JPS5917208A - 機能トリミング装置 - Google Patents
機能トリミング装置Info
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- JPS5917208A JPS5917208A JP57125631A JP12563182A JPS5917208A JP S5917208 A JPS5917208 A JP S5917208A JP 57125631 A JP57125631 A JP 57125631A JP 12563182 A JP12563182 A JP 12563182A JP S5917208 A JPS5917208 A JP S5917208A
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- JP
- Japan
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- trimming
- voltage
- temperature
- functional
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- Apparatuses And Processes For Manufacturing Resistors (AREA)
Abstract
(57)【要約】本公報は電子出願前の出願データであるた
め要約のデータは記録されません。
め要約のデータは記録されません。
Description
【発明の詳細な説明】
本発明は、混成集積回路などの機能トリミングを行う機
能トリミング装置に関する。
能トリミング装置に関する。
一般に、抵抗、導体等を形成した回路基板に、半導体素
子、コンデンサ等の外付部品を実装した混成集積回路の
機能トリミング(機能トリム)は、前記混成集積回路ケ
動作状態(通電状態)にしたうえで、前記回路の調整項
目が所望値となる様に、前記抵抗等の素子をトリミング
することにより行われる。
子、コンデンサ等の外付部品を実装した混成集積回路の
機能トリミング(機能トリム)は、前記混成集積回路ケ
動作状態(通電状態)にしたうえで、前記回路の調整項
目が所望値となる様に、前記抵抗等の素子をトリミング
することにより行われる。
すなわち、前記混成集積回路が、例えば、カラーTVの
水平発振回路のような場合には、出力周波数の測定ケ行
いながら、所望の出力周波数が得られるまで一抵抗等火
機能トリミングすることとなる。
水平発振回路のような場合には、出力周波数の測定ケ行
いながら、所望の出力周波数が得られるまで一抵抗等火
機能トリミングすることとなる。
ところで、機能トリム中に一前記出力周波数が所望値の
範囲内に入ったと判定してトリミング乞終了した場合に
、僅かの時間経過後−出力周波数火測定してみろと〜前
記所望値の範囲から外れてしまっている場合がある。
範囲内に入ったと判定してトリミング乞終了した場合に
、僅かの時間経過後−出力周波数火測定してみろと〜前
記所望値の範囲から外れてしまっている場合がある。
これは、例えば、混成集積回路の通電により。
回路の温度が上昇し、その出力周波数が変動するためで
ある。
ある。
そこで、従来は2.出力周波数の変動が回路の温度上昇
による場合には、機能トリミング終了時の出力周波数と
、回路の温度平衡(安定)状態での出力周波数との平均
的なドリフト量を予め見込んで、結果的に、出力周波数
が、所望値の範囲内に入るようにトリミングケ行ってい
た。
による場合には、機能トリミング終了時の出力周波数と
、回路の温度平衡(安定)状態での出力周波数との平均
的なドリフト量を予め見込んで、結果的に、出力周波数
が、所望値の範囲内に入るようにトリミングケ行ってい
た。
しかしながら、
(1)所望値の範囲(許容範囲)が非常に狭い場合、
(2)混成集積回路の部品の温度に対jる周波数特性が
、部品毎に一定しな〜・場合、 (3)トリミングがレーザによって非常に短時間のうち
に、jなわち、回路の温度がほとんど上昇しないうちに
終了する場合等においては一前述したような従来のドリ
フト量7見込んでトリミングヶ行う方法では、対処しき
れなかった。
、部品毎に一定しな〜・場合、 (3)トリミングがレーザによって非常に短時間のうち
に、jなわち、回路の温度がほとんど上昇しないうちに
終了する場合等においては一前述したような従来のドリ
