JPS59183348A - アンモニアガス濃度の測定方法およびその装置 - Google Patents

Abstract

(57)【要約】本公報は電子出願前の出願データであるた
め要約のデータは記録されません。

Description

【発明の詳細な説明】 本発明は、測定地点が遠く離れている箇所でのアンモニ
アガス濃度測定に好適なガス濃度測定法およびその装置
に関するものである。

アンモニアガスは、毒性ガスであるばかりでなく１６〜
２２容量％では爆発するガスであシ、このガスを取扱う
工場ではその取扱いを慎重にしなければならない。した
がってアンモニアガスの濃度を測定するだめには遠隔測
定が可能であってしかも着火源をもたない本質安全防爆
構造の検知方式。

検知機器を用いる必要がある。

、従来より用いられている電気化学センサーとして定電
位電解式センサーは、応答特性や干渉ガス（被測定ガス
以外の毒ガスや電気伝導性ガスなど）の分離などの点で
問題があり、さらに電解液の劣化や汚れなどがあり保守
の面で考慮しなければならない点が多いなどの問題点も
ある。又遠隔監視、遠隔測定の場合電気信号が送受され
るので電磁誘導による誤報やケーブルの損傷による事故
誘発などの危険性も無視することができなかった。

本発明は、前述の事情に鑑みなされたものであって、ア
ンモニアガスの漏出を確実に迅速に検知して警報を発す
るようにしたものであって、厳しい測定条件下でも信頼
性が高く、実時間測定が出来、かつ極めて遠隔の箇所に
おける測定が可能であると共に事故誘発などの危険性の
全くないアンモニアガス濃度の測定方法およびその装置
を提供することにある。

以下図面を参照しながら本発明のアンモニアガス濃度の
測定方法およびその装置の詳しい内容を説明する。

本発明は、近年光通信用として開発された例えば石英系
光ファイバーのような光ファイバーを利用するものであ
る。このような光ファイバーは、１．０〜１．７μｍの
波長領域−では光の伝送損失が極めて低い。又アンモニ
アガスは、１，２８５〜１．３２５μｍ　、　１，４５
６〜１’、”５６０　ｔｔｍ　’＋　１，６１５〜１．
６７５　ｔｔｍの各ブロードな波長帯域において特性吸
収帯がある。更に上記のアンモニアガスの特性吸収帯内
には、水（Ｈ２Ｏ）および炭酸ガス（ｃｏ２）による吸
収が全くない狭い波長域が選択出来る。本発明は以上の
ような新たな知見にもとづいてなされたものである。即
ち、アンモニアガスの特性吸収帯内の波長帯であって伝
送中の光ファイバーによる損失がなく又Ｈ２０やｃｏ２
の影響を受けることのない波長域を選ぶことによって本
発明の目的である遠隔の地点においてアンモニアガスの
濃度の正確な迅速な測定を可ａしにしたものである。

第１図は、石英系光ファイバーの０．６〜１．８μｍの
波長域における伝送損失を示すグラフである。

この図より明らかなように波長１．ｏ−１，７μｍでは
伝送損失が１ｄＢ／Ｋｍ以下である。特に波長１．４〜
１．６μｍでは０．２／Ｋｍという超件損失を示してい
る。このように超低損失の光ファイバーを光伝送路とし
て用いれば遠隔地に存在するアンモニアガスの濃度を吸
光光度法によって測定することが可能である。

第２図、第３図は、本発明において対象に′なるアンモ
ニアガスの特性吸収を示す図である。これら図のうち第
２図（Ａ）　、　（Ｂ）　、　（ｃ）をみればわかるよ
うにアンモニアガスの特性吸収波長帯はブロードな波長
帯としてみた場合１．２８５〜１：　３２５μｍ、１．
４６５〜１．５６０μｍ　、　１．６１５〜１．６７５
μｍの三つの波長帯であることを示している。尚これら
の図に示していない波長領域では、アンモニアガスの特
性吸収は存在しない。例えば１．３２５μｍと１．４６
５μｍにおいては透過率がほぼ１００％であってその間
の波長領域においてはほぼ１００％の透過率を示し特性
吸収波長帯は存在しない。同様にして１．５６０〜１．
６１５μｍおよび１．３２５μｍ以下と１，６７５μｍ
以上においても特性吸収はほとんどない。

