JPS59167401A - 複列搬送装置 - Google Patents

Abstract

(57)【要約】本公報は電子出願前の出願データであるた
め要約のデータは記録されません。

Description

【発明の詳細な説明】 ［発明の技術分野］ この発明は複列搬送装置に関し、更に詳細には、少なく
とも２列のシュートを有するとともに該ショーｌ−間の
間隔を自動的に変更させるためのシュート移動機構を具
備した複列搬送装置に関するものである。

［発明の技術的背景］ 半導体装置の製造ラインにおいては各種加工ステージョ
ン及び各種検査ステーション間に半導体装置を搬送する
ために、各ステーションには複列のシュー１〜から成る
搬送装置が併設されるが、各ステーションの機器の大小
に応じてシュート間隔が異なっているので上流側ステー
ションの搬送装置と下流側ステーションの搬送装置とを
直接に接続できない場合が生じる。　このような場合、
一般に上流側の搬送装置と下流側の搬送装置との間に湾
曲しＩＣシュートを有する中細′搬送装置を設置して搬
送設備を構成していた。

第１図にそのような従来の搬送設備の例を示す。

同図において、１はシュート間隔ｐ１で配列された複列
のシュート１８〜１ｄを有する上流側搬送装置、２はシ
ュート間隔＋１２　　（ｒＪ２　＜　ｐｌ）で配列され
た複列のシュー１〜２ａ・〜・２（＋を右でる下流側搬
送装置、３ｔま湾曲した複列のシュー１−３　ａ〜３（
１を右する中継搬送装置である。

−ヒ流側搬）′Ａ装置１の終端部には各シ：、１．−１
−１　ａ〜１（１上の半導体装置Ｗを−Ｕ停庄さゼてお
くためのシャッタ４が設（プられており、該シ１１ツタ
４が駆動シリング５によって上向き″にシュー１−１ａ
〜１ｄＪ−から引ぎ土げられた時に、シュー１〜Ｊ−の
半導体装置Ｗは中継：搬送装置３の各シュート３８〜・
３ｄ土を滑走して下流側搬送装置２に送り込まれろ。

し背景技術の問題１：　３ 第１図のととぎ従来の搬送設備において、手控側搬送装
置１のシ：１−１〜間隔ｐ、と下流側搬送装置２のシュ
ート間隔ｐ２との差がかな０大きくｎつ両搬送装置間の
長手方向間隔１−が小さいＪ、゛）へ場合には、中継；
１［０送装同３の各シュー１゛・の水平方向）弯曲率を
大きく　ジノｒ　ｔＪれば４「らないが、中継：搬送装
置のシＪ、　−１−の湾曲率が大きいと、被搬］Ｘ物で
ある半導体装置がシＵ−１〜との摩擦のため途中で停止
してしまう恐れがあるので上流側搬送装置１と下流側１
）０送装置２とのｒ！ｌ隔１−（すなわ）５、上流側ス
テーションと下流側ステーションとの圧印［）をかなり
大きな値にする必要があった。　従って、′−ＩＬ哨体
装置体装置製造ラインがかなり大きくなって大きな床面
積が必要になるという問題点があった。

また、中継搬送装置３のシュー１〜が固定式であるため
、上流側搬送装置と下流側搬送装置とのそれぞれのシュ
ート間隔が異なる場所毎に専用の中継搬送装置を設置す
ることが必要になり、中継搬送装置の設Ｈ１及び製作が
一品生節となるので多額の費用がかかるという問題点が
あった。

［発明の目的］ この発明の目的は、どのようなシュー１〜間隔の搬送装
置とも接続できる可変シュート間隔の複列１１０送装置
を提供することであり、また、それぞれのシュート間隔
が著しく異なる一ヒ流側＋１１’Ｊ送装買と下流側搬送
装置との間の比較的狭い空間に設置するための中継搬送
装置としても使用することのできる可変シュー１へ間隔
の複列搬送装置を提供することである。

［発明の（既要コ この発明による複列搬送装置は、並列配向された〕かイ
Ｔくとも２夕ｊｌのシー？−トと該シュートをての幅方
向に移動さＶろためのシーＬ　−ｈ移動機構とから成・
）でおり、該複列撤Ｊｌ　’Ａ　！ｌ’ｌ’はイれ−と
れのシュート間隔が胃なる手控側搬送装置と下流側搬送
装置との間に設置−りるための中継搬送装置とし−Ｃ好
適であるとともに任意のシュート間隔の複列搬送装置の
終端側もしくは始端側に接続するための接続搬送装置ど
しても使用することができる。　この発明による複列搬
送装置は、シュー１〜間隔を自動的に変更できるため、
それぞれのシュート間隔が互いに著しく胃なる二つの搬
送装置の間に設置して使用でき、また、」流、側搬送装
貿と下流側搬送装置との間の間隔が狭い場合でも設置す
ることができる。