フト量7見込んでトリミングヶ行う方法では、対処しき
れなかった。
丁なわち、上述した(1)〜(ロ)のような場合には、
所望のトリミング値をオーバーすることも多く。
所望のトリミング値をオーバーすることも多く。
その結果、混成集積回路の生産の歩留まり乞低下させる
という欠点があった。
という欠点があった。
なお、以上の説明は、混成集積回路の温度が、平衡状態
となる前に、機能トリムを行った場合の従来技術の欠点
についてであったが、このような欠点は、混成集積回路
の電源電圧が、定常(安定)状態になる前、すなわち過
渡応答期間中に、機能トリムを行った場合にも当てはま
ることは明らかである。
となる前に、機能トリムを行った場合の従来技術の欠点
についてであったが、このような欠点は、混成集積回路
の電源電圧が、定常(安定)状態になる前、すなわち過
渡応答期間中に、機能トリムを行った場合にも当てはま
ることは明らかである。
本発明の目的は、上記した従来技術の欠点をなくし、混
成集積回路の機能トリミング精度7向土さぜることかで
き、したがって、また生産工程での混成集積回路の少留
まり乞向上させることができる機能トリミング装fit
:を提供するにある。
成集積回路の機能トリミング精度7向土さぜることかで
き、したがって、また生産工程での混成集積回路の少留
まり乞向上させることができる機能トリミング装fit
:を提供するにある。
hjj記目的ヶ達成するために、本発明では、その出力
が温度または電圧の関数として変化″′fる被機能!−
IJ ミング回路に電圧を印加する電源部と、前記被機
能トリミング回路ケ予定時間又は予定距離トリミングす
るトリミング部と、前記被機能トリミング回路の出力値
が初期設定価とほぼ等しい値になるまでトリミングを継
続させるか、または前記手足時間又は予定距離トリミン
グさせる手段と、トリミング終了時以降予定の時間間隔
で少な(とも6点前記被機能トリミング回路の出力値を
測定する測定部と乞設けることとした。
が温度または電圧の関数として変化″′fる被機能!−
IJ ミング回路に電圧を印加する電源部と、前記被機
能トリミング回路ケ予定時間又は予定距離トリミングす
るトリミング部と、前記被機能トリミング回路の出力値
が初期設定価とほぼ等しい値になるまでトリミングを継
続させるか、または前記手足時間又は予定距離トリミン
グさせる手段と、トリミング終了時以降予定の時間間隔
で少な(とも6点前記被機能トリミング回路の出力値を
測定する測定部と乞設けることとした。
また、本発明では、前記目的χ達成するために、前記測
定部が測定した出力値に基づいて、所定の計算式により
、前記トリミング終了時の前記被機能トリミング回路の
温度または電圧平衡(安定)状態での出力値を求める手
段と、前記温度または電圧平衡(安定)状態での出力値
が前記所望値の範囲内に入っていない場合には、さらに
トリミングを続行させろコマンドを前記トリミング部に
与える手段と乞設けることにした。
定部が測定した出力値に基づいて、所定の計算式により
、前記トリミング終了時の前記被機能トリミング回路の
温度または電圧平衡(安定)状態での出力値を求める手
段と、前記温度または電圧平衡(安定)状態での出力値
が前記所望値の範囲内に入っていない場合には、さらに
トリミングを続行させろコマンドを前記トリミング部に
与える手段と乞設けることにした。
以下、本発明ケ、従来例と同様に−その被機能トリミン
グ回路がカラーTVの水平発振回路である場合を例にと
′りて、図面により説明する。
グ回路がカラーTVの水平発振回路である場合を例にと
′りて、図面により説明する。
第1図は、本発明の機能トリミング装置の一実施例χ示
すブロック図である。
すブロック図である。
第1図において、1は機能トリミングされる混成集積回
路、2は後記3〜6から構成さ扛る機能トリミング装置
、3,415および6は、各々、前記機能トリミング装
置2の中の電源部、周波数測定部、計算機およびトリミ
ング部である。
路、2は後記3〜6から構成さ扛る機能トリミング装置
、3,415および6は、各々、前記機能トリミング装
置2の中の電源部、周波数測定部、計算機およびトリミ
ング部である。
また、@2図において、(i)は混成集積回路10通電
による温度上昇特性曲線、(2)は混成集積回路1の出
力周波数特性曲線である。1工お一曲lit (1)
I (2’lに対する横軸は、時間Tを示し一縦軸は、
