JPS5917876B2 - 炭酸ガスレ−ザ装置 - Google Patents
炭酸ガスレ−ザ装置Info
- Publication number
- JPS5917876B2 JPS5917876B2 JP12738777A JP12738777A JPS5917876B2 JP S5917876 B2 JPS5917876 B2 JP S5917876B2 JP 12738777 A JP12738777 A JP 12738777A JP 12738777 A JP12738777 A JP 12738777A JP S5917876 B2 JPS5917876 B2 JP S5917876B2
- Authority
- JP
- Japan
- Prior art keywords
- laser medium
- carbon dioxide
- flow path
- laser device
- laser
- Prior art date
- Legal status (The legal status is an assumption and is not a legal conclusion. Google has not performed a legal analysis and makes no representation as to the accuracy of the status listed.)
- Expired
Links
Classifications
-
- H—ELECTRICITY
- H01—ELECTRIC ELEMENTS
- H01S—DEVICES USING THE PROCESS OF LIGHT AMPLIFICATION BY STIMULATED EMISSION OF RADIATION [LASER] TO AMPLIFY OR GENERATE LIGHT; DEVICES USING STIMULATED EMISSION OF ELECTROMAGNETIC RADIATION IN WAVE RANGES OTHER THAN OPTICAL
- H01S3/00—Lasers, i.e. devices using stimulated emission of electromagnetic radiation in the infrared, visible or ultraviolet wave range
- H01S3/02—Constructional details
- H01S3/03—Constructional details of gas laser discharge tubes
- H01S3/036—Means for obtaining or maintaining the desired gas pressure within the tube, e.g. by gettering, replenishing; Means for circulating the gas, e.g. for equalising the pressure within the tube
Landscapes
- Physics & Mathematics (AREA)
- Electromagnetism (AREA)
- Engineering & Computer Science (AREA)
- Plasma & Fusion (AREA)
- Optics & Photonics (AREA)
- Lasers (AREA)
Description
【発明の詳細な説明】
この発明は炭酸ガスレーザ装置に係り、特に放 。
電領域内をレーザ媒質を高速で通過させながら発振をお
こなわせる炭酸ガスレーザ装置に関する。第1図に示し
ているのは、高速循環型炭酸ガスレーザ装置の代表例と
してとりあげた横方向励起高速循環炭酸ガスレーザ装置
の概略の断面図であ 。る。図において、1は平板状の
陽極、2は紙面に垂直な方向に配列された複数個の棒状
陰極、3は放電部、4はO、ln以下程度のメッシュで
できた金網、5は熱交換器、6は軸流送風機、Tは熱交
換器5と軸流送風機6とを結ぶ流路で、熱交換器5の全
面を有効に働かせるための空間であり、8ヌ は気密容
器、10は流路縮小部、11は流路拡大部である。軸流
送風機6はレーザ媒質を高速で循環させる。
こなわせる炭酸ガスレーザ装置に関する。第1図に示し
ているのは、高速循環型炭酸ガスレーザ装置の代表例と
してとりあげた横方向励起高速循環炭酸ガスレーザ装置
の概略の断面図であ 。る。図において、1は平板状の
陽極、2は紙面に垂直な方向に配列された複数個の棒状
陰極、3は放電部、4はO、ln以下程度のメッシュで
できた金網、5は熱交換器、6は軸流送風機、Tは熱交
換器5と軸流送風機6とを結ぶ流路で、熱交換器5の全
面を有効に働かせるための空間であり、8ヌ は気密容
器、10は流路縮小部、11は流路拡大部である。軸流
送風機6はレーザ媒質を高速で循環させる。
即ち軸流送風機6から吹き出されたレーザ媒質は、矢印
で示したように、気密容器8の端壁面に当つo て反転