又とれら図のうち（Ａ）　、　（ｃ）にはアンモニアガ
スが１気圧の場合のみが又（Ｂ）には１００　ＴＯｒｒ
　　の場合と１気圧の場合が示してあり、曲線ａが１０
０　Ｔｏｒｒのアンモニア、曲線すは１気圧のアンモニ
アガスの場合のものである。これらの図のうち第２図（
Ｂ）によればアンモニアガスの濃度の変化によって吸光
比が変化することがわかる。

第３図（（至）ｌ　（Ｂ）　、　（（：り　ｌ　（Ｄ）
は、第２図に示す特性〔ただしくＢ）はｉ、４６５μｍ
〜１．５６０の範長範囲における気圧が１００　ＴＯｒ
ｒ　　の時の又（Ｄ）は同波長範囲における１気圧の時
の特性〕の更に詳細な変化を示しだものである。これら
の図かられかるようにブロードな吸収帯には個々の吸収
帯が存在していてこれらが重なり合って第２図（Ａ）　
ｌ　（Ｂ）　、　（ｃ）のような様相を呈していること
がわかる。したがって測定に利用する吸収帯域を選ぶ場
合、まず第２図（Ａ）　、　（Ｂ）　。

（Ｃ）の三つのブロードな特性吸収帯を選び、そのうち
から第３図（Ａ）　、　（Ｂ）　、　（Ｃ）をみて、も
つと狭い波長帯での吸収特性から例えば１．４６５〜１
．５６０μｍのウチの１．５０８〜１．５１２μｍの吸
収帯を選択することによって発光源よりの光がこの１．
５０８〜１．５１２μｍにおいてどの程度の吸収を受け
るかによ。つてアンモニアの濃度を検知することが出来
る。この波長帯（１，５０８〜１．５１２μｍ）の光を
用いてアンモニアの濃度を吸光光度法によって測定する
場合、前記のアンモニアガスの特性吸収波長帯（１，４
６５〜１．５６０μｍ）以外の特性吸収のない波長でこ
の特性吸収波長帯の近くの波長である１、４５μｍ付近
又は１．５７μｍ付近であってＨ２Ｃ、ＣＯ□の特性吸
収帯が存在しない波長帯を参照波長帯として利用し、測
定波長帯の光の強度と参照波長帯での光の強度との比を
とることによってアンモニアガスの濃度の精度の良い測
定が可能になる。

第４図はＨ２Ｃの吸収波長特性曲線を示すものである。

この図より明らかなようにＨ２Ｃの強い吸収帯は１．２
〜１．７μｍにおいては１．３５０〜１．３９３　μｍ
の波長帯に集中している。したがってこの波長帯を除け
ば水分の影響の少ない測定が可能になる。

同様にしてＣＯ２の特性吸収のある波長帯を除いた波長
帯を利用することによって炭酸ガスの影響のない測定が
可能になる。

尚以上の説明は、１．４６５〜１．５６０μｍの波長帯
を例として行なったが同様にして１．２８５μｍ〜１゜
３２５μｍ　、　１，６１５〜１．６７５μｍの波長帯
についても測定力（可能である。又上述の例の波長帯の
ほかに１．２８５〜１．３２５μｍおよび１．６１５〜
１．６７５μｍ中の波長帯を選んでの測定を併用して同
時に二つ又はそれ以上の波長帯での測定を行なってもよ
い。

