JPS5916103A - カンチレバ− - Google Patents
カンチレバ−Info
- Publication number
- JPS5916103A JPS5916103A JP12511782A JP12511782A JPS5916103A JP S5916103 A JPS5916103 A JP S5916103A JP 12511782 A JP12511782 A JP 12511782A JP 12511782 A JP12511782 A JP 12511782A JP S5916103 A JPS5916103 A JP S5916103A
- Authority
- JP
- Japan
- Prior art keywords
- beryllium
- thin plate
- cantilever
- molten metal
- cold rolling
- Prior art date
- Legal status (The legal status is an assumption and is not a legal conclusion. Google has not performed a legal analysis and makes no representation as to the accuracy of the status listed.)
- Pending
Links
- 229910052751 metal Inorganic materials 0.000 abstract description 25
- 239000002184 metal Substances 0.000 abstract description 25
- ATBAMAFKBVZNFJ-UHFFFAOYSA-N beryllium atom Chemical compound [Be] ATBAMAFKBVZNFJ-UHFFFAOYSA-N 0.000 abstract description 23
- 229910052790 beryllium Inorganic materials 0.000 abstract description 22
- 238000010438 heat treatment Methods 0.000 abstract description 16
- 238000000034 method Methods 0.000 abstract description 15
- 229910000952 Be alloy Inorganic materials 0.000 abstract description 10
- 238000010791 quenching Methods 0.000 abstract description 9
- 238000005097 cold rolling Methods 0.000 abstract description 5
- 239000013078 crystal Substances 0.000 abstract description 3
- 239000012768 molten material Substances 0.000 abstract description 3
- 239000011261 inert gas Substances 0.000 abstract description 2
- 230000000704 physical effect Effects 0.000 abstract description 2
- 230000000171 quenching effect Effects 0.000 abstract 1
- 239000000463 material Substances 0.000 description 5
- XKRFYHLGVUSROY-UHFFFAOYSA-N Argon Chemical compound [Ar] XKRFYHLGVUSROY-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 4
- 239000000155 melt Substances 0.000 description 4
- 238000007740 vapor deposition Methods 0.000 description 4
- 229910052782 aluminium Inorganic materials 0.000 description 3
- XAGFODPZIPBFFR-UHFFFAOYSA-N aluminium Chemical compound [Al] XAGFODPZIPBFFR-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 3
- 238000005096 rolling process Methods 0.000 description 3
- RTAQQCXQSZGOHL-UHFFFAOYSA-N Titanium Chemical compound [Ti] RTAQQCXQSZGOHL-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 2
- 229910052786 argon Inorganic materials 0.000 description 2
- 238000001816 cooling Methods 0.000 description 2
- 238000005520 cutting process Methods 0.000 description 2
- 239000007789 gas Substances 0.000 description 2
- 238000004519 manufacturing process Methods 0.000 description 2
- 239000000758 substrate Substances 0.000 description 2
- 239000010936 titanium Substances 0.000 description 2