各々、温度t、出力周波数f7示す。
による温度上昇特性曲線、(2)は混成集積回路1の出
力周波数特性曲線である。1工お一曲lit (1)
I (2’lに対する横軸は、時間Tを示し一縦軸は、
各々、温度t、出力周波数f7示す。
まず、時点1.において、混成集積回路1に、電源部6
より電圧を印加すると、前記混成集積回路1の温度tと
出力周波数fとは、第2図に示すように変化ヶ始める。
より電圧を印加すると、前記混成集積回路1の温度tと
出力周波数fとは、第2図に示すように変化ヶ始める。
時点1i1−1から時点T。までトリミングを続けると
、この間は、トリミングが行われている為、出力周波数
fは、f、からf。へ急激に変化する。
、この間は、トリミングが行われている為、出力周波数
fは、f、からf。へ急激に変化する。
次に、時点T。でトリミングを仮終了すると、この後は
、混成集積回路1の温度上昇により、その出力周波数f
は、一般的に、第2図に示すように、指数関数的に変化
する。
、混成集積回路1の温度上昇により、その出力周波数f
は、一般的に、第2図に示すように、指数関数的に変化
する。
そこで、本実施例では、まず、トリミンタ仮終了時点T
。より定間隔(微小時間ΔT)毎に、T、、Tt、・・
・・・・yTlw・・・・・−という時点ケ設定して、
各々の時点における出力周波数f。t fl l f、
#・・・・。
。より定間隔(微小時間ΔT)毎に、T、、Tt、・・
・・・・yTlw・・・・・−という時点ケ設定して、
各々の時点における出力周波数f。t fl l f、
#・・・・。
fI、・・・・ を、周波数測定部4で測定′j′ろ。
ところで、ある時ATiKおけろ出力周波数fIY式で
表わすと−よく知られているように、式(1)のように
なる。
表わすと−よく知られているように、式(1)のように
なる。
fl =f (T=ω) −(1斗Ae−”T )
・・・=−(1)また、ここで、八fl ”” ’l
−1’lとすれば、この八f、は、式(2)のようにな
る。
・・・=−(1)また、ここで、八fl ”” ’l
−1’lとすれば、この八f、は、式(2)のようにな
る。
△f+=f(T=”) ・(1+Ae−”T’−’)’
(””’ ) ・(i −)−Ae−1′1T t
)”” (T:” ) A、(e−”TI−1−e−
n丁+)1.1.(2)したがって、△f1+1/△f
、は、式(3)で表わすことができる。
(””’ ) ・(i −)−Ae−1′1T t
)”” (T:” ) A、(e−”TI−1−e−
n丁+)1.1.(2)したがって、△f1+1/△f
、は、式(3)で表わすことができる。
なお、ここで、ΔTは、前述したように一定値であり、
またαは各混成集積回路毎に定まった数値であるので、
前記△fl+1/Δf、は、各混成集積回路ごとに一定
の値となる。そこで、これYaで表わし、温度平衡状態
での出力周波数f(T−〜)を求めると、式(4)のよ
うになる。
またαは各混成集積回路毎に定まった数値であるので、
前記△fl+1/Δf、は、各混成集積回路ごとに一定
の値となる。そこで、これYaで表わし、温度平衡状態
での出力周波数f(T−〜)を求めると、式(4)のよ
うになる。
f(T、、、−)=fo−(△f1+△f2+Δf、斗
・・+△f I−t−=)=(o−△f、 (1−1−
a+a’−+−=+a”−’−1−・)すなわち、fo
、 f、 、 f、が計測されれば、f (T=−)は
、計算により得られることとなる。
・・+△f I−t−=)=(o−△f、 (1−1−
a+a’−+−=+a”−’−1−・)すなわち、fo
、 f、 、 f、が計測されれば、f (T=−)は
、計算により得られることとなる。
し1こがって、このf(T=〜)の計算値ビ所望値の範
囲、すなわち許容範囲と比較判断すれば、トリミングy
a1′更に続行させるべきか否かの決定ケ行うことがで
き、後述jるように結果的に、出力周波数ケ、前記許容
範囲に納めることができる。
囲、すなわち許容範囲と比較判断すれば、トリミングy
a1′更に続行させるべきか否かの決定ケ行うことがで
き、後述jるように結果的に、出力周波数ケ、前記許容
範囲に納めることができる。
以下、第3図のフローチャートを用いて、本実施例(第
1図)の機能トリミング装置の動作の一例を説明する。
1図)の機能トリミング装置の動作の一例を説明する。
まず、ステップS1では、トリミング部乙により、混成
