JPS59160877A - 磁気バブルセンサ - Google Patents
磁気バブルセンサInfo
- Publication number
- JPS59160877A JPS59160877A JP58032897A JP3289783A JPS59160877A JP S59160877 A JPS59160877 A JP S59160877A JP 58032897 A JP58032897 A JP 58032897A JP 3289783 A JP3289783 A JP 3289783A JP S59160877 A JPS59160877 A JP S59160877A
- Authority
- JP
- Japan
- Prior art keywords
- bubble
- magnetic
- shift
- bubbles
- section
- Prior art date
- Legal status (The legal status is an assumption and is not a legal conclusion. Google has not performed a legal analysis and makes no representation as to the accuracy of the status listed.)
- Pending
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Classifications
-
- G—PHYSICS
- G11—INFORMATION STORAGE
- G11C—STATIC STORES
- G11C11/00—Digital stores characterised by the use of particular electric or magnetic storage elements; Storage elements therefor
- G11C11/02—Digital stores characterised by the use of particular electric or magnetic storage elements; Storage elements therefor using magnetic elements
- G11C11/14—Digital stores characterised by the use of particular electric or magnetic storage elements; Storage elements therefor using magnetic elements using thin-film elements
Landscapes
- Engineering & Computer Science (AREA)
- Computer Hardware Design (AREA)
Abstract
(57)【要約】本公報は電子出願前の出願データであるた
め要約のデータは記録されません。
め要約のデータは記録されません。
Description
【発明の詳細な説明】
（発明の分野）
本発明は、比較的簡略な構成で位置または距４に件の高
精度測定を実現するためのセンサに関する。
精度測定を実現するためのセンサに関する。
（発明の背景）
従来、位置、距離または寸法等の高精度計測を行なう方
法として、光位相検出方式が用いられているが、この方
式によると、計測装置が犬がかシで高価なものとなると
いう不都合かあった。
法として、光位相検出方式が用いられているが、この方
式によると、計測装置が犬がかシで高価なものとなると
いう不都合かあった。
一方、磁気バルブは、従来、マス（大容量）メモリに用
いられてはいるが、末たセンサとして用いた例は知られ
ていない。
いられてはいるが、末たセンサとして用いた例は知られ
ていない。
（発明の目的）
本発明は、比較的簡略な構成で高精度位置検出が可能な
センサを提供することを目的とする。
センサを提供することを目的とする。
上記目的を達成するため本発明では、磁気バブル発生部
と、この発生部から供給さ２する磁気バブルに磁界変化