このように複数の波長帯を併用すれば、それだけ高感度
、高信頼性にての測定が可能となり極めて低濃のアンモ
ニアガスでも検出し得る利点が生ずる。この場合、アン
モニアガスのブロードな特性吸収波長帯例えば１．２８
５〜１．３２５μｍ中でより狭い波長帯を複数選択しこ
れを測定のだめの波長帯とすることも出来る。したがっ
て数多くの波長帯の組合わせが可能になるので、最も望
ましい波長帯の選択が出来る。

以上述べた内容から明らかなように、例えば石英ガラス
系光ファイバーを光伝送路として用い、官２図、第３図
に示すようなアンモニアガスの特アガスの濃度を、共存
するＨ○、ＣＯ２の影響を受けることなく又伝送路にお
ける光損失などの影響も受けること外しに高精度にての
測定が出来る。

次に本発明のアンモニアガス濃度測定装置にて用いる光
源即ちアンモニアガスの特性吸収波長帯に対応する近赤
外域の光を発光する光源について説明する。この波長域
の光源としては、一般に半導体レーザーダイオード（Ｌ
Ｄ）、発光ダイオード（ＬＥＤ）、放電管（キセノンラ
ンプなど）。

加熱線等が挙げられる。いずれにしても測定波長域をカ
バーする光を発し、しかも発光エネルギー強度の大きい
もの程低濃度ガスの検知が出来るので望ましい。

ＬＤは、高出力が得られやすく単色性が強いので、アン
モニアガスの特性波長帯のようなブロードな波長帯であ
る場合は、発振波長を厳密に選定する必要がないので望
ましい。ただ電源電圧の変動や温度変化などによる発振
波長の変動がないように留意すればよい。５１ＬＤを光
源として用いるも二つの異なるＬＤを用いることが必要
であるが、帯域透過フィルター等の分光器を用いる必要
がない。尚特性吸収波長用のＬＤとして発光波長の異な
るものを複数用いることによって感度や精度のより高い
測定が可能になる。

ＬＥＤや放電管などは、出力は低いが出力の安定性や長
寿命性などはよい。又発光スペクトルはブロードである
のでこれらの光源を用いる場合には、分光器を用いて検
出波長帯を狭め、所望の特性吸収波長帯や参照波長帯で
の変化量をキャッチしてアンモニアガスの濃度を測定す
るようにすればよい。この場合の分光器としては安価な
帯域透過フィルター等が考えられる。

次に上記の場合等において用いられる帯域透過フィルタ
ーについて述べる。一般に帯域透過フィルターの透過幅
は１〜数ｎｍ程度であるので、被測定ガスの特性吸収帯
内の成る波長幅のものを選択すればよい。ブロードな波
長帯をもつＬＥＤ、放電管などを光源として用いての特
性吸収波長帯のブロードなアンモニアガスの濃度を測定
する場合定ガスを通過して変換器へ戻る光のエネルギー
が大きくなるので測定系の検出効率が上るので好祉しい
。

第５図は中心波長が１．５１０μｍ、半値幅が２ｎｍで
ある透過特性がガウス分布型の帯域透過フィルターを用
い、このフィルターを透過した後の光の強度分布を模式
的に示した図そある。この図において、実線はアンモニ
アガスが光路長５０ｃｍの測定セル内に１００　Ｔｏｒ
ｒ　　の圧力で含まれている場合を表わし、破線は、ア
ンモニアガスが存在しない場合を示している。この図に
おける各曲線内の面積の差を破線にて囲まれた面積で割
ることによってアンモニアガスによる吸光比Ａが求めら
れる。このフィルターは、半値幅が３ｎｍや４ｎｍのも
のを用いてもよい。

なお、アンモニアガスの吸光比Ａとアンモニアの分圧Ｐ
Ｍ（空気との混合の場合）との間には近似的に次の式が
成立つ。

ＰＭ−αｌ’ｏｇｅＡ＋β ここでα、βはフィルターの特性や強度分布によって定
まる定数であって濃度が既知であるアンモニアの標準ガ
スを用いて実験的に決めるこ七が出来る。

