JPS59174536A - 光フアイバ母材の製造方法 - Google Patents
光フアイバ母材の製造方法Info
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- JPS59174536A JPS59174536A JP4857583A JP4857583A JPS59174536A JP S59174536 A JPS59174536 A JP S59174536A JP 4857583 A JP4857583 A JP 4857583A JP 4857583 A JP4857583 A JP 4857583A JP S59174536 A JPS59174536 A JP S59174536A
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- 239000000463 material Substances 0.000 title claims abstract description 34
- 239000013307 optical fiber Substances 0.000 title claims abstract description 24
- 238000004519 manufacturing process Methods 0.000 title claims abstract description 14
- 239000002245 particle Substances 0.000 claims abstract 2
- 238000005253 cladding Methods 0.000 claims description 9
- 238000005245 sintering Methods 0.000 claims description 4
- 239000010419 fine particle Substances 0.000 claims description 3
- 238000000151 deposition Methods 0.000 claims description 2
- 239000002994 raw material Substances 0.000 claims description 2
- 238000000034 method Methods 0.000 abstract description 16
- 239000011521 glass Substances 0.000 abstract description 13
- 239000007789 gas Substances 0.000 abstract description 5
- 239000010453 quartz Substances 0.000 abstract description 4
- VYPSYNLAJGMNEJ-UHFFFAOYSA-N silicon dioxide Inorganic materials O=[Si]=O VYPSYNLAJGMNEJ-UHFFFAOYSA-N 0.000 abstract description 4
- 238000010438 heat treatment Methods 0.000 abstract description 2
- 238000006460 hydrolysis reaction Methods 0.000 abstract description 2
- 229910003910 SiCl4 Inorganic materials 0.000 abstract 2
- 239000008246 gaseous mixture Substances 0.000 abstract 2
- FDNAPBUWERUEDA-UHFFFAOYSA-N silicon tetrachloride Chemical compound Cl[Si](Cl)(Cl)Cl FDNAPBUWERUEDA-UHFFFAOYSA-N 0.000 abstract 2
- 229910006113 GeCl4 Inorganic materials 0.000 abstract 1
- 230000007062 hydrolysis Effects 0.000 abstract 1
- IEXRMSFAVATTJX-UHFFFAOYSA-N tetrachlorogermane Chemical compound Cl[Ge](Cl)(Cl)Cl IEXRMSFAVATTJX-UHFFFAOYSA-N 0.000 abstract 1
- 230000005540 biological transmission Effects 0.000 description 3
- 238000010586 diagram Methods 0.000 description 3
