JPS5917810U - 表面粗さ測定装置 - Google Patents
表面粗さ測定装置Info
- Publication number
- JPS5917810U JPS5917810U JP11309982U JP11309982U JPS5917810U JP S5917810 U JPS5917810 U JP S5917810U JP 11309982 U JP11309982 U JP 11309982U JP 11309982 U JP11309982 U JP 11309982U JP S5917810 U JPS5917810 U JP S5917810U
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- JP
- Japan
- Prior art keywords
- surface roughness
- detection system
- measuring device
- roughness measuring
- roughness
- Prior art date
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- Pending
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Landscapes
- Length Measuring Devices With Unspecified Measuring Means (AREA)
- Length Measuring Devices By Optical Means (AREA)
Abstract
(57)【要約】本公報は電子出願前の出願データであるた
め要約のデータは記録されません。
め要約のデータは記録されません。
Description
第１図は従来装置の構成説明図、第２図イ９口は第１図
装置の説明図、第３図は本考案実施例要部の説明図であ
る。 ９・・・距離検出系の検出器、１０・・・表面粗さ系の
検出器。
装置の説明図、第３図は本考案実施例要部の説明図であ
る。 ９・・・距離検出系の検出器、１０・・・表面粗さ系の
検出器。
Claims (1)
- 渦電流を利用した距離検出系の検出器と投受光用の光フ
ァイバを用いた粗さ検出系の検出器とを組合せて被測定
物の表面粗さを測定する装置において、前記距離検出系
の検出のコイルボビンの軸心付近に粗さ検出系の投受光
用光ファイバを配置したことを特徴とする表面粗さ測定
装置。
Priority Applications (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP11309982U JPS5917810U (ja) | 1982-07-26 | 1982-07-26 | 表面粗さ測定装置 |
Applications Claiming Priority (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP11309982U JPS5917810U (ja) | 1982-07-26 | 1982-07-26 | 表面粗さ測定装置 |
Publications (1)
| Publication Number | Publication Date |
|---|---|
| JPS5917810U true JPS5917810U (ja) | 1984-02-03 |
Family
ID=30261936
Family Applications (1)
| Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
|---|---|---|---|
| JP11309982U Pending JPS5917810U (ja) | 1982-07-26 | 1982-07-26 | 表面粗さ測定装置 |
Country Status (1)
| Country | Link |
|---|---|
| JP (1) | JPS5917810U (ja) |
-
1982
- 1982-07-26 JP JP11309982U patent/JPS5917810U/ja active Pending
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