パターンを与えて所定方向に伝搬するシフト部と、この
シフト部を介して伝飯された磁気バブルを検出する検出
部と、前記シフト部上の所望位置の少なくとも１ケの磁
気バブルを消去する消去手段とを具備することを特徴と
する。
と、この発生部から供給さ２する磁気バブルに磁界変化
パターンを与えて所定方向に伝搬するシフト部と、この
シフト部を介して伝飯された磁気バブルを検出する検出
部と、前記シフト部上の所望位置の少なくとも１ケの磁
気バブルを消去する消去手段とを具備することを特徴と
する。
本発明における磁気バブル発生部、シフト部およヒ横出
部は、磁気バブルメモリ装置の構成要素古して公知の、
ものである。また、本発明の消去手段としては、レーザ
光または磁化された先端を有゛″−♀゛″る針等を用い
ることができる。
部は、磁気バブルメモリ装置の構成要素古して公知の、
ものである。また、本発明の消去手段としては、レーザ
光または磁化された先端を有゛″−♀゛″る針等を用い
ることができる。
（実施例の説明）
以下図面によυ本発明の詳細な説明する。
第１図は、本発明の１実施例に係る磁気バブルシフトを
用いた位置検出装置の概略の構成ケ示す。
用いた位置検出装置の概略の構成ケ示す。
同図において、１はバブルジェネレータ、２はバブルシ
フト部、３は・“ζプル検出回路、４はレーザ発光部で
これらは本発明の特徴とする磁気バブルセンサを構成し
ている。５はコン１−ロール回路である。
フト部、３は・“ζプル検出回路、４はレーザ発光部で
これらは本発明の特徴とする磁気バブルセンサを構成し
ている。５はコン１−ロール回路である。
バブルジェネレータｌは、ガーネット等の磁気バブル材
料に極端に？ｔｔ？ａ ’）込んだ磁束な・与えること
によって磁気バブルを形成するとともにこの磁気バブル
をバブルシフト部２に供給する。このバブルジェネレー
タ１としては、第２図に示すう構成のものが知らｎてい
るが、いず眉、のものを用いてもよい。また、公知の他
の形式のバブルジェネレータを用いてもよい。第２図に
おいて、（ａ）はトランスファゲートジェネレーク、（
ｂ）はビンカツクスリブリケードジェネレータ、（Ｃ）
はディスクリプリケートジェネレータである。これらは
いずれも磁気バブル材料に導体、ｏターン層１１および
パーマロイ等の磁性体層で形成されるトランスフアゲ−
１・１２および伝搬、Ｑターン１３等で構成されている
。
料に極端に？ｔｔ？ａ ’）込んだ磁束な・与えること
によって磁気バブルを形成するとともにこの磁気バブル
をバブルシフト部２に供給する。このバブルジェネレー
タ１としては、第２図に示すう構成のものが知らｎてい
るが、いず眉、のものを用いてもよい。また、公知の他
の形式のバブルジェネレータを用いてもよい。第２図に
おいて、（ａ）はトランスファゲートジェネレーク、（
ｂ）はビンカツクスリブリケードジェネレータ、（Ｃ）
はディスクリプリケートジェネレータである。これらは
いずれも磁気バブル材料に導体、ｏターン層１１および
パーマロイ等の磁性体層で形成されるトランスフアゲ−
１・１２および伝搬、Ｑターン１３等で構成されている
。
１４はパーマロイディスク、１５υ、釉バブルである。
バブルシフト部２はバブルジェネレータ１から供給さイ
９．る磁気バブルを所望方向（ここでは第１図上圧力）
ら右）へ順次シフトして伝搬する。第１図において、バ
ブルシフ１一部２にはバブル安定用のバイアス磁界ＨＢ
がバブル伝搬方向と垂直にかけられている。このバブル
シフト部２は磁気バブルメモリの構成要素として公知の
ものを使用することができるが、例えば、第３および４
図に示すような２油導体膜形シフトレジスタが好適であ
る。
９．る磁気バブルを所望方向（ここでは第１図上圧力）
ら右）へ順次シフトして伝搬する。第１図において、バ
ブルシフ１一部２にはバブル安定用のバイアス磁界ＨＢ
がバブル伝搬方向と垂直にかけられている。このバブル
シフト部２は磁気バブルメモリの構成要素として公知の
ものを使用することができるが、例えば、第３および４
図に示すような２油導体膜形シフトレジスタが好適であ
る。
このバブルシフト部・２は、ガーネット等のバブル材層
２１に２層導の導体膜２２．２３を積層し、この導体Ｍ