- 239000011248 coating agent Substances 0.000 description 2
- 238000000576 coating method Methods 0.000 description 2
- 238000009826 distribution Methods 0.000 description 2
- 230000003287 optical effect Effects 0.000 description 2
- 238000010521 absorption reaction Methods 0.000 description 1
- 230000008021 deposition Effects 0.000 description 1
- 230000000694 effects Effects 0.000 description 1
- 239000000446 fuel Substances 0.000 description 1
- 125000002887 hydroxy group Chemical group [H]O* 0.000 description 1
- 239000011261 inert gas Substances 0.000 description 1
- 238000005192 partition Methods 0.000 description 1
- 238000004381 surface treatment Methods 0.000 description 1
Classifications
-
- C—CHEMISTRY; METALLURGY
- C03—GLASS; MINERAL OR SLAG WOOL
- C03B—MANUFACTURE, SHAPING, OR SUPPLEMENTARY PROCESSES
- C03B37/00—Manufacture or treatment of flakes, fibres, or filaments from softened glass, minerals, or slags
- C03B37/01—Manufacture of glass fibres or filaments
- C03B37/012—Manufacture of preforms for drawing fibres or filaments
- C03B37/014—Manufacture of preforms for drawing fibres or filaments made entirely or partially by chemical means, e.g. vapour phase deposition of bulk porous glass either by outside vapour deposition [OVD], or by outside vapour phase oxidation [OVPO] or by vapour axial deposition [VAD]
- C03B37/01413—Reactant delivery systems
- C03B37/0142—Reactant deposition burners
-
- C—CHEMISTRY; METALLURGY
- C03—GLASS; MINERAL OR SLAG WOOL
- C03B—MANUFACTURE, SHAPING, OR SUPPLEMENTARY PROCESSES
- C03B2207/00—Glass deposition burners
- C03B2207/04—Multi-nested ports
- C03B2207/06—Concentric circular ports
-
- C—CHEMISTRY; METALLURGY
- C03—GLASS; MINERAL OR SLAG WOOL
- C03B—MANUFACTURE, SHAPING, OR SUPPLEMENTARY PROCESSES
- C03B2207/00—Glass deposition burners
- C03B2207/20—Specific substances in specified ports, e.g. all gas flows specified
-
- C—CHEMISTRY; METALLURGY
- C03—GLASS; MINERAL OR SLAG WOOL
- C03B—MANUFACTURE, SHAPING, OR SUPPLEMENTARY PROCESSES
- C03B2207/00—Glass deposition burners