- 229910052719 titanium Inorganic materials 0.000 description 2
- 238000003466 welding Methods 0.000 description 2
- RYGMFSIKBFXOCR-UHFFFAOYSA-N Copper Chemical compound [Cu] RYGMFSIKBFXOCR-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 1
- 239000004235 Orange GGN Substances 0.000 description 1
- 239000003795 chemical substances by application Substances 0.000 description 1
- 239000000110 cooling liquid Substances 0.000 description 1
- 229910052802 copper Inorganic materials 0.000 description 1
- 239000010949 copper Substances 0.000 description 1
- 238000010586 diagram Methods 0.000 description 1
- 238000005530 etching Methods 0.000 description 1
- PCHJSUWPFVWCPO-UHFFFAOYSA-N gold Chemical compound [Au] PCHJSUWPFVWCPO-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 1
- 239000010931 gold Substances 0.000 description 1
- 229910052737 gold Inorganic materials 0.000 description 1
- 238000000465 moulding Methods 0.000 description 1
- 230000002269 spontaneous effect Effects 0.000 description 1
- 238000010408 sweeping Methods 0.000 description 1
Classifications
-
- G—PHYSICS
- G11—INFORMATION STORAGE
- G11B—INFORMATION STORAGE BASED ON RELATIVE MOVEMENT BETWEEN RECORD CARRIER AND TRANSDUCER
- G11B3/00—Recording by mechanical cutting, deforming or pressing, e.g. of grooves or pits; Reproducing by mechanical sensing; Record carriers therefor
- G11B3/44—Styli, e.g. sapphire, diamond
- G11B3/50—Anvils or other supports opposing stylus forces
Abstract
(57)【要約】本公報は電子出願前の出願データであるた
め要約のデータは記録されません。
め要約のデータは記録されません。
Description
【発明の詳細な説明】
本発明は、ベリリウムまたはベリリウムを主成分とする
ベリリウム合金を用いて形成される、例えばレコード・
プレーヤのトーン参アームの先端に取付けるカンチレバ
ーに関する。
ベリリウム合金を用いて形成される、例えばレコード・
プレーヤのトーン参アームの先端に取付けるカンチレバ
ーに関する。
レコード番プレーヤのトーン・アームの先端に配設され
るカートリッジの一部を形成するカンチレバーとして望
まれることは、再生周波数帯域を高音域まで広げるため
にヤング率が大きいこと、分割振動が生じないこと、針
先等価質量を小さくするために材料の密度が小さいこと
、さらには成型加工が容易で製品として均−且つ構造堅
牢に仕上がることが要求される。
るカートリッジの一部を形成するカンチレバーとして望
まれることは、再生周波数帯域を高音域まで広げるため
にヤング率が大きいこと、分割振動が生じないこと、針
先等価質量を小さくするために材料の密度が小さいこと
、さらには成型加工が容易で製品として均−且つ構造堅
牢に仕上がることが要求される。
このような要求を満足させるものとしては、ベリリウム
があるが、ベリリウムは延性に劣シ、プレス成型に対し
て脆は易い等、加工性が著しく劣る等の欠点がありた。
があるが、ベリリウムは延性に劣シ、プレス成型に対し
て脆は易い等、加工性が著しく劣る等の欠点がありた。
この為、カンチレバーとして用いるためには第1図のよ
うなカンチレバーの形状をした銅、アルミニウムなどの
パイプ状の基板上1にベリリウムBet を蒸着し、
そしてエツチングによって基板1を取り去ってベリリウ
ムBeから形成されたカンチレバー2を製造するという
方法が用いられていた。
うなカンチレバーの形状をした銅、アルミニウムなどの
パイプ状の基板上1にベリリウムBet を蒸着し、
そしてエツチングによって基板1を取り去ってベリリウ
ムBeから形成されたカンチレバー2を製造するという
方法が用いられていた。
また従来は、その成型加工性の良さから、カンチレバー
の材料としては主にアルミニウムやチタンが用いられて
いた。この場合、アルミニウムおよびチタンはその密度
が前者は2.69 (f/−)であシ、また後者は4.
54 (f/cttt)と比較的小さい。このようにヤ
ング率が小さいと、高性能なカンチレバーを製作するこ
とは難かしかった。
の材料としては主にアルミニウムやチタンが用いられて
いた。この場合、アルミニウムおよびチタンはその密度
が前者は2.69 (f/−)であシ、また後者は4.
