JPS5917559B2 - Cooling methods for electronic equipment - Google Patents

Cooling methods for electronic equipment

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JPS5917559B2
JPS5917559B2 JP52023220A JP2322077A JPS5917559B2 JP S5917559 B2 JPS5917559 B2 JP S5917559B2 JP 52023220 A JP52023220 A JP 52023220A JP 2322077 A JP2322077 A JP 2322077A JP S5917559 B2 JPS5917559 B2 JP S5917559B2
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dinit
electronic
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義尚 広瀬
治彦 山本
義明 宇田川
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Fujitsu Ltd
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Description

【発明の詳細な説明】 本発明はジェット流を用いた電子装置の冷却方式に関す
るものである。
DETAILED DESCRIPTION OF THE INVENTION The present invention relates to a cooling method for electronic devices using a jet stream.

■0 半導体を主体とする電子機器においては、性能向
上、あるいは小形化などを果すためには集積度の向上、
実装密度の向上が必要であり、これに伴う熱密度の増大
はより高い冷却能力を要求する。
■0 In semiconductor-based electronic devices, in order to improve performance or downsize, it is necessary to improve the degree of integration.
It is necessary to increase packaging density, and the accompanying increase in thermal density requires higher cooling capacity.

従来の電子装置の冷却方式としては、例えば第■54図
のようなものが知られている。同図において、1−1な
いし1−3は電子部品を搭載したプリント板、2−1、
2−2は冷却用ファンを示している。プリント板は図示
しないが架に装置されている。空気流は矢印で示される
ように、プリント板■0の間を通過する、この種の平行
空気流による冷却方式においては、風速は10m/se
cないし20m/secが限界であり、また、大型のフ
ァンを用いるので騒音の問題が生じる。また、平行空気
流の熱伝達率は、数十ないし百数十KC0j/ 771
″・■・℃程度でゞ5あり、冷却能力が液冷に比べて小
さいという欠点を有している。さらに、第4図から判る
ように上方のプリント板群1−1、1−2は、下方のプ
リント板群1−3によつて暖められた空気流で冷却され
るので、空気温度上昇分部品温度は高くなり充分に冷却
されない。
As a conventional cooling method for electronic devices, the one shown in FIG. 54 is known, for example. In the figure, 1-1 to 1-3 are printed boards equipped with electronic components, 2-1,
2-2 indicates a cooling fan. Although the printed circuit board is not shown, it is mounted on a rack. As shown by the arrow, in this type of parallel airflow cooling method, the airflow passes between the printed boards
The limit is c to 20 m/sec, and since a large fan is used, noise problems arise. In addition, the heat transfer coefficient of parallel airflow is from several tens to hundreds of tens of thousands KC0j/771
It has a disadvantage that the cooling capacity is smaller than that of liquid cooling.Furthermore, as can be seen from Fig. 4, the upper printed board groups 1-1 and 1-2 are Since the parts are cooled by the air flow warmed by the lower printed board group 1-3, the temperature of the parts increases as the air temperature rises, and the parts are not cooled sufficiently.

プリント板に冷却板を取付けてこの冷却板を冷却媒体で
冷却する液冷方式は、上述のような欠点を有していない
が、コスト上及び保守上の問題を有している。
A liquid cooling system in which a cooling plate is attached to a printed board and the cooling plate is cooled with a cooling medium does not have the above-mentioned drawbacks, but it does have problems in terms of cost and maintenance.

本発明は、上記の考察にもとづくものであつて、冷却能
力が優れていると共に、保守性に優れた電子装置の冷却
方式を提供することを目的としている。
The present invention is based on the above consideration, and an object of the present invention is to provide a cooling method for electronic devices that has excellent cooling capacity and is easy to maintain.