- C03B2207/20—Specific substances in specified ports, e.g. all gas flows specified
- C03B2207/22—Inert gas details
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- Chemical & Material Sciences (AREA)
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- Geochemistry & Mineralogy (AREA)
- Manufacturing & Machinery (AREA)
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Abstract
(57)【要約】本公報は電子出願前の出願データであるた
め要約のデータは記録されません。
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Description
【発明の詳細な説明】
本発明は光ファイ・ζ母材の製造方法に係り、特に気相
軸付法（Ｖａｐｏｒ −Ｐｈａｓｅ ’ａｘｉａ／ ｄ
ｅｐｏｓｉｔｉｏｎ ；ＶＡＤ法）による光ファイ・ζ
母材の製造方法の改良に関するものである。
軸付法（Ｖａｐｏｒ −Ｐｈａｓｅ ’ａｘｉａ／ ｄ
ｅｐｏｓｉｔｉｏｎ ；ＶＡＤ法）による光ファイ・ζ
母材の製造方法の改良に関するものである。
ＶＡＤ法により光ファイノ々母材を製造する場合、・Ｓ
−すを１本としだときは、コア部に相当する部分のみを
製造するのが一般的である。そのため、次工程でクラッ
ド層に相幽する部分を被覆して光フアイバ母材を製造す
るか、もし、くは、別のノζ−すを使用してコア部の上
にクラッド層を成長させ、その後、焼結ガラス化して光
ファイ゛・ζ母材を製造するようにしていた。
−すを１本としだときは、コア部に相当する部分のみを
製造するのが一般的である。そのため、次工程でクラッ
ド層に相幽する部分を被覆して光フアイバ母材を製造す
るか、もし、くは、別のノζ−すを使用してコア部の上
にクラッド層を成長させ、その後、焼結ガラス化して光
ファイ゛・ζ母材を製造するようにしていた。
このように、従来、クラッド層まで含んだ光ファイバ母
料を製造する場合、前者の方法によれば、ガラス管を新
たに被覆する工程が増加し、その際、ガラス管内壁とコ
ア部相当の光ファイノ々母材の表面処理が必要となる。
料を製造する場合、前者の方法によれば、ガラス管を新
たに被覆する工程が増加し、その際、ガラス管内壁とコ
ア部相当の光ファイノ々母材の表面処理が必要となる。
また、後者の方法によれば、バーナ本数を増加すること
になるので、装置が複雑とな咋、それにともない多孔質
母材形状の制御が難しくなるという問題を生ずる。
になるので、装置が複雑とな咋、それにともない多孔質
母材形状の制御が難しくなるという問題を生ずる。
本発明は上記に鑑みてなされたもので、その目的とする
ところは、クラ７１層付光ファイ・ζ母材を容易に製造
することができる光コアイノζ母材の製造方法を提供す
ることにある。
ところは、クラ７１層付光ファイ・ζ母材を容易に製造
することができる光コアイノζ母材の製造方法を提供す
ることにある。
本発明の特徴は、ＶＡＤ法により光ファイノ々母材を製
造するときに１，２−すの構造を少なくとも４重管構造
とし、このノ々−すの中心部に８ＩＯ１４＋ Ｇｅ０１
４ ＋Ａｒ ＋ Ｈ２を、上記中心層の外側の第１層に
３ｉ０ｊ’４・Ａｒ・Ｈ２を、上記第１層の外側の第２
層にＡ「を、上記第２層の外側の第３層に０２をそれぞ
れ流入してクラッド層性の光ファイノ々母材を製造する
ようにした点にある。
造するときに１，２−すの構造を少なくとも４重管構造
とし、このノ々−すの中心部に８ＩＯ１４＋ Ｇｅ０１
４ ＋Ａｒ ＋ Ｈ２を、上記中心層の外側の第１層に
３ｉ０ｊ’４・Ａｒ・Ｈ２を、上記第１層の外側の第２
層にＡ「を、上記第２層の外側の第３層に０２をそれぞ
れ流入してクラッド層性の光ファイノ々母材を製造する
ようにした点にある。
以下本発明の方法の一実施例を第１図〜第３図を用いて
詳細に説明する。
詳細に説明する。
第１図は本発明の製造方法の一実施例を説明するだめの
装置の一例を示す縦断面図である。第１図において、１
は上方に向けて垂直に立てた・ζ−す、２は・Ｓ−す支
持微動台、３はガス導入管、４はガス容器台、５は差圧
計、６〜８はいずれもガラス管、９は排気孔付ガラス容
器、１０は多孔質母材である。１１は仕切板、１２はフ
ランジ、１３は差圧計、１４はフランジ、１５は焼結炉
容器、１６はガスカーテン、１７はカーゼンヒータ、１
８はカーゼン炉芯管、１９は多孔質母材１０を焼結した
焼結ガラスである。２０は石英棒ターゲット、２１はカ
ーゼンシート、２２は回転引上装置、２３はガラス容器