［発明の実施例］ 第２図乃至第４図に本発明の一実施例を示す。

５− この実施例に示された本発明の複列搬送装置６は、溝形
のフレーム７と、該フレーム７の両側壁部７ａ、７ｂ間
に互いに平行に差し渡された一対の案内棒８及び９に両
端を支持されて該案内棒に沿って移動しうる一対の可動
シュート１０及び１１と、該可動シュート１０及び１１
の間に配置されるとともにフレーム７の底面部７Ｃに立
設されたビン１２上に支持された静止シュート１３と、
該可動シュート１０及び１１を該案内棒８及び９に沿っ
て移動させるためのシュート移動技（構１４とから成っ
ている。　本実施例においては該シアート移動機構１４
がパンタグラフ機構を利、用して構成されており、該シ
ュート移動機構１４は、該ピン１２に中央支点が枢着さ
れた８の字形のパンタグラフ１５ど、フレーム７の側壁
部７ａに固定されるとともに可動シュート１０にピスト
ンロッド１６ａが連結された駆動シリンダ１６とから成
っている。　パンタグラフ１５の中心には該ピン１２が
貫通しており、また該パンタグラフ１５０両端支点には
支持ビン１７及び１８を介して前記−〇− 可動シ１．−１−１０及び１１がそれぞれ連結されてい
る。

駆動シリンダ１６は四示μぬ制御装置ににつで制御され
るようになっているが、該制御装置には可動シアー１−
１０．１１のための位置決めレン］ノ等からの信号を印
ｊｌｒｌ　？Ｉ’るようにしてもよい。

前記のごどき椙′Ｊ１５の本発明の杓列搬送装置におい
ては、第２図及び第４図に示すように、駆動シリンダ１
６とパンタグラフ１５とから成るシュート移動機構１４
を駆動ざ１！、ることにより、シュー１〜間隔をｐｌ　
−・ｌ）２　　（Ｌｌ　＞　　ｎ２）；ｌ：でイ丁ミ１
に変更することができるので、どのようなシ」−１〜間
隔の複列搬送装量にも接続することができる。

また、本発明の装置を中継搬送装置として利用する場合
には、まず手控側１般）ス装買のシアー１へ間隔に一致
するようにシュート移１ＦＪＪ　ｉ５構を操作した後に
搬送物体を上流側条）メ装置から本発明装置に受は入れ
、更にシアー１・移動機構を操作して本発明装置のシコ
ー１〜間隔を下流側搬送装置Ｎのシアート間隔に一致さ
せることに・より、本発明装置を従来の中継１（０送装
置に代えて使用することができる。

第５図は本発明装置を中１１！搬送装置として構成した
シュート式複列１般送設備の斜視図であり、この実施例
では上流側搬送装置１の出口端に所定間隔をおいたシャ
ッタ１９．２０が設置されており、これらのシャッタ１
つ、２０はそれぞれシリンダ２１．２２で交互に間開さ
れるようになっている。

また、中継１般送装置として設置されている本発明の搬
ｊス装置６の出口端にもシャッタ２３が設置され、該シ
ャッタ２３を開閉させるシリンダ２／Ｉはシリンダ２１
及び２２の動作後に作動するように制御装置により制御
されている。　なお、第５図において第１図乃至第４図
と同一符号で示された部分は第１図乃至第４図と同一の
部分であるから説明を省略する。

第５図の１１０送設備において、上流側搬送装置の各シ
ュー１−１８・・・１ｅを滑走してきた１１送物体Ｍは
シャッタ１つによって一旦停止される。　ついでそのシ
ャック１９が開閉作動されて各シュートートの先頭の搬
送物体Ｍ、のみが次のシャッタ２０に向かっで前進した
１や、再び該シャック２０により一旦停止される。　こ
れと同時に中継搬送装置である本発明の１般）ス装ｖＪ
６においη駆動シリンダ１６を含むシ１−１・移動ｎ、
横１４が駆動されて可動シアー１〜１０．１０ａ　、１
１．１１８が上流搬送装動１の各シ」−１〜に整列され
ると同時にシャッタ２０は間かねて搬送物（ＡＭ、が本
発明の搬ｊス装貿６の各シュート上に乗り移る。　続い
てシアー１〜移動（機構１４が駆動されて可動シアート
が下流側搬送装置２のシアー１〜に整列するように動か
された１ｖ、シャッタ２３が聞かれて搬送物体Ｍ　。