54 (f/cttt)と比較的小さい。このようにヤ
ング率が小さいと、高性能なカンチレバーを製作するこ
とは難かしかった。
本発明は上述のような点に鑑みて表されたものでその目
的とするところは、融体超急冷法を採用して冷間圧延加
工を施こすことによって量産性が良く安価でしかも従来
の蒸着法に比べて機械的強度が充分な力/チレバーを提
供するのにある。
的とするところは、融体超急冷法を採用して冷間圧延加
工を施こすことによって量産性が良く安価でしかも従来
の蒸着法に比べて機械的強度が充分な力/チレバーを提
供するのにある。
以下本発明の一実施例を第2図乃至第6図に従って説明
する。
する。
5は融体超急冷装置で、この融体超急冷装置5はベリリ
ウム或いはベリリウムを実成分とする溶融金属6を収容
してその外周に捲回したヒータTなどの加熱手段で加熱
、溶融されてその下方にノズル8ムが設けられた加熱容
器8と、この加熱容器8の前記ノズル8ムの下方に回転
自在に対設されて前記加熱容器B内にアルゴンガスなど
の不活性ガスを封入することによって前記ノズル8ムか
ら溶融金属6を噴出して超急冷させ、金属薄板6′を形
成するためのロール9,9とから形成される。
ウム或いはベリリウムを実成分とする溶融金属6を収容
してその外周に捲回したヒータTなどの加熱手段で加熱
、溶融されてその下方にノズル8ムが設けられた加熱容
器8と、この加熱容器8の前記ノズル8ムの下方に回転
自在に対設されて前記加熱容器B内にアルゴンガスなど
の不活性ガスを封入することによって前記ノズル8ムか
ら溶融金属6を噴出して超急冷させ、金属薄板6′を形
成するためのロール9,9とから形成される。
先ず、第1工程として、ベリリウム或いはベリリウムを
主成分とする溶融金属6を加熱容器8内に収容し、それ
からヒータTなどの加熱手段によって加熱、溶融する。
主成分とする溶融金属6を加熱容器8内に収容し、それ
からヒータTなどの加熱手段によって加熱、溶融する。
第2工程として、加熱容器8内にアルゴンガスを圧入す
ることによって加熱容器8の下方に設けたノズル8ムか
ら、ロール9,9間に溶融金属6を噴出させ、超急冷さ
せることによシ、ベリリウム又はベリリウムを主成分と
する数+μmの溶融金属6の金属薄板6′ を得た(第
2図参照)。
ることによって加熱容器8の下方に設けたノズル8ムか
ら、ロール9,9間に溶融金属6を噴出させ、超急冷さ
せることによシ、ベリリウム又はベリリウムを主成分と
する数+μmの溶融金属6の金属薄板6′ を得た(第
2図参照)。
第3工程としてロール10.10間に金属薄板6′ を
挿入して冷間圧加工をすることによって所望の厚さ30
〜TOμmのベリリウムBe 又はベリリウム合金か
らなる薄板6“ を得た。
挿入して冷間圧加工をすることによって所望の厚さ30
〜TOμmのベリリウムBe 又はベリリウム合金か
らなる薄板6“ を得た。
この場合、ロール10.10は一方向一段圧延を示した
が得ようとする薄板6“ の形状によって交叉圧延法や
多段圧延機等を用いてもよい。
が得ようとする薄板6“ の形状によって交叉圧延法や
多段圧延機等を用いてもよい。
第5工程としてカンチレバー11に対して形成すべき薄
板6“ を所望の大きさに丸目てパイプ状に形成し、そ
の後、熱処理を施こすことによって前記パイプ状の薄板
6“ の端が戻らないように固定する。
板6“ を所望の大きさに丸目てパイプ状に形成し、そ
の後、熱処理を施こすことによって前記パイプ状の薄板
6“ の端が戻らないように固定する。
その後、第6エ程としてパイプ状の前記薄板6“を適当
な長さに切断し、そしてそのパイプ状に丸目た薄板6“
の長手方向端部を溶接することにょってカンチレバー
11を得る。
な長さに切断し、そしてそのパイプ状に丸目た薄板6“
の長手方向端部を溶接することにょってカンチレバー
11を得る。
本発明の一実施例は上述のような構成からなり溶融金属
6をロール9,9に対して加熱容器8のノズル8人から
噴出して超急冷し、その後ロール10.10を介して冷
間圧延させた薄板6″ は厚さ30〜10μmの多結
晶体でその結晶粒径は10μm以下と非常に小さい。
6をロール9,9に対して加熱容器8のノズル8人から
噴出して超急冷し、その後ロール10.10を介して冷
間圧延させた薄板6″ は厚さ30〜10μmの多結
晶体でその結晶粒径は10μm以下と非常に小さい。
このように冷間圧延法を採用したため、その結晶の配向
性が良い。このことから冷間圧延しても十分な延性を示
す。従って従来、困難とされてきた10μm以下の高純
