | 1988-07-14 | Hitachi Ltd | 投射装置 |
Families Citing this family (4)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| US4019886A (en) * | 1975-12-12 | 1977-04-26 | International Business Machines Corporation | Method of manufacture of multiple glass nozzle arrays |
| US4364059A (en) * | 1979-12-17 | 1982-12-14 | Ricoh Company, Ltd. | Ink jet printing apparatus |
| EP0042932A3 (en) * | 1980-06-30 | 1984-07-25 | International Business Machines Corporation | A process for the manufacture of hollow tube-like members |
| US4429322A (en) | 1982-02-16 | 1984-01-31 | Mead Corporation | Method of fabricating a glass nozzle array for an ink jet printing apparatus |
Family Cites Families (5)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| JPS49208A (ja) * | 1972-04-17 | 1974-01-05 | ||
| JPS5315030B2 (ja) * | 1972-05-12 | 1978-05-22 | ||
| JPS526532Y2 (ja) * | 1972-07-11 | 1977-02-10 | ||
| FR2211879A5 (ja) * | 1972-12-21 | 1974-07-19 | Ibm | |
| US3839721A (en) * | 1973-06-27 | 1974-10-01 | Ibm | Device for retention of ink jet nozzle clogging and ink spraying |
-
1975
- 1975-10-28 GB GB44287/75A patent/GB1492088A/en not_active Expired
- 1975-12-09 DE DE2555295A patent/DE2555295C2/de not_active Expired
- 1975-12-17 FR FR7539616A patent/FR2298372A1/fr active Granted
- 1975-12-19 JP JP50150680A patent/JPS5915033B2/ja not_active Expired
-
1976
- 1976-01-22 SE SE7600633A patent/SE411493B/xx unknown
-
1983
- 1983-10-14 JP JP58191050A patent/JPS5989168A/ja active Pending
Cited By (1)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| JPS63170633A (ja) * | 1987-01-09 | 1988-07-14 | Hitachi Ltd | 投射装置 |
Also Published As
| Publication number | Publication date |
|---|---|
| SE411493B (sv) | 1979-12-27 |
| JPS5989168A (ja) | 1984-05-23 |
| DE2555295A1 (de) | 1976-07-29 |
| DE2555295C2 (de) | 1983-10-27 |
| FR2298372B1 (ja) | 1978-05-19 |
| FR2298372A1 (fr) | 1976-08-20 |
| GB1492088A (en) | 1977-11-16 |
| JPS5198922A (en) | 1976-08-31 |
| SE7600633L (sv) | 1976-07-28 |
Similar Documents
| Publication | Publication Date | Title |
|---|---|---|
| US4047186A (en) | Pre-aimed nozzle for ink jet recorder and method of manufacture | |
| US9716040B2 (en) | Wafer processing method using adhesive tape to pick up device chips | |
| CN107204286A (zh) | 晶片的加工方法 | |
| US6676885B2 (en) | Plural semiconductor devices bonded onto one face of a single circuit board for subsequent batch resin encapsulation of the plural semiconductor devices in a single cavity formed by molding dies | |
| JP7350438B2 (ja) | チャックテーブル及びチャックテーブルの製造方法 | |
| JP7470982B2 (ja) | 樹脂供給装置、樹脂封止装置、及び樹脂封止品の製造方法 | |
| US6521988B2 (en) | Device for packaging electronic components | |
| JPS5915033B2 (ja) | ノズルソウチ オヨビ ソノセイサクホウホウ | |
| US20020178883A1 (en) | Semiconductor wafer cutting method | |
| US4019886A (en) | Method of manufacture of multiple glass nozzle arrays | |
| JP7470983B2 (ja) | 樹脂供給装置、樹脂封止装置、及び樹脂封止品の製造方法 | |
| JP2651354B2 (ja) | 真空チャックの吸着板 | |
| US5904501A (en) | Hollow package manufacturing method | |
| JPH09162210A (ja) | ベアチップの封止方法および封止装置 | |
| JP2517025B2 (ja) | 半導体ウェハ・マウンタ | |
| DE19755088A1 (de) | Kalibriervorrichtung zum Verkleben von Scheiben | |
| CN205790933U (zh) | 一种适用于tosa的coc贴装系统 | |
| JPH04100558A (ja) | 塗布装置 | |
| JPH03280554A (ja) | 半導体装置の製造方法 | |
| JPS6332957A (ja) | 半導体装置の製造方法 | |
| JP3032335B2 (ja) | 半導体ウェーハのレジン成形金型 | |
| TW202034842A (zh) | 過敏診斷晶片以及製造過敏診斷晶片的方法 | |
| JPH0746370Y2 (ja) | 線材用分割型被覆装置 | |
| JP2025168257A (ja) | パッケージデバイスチップの製造方法 | |
| JPS6181651A (ja) | 半導体装置の製造方法 |