そしてそのため、本発明の電子装置の冷却方式は、基板
上に該基板の面と平行な面を有する複数の電子部品を搭
載して構成した電子装置と、複数のジニット流噴出ノズ
ルが設けられた等圧容器から構成されたジニット・ヘツ
ダと、該ジニット・ヘツダに圧縮気体を供給する配管系
とを備え、上記ジニット・ヘツダを上記電子装置の基板
と重なり合うように配置すると共に、上記ジニット・ヘ
ツダの複数のジニット流噴出ノズルから噴出するジニッ
ト流を、上記基板の面に対しジニット流の自由ジニット
流部が垂直成分を有するようにして、上記電子装置の局
部的温度上昇部に吹き付けるようにしたことを特徴とす
るものである。?下、本発明を図面を参照しつつ説明す
る。第1図は本発明の1実施例の斜視図、第2図は空気
源設備のプロツク図である。
Therefore, the electronic device cooling method of the present invention includes an electronic device configured by mounting a plurality of electronic components on a substrate and having a surface parallel to the surface of the substrate, and a plurality of dinit flow jetting nozzles. A dinit header configured from an isobaric container and a piping system for supplying compressed gas to the dinit header, the dinit header is arranged so as to overlap the board of the electronic device, and the dinit header is arranged to overlap with the board of the electronic device. The dinit stream ejected from a plurality of dinit stream jetting nozzles is made such that a free dinit stream portion of the dinit stream has a vertical component with respect to the surface of the substrate, and is sprayed onto a locally temperature-rising portion of the electronic device. It is characterized by this. ? The present invention will be explained below with reference to the drawings. FIG. 1 is a perspective view of one embodiment of the present invention, and FIG. 2 is a block diagram of air source equipment.

第1図において、1はプリント基板、3は電子部品、4
はジニット・ヘツダ、5は等圧容器、6はノズル、7は
空気導入管をそれぞれ示す。電子部品3は、例えばIC
チツプないしはICパツケージであつて、発熱体である
チツプの大きさは1ミリ角ないし数ミリ角である。
In Figure 1, 1 is a printed circuit board, 3 is an electronic component, and 4 is a printed circuit board.
5 indicates a dinit header, 5 indicates an isobaric container, 6 indicates a nozzle, and 7 indicates an air introduction pipe. The electronic component 3 is, for example, an IC.
The size of the chip, which is a chip or an IC package and is a heating element, is 1 mm square to several mm square.

空気導入管7から導入された空気は、ノズル6からジニ
ット流として噴出する。ノズル6の断面形状は円形、ス
リツト又は異形例えば十字形とすることが出来る。ジニ
ット流は局部的温度上昇部である電子部品3に対して直
接吹き付けられる。ノズル6は、1個の部品に対して1
個のノズル6を対応させるように設けても良く、或はノ
ズル6の目詰りを考慮して複数個のノズル6を1個の電
子部品に対応させても良い。また、ICチツプ即ち電子
部品3が小さい場合には、1個のノズル6を複数個の電
子部品に対応させても良い。ジニット流は、自由ジニッ
ト流部、衝突ジニット流部及び壁ジニット流部から成る
が、自由ジニット流部とは、ジニット流が壁に衝突する
?前の部分を指し、衝突ジニット流部とは衝突した部分
におけるジニット流部分を指し、壁ジニット流部とは衝
突後に壁に沿つて流れるジニット流部分を指している。
衝突ジニット流部において、電子部品3から最も多くの
熱が奪い去られる。ジニット流を垂直に吹き付けること
により冷却客体表面の空気境界層は薄くなるので、ジニ
ット流の熱伝達率は、数百ないし千数百K?/イHr・
℃程度であり、平行空気流の熱伝達率より1桁大きい。
ジニット流が基板1に対して垂直に吹き付けられる場合
には、基板1とノズル6の距離をH、ノズル直径をDと
するとき、とすると最大の冷却能率が得られる。
The air introduced from the air introduction pipe 7 is ejected from the nozzle 6 as a dinit flow. The cross-sectional shape of the nozzle 6 can be circular, slit, or irregularly shaped, such as a cross. The dinit stream is blown directly onto the electronic component 3, which is the area where the local temperature rises. One nozzle 6 is used for one part.
Alternatively, a plurality of nozzles 6 may be provided to correspond to one electronic component in consideration of clogging of the nozzles 6. Further, if the IC chip, that is, the electronic component 3 is small, one nozzle 6 may correspond to a plurality of electronic components. The dinit flow consists of a free dinit flow section, an impinging dinit flow section, and a wall dinit flow section, but does the free dinit flow section mean that the dinit flow collides with a wall? The impingement dinit flow section refers to the dinit flow section at the collided section, and the wall dinit flow section refers to the dinit flow section that flows along the wall after the collision.
The most heat is removed from the electronic component 3 in the impingement dinit flow section. By vertically spraying the dinit flow, the air boundary layer on the surface of the cooling object becomes thinner, so the heat transfer coefficient of the dinit flow is from several hundred to several thousand K? /IHr・
℃, which is an order of magnitude higher than the heat transfer coefficient of parallel air flow.
When the dinit flow is blown perpendicularly to the substrate 1, the maximum cooling efficiency is obtained when the distance between the substrate 1 and the nozzle 6 is H and the nozzle diameter is D.