し内壁面に沿つて流れた後再び他方の端壁面で反転し、
金網4を通過しレーザ媒質中のゴミが除去されるととも
に光軸方向の流速分布が一様化され流路縮小部10を経
て放電部3へ流入する。金網4から放電部3へかけて流
路は縮小され再び5 熱交換器5へ向つて拡大されてい
るが、この理由は放電部3での流速を高くし、他での流
速を低くするためで、金網4や熱交換器5での圧損を少
くするためである。金網4は光軸方向の流速分布を一様
にして放電を安定に保ち、粗ゴミを除いてレ0−ザ媒質
を清浄にするためのものである。この種のレーザ装置で
は、200〜760torr(7)Cへ、N2、Heの
混合気体をレーザ媒質として陽極1と陰極列2との間に
グロー放電を発生させ、紙面に垂直な方向にレーザビー
ムを取り出す。ところ5 が、グロー放電により次式で
示す過程でC02の解離が生じ、Co、502力性じ、
これがレーザ媒質を封じ切りで使う場合のレーザ出力の
経時的減少の原因の一つになつている。C02→Co+
−02・・・・・・・・・・・・・・・・・・・・・
(1)この発明は上述の欠点の軽減を図るためになされ
るもので、レーザ媒質の流路に触媒を配設し、解離した
CoとO2とを再結合させるようにしたものである。
で示したように、気密容器8の端壁面に当つo て反転
し内壁面に沿つて流れた後再び他方の端壁面で反転し、
金網4を通過しレーザ媒質中のゴミが除去されるととも
に光軸方向の流速分布が一様化され流路縮小部10を経
て放電部3へ流入する。金網4から放電部3へかけて流
路は縮小され再び5 熱交換器5へ向つて拡大されてい
るが、この理由は放電部3での流速を高くし、他での流
速を低くするためで、金網4や熱交換器5での圧損を少
くするためである。金網4は光軸方向の流速分布を一様
にして放電を安定に保ち、粗ゴミを除いてレ0−ザ媒質
を清浄にするためのものである。この種のレーザ装置で
は、200〜760torr(7)Cへ、N2、Heの
混合気体をレーザ媒質として陽極1と陰極列2との間に
グロー放電を発生させ、紙面に垂直な方向にレーザビー
ムを取り出す。ところ5 が、グロー放電により次式で
示す過程でC02の解離が生じ、Co、502力性じ、
これがレーザ媒質を封じ切りで使う場合のレーザ出力の
経時的減少の原因の一つになつている。C02→Co+
−02・・・・・・・・・・・・・・・・・・・・・
(1)この発明は上述の欠点の軽減を図るためになされ
るもので、レーザ媒質の流路に触媒を配設し、解離した
CoとO2とを再結合させるようにしたものである。
5 第2図は、この発明の一実施例の断面図で、9は流
路縮小部の入口の全開口面を覆うように形成されたフィ
ルター状の容器で、この中には適量のホプカロイト触媒
が充填され、飛散しないように例えば200メツシユ程
度の細い金網で包まれている。
路縮小部の入口の全開口面を覆うように形成されたフィ
ルター状の容器で、この中には適量のホプカロイト触媒
が充填され、飛散しないように例えば200メツシユ程
度の細い金網で包まれている。
又、この容器9は圧損を少なくするため流れ方向の厚さ
は薄く形成され、また流速の遅い流路縮小部10の入口
に配設されている。このように構成された容器9を設け
ると、レーザ媒質中の解離したCOと02はホプカロイ
ト触媒の作用により、室温において、CO+802→C
O2・・・・・・(2)の反応をおこし、再びCO2ガ
スに戻る。
は薄く形成され、また流速の遅い流路縮小部10の入口
に配設されている。このように構成された容器9を設け
ると、レーザ媒質中の解離したCOと02はホプカロイ
ト触媒の作用により、室温において、CO+802→C
O2・・・・・・(2)の反応をおこし、再びCO2ガ
スに戻る。
これは、白金などの触媒が、高温(80℃以上)におい
てしか反応しないのに対し、このホプカロイトは室温で
反応するという特長を持つているからである。したがつ
てグロー放電によりCO2が解離し、レーザ出力が減少
することが防止できる。なおこの発明に係るフイルタ一
状の容器9は、単にレーザ出力の経時減少を少なくする
のみでなく、従来装置における金網4と同様に、レーザ
媒質中のゴミ除去および光軸方向の流速分布を一様に保
ちグロー放電を安定にする作用およびレーザ媒質を清浄
に保つフイルタ一の役目をも兼ねそなえているという利
点もある。
てしか反応しないのに対し、このホプカロイトは室温で
反応するという特長を持つているからである。したがつ
てグロー放電によりCO2が解離し、レーザ出力が減少
することが防止できる。なおこの発明に係るフイルタ一
状の容器9は、単にレーザ出力の経時減少を少なくする
のみでなく、従来装置における金網4と同様に、レーザ
媒質中のゴミ除去および光軸方向の流速分布を一様に保
ちグロー放電を安定にする作用およびレーザ媒質を清浄
に保つフイルタ一の役目をも兼ねそなえているという利
点もある。
上記実施例は、容器9を流路縮小部10の入口に配置し
た構成を示したが、必ずしもこの構成に限られるもので
はなく、流路拡大部11の出口に配設した構成としても
よい。