、２４は差圧計、２５は火炎、２６はテレビジョンカメ
ラ、２７はテレビジョンディスプレイである。
装置の一例を示す縦断面図である。第１図において、１
は上方に向けて垂直に立てた・ζ−す、２は・Ｓ−す支
持微動台、３はガス導入管、４はガス容器台、５は差圧
計、６〜８はいずれもガラス管、９は排気孔付ガラス容
器、１０は多孔質母材である。１１は仕切板、１２はフ
ランジ、１３は差圧計、１４はフランジ、１５は焼結炉
容器、１６はガスカーテン、１７はカーゼンヒータ、１
８はカーゼン炉芯管、１９は多孔質母材１０を焼結した
焼結ガラスである。２０は石英棒ターゲット、２１はカ
ーゼンシート、２２は回転引上装置、２３はガラス容器
、２４は差圧計、２５は火炎、２６はテレビジョンカメ
ラ、２７はテレビジョンディスプレイである。
上向けに固定されたバーナ１に原料および燃料を送り込
むと、加水分解反応によって酸化物微粒子が生成され、
この酸化物微粒子が上方にある石英棒ターゲラ）２０の
先端に堆積し、多孔質母材ｌＯが成長する。この場合、
・ζ−す１上方の火炎２５周辺に配置されたガラス管６
〜８がらは不活性ガス（Ｎ２）を吹き出させ、これを火
炎２５および多孔質母材１０に当てて多孔質母材１ｏの
底面形状が所定の形状になるように制御する。なお、多
孔質母材１０の堆積中の状態は、多孔質母材１０の先端
部外周のＤｌ・Ｄ２・Ｄ３０３個所を同時にテレビジョ
ンカメラ２６、テレビジョンディスプレイ２７を用いて
測定し、表示する。
むと、加水分解反応によって酸化物微粒子が生成され、
この酸化物微粒子が上方にある石英棒ターゲラ）２０の
先端に堆積し、多孔質母材ｌＯが成長する。この場合、
・ζ−す１上方の火炎２５周辺に配置されたガラス管６
〜８がらは不活性ガス（Ｎ２）を吹き出させ、これを火
炎２５および多孔質母材１０に当てて多孔質母材１ｏの
底面形状が所定の形状になるように制御する。なお、多
孔質母材１０の堆積中の状態は、多孔質母材１０の先端
部外周のＤｌ・Ｄ２・Ｄ３０３個所を同時にテレビジョ
ンカメラ２６、テレビジョンディスプレイ２７を用いて
測定し、表示する。
ところで、本発明においては、ノ々−す１の構造を４重
管構造とし、・ζ−すｌの中心部に５ｉＯ１！４を２０
０ ｍｇ／１ｍ１ｎ ＸＧｅ０ｔｌ！４ を１３０ｍｇ
／ｍ１０１Ａｒキャリアを８００ ”／ｍｉｎ 、 Ｈ
２を２．５ ％ｉｎの流量で流入させ、中心部の外側の
第１層に３ｉ０１！４を１０００ ｍｇ／１ｍ１ｎ Ｘ
Ａｒキャリアを４００°ｃ／１ｌｒ１１ｎＸＨ２を０
、６ ’ｍｉｎの流量で流入させ、第１層の外側の第２
層にＡ「を１ 、２ ／１ｌｒＩｉｎの流量で流入させ
、第２層の外側の第３層に０２を５’／ｎｉ ｎの流量
で流入させるようにした。また、バーナｌの周辺に配置
したガラス管６〜８からはＨ２を内側より順次１０ ′
！Ａｍ１ｎ、 ２０ ’／Ｆｎｉｎ、３０ ’／ｍｉ
ｎ、３０％ｉｎ （ガラス管６の外側）の流量で供給し
、火炎２５の安定性と多孔質母材ｌＯの底面形状が所定
の形状になるように制御するようにした。
管構造とし、・ζ−すｌの中心部に５ｉＯ１！４を２０
０ ｍｇ／１ｍ１ｎ ＸＧｅ０ｔｌ！４ を１３０ｍｇ
／ｍ１０１Ａｒキャリアを８００ ”／ｍｉｎ 、 Ｈ
２を２．５ ％ｉｎの流量で流入させ、中心部の外側の
第１層に３ｉ０１！４を１０００ ｍｇ／１ｍ１ｎ Ｘ
Ａｒキャリアを４００°ｃ／１ｌｒ１１ｎＸＨ２を０
、６ ’ｍｉｎの流量で流入させ、第１層の外側の第２
層にＡ「を１ 、２ ／１ｌｒＩｉｎの流量で流入させ
、第２層の外側の第３層に０２を５’／ｎｉ ｎの流量
で流入させるようにした。また、バーナｌの周辺に配置
したガラス管６〜８からはＨ２を内側より順次１０ ′
！Ａｍ１ｎ、 ２０ ’／Ｆｎｉｎ、３０ ’／ｍｉ
ｎ、３０％ｉｎ （ガラス管６の外側）の流量で供給し
、火炎２５の安定性と多孔質母材ｌＯの底面形状が所定
の形状になるように制御するようにした。
上記のような設定値として製造した多孔質母材１０を焼
結して得た焼結ガラス１９、すなわち、光ファイ・ζ母
材はコア部とクラッド層からなり、その屈折率分布は第
一２図に示すようになる。第２図において、ａはコア部
、ｂはクラッド層である。
結して得た焼結ガラス１９、すなわち、光ファイ・ζ母
材はコア部とクラッド層からなり、その屈折率分布は第
一２図に示すようになる。第２図において、ａはコア部
、ｂはクラッド層である。
なお１．Δｎは１％であった。
第３図はノ々−す１の第１層に流す８ｒＯ１４の流量と
コア径／グラット径との関係の実験結果を示す線図で、
第１層に流す８ＩＯ１４の流量を５００ ”ｇ／Ｆｎｉ
ｎから１５００ ｍｇ／ｒｎｉ ｎにするとコア径／グ
ラット径は０．７から０．３まで変わり、３ｉ０ｊ４の
流量が１０００””７Ｆｎ ｉ ｎのときは、それが０
５となる。