勿論、排気を円滑に行うためジニット流を基板1に対し
て斜めに吹き付けても良い。第5図は、本発明の第2実
施例の説明図である。
Of course, the dinit stream may be sprayed obliquely onto the substrate 1 in order to perform the exhaust smoothly. FIG. 5 is an explanatory diagram of a second embodiment of the present invention.

第1図のものでは、電子部品3に直接ジニット流が吹き
付けられるが、基板1が熱伝導率の良好な物質例えばア
ルミナ磁器やベリリヤ磁器で作られる場合には、電子部
品3に直接ジニット流を吹き付ける代りに、基板1の裏
面にジニット流を吹き付けることも可能である。この際
、電子部品3又は一群の電子部品3の搭載位置に対応し
た位置にジニット流を吹き付ければ、電子部品3の冷却
が効率的に行われることは言うまでもない。
In the case shown in FIG. 1, the dinit stream is directly blown onto the electronic components 3, but if the substrate 1 is made of a material with good thermal conductivity, such as alumina porcelain or beryllia porcelain, the dinit stream is blown directly onto the electronic components 3. Instead of spraying, it is also possible to spray the dinit stream onto the back surface of the substrate 1. At this time, it goes without saying that if the dinit stream is sprayed at a position corresponding to the mounting position of the electronic component 3 or a group of electronic components 3, the electronic component 3 can be efficiently cooled.

また、第1図のものでは、ノズル6は等圧容器5の片側
にのみ設けられているが、両側にノズル6を設けて、1
個のヘツダで2個の基板1にジニット流を吹き付けるよ
うにしても良い。
In addition, in the one shown in FIG. 1, the nozzle 6 is provided only on one side of the isobaric container 5, but the nozzle 6 is provided on both sides.
The dinit flow may be sprayed onto two substrates 1 using two headers.

なお、空気がジニット流としてノズル6より吹き出すと
、断熱膨張により空気温度が低下するが、断熱膨張を積
極的に利用して冷却能力を一層向上しようとする場合に
は、等圧容器5と外界との圧力差を大きくすればよい。
また基板とヘツダとを一体に構成することも勿論可能で
あり、この場合、保守時などにおいて冷却をしながら基
板を取り外すことが可能となる。
Note that when air is blown out from the nozzle 6 as a dinit flow, the air temperature decreases due to adiabatic expansion. All you have to do is increase the pressure difference.
Of course, it is also possible to configure the board and the header integrally, and in this case, it becomes possible to remove the board while cooling it during maintenance or the like.

第2図は本発明で用いられる空気源設備を示すもので、
8は吸気フイルタ、9はプロア及びコンプレツサ、10
は圧力計、11はエアチヤンバ12は分配器、13は弁
をそれぞれ示している。空気は吸気エアフイルタ8によ
つて清浄にされ、プロア又はコンプレツサ9で圧縮され
て、エアチヤンバ11内に貯えられる。エアチヤンバ1
1の圧力は、圧力計10によつて読み取られる。エアチ
ヤンバ11の空気は、弁13を介して各ユニツトに送ら
れる。各ユニツトは分配器12を有し、分配器12は各
ヘツダに空気を分配する。コンプレツサ9で空気を圧縮
すると、空気温度が上昇するが、この温度上昇した空気
の熱を外部へ放散するため、放熱フイン(図示せず)を
配管の途中で設けても良い。第3図はヘツダの他の実施
例を示すものであつて、5′はパイプ形等圧容器を示し
ている。
Figure 2 shows the air source equipment used in the present invention.
8 is an intake filter, 9 is a compressor and a compressor, 10
11 represents a pressure gauge, 11 represents an air chamber 12 represents a distributor, and 13 represents a valve. The air is purified by an intake air filter 8, compressed by a compressor or compressor 9, and stored in an air chamber 11. air chamber 1
1 is read by a pressure gauge 10. Air in the air chamber 11 is sent to each unit via a valve 13. Each unit has a distributor 12 which distributes air to each header. When the air is compressed by the compressor 9, the air temperature rises, and in order to dissipate the heat of the air whose temperature has increased to the outside, a heat radiation fin (not shown) may be provided in the middle of the piping. FIG. 3 shows another embodiment of the header, in which 5' indicates a pipe-shaped isobaric container.