た構成を示したが、必ずしもこの構成に限られるもので
はなく、流路拡大部11の出口に配設した構成としても
よい。
この場合、レーザ媒質中のゴミの除去、および流速の平
均化を図るためには、従来例と同様に金網4を配設する
必要がある。
均化を図るためには、従来例と同様に金網4を配設する
必要がある。
第1図は従来の横方向励起高速循環型レーザ装置の概略
断面図、第2図はこの発明の一実施例の断面図である。 図において、1は陽極、2は陰極、3は放電部、5は熱
交換器、6は軸流送風機、7は流路、8は気密室、9は
ホプカロイトを収めたフイルタ一状の容器、10は流路
縮小部、11は流路拡大部である。
断面図、第2図はこの発明の一実施例の断面図である。 図において、1は陽極、2は陰極、3は放電部、5は熱
交換器、6は軸流送風機、7は流路、8は気密室、9は
ホプカロイトを収めたフイルタ一状の容器、10は流路
縮小部、11は流路拡大部である。
Claims (1)
- 【特許請求の範囲】 1 気密容器内にCO_2ガスを含有するレーザ媒質を
循環させ、このレーザ媒質の流路を縮小した高速気流中
でグロー放電を形成させてレーザ光を発生させるように
構成されたものにおいて、上記レーザ媒質の流路にホプ
カロイトを細かいメッシュの金網で包んだ状態で収容し
フィルター状に形成された容器を備えたことを特徴とす
る炭酸ガスレーザ装置。 2 グロー放電が形成される部分へつながるレーザ媒質
の流路縮小部の入口側を覆うようにホプカロイトを収容
させるフィルター状の容器を配設せることを特徴とする
特許請求の範囲第1項記載の炭酸ガスレーザ装置。
Priority Applications (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP12738777A JPS5917876B2 (ja) | 1977-10-24 | 1977-10-24 | 炭酸ガスレ−ザ装置 |
Applications Claiming Priority (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP12738777A JPS5917876B2 (ja) | 1977-10-24 | 1977-10-24 | 炭酸ガスレ−ザ装置 |
Publications (2)
| Publication Number | Publication Date |
|---|---|
| JPS5460589A JPS5460589A (en) | 1979-05-16 |
| JPS5917876B2 true JPS5917876B2 (ja) | 1984-04-24 |
Family
ID=14958724
Family Applications (1)
| Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
|---|---|---|---|
| JP12738777A Expired JPS5917876B2 (ja) | 1977-10-24 | 1977-10-24 | 炭酸ガスレ−ザ装置 |
Country Status (1)
| Country | Link |
|---|---|
| JP (1) | JPS5917876B2 (ja) |
Cited By (1)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| JPS6412285A (en) * | 1987-07-06 | 1989-01-17 | Tokyo Keiki Kk | Alarm transmitting method and apparatus for working vehicle |
Families Citing this family (1)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| JPH0766474A (ja) * | 1993-08-31 | 1995-03-10 | Jgc Corp | 炭酸ガスレーザ装置 |
-
1977
- 1977-10-24 JP JP12738777A patent/JPS5917876B2/ja not_active Expired
Cited By (1)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| JPS6412285A (en) * | 1987-07-06 | 1989-01-17 | Tokyo Keiki Kk | Alarm transmitting method and apparatus for working vehicle |
Also Published As
| Publication number | Publication date |
|---|---|
| JPS5460589A (en) | 1979-05-16 |
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