集積回路1ヶ予定時間又は予定距離機能トリムする。
集積回路1ヶ予定時間又は予定距離機能トリムする。
ステップS2では、周波数測定部4で、予定時間又は予
定距離機能トリムさ扛た混成集積回路1の出力周波数f
Jケ測定し、このデータY計算機5に送る。
定距離機能トリムさ扛た混成集積回路1の出力周波数f
Jケ測定し、このデータY計算機5に送る。
ステップS3では、計算機5で一前記出力周波数fjヲ
受取り、予め定めた周波数(初期設定値) fsuと比
較し、fj≦fsHの関係にあるか否かを判断する。f
j< f、Hの関係になければ、トリミングを続行させ
るコマンドをトリミング部6に与える。丁なわち、ステ
ップS1に戻る。
受取り、予め定めた周波数(初期設定値) fsuと比
較し、fj≦fsHの関係にあるか否かを判断する。f
j< f、Hの関係になければ、トリミングを続行させ
るコマンドをトリミング部6に与える。丁なわち、ステ
ップS1に戻る。
この手順1丁なわち、ステ7プS1〜S3は、出力周波
数がlj< fBHの関係にあると判断さ肚るまでくり
返される。出力周波数がfj< fBHの関係にあると
判断されると、ステップS4に進む。
数がlj< fBHの関係にあると判断さ肚るまでくり
返される。出力周波数がfj< fBHの関係にあると
判断されると、ステップS4に進む。
ステ7プS4では、出力周波数がf、≦f8Hの関係に
あると判断された時、すなわちトリミング仮終了時点T
。のデータを、foとして引算機5に格納する。
あると判断された時、すなわちトリミング仮終了時点T
。のデータを、foとして引算機5に格納する。
なお〜ステップS2およびS6は省略することもできる
。この場合には一ステップS4の仮終了時点T。は、ス
テップS1において、最初に予定時間機能トリムさIt
”L、た時点ということになる。
。この場合には一ステップS4の仮終了時点T。は、ス
テップS1において、最初に予定時間機能トリムさIt
”L、た時点ということになる。
ステップS5では、計X機5において、前記仮終了時点
1゛。からカウントし、微小時間△T経過しtこ時点T
、ヲ求め、この時の読取りコマンドケ周波数測定部4に
与えろ。
1゛。からカウントし、微小時間△T経過しtこ時点T
、ヲ求め、この時の読取りコマンドケ周波数測定部4に
与えろ。
ステップS6では、周波数測定部4が、前記読取りコマ
ンド7受けて、時点T、の出力周波数f、ン読取り、こ
のデータを計算機5に送る。
ンド7受けて、時点T、の出力周波数f、ン読取り、こ
のデータを計算機5に送る。
ステップS7では、計算機5において、前記時点T、か
らカウントし、微小時間△T経過した時点Tt ’l求
め、この時の読取りコマンドケ周波数測定部4に与える
。
らカウントし、微小時間△T経過した時点Tt ’l求
め、この時の読取りコマンドケ周波数測定部4に与える
。
ステップS8では、周波数測定部4が、前記読取りコマ
ンド7受けて、時点T2の出力周波数f2ン読取り、こ
のデータを計算機5に送る。
ンド7受けて、時点T2の出力周波数f2ン読取り、こ
のデータを計算機5に送る。
ステップS9では、計算機5において一出力周波数f。
t ’+ t ’t の読取りデータに基づいて、前記
式(4)から温度平衡状態での出力周波数f(T=ω)
ン求めろ。
式(4)から温度平衡状態での出力周波数f(T=ω)
ン求めろ。
ステップ10では、計算機5において、前記f (’I
’=ω)が許容範囲に入っているか否か、すなわち、f
L≦f(T=ω)<fuの関係ケ満しているカ否かを判
断する、この関係を満していなければ、ステップS1に
戻る。
’=ω)が許容範囲に入っているか否か、すなわち、f
L≦f(T=ω)<fuの関係ケ満しているカ否かを判
断する、この関係を満していなければ、ステップS1に
戻る。
この手順、すなわちステップ81〜81oは、前記fL
<f (T=−) < fHの関係を満足j7)と判断
されるまでくり返される。fL≦f(’l”−の)<f
Hの関係馨満足すると判断されれば、本実施例の機能ト
リミング装置の動作は終了する。。
<f (T=−) < fHの関係を満足j7)と判断
されるまでくり返される。fL≦f(’l”−の)<f
Hの関係馨満足すると判断されれば、本実施例の機能ト
リミング装置の動作は終了する。。
なお−以上の説明は、本発明の機能トリミング装@ケ、