度なぺIJ IJウムp薄板6“を容易に得ることがで
きる。
性が良い。このことから冷間圧延しても十分な延性を示
す。従って従来、困難とされてきた10μm以下の高純
度なぺIJ IJウムp薄板6“を容易に得ることがで
きる。
また蒸着法によって形成される従来薄板6″ の引張
強度等の機械的強度や材料の歩留まυの悪さなどは冷間
圧延法によって解消できる。
強度等の機械的強度や材料の歩留まυの悪さなどは冷間
圧延法によって解消できる。
つまシ、理想的な物性値を有するベリリウム又はベリリ
ウム合金を安価に量産できる。
ウム合金を安価に量産できる。
なお、第T1図乃至第10図は、上記実施例のものが加
熱容器8のノズル8ムからロール9.9に溶融金属6を
噴出して超急冷させたのと異なシ、第7ト1に示すもの
は溶融金属6を2つの板12.12間に滴下することに
よって対向して近接することによって溶融金属6から薄
板6“ を製造したもの、また第8図に示すものは加熱
容器8内に収納した溶融金属6を加熱容器8のノズル8
ムから回転するドラム13の内壁に噴出して超急冷する
もの、また第9図は加熱容器8内に収容した溶融金属6
を冷却用の液体14を入れた引抜筒14から冷却しなが
ら引き抜いて薄板6“ を形成する場合、さらに第10
図に示すものは容器16内に入れた溶融金属6をロール
17を回転させて薄板6“ を形成/ する場合をそれぞれ示した。
熱容器8のノズル8ムからロール9.9に溶融金属6を
噴出して超急冷させたのと異なシ、第7ト1に示すもの
は溶融金属6を2つの板12.12間に滴下することに
よって対向して近接することによって溶融金属6から薄
板6“ を製造したもの、また第8図に示すものは加熱
容器8内に収納した溶融金属6を加熱容器8のノズル8
ムから回転するドラム13の内壁に噴出して超急冷する
もの、また第9図は加熱容器8内に収容した溶融金属6
を冷却用の液体14を入れた引抜筒14から冷却しなが
ら引き抜いて薄板6“ を形成する場合、さらに第10
図に示すものは容器16内に入れた溶融金属6をロール
17を回転させて薄板6“ を形成/ する場合をそれぞれ示した。
上述のように本発明は、融体超急冷法を採用して超急冷
して形成されるベリリウム又はベリリウム合金の薄板か
らカンチレバーを製造できる。
して形成されるベリリウム又はベリリウム合金の薄板か
らカンチレバーを製造できる。
従って従来、蒸着法だけしか製造できなかったベリリウ
ムのカンチレバーを量産性良く製造できるためコストが
低廉となる。
ムのカンチレバーを量産性良く製造できるためコストが
低廉となる。
第1図は蒸着法によって製造できる従来のカンチレパー
を示した工程図、第2図は本発明の一実施例のカンチレ
バーを製造する場合の融体超急冷装置の一例を示した断
面図、第3図は同じく融体超急冷装置の後段の圧延ロー
ラを示した断面図、第4図は上記融体超急冷装置から製
造された薄板の斜面図、第5図は同じく上記薄板によっ
て製造されたベリリウム又はベリリウム合金をパイプ状
にした斜面図、第6図は上記パイプ状の薄板を切断した
カンチレバーパイプの斜面図、第1図は溶融金属を2つ
の板の間に滴下してベリリウム又はベリリウム合金から
薄板を製造する場合の第2実施例を示した断面図、第8
図は同じく加熱容器内に入れた溶融金属を回転するドラ
ム内に噴出して製造する第3実施例を示した薄板の断面
図、第9図は同じく加熱容器内に収容した溶融金属を超
急冷して引き抜く場合を示した第4実施例を示した断面
図、第10図は同じくロールを用いた溶湯掃引法によっ
て薄板を製造する場合の第5実施例を示した断面図であ
る。 6・・・・・・・・・溶融金属 6′・・・・・・・・・金属薄板 6“・・・・・・・・・薄板 9.10・・・・・・・・・ロール。 特許出願人 パイオニア株式会社 第9図 第10図 7 手続補正書(自発) 昭和58年2 月18 日 特許庁長官若 杉 和 夫 殿 1、事件の表示 昭和5T年 特許願 第125117
号2、発明の名称 カンチレ/(− 3、補正をする者 事件との関係 特許出願人 住所 東京都目黒区目黒1丁目4番1号名称 44(501)パイオニア株式会社 4、代理人 5、補正命令の日付 昭和 年 月 日6
、補正により増加する発明の数 補正の内容(%願昭57−125117)1. 明細書
、第2頁4行に「跪は易い等、」と記載があるのを「脆
い」に補正する。 2、 明細書、第2頁16行乃至11行に[小さい。 と記載があるのを「大きい。」に補正する。 3、 明細書、第2頁11行に「ヤング率が小さいと。 と記載があるのを「密度が大きいと」K補正する。 4、uAMJ簀、第3頁13行に「封入Jと記載がある