２２，２３には磁気バブルの伝搬路に沿つて複数の穴２
４．２５を配列したものである。
２１に２層導の導体膜２２．２３を積層し、この導体Ｍ
２２，２３には磁気バブルの伝搬路に沿つて複数の穴２
４．２５を配列したものである。
２６はパーマロイ蒸着膜等で形成される。／ｈ−ドバノ
゛ル抑制層、２７は２酸化ケイ素等で形成さ孔る絶縁ｊ
傷、２８は伝搬さイ９．る磁気バブルを模式的に表わし
たものである。第３および第４図のバブルシフト部２に
おいては、第５図に示すノーケンスの２相電流を伝搬路
と垂直に流すと穴２４．２５のまわりの不均一電流によ
って回転磁界か発生し、第４図（ａｌ〜（ｅｌに示すよ
うに、バブル２８が順次移動する。第４および５図にお
いて、実線の電流１１゜■５ は導体膜２２に流れる電
流を示し、点線の電流１２ ｔ１４は導体膜２３に流れ
る電流を示す。
゛ル抑制層、２７は２酸化ケイ素等で形成さ孔る絶縁ｊ
傷、２８は伝搬さイ９．る磁気バブルを模式的に表わし
たものである。第３および第４図のバブルシフト部２に
おいては、第５図に示すノーケンスの２相電流を伝搬路
と垂直に流すと穴２４．２５のまわりの不均一電流によ
って回転磁界か発生し、第４図（ａｌ〜（ｅｌに示すよ
うに、バブル２８が順次移動する。第４および５図にお
いて、実線の電流１１゜■５ は導体膜２２に流れる電
流を示し、点線の電流１２ ｔ１４は導体膜２３に流れ
る電流を示す。
バブ４し什・出回路３はバブルシフト部２によって伝飯
さＪ”した磁気バブルを検出し、磁気バブルが伝蝕され
る度にイ火出信号を発生する。第６図は、バブルト芙出
１１」路３の一例をボす。同図において、３１はバブル
シフト部最終段を示す等価回路、３２はバブル信号入力
部、３３は前１酢増巾器としてのコノ／♀レークである
。
さＪ”した磁気バブルを検出し、磁気バブルが伝蝕され
る度にイ火出信号を発生する。第６図は、バブルト芙出
１１」路３の一例をボす。同図において、３１はバブル
シフト部最終段を示す等価回路、３２はバブル信号入力
部、３３は前１酢増巾器としてのコノ／♀レークである
。
し・−ザ光発光部４は図示しない集光装置を含み、レー
ザ光を発生するとともにこのレーザ光を大きさが磁気バ
ブルの径と同程度のスポットに集束ず、る。このレーザ
光スポットは、レーザ光発光稀４を被測定物体と連動さ
せ、または被６１１」定物体と連動する偏光装置（図示
せず）によって、移動または偏光され、被測定物体の位
置または寸法に応じたバブルシフト部２上の所定の位置
を照射し、このレーザ光スポットの照射さ孔た箇所の磁
気バブルは消去される。なお、このレーザ光スポットの
照射による磁気バブル消去の原理は次の通つである。す
なわち、バブルシフト部２ては、バブルを安定Ｖこ保持
するためにバイアス磁界ＨＢが印加されている。そのた
め、ガーネット材層のバブル材の中をバブルは回転磁界
にょシ安定にソフトされている。バブルシフトを停止し
ておいて、ある一定時間バブルをレーザ光にて照射する
と、ガーネット等のバブル材は、局部的に温度上昇が発
生しバブル材の磁化が弱くなる。このため、バブルは消
去される。なお、照射域は１ビツトバブル分に相当する
エリアとすることが好ましいがよシ広域のバブルを消去
するようにしてもよい。この場合（１消去部の中心点を
検出することとなる。
ザ光を発生するとともにこのレーザ光を大きさが磁気バ
ブルの径と同程度のスポットに集束ず、る。このレーザ
光スポットは、レーザ光発光稀４を被測定物体と連動さ
せ、または被６１１」定物体と連動する偏光装置（図示
せず）によって、移動または偏光され、被測定物体の位
置または寸法に応じたバブルシフト部２上の所定の位置
を照射し、このレーザ光スポットの照射さ孔た箇所の磁
気バブルは消去される。なお、このレーザ光スポットの
照射による磁気バブル消去の原理は次の通つである。す
なわち、バブルシフト部２ては、バブルを安定Ｖこ保持
するためにバイアス磁界ＨＢが印加されている。そのた
め、ガーネット材層のバブル材の中をバブルは回転磁界
にょシ安定にソフトされている。バブルシフトを停止し
ておいて、ある一定時間バブルをレーザ光にて照射する
と、ガーネット等のバブル材は、局部的に温度上昇が発