混成集積回路1の温度変化に対処して、使用した場合で
あったが、本発明は、それにのみ限らj、るものではな
い。
混成集積回路1の温度変化に対処して、使用した場合で
あったが、本発明は、それにのみ限らj、るものではな
い。
混成集積回路1に、電源部3より電圧を印加1−ると、
その市、圧の変化(上昇)の様子は、はぼ第2図の曲線
(1)のようになる。そこで、電源電圧安定状態り前、
すなわち過渡応答期間中に、機能トリムを行って、出力
周波数ラミ源電圧安定状態においても許容範囲に納まる
ようにするためには、電源電圧安定状態における出力周
波数ケ予測し、この予測値に基づいてトリミングを行え
ばよいことは明らかである。
その市、圧の変化(上昇)の様子は、はぼ第2図の曲線
(1)のようになる。そこで、電源電圧安定状態り前、
すなわち過渡応答期間中に、機能トリムを行って、出力
周波数ラミ源電圧安定状態においても許容範囲に納まる
ようにするためには、電源電圧安定状態における出力周
波数ケ予測し、この予測値に基づいてトリミングを行え
ばよいことは明らかである。
この場合の手順は、前述した温度変化に対処して機能ト
リム馨行う場合と同様であるので、説明は省略する。
リム馨行う場合と同様であるので、説明は省略する。
また、以上の説明は、混成集積回路1の調整項目が、出
力周波数についてであったが−そハが電圧、電流等であ
っても、出力値が既知の関数にしたがって変化するもの
であれば、本発明により平衡(安定)状態の出力値を求
めることができ、したがって、適正な機能トリムン行え
ろことは勿論である。
力周波数についてであったが−そハが電圧、電流等であ
っても、出力値が既知の関数にしたがって変化するもの
であれば、本発明により平衡(安定)状態の出力値を求
めることができ、したがって、適正な機能トリムン行え
ろことは勿論である。
さらにまた、以上の説明では、T−一の値を予測するに
当って、測定時点を3点としたが、予測精度を更に向上
させる為に、測定時点を3点以上とすることも可能であ
る。
当って、測定時点を3点としたが、予測精度を更に向上
させる為に、測定時点を3点以上とすることも可能であ
る。
例えば、調整項目が、前述した出力周波数の場合には、
例えば、4時点における出力周波数fO* ’+ +
’2 +らン測定し、前記f。、 f、 、 f、に基
づいて前記式(4)からf(T−〜)を求めろとともに
、さらに前記f、 、 f、 、 f、 に基づいて
同じく式(4)からf(T=−)’Y求め、これらヶ加
えて2で割れば、より予測精度の高いf(T−■)を求
めることができる、 以上の説明から明らかなように、本発明によれば、個々
の混成集積回路毎に−機能トリム仮終了時の温度または
電圧の平衡(安定)状態における出力値を予測できるた
め、精匹よく機能トリムを行うことができる効果がある
。
例えば、4時点における出力周波数fO* ’+ +
’2 +らン測定し、前記f。、 f、 、 f、に基
づいて前記式(4)からf(T−〜)を求めろとともに
、さらに前記f、 、 f、 、 f、 に基づいて
同じく式(4)からf(T=−)’Y求め、これらヶ加
えて2で割れば、より予測精度の高いf(T−■)を求
めることができる、 以上の説明から明らかなように、本発明によれば、個々
の混成集積回路毎に−機能トリム仮終了時の温度または
電圧の平衡(安定)状態における出力値を予測できるた
め、精匹よく機能トリムを行うことができる効果がある
。
またさらに、本発明によれば、上記効果から機能トリム
される混成集積回路の生産工程での歩留まりも向上させ
ることができる。
される混成集積回路の生産工程での歩留まりも向上させ
ることができる。
第1図は本発明の機能トリミング装置の一実施例を示す
ブロック図、第2図は混成集積回路1の温度iおよび出
力周波数fの特性図、第3図は、第1図の動作の一例を
説明′1″ろためのフローチャートである。 2・・・機能トリミング装置 6・・・電源部 4・・・周波数測定部 5・・計X機 6 ・・ ト リ ミ ン グ 部l 、−
−一\\ 代理人弁理士 薄 口」ヤ管幸゛ ″ft 図 + 2 閲 り 今
ブロック図、第2図は混成集積回路1の温度iおよび出
力周波数fの特性図、第3図は、第1図の動作の一例を
説明′1″ろためのフローチャートである。 2・・・機能トリミング装置 6・・・電源部 4・・・周波数測定部 5・・計X機 6 ・・ ト リ ミ ン グ 部l 、−