のを「圧入」に補正する。 s、 E111細書、第4頁8行および第5頁6行に
r30〜10μm」と記載があるのを「5〜40ttm
Jに補正する。 6、 明細書、第5頁1行に「カンチレバー11を得る
。」と記載があるのを「但し、この溶接は、得ようとす
る力/チレバー特性によっては行われなくてもよい。」
に補正する。 7、 明細書、第5負17行に「ベリリウム合金」と記
載があるのを[ベリリウム合金の薄板を用いたカンチレ
バーを安価に量産できる。またこの実施例では溶融金X
6を超急冷さすのにロール9.sK噴出させているが、
片ロールに溶融金属6を噴出させて超急冷することもで
きる。 龜 明細書、第6頁12行に「それぞれ示した。」と記
載がある後K「また冷間圧延させたベリリウムの薄板に
引き抜き法等を適用して力/チレパーの形状に成形する
ことも可能である。」の字句を加入する。 9、第2図、第8図、第9図を別紙のように補正する。 特許出願人 パイオニア株式会社
を示した工程図、第2図は本発明の一実施例のカンチレ
バーを製造する場合の融体超急冷装置の一例を示した断
面図、第3図は同じく融体超急冷装置の後段の圧延ロー
ラを示した断面図、第4図は上記融体超急冷装置から製
造された薄板の斜面図、第5図は同じく上記薄板によっ
て製造されたベリリウム又はベリリウム合金をパイプ状
にした斜面図、第6図は上記パイプ状の薄板を切断した
カンチレバーパイプの斜面図、第1図は溶融金属を2つ
の板の間に滴下してベリリウム又はベリリウム合金から
薄板を製造する場合の第2実施例を示した断面図、第8
図は同じく加熱容器内に入れた溶融金属を回転するドラ
ム内に噴出して製造する第3実施例を示した薄板の断面
図、第9図は同じく加熱容器内に収容した溶融金属を超
急冷して引き抜く場合を示した第4実施例を示した断面
図、第10図は同じくロールを用いた溶湯掃引法によっ
て薄板を製造する場合の第5実施例を示した断面図であ
る。 6・・・・・・・・・溶融金属 6′・・・・・・・・・金属薄板 6“・・・・・・・・・薄板 9.10・・・・・・・・・ロール。 特許出願人 パイオニア株式会社 第9図 第10図 7 手続補正書(自発) 昭和58年2 月18 日 特許庁長官若 杉 和 夫 殿 1、事件の表示 昭和5T年 特許願 第125117
号2、発明の名称 カンチレ/(− 3、補正をする者 事件との関係 特許出願人 住所 東京都目黒区目黒1丁目4番1号名称 44(501)パイオニア株式会社 4、代理人 5、補正命令の日付 昭和 年 月 日6
、補正により増加する発明の数 補正の内容(%願昭57−125117)1. 明細書
、第2頁4行に「跪は易い等、」と記載があるのを「脆
い」に補正する。 2、 明細書、第2頁16行乃至11行に[小さい。 と記載があるのを「大きい。」に補正する。 3、 明細書、第2頁11行に「ヤング率が小さいと。 と記載があるのを「密度が大きいと」K補正する。 4、uAMJ簀、第3頁13行に「封入Jと記載がある
のを「圧入」に補正する。 s、 E111細書、第4頁8行および第5頁6行に
r30〜10μm」と記載があるのを「5〜40ttm
Jに補正する。 6、 明細書、第5頁1行に「カンチレバー11を得る
。」と記載があるのを「但し、この溶接は、得ようとす
る力/チレバー特性によっては行われなくてもよい。」
に補正する。 7、 明細書、第5負17行に「ベリリウム合金」と記
載があるのを[ベリリウム合金の薄板を用いたカンチレ
バーを安価に量産できる。またこの実施例では溶融金X
6を超急冷さすのにロール9.sK噴出させているが、
片ロールに溶融金属6を噴出させて超急冷することもで
きる。 龜 明細書、第6頁12行に「それぞれ示した。」と記
載がある後K「また冷間圧延させたベリリウムの薄板に
引き抜き法等を適用して力/チレパーの形状に成形する
ことも可能である。」の字句を加入する。 9、第2図、第8図、第9図を別紙のように補正する。 特許出願人 パイオニア株式会社
Claims (1)
- ベリリウムまたはベリリウムを主成分とするベリリウム
合金を融体超急冷法によって超急冷した後に冷間圧延加
工した所望の厚さの金属薄板を用いて形成されることを
特徴としたカンチレノ(−0
Priority Applications (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP12511782A JPS5916103A (ja) | 1982-07-20 | 1982-07-20 | カンチレバ− |