生しバブル材の磁化が弱くなる。このため、バブルは消
去される。なお、照射域は１ビツトバブル分に相当する
エリアとすることが好ましいがよシ広域のバブルを消去
するようにしてもよい。この場合（１消去部の中心点を
検出することとなる。
−コントロール回路５は第１図の位置検出装置′にＪ６
ｋｊるバフ゛ルジエ不レーク１、バブルシフ１゛音ト２
およびレーザ光発光部４を制御するとともに、バブル帳
出回路３の出力に基づき磁気バブル消去位論すなわちレ
ーザ光スポットによる照射位り全検出する。
ｋｊるバフ゛ルジエ不レーク１、バブルシフ１゛音ト２
およびレーザ光発光部４を制御するとともに、バブル帳
出回路３の出力に基づき磁気バブル消去位論すなわちレ
ーザ光スポットによる照射位り全検出する。
次に挑７図のフローチャー１・を参照しなから犯１図の
位置検出装置の動作を説明する。
位置検出装置の動作を説明する。
コントロール回Ｋ ５１ｄ、、先ｆバブルジエ不レータ
ｌを駆動して磁気バブルを連続的に発生させる。
ｌを駆動して磁気バブルを連続的に発生させる。
この磁気バブルはバブルシフ！・部に送り出される。
バブルシフト部２はこの磁気バブルを順次シフトしこの
磁気バブルかバブルソフト部２全体に行き葭ったところ
てパブルシフト全停止する。−絖いて被測定物の位置に
応じてスポラ１−照射位置を設定し、レーザ光う６光部
を駆動してバレルシフト部２上の所定の箇所をレーザ光
スボツ１−によシ照射し。
磁気バブルかバブルソフト部２全体に行き葭ったところ
てパブルシフト全停止する。−絖いて被測定物の位置に
応じてスポラ１−照射位置を設定し、レーザ光う６光部
を駆動してバレルシフト部２上の所定の箇所をレーザ光
スボツ１−によシ照射し。
少４１りとも１つのイｍ気バブルを消去する。次にバブ
ルシフト部２全再度駆動してバブルシフト部上のＩＱ、
気バブル列をシフトし、Ｐ４Ｈｅ消去さ石た部分が検出
されるまでのサイクル数すなわち・ｌＩム気バブル数を
カウントする。そしてサイクル隊に適当な定数を掛算お
よび加算することにより基準点からの測定距離またはバ
ブルシフト部２上における平面座標を求め、また、２ケ
所の位置を求めてこの２点間の距離を得る。
ルシフト部２全再度駆動してバブルシフト部上のＩＱ、
気バブル列をシフトし、Ｐ４Ｈｅ消去さ石た部分が検出
されるまでのサイクル数すなわち・ｌＩム気バブル数を
カウントする。そしてサイクル隊に適当な定数を掛算お
よび加算することにより基準点からの測定距離またはバ
ブルシフト部２上における平面座標を求め、また、２ケ
所の位置を求めてこの２点間の距離を得る。
（発明の効果）
以上のように本発明の磁気バブルセンサを用いて位置検
出を行なうと、この位置検出の分解能は磁気バブルの寸
法、１シフト動作によるシフト寸法およびレーザ光スポ
ットの寸法等に依存するが、通常、光計測のレベルに近
い分解能１μｍ以下の高精度計測か可能である。しかも
、装置の大きさは光計測方法を実施する場合と比較して
簡略かつ非常に小型に構成することができる。
出を行なうと、この位置検出の分解能は磁気バブルの寸
法、１シフト動作によるシフト寸法およびレーザ光スポ
ットの寸法等に依存するが、通常、光計測のレベルに近
い分解能１μｍ以下の高精度計測か可能である。しかも
、装置の大きさは光計測方法を実施する場合と比較して
簡略かつ非常に小型に構成することができる。
第１図は本発明の１実施例に係る飾気バブルセンサを用
いた位置検出装置の概ＦＩ＠構成図、第２図は第１図に
おけるバブルジェネレータの構造を示すパターン図、第
３図は第１図におけるバブルシフト部の構造断面図、第
４図はバブルシフト部におけるバブルの移動状況を示す
模式平面図、第５図はバブルシフト部に供給される電流
のパルスシーケンス図、＄６図は第１閣におけるバブル
検出部の回路図、そして第７図は第１図の位置検出装置
の動作説明のためのフローチャートである。 １・・・・・・バブルジェネレータ、 ２・・・・・
・バブルシフト部、 ３・・・・・・バブル検出部、
４・・・・・・レーザ光発光部、 ５・・・・・
・コントロール部。 特許出願人 立石電機株式会社 代理人 弁理士 伊東辰雄 代理人 弁理士 伊東哲也 第１図 ４ （Ｃ） ５ ｆｓ３ 因 第４ツ１