は下流側条）Ｘ装置２の各シアー１へ十に乗り移る。

イして、シャック２３が閉じられた俊は、再び前記のご
とき１ノ−イクルが繰り返される。

以上の実施例に不されたように、本発明の１１８）ス装
置ではシアー１〜が幅方向に移動しろるように構成され
ているため、中継搬送装置として使用する場合において
−に流側搬送装置とＦ流側搬送装置との離隔距離が小さ
くてもシュー１〜を湾曲さゼろ必要がなく、従って搬送
物体がシュー１〜の途中で停９− 止する恐れがない。　また同じ理由により、全長を短か
くすることができ、従って上流側搬送装置と下流側搬送
装置との離隔距離が小さくても設置することができると
いう特徴がある。

なお、前記実施例では、シュ−１〜移動機構としてパン
タグラフを利用するもののみを示したが、シュ−１〜移
動機構はどんな機構であってもよく、また、すべてのシ
ュートを可動シュートとして構成するようにしてもよい
。　すなわち、本発明は前記実施例のみに限定されるも
のではなく、等価な装置を採用することにより種々の変
形実施例が可能である。　なお、第５図の実施例におい
て、中継搬送装置の出口端にシャッタを設ける代りにシ
ュート傾動機構を設けることによって搬送物体の停止及
び始動を行わせるようにしてもよい。

また、シュートは必ずしも直線状でなくてもよく、目つ
互いに平行であることも必要ではない。

［発明の効果１ 以上に説明したところから明らかなように、この発明に
よれば、以下のごとき効果が得られる搬１０− 送装置が提供される。

■中継曜）ス装置として使用する場合、中継個所毎に専
用の装置として段に！及び製作する必要がなく、どこの
中継個所にも適用できる標準袋間どして設泪及び製作す
ることができるので、設僅］ストが大幅に低減する。

■搬ｊスラインおよび製造ラインの短縮が可能となり、
Ｔ揚床面積を小さくすることができ、設備］ストが低減
する。

■中継搬送装置として用いられるだけでなく、搬送ライ
ンの適当個所に段間して仕分（づ装置や分配装置として
使うこともでき、１１９送ラインの機能を高めることが
できる。

【図面の簡単な説明】

第１図はたとえばｒｌ’　＞９体装置の製造設備におけ
る従来の早送ラインの一例を示す斜視図、第２図は本発
明一実施例の平面図、第３図は第２図の■−■矢神図、
第４図は作動の一状態を示す下面図、第５図は第２図及
び第３図に示した本発明装置を中継搬）ス装置として利
用した搬送ラインの斜視図である。 １・・・上流側部〕Ｘ装置、　２・・・下流側搬送装置
、３・・・中継搬送装置、　４・・・シャッタ、　　１
８〜１ｅ・・・シュート、　　２ａ〜２ｄ・・・シュー
１〜．３８〜３ｄ・・・シュート、　６・・・本発明の
複列搬送装置、　７・・・フレーム、　８，９・・・案
内棒、１０．１１．１０ａ、１１ａ・・・可動シュート
、１２・・・ビン、　１３・・・静止シコーート、　１
４・・・シュ−１〜移動機構、　　１５・・・パンタグ
ラフ、　　１Ｇ・・・駆動シリンダ、　１７．１８・・
・枢着ビン、１９．２０．２３・・・シャッタ。 第２図 第４図 第５図

Claims (1)

1. 【特許請求の範囲】 １　並列配置された少なくとも２列のシコ−−１〜と、
   該シコート間の間隔を任意に変更するように該シ］−１
   −を幅方向に移動させろシュート移動機構とを右する複
   列搬送装置。 ２　シコー１〜が、フレームに固定された案内棒に沿っ
   て移動するシュートであり、そしてシュート移＠Ｉ　ｍ
   構が、パンタグラフ１支点において該フレームに）重粘
   するとともに他のパンクグラフ支点において上記シュー
   １〜に連結するパンタグラフと、該フレームに固定され
   るとともに該パンタグラフを移動させる駆動シリンダと
   から成る、特許請求の範囲第１項記載の複列搬送装ば。