Applications Claiming Priority (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP12511782A JPS5916103A (ja) | 1982-07-20 | 1982-07-20 | カンチレバ− |
Publications (1)
| Publication Number | Publication Date |
|---|---|
| JPS5916103A true JPS5916103A (ja) | 1984-01-27 |
Family
ID=14902263
Family Applications (1)
| Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
|---|---|---|---|
| JP12511782A Pending JPS5916103A (ja) | 1982-07-20 | 1982-07-20 | カンチレバ− |
Country Status (1)
| Country | Link |
|---|---|
| JP (1) | JPS5916103A (ja) |
-
1982
- 1982-07-20 JP JP12511782A patent/JPS5916103A/ja active Pending
Similar Documents
| Publication | Publication Date | Title |
|---|---|---|
| US5306363A (en) | Thin aluminum-based alloy foil and wire and a process for producing same | |
| USRE32925E (en) | Novel amorphous metals and amorphous metal articles | |
| KR19990023946A (ko) | 고경도 Fe-기재 금속유리합금으로 이루어지는 소결체 및 주조물 | |
| JPH03158446A (ja) | 加工性に優れた非晶質合金 | |
| JPS6038225B2 (ja) | 非晶質合金の製造方法 | |
| US4528247A (en) | Strip of nickel-iron brazing alloys containing carbon and process | |
| JPH0874010A (ja) | ジルコニウム非晶質合金棒材の製造方法及び金型で鋳造成型されたジルコニウム非晶質合金 | |
| JPH0387338A (ja) | 希土類金属基合金箔又は希土類金属基合金細線及びその製造方法 | |
| JPS5916103A (ja) | カンチレバ− | |
| US6648994B2 (en) | Methods for producing iron-based amorphous alloy ribbon and nanocrystalline material | |
| JPS6074104A (ja) | デジタル用磁気ヘツド | |
| JPS6141974B2 (ja) | ||
| JPS6236439B2 (ja) | ||
| JPS6059034A (ja) | Cu−Ζr系非晶質金属細線 | |
| JPS60223646A (ja) | Al−Li合金薄板の製造方法 | |
| JPS5915395A (ja) | 音響振動板 | |
| JPS60227950A (ja) | Al−Li合金薄板の製造方法 | |
| JPS60138036A (ja) | 超急冷ニツケル・チタン合金薄帯並びにその製造方法 | |
| US5709758A (en) | Process for producing structural member of aluminum alloy | |
| JPH0252582B2 (ja) | ||
| JPS58176061A (ja) | 液体急冷帯状金属の製造方法 | |
| JPH0947849A (ja) | 磁気記録材料の製造方法 | |
| JPH0675947B2 (ja) | 制振金属板の製造方法 | |
| JPS6086222A (ja) | 非晶質合金の製造方法 | |
| JPS5918608A (ja) | 軟磁性薄板 |