いた位置検出装置の概ＦＩ＠構成図、第２図は第１図に
おけるバブルジェネレータの構造を示すパターン図、第
３図は第１図におけるバブルシフト部の構造断面図、第
４図はバブルシフト部におけるバブルの移動状況を示す
模式平面図、第５図はバブルシフト部に供給される電流
のパルスシーケンス図、＄６図は第１閣におけるバブル
検出部の回路図、そして第７図は第１図の位置検出装置
の動作説明のためのフローチャートである。 １・・・・・・バブルジェネレータ、 ２・・・・・
・バブルシフト部、 ３・・・・・・バブル検出部、
４・・・・・・レーザ光発光部、 ５・・・・・
・コントロール部。 特許出願人 立石電機株式会社 代理人 弁理士 伊東辰雄 代理人 弁理士 伊東哲也 第１図 ４ （Ｃ） ５ ｆｓ３ 因 第４ツ１
Claims (1)
- 【特許請求の範囲】 ■、磁磁気バブ光発生部、この発生部から供給される磁
気バブルに磁界変化／Ｑターンを与えて所定方向に伝搬
するシフ１一部と、このシフト部を介して伝搬された磁
気バブルを１タヒ出する検出部と、前記シフト部上の所
望位置の少なくとも１ケの磁気バブルを消去する消去手
段とを具備することを特徴とする磁気バブルセンサ。 ２、前記消去手段はレーザ光照射位眞が被測定物と連動
して前記シフト部上を移動するレーザ照射装置からなる
特許請求の範囲第１項記載の磁気バブルセンサ。
Priority Applications (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP58032897A JPS59160877A (ja) | 1983-03-02 | 1983-03-02 | 磁気バブルセンサ |
Applications Claiming Priority (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP58032897A JPS59160877A (ja) | 1983-03-02 | 1983-03-02 | 磁気バブルセンサ |
Publications (1)
| Publication Number | Publication Date |
|---|---|
| JPS59160877A true JPS59160877A (ja) | 1984-09-11 |
Family
ID=12371680
Family Applications (1)
| Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
|---|---|---|---|
| JP58032897A Pending JPS59160877A (ja) | 1983-03-02 | 1983-03-02 | 磁気バブルセンサ |
Country Status (1)
| Country | Link |
|---|---|
| JP (1) | JPS59160877A (ja) |
Cited By (1)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| JPH01286193A (ja) * | 1988-05-12 | 1989-11-17 | Canon Inc | 磁気バブル記録素子、磁気バブル転送方法、磁気バブル記録再生装置、磁気バブル記録方法、磁気バブル消去方法及び磁気バブル再生方法 |
-
1983
- 1983-03-02 JP JP58032897A patent/JPS59160877A/ja active Pending
Cited By (1)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| JPH01286193A (ja) * | 1988-05-12 | 1989-11-17 | Canon Inc | 磁気バブル記録素子、磁気バブル転送方法、磁気バブル記録再生装置、磁気バブル記録方法、磁気バブル消去方法及び磁気バブル再生方法 |
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