前述のような方法によって吸光比Ａが検出されると上記
式からアンモニアガスの濃度を求めることが出来る。

第６図は以上述べたような方法にもとづいて構成された
本発明のアンモニアガス濃度測定装置の一実施例を示す
ものである。この図において１はＬＥＤよりなる光源で
あって、この光源よシ発ぜられる例えば１６５μｍ帯（
半値幅０．１μｍ）の光（は光結合器２を経て光伝送路
である低伝送損失の光ファイバー例えば石英系光ファイ
バー３に送られる。この石英系光ファイバーは、前述の
ように第１図に示すような伝送特性を有し、１．０〜１
．７μｍで極めて低損失のものである。したがってその
長さが数Ｋｍ〜１０Ｋｍ程度のものであってもさしつか
えない。この石英系光ファイバー３により伝送された光
は、結合器４ｂを経て吸収セル４に送９込まれる。この
吸収セル４は円筒状体４ａの両端に光結合器４　ｂ　、
　４　ｂ’を設けた構造であって、円筒状体４ａは測定
ガスの自然流出入を可能にするために多孔性焼結金属や
連続気孔構造のプラスチックフオームなどにて構成され
ている。まだこの吸収セル４は、−例として光路長（光
結合器４ｂ　、　４　ｂ’間の距離）が５０〜１００　
ｃｍのものが用いられる。しかしアンモニアガスが低い
濃度の場合には吸収セルの光路長を長くしたほうがよい
。その場合周知の多重光路型吸収セル等を用いてもよい
。

この吸収セル４からの光は光結合器４　ｂ’を経て低伝
送損失の光ファイバー例えば石英系光ファイバー５に送
られる。この石英系光ファイバーも同様に低損失のもの
が使用される。光ファイバー５によって更に伝送された
光は、光結合器６を通ってハーフミラ−にて構成される
ビームスプリンター７に送られ、このビームスプリッタ
−７にて二つの光束に分割される。分割された二つの光
束のうち第１の光束は、第１の帯域透過フィルター８へ
送られ、他の第２の光束は第２の帯域透過フィルター９
に送られる。これら帯域透過フィルターは、多層膜干渉
フィルター等の干渉フィルターで、いずれも中心波長で
の透過率が高く半値幅が２．０〜３、　Ｏｎｍ程度のも
のが望ましい。第１のフィルター８は中心波長が１．５
μｍであり前述のアンモニアガスの特性吸収波長帯１．
４６５〜１．５６０μｍのブロードな吸収波長帯を利用
してアンモニアガス濃度を検知するためのものである。

この第１の帯域透過フィルター８は、光源として１．３
０μｍを発光の中心波長とする発光ダイオードを用いた
場合には、例えば１．．２９５μｍを中心波長とし半値
幅３１１ｍ程度の帯域透過フィルターを用いればよい。

つまり発光源の波長帯とアンモニアガスの特性吸収波゛
長帯との関連において第１の帯域透過フィルター８の波
長帯を適宜選択すればよい。この場合、Ｈ２Ｏ。

ＣＯ２ガスの特性吸収波長帯をさけて測定のために利用
する波長帯（上記の第１の帯域透過フィルター８の波長
帯）を選ぶ必要がある。

一方第２の帯域透過フィルター９の中心波長は、アンモ
ニアガスの特性吸収波長以外の波長でＨ２ＯやＣＯ２ガ
スの特性吸収を示さない波長を選べばよい。例えば低濃
度のアンモニアガスの検知の場合には、１．５６０μｍ
又は１．４５０μｍがよい。

以上のような透過波長特性を有する第１．第２の帯域透
過フィルター８，９を配置することによって第１の帯域
透過フィルター８を透過した第１の光束は、アンモニア
ガスの吸収によって強度の低下した１、　５１０μｍを
中心波長としたガウス型の透過波長分布の光となる。一
方第２の帯域透過フィルター９を通った第２の光束は、
アンモニアガスの吸収に無関係な１．４５μｍ又は１．
５６μｍを中心波長（参照波長）としたガウス型の透過
波長分布の光となる。