コア径／グラット径との関係の実験結果を示す線図で、
第１層に流す８ＩＯ１４の流量を５００ ”ｇ／Ｆｎｉ
ｎから１５００ ｍｇ／ｒｎｉ ｎにするとコア径／グ
ラット径は０．７から０．３まで変わり、３ｉ０ｊ４の
流量が１０００””７Ｆｎ ｉ ｎのときは、それが０
５となる。
なお、上記のようにして製造した光コアイノζ母材を加
熱延伸して得た光ファイバの伝送損失は、０．８５ｐ
’ｍ で２．５”’／に＋ｎ、１．３ ｐｍで０ 、５
”’／ｋｍであり、伝送帯域は８００ＭＨｚ 以上で
あった。
熱延伸して得た光ファイバの伝送損失は、０．８５ｐ
’ｍ で２．５”’／に＋ｎ、１．３ ｐｍで０ 、５
”’／ｋｍであり、伝送帯域は８００ＭＨｚ 以上で
あった。
以上説明したよう如、本発明によれば、クラッド層付光
ファイ、？母材を容易に製造することができ、しかも、
クラッド層にはＯＨ基を含まないので、ＯＨ吸収による
伝送損失の増加を低減することができるという効果があ
る。
ファイ、？母材を容易に製造することができ、しかも、
クラッド層にはＯＨ基を含まないので、ＯＨ吸収による
伝送損失の増加を低減することができるという効果があ
る。
第１図は本発明の光フアイバ母材の製造方法の一実施例
を説明するだめの装置の一例を示す縦断面図、第２図は
本発明の製造方法によって製造した光ファイノ々母材の
屈折率分布線図、第３図は・ζ−すの第１層に流すＳ＋
０１４の流量とコア径／グラツド層厚さとの関係の実験
結果を示す線図である。 ｌ・・・、Ｓ−す、１０・・・多孔質母材、１９・・・
焼結ガラス、２０・・・石英棒ターゲット。 第 Ｉ 超 第 ２ ｍ 第 ５ 刀 Ｑ ５００ ．１１）ＤＯ１５０１
）兄ａｅ磯量 （−＝ｊ／−ｊ−）
を説明するだめの装置の一例を示す縦断面図、第２図は
本発明の製造方法によって製造した光ファイノ々母材の
屈折率分布線図、第３図は・ζ−すの第１層に流すＳ＋
０１４の流量とコア径／グラツド層厚さとの関係の実験
結果を示す線図である。 ｌ・・・、Ｓ−す、１０・・・多孔質母材、１９・・・
焼結ガラス、２０・・・石英棒ターゲット。 第 Ｉ 超 第 ２ ｍ 第 ５ 刀 Ｑ ５００ ．１１）ＤＯ１５０１
）兄ａｅ磯量 （−＝ｊ／−ｊ−）
Claims (1)
- （１）垂直に立てた・ζ−すの火炎中に下方から原料を
送り込んで酸化物微粉子を生成し、該酸化物微粒子を前
記・ζ−す上方の棒状体の先端をターゲットとして吹き
付けて堆積させて多孔質母材を成長させ、その後該多孔
質母材を焼結ガラス化して光フアイバ母材を製造すると
きに、前記・ζ−すの構造を少なくとも４重管構造とし
、該ノ々−すの中心部に９ ＩＣｌ３・ＱｅＯ１４・Ａ
ｒ 、Ｈ２を、前記中心部の外側の第１層にＳ＋ＣＩ！
４＋’、ｒ ＋ Ｈ２を、前記第１層の外側の第２層に
Ａｒを、前記第２層の外側の第３層に０２をそれぞれ流
入してクラッド層付の光ファイ・ζ母材を製造すること
を特徴とする光ファイノ々母材の製造方法。
Priority Applications (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP4857583A JPS59174536A (ja) | 1983-03-23 | 1983-03-23 | 光フアイバ母材の製造方法 |
Applications Claiming Priority (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP4857583A JPS59174536A (ja) | 1983-03-23 | 1983-03-23 | 光フアイバ母材の製造方法 |
Publications (1)
| Publication Number | Publication Date |
|---|---|
| JPS59174536A true JPS59174536A (ja) | 1984-10-03 |
Family
ID=12807193
Family Applications (1)
| Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
|---|---|---|---|
| JP4857583A Pending JPS59174536A (ja) | 1983-03-23 | 1983-03-23 | 光フアイバ母材の製造方法 |
Country Status (1)
| Country | Link |
|---|---|
| JP (1) | JPS59174536A (ja) |
-
1983
- 1983-03-23 JP JP4857583A patent/JPS59174536A/ja active Pending
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