−一\\ 代理人弁理士 薄 口」ヤ管幸゛ ″ft 図 + 2 閲 り 今
Claims (2)
- (1)その出力が温度または電圧の関数として変化する
被機能トリミング回路に電圧を印加する電源部と、前記
被機能トリミング回路を予定時間又は予定距離トリミン
グするトリミング部と、トリミング終了時以降予定の時
間間隔で少なくとも3点前記被機能トリミング回路の出
力値χ測定する測定部と、前記測定部が測定した出力値
に基づいて一所定の計算式により、前記トリミング終了
時の前記被機能トリミング回路の温度または電圧平衡(
安定)状態での出力値を求める手段と、前記温度または
電圧平衡(安定)状態での出力値と所望値の範囲とを比
較し、前記温度または電圧平衡(安定)状態での出力値
が前記所望値の範囲内に入っていない場合には、さらに
トリミングを続行させるコマンドを前記トリミング部腎
、与える手段と欠具備したこと7特徴とする機能トリミ
ング装置。 - (2)その出力が温度または゛電圧の関数として変化す
る被機能トリミング回路に電圧袈印加する電源部と、前
記被機能トリミング回路欠予定時間又は予定距離トリミ
ングjろトリミング部と、前記被機能トリミング回路の
出力値が初期設定値とほぼ等しい値になるまでトリミン
グを継続させる手段と、トリミング終了時以降予定の時
間間隔で少な(とも3点前記被機能トリミング回路の出
力値乞測定する測定部と、前記測定部が測定した出力値
に基づいて、所定の計算式により、前記トリミング終了
時の前記被機能トリミング回路の温度または電圧平衡(
安定)状態での出力値ケ求める手段と、前記温度または
電圧平衡(安定)状態での出力値と所望値の範囲と乞比
較し、前記温度または電圧平衡(安定)状態での出力値
が前記所望値の範囲内に入っていない場合には、さらに
トリミングを続行させるコマンドケ@記トリミング部に
与えろ手段と馨具備したことを特徴とする機能トリミン
グ装置。
Priority Applications (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP57125631A JPS5917208A (ja) | 1982-07-21 | 1982-07-21 | 機能トリミング装置 |
Applications Claiming Priority (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP57125631A JPS5917208A (ja) | 1982-07-21 | 1982-07-21 | 機能トリミング装置 |
Publications (1)
| Publication Number | Publication Date |
|---|---|
| JPS5917208A true JPS5917208A (ja) | 1984-01-28 |
Family
ID=14914822
Family Applications (1)
| Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
|---|---|---|---|
| JP57125631A Pending JPS5917208A (ja) | 1982-07-21 | 1982-07-21 | 機能トリミング装置 |
Country Status (1)
| Country | Link |
|---|---|
| JP (1) | JPS5917208A (ja) |
Cited By (1)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| JPS61174701A (ja) * | 1985-01-30 | 1986-08-06 | 日本電気株式会社 | 抵抗測定器 |
-
1982
- 1982-07-21 JP JP57125631A patent/JPS5917208A/ja active Pending
Cited By (1)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| JPS61174701A (ja) * | 1985-01-30 | 1986-08-06 | 日本電気株式会社 | 抵抗測定器 |
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