第1図のものと異なる点は、第1図のものは1個の箱形
の等圧容器5を有しているのに対し、第3図のものは複
数のパイプ形等圧容器5′を有している点のみである。
第6図は、本発明の第3実施例の断面図である。
The difference from the one in Fig. 1 is that the one in Fig. 1 has one box-shaped isobaric vessel 5, whereas the one in Fig. 3 has a plurality of pipe-shaped isobaric vessels 5'. This is the only point that has .
FIG. 6 is a sectional view of a third embodiment of the present invention.

同図において、14は吸排気二層部を有するジニット・
ヘツダ、15は排気管、16は空気導入管、17は吸気
室、18は排気室、19は隔壁、20はノズル、21は
開口部をそれぞれ示している。隔壁19から複数のノズ
ル20が突出している。これらノズル20の端部はジニ
ット・ヘツダ14の上面より外部に突出し、そして、基
板1に搭載された電子部品3と対向している。複数の開
口部16がジニット・ヘツダ14の上面に設けられてい
る。空気導入管16から吸気室17に導入された加圧空
気は、各ノズル20を通つて電子部品3に吹き付けられ
る。電子部品3の熱によつて暖められた空気は、開口部
21を通つて排気室18に入り、排気管16を通つて排
出される。?上の説明から明らかなように、本発明の電
子機器の冷却方式は、(イ)ジニット流により空冷の限
界値に近い液冷に匹敵する熱伝率が得られること、(ロ
)特殊冷媒が不要なこと、 (ハ)空気分配用の配管系を基板から分離でき保守性に
優れていること、(ニ)架内の空気温度上昇を無視でき
、一定温度の空気で全部品を冷却できること、(ホ)半
導体チツプ等の局部的温度上昇部を集中的に冷却できる
こと、(へ)これらの結果として従来の空冷実装に較べ
高い実装密度を許容すること、(ト)システム全体の構
成を簡単化でき且つコンパクトにできること、等の優れ
た効果を有している。
In the same figure, reference numeral 14 indicates a dinit film having a double-layered intake and exhaust part.
15 is an exhaust pipe, 16 is an air introduction pipe, 17 is an intake chamber, 18 is an exhaust chamber, 19 is a partition, 20 is a nozzle, and 21 is an opening. A plurality of nozzles 20 protrude from the partition wall 19. The ends of these nozzles 20 protrude outward from the upper surface of the dinit header 14 and face the electronic components 3 mounted on the board 1. A plurality of openings 16 are provided in the top surface of the dinit header 14. Pressurized air introduced into the intake chamber 17 from the air introduction pipe 16 is blown onto the electronic component 3 through each nozzle 20 . Air warmed by the heat of the electronic component 3 enters the exhaust chamber 18 through the opening 21 and is exhausted through the exhaust pipe 16. ? As is clear from the above explanation, the electronic equipment cooling method of the present invention has the following advantages: (a) dinit flow provides heat conductivity comparable to liquid cooling, which is close to the limit value of air cooling, and (b) special refrigerant is used. (c) The piping system for air distribution can be separated from the board, making it easy to maintain; (d) The rise in air temperature inside the rack can be ignored, and all parts can be cooled with air at a constant temperature. (e) It is possible to intensively cool the localized temperature-rising parts of semiconductor chips, etc., (f) as a result, higher packaging density is allowed compared to conventional air-cooled mounting, and (g) the overall system configuration is simplified. It has excellent effects such as being able to be made compact and compact.

【図面の簡単な説明】[Brief explanation of the drawing]

第1図は本発明の1実施例の斜視図、第2図は空気源設
備のプロツク図、第3図はヘツダの他例の側面図、第4
図は電子装置の冷却方式の従来例の説明図、第5図は本
発明の第2実施例の説明図、第6図は本発明の第3実施
例の一部断面図である。 1・・・・・・プリント基板、3・・・・・・電子部品
、4・・・・・・ジニット・ヘツダ、5・・・・・・等
圧容器、6・・・・・・ノズル、7・・・・・・空気導
入管、14・・・・・・吸排気二層部を有するジニット
・ヘツダ、15・・・・・・排気管、16・・・・・・
空気導入管、17・・・・・・吸気管、18・・・・・
・排気室、19・・・・・・隔壁、20・・・・・・ノ
ズル、21・・・・・・開口部。
Fig. 1 is a perspective view of one embodiment of the present invention, Fig. 2 is a block diagram of the air source equipment, Fig. 3 is a side view of another example of the header, and Fig. 4 is a perspective view of one embodiment of the present invention.
5 is an explanatory diagram of a conventional example of a cooling system for an electronic device, FIG. 5 is an explanatory diagram of a second embodiment of the present invention, and FIG. 6 is a partially sectional view of a third embodiment of the present invention. 1... Printed circuit board, 3... Electronic components, 4... Dinit header, 5... Equal pressure container, 6... Nozzle , 7... Air introduction pipe, 14... Genit header having two-layer intake and exhaust part, 15... Exhaust pipe, 16...
Air introduction pipe, 17...Intake pipe, 18...
- Exhaust chamber, 19... partition, 20... nozzle, 21... opening.

Claims (1)

【特許請求の範囲】 1 基板上に該基板の面と平行な面を有する複数の電子
部品を搭載して構成した電子装置と、複数のジェット流
噴出ノズルが設けられた等圧容器から構成されたジェッ
ト・ヘッダと、該ジェット・ヘッダに圧縮気体を供給す
る配管系とを備え、上記ジェット・ヘッダを上記電子装
置の基板と重なり合うように配置すると共に、上記ジェ
ット・ヘッダの複数のジェット流噴出ノズルから噴出す
るジェット流を、上記基板の面に対しジェット流の自由
ジェット流部が垂直成分を有するようにして、上記電子
装置の局部的温度上昇部に吹き付けるようにしたことを
特徴とする電子装置の冷却方式。 2 ジェット・ヘッダが、各電子部品に対して1個以上
のジェット流を吹き付けるよう構成され且つ配置されて
いることを特徴とする特許請求の範囲第1項記載の電子
装置の冷却方式。 3 ジェット・ヘッダが、各電子部品の搭載位置に対応
する基板裏側位置に1個以上のジェット流を吹き付ける
よう構成され且つ配置されていることを特徴とする特許
請求の範囲第1項記載の電子装置の冷却方式。 4 ジェット・ヘッドが、1個のジェット流を複数の電
子部品に吹き付けるよう構成され且つ配置されているこ
とを特徴とする特許請求の範囲第1項記載の電子装置の
冷却方式。 5 ジェット・ヘッドが、1群の電子部品の搭載領域に
対応する基板裏側領域に1個のジェット流を吹き付ける
よう構成され且つ配置されていることを特徴とする特許
請求の範囲第1項記載の電子装置の冷却方式。
[Claims] 1. An electronic device configured by mounting a plurality of electronic components on a substrate and having a surface parallel to the surface of the substrate, and an isobaric container provided with a plurality of jet stream ejection nozzles. a jet header and a piping system for supplying compressed gas to the jet header, the jet header is arranged so as to overlap the substrate of the electronic device, and a plurality of jet streams are ejected from the jet header. An electronic device characterized in that the jet stream ejected from the nozzle is configured such that a free jet stream part of the jet stream has a vertical component with respect to the surface of the substrate, so that the jet stream is blown onto a locally increased temperature area of the electronic device. Equipment cooling method. 2. The method of cooling an electronic device according to claim 1, wherein the jet header is constructed and arranged to spray one or more jet streams onto each electronic component. 3. The electronic device according to claim 1, wherein the jet header is configured and arranged to spray one or more jet streams to the backside position of the board corresponding to the mounting position of each electronic component. Equipment cooling method. 4. The method for cooling an electronic device according to claim 1, wherein the jet head is constructed and arranged to spray one jet stream onto a plurality of electronic components. 5. The jet head according to claim 1, wherein the jet head is configured and arranged to spray one jet stream onto the back side area of the board corresponding to the mounting area of one group of electronic components. Cooling method for electronic equipment.
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