なお、参照波長用光源として例えば発光の中心波長が１
．４５μｍのＬＥＤをさらに用い、これによって参照波
長のエネルギーを１，５０μｍ帯のＬＥＤを一つ用いた
場合よりも犬にして測定するようにすることも可能であ
る。これによってＬＥＤｉｄ、発光の強度が中心波長よ
りずれるにつれて小さくなるために参照波長の強度が小
になる欠点を除去することが出来る。

続いて第１の帯域透３Ｉ４フィルター８．第２の帯域透
過フィルター９を通った光は、夫々用１の光検出器１０
および第２の光検出器１１に送られて各々電気信号に変
換される。これら検出器１０　、１１としては、検出波
長が１．３〜１．８μＩＴＩのアバランシェフォトダイ
オードやＧｅフォトダイオード等が考えられる。これら
検出器１０　、１１よシの出力信号は、夫々増＠器４２
．１３にで増幅された後にマイクロコンピュータ−等に
て構成された信号処理装Ｍ　１．４に送られる。ここで
前記電気信号の比Ｘおよび１−Ｘから吸光比Ａを求め、
更に前述の式にもとづく演算処理等が行なわれて吸光セ
ル４内に存在する気体中のアンモニアガスの濃度が求め
られ、表示器１５にその結果が表示される。

第７図は、本発明のアンモニアガス濃度測定装置の第２
の実施例を示すもので、第６図に示す装置と実質的に同
じ部分には同一の符号を付しその詳細な内容の説明は省
略する。この実施例においては、吸収セル４を出た光は
例えば石英系光ファイバーのような低損失の光ファイバ
ー５を通シ、光分岐路１６によって二つの光束に分けら
れ、それぞれ光結合器１７　、１８からチョッパー１９
を経て第１のフィルター８および第２のフィルター９に
送り込まれる点と、第１の光検出器１ｏと第２の光検出
器１１からの電気信号が共に−っの増幅器１２に送り込
捷れる点とにおいて第６図に示す実施例と相違する。こ
の実施例においては、光束がチョッパー１９を経て光検
出器に達するので、光検出器１０　、１１よシの電気信
号は交流にて得られるので増幅等が容易になる利点を有
している。

尚上記の各実施例は、いずれも測定セルが一つであって
、したがって一つの測定地点におけるアンモニアガス濃
度を測定するものである。しかしこれに限ることなく、
一つの発光源よシの光を光分岐路にて複数・の光に分割
し、夫々を別々の光ファイバーによって複数の測定セル
４・・・に伝送することによって複数の地点でのアンモ
ニアガス濃度を同時に測定し得るように構成することも
できる。

１１ｇ８図は、本発明の測定装置の第３の実施例を示す
図である。この第３の実施例は、発光源としてＬＤを用
いたもので、例えばアンモニアガスの特性吸収波長帯内
の波長である１、５０μｍを発光の中心波長（測定波長
）とする第１の発光源１ａと前記の特性吸収波長以外の
波長である１、４５μｍを発光の中心波長（参照波長）
とする第２の発光源１ｂとの二つの発光源を用いている
点と多層膜干渉フィルター等の帯域透過フィルター（分
光器）を使用していない点で他の実施例と相違している
。

この実施例では第１の発光源と第２の発光源とよりの光
はチョッパー１９によって交互に送られ光伝送用光ファ
イバー３　ａ　＋　３　ｂ　＋光結合器１６　、他の光
ファイバー３ｃにて伝送されて測定セル４に送られる。

更に測定セル４を通った光は、光ファイバー５により伝
送されて光検出器１０にて検出される。光検出器１０よ
りの出力電気信号は増幅器Ｉ２にて増幅され信号処理装
置１４にて演算等が行なわれ表示器１５にて濃度が表示
される。尚加はランプ２０ａとフォトダイオード等の受
光器２０ｂよりなシ受光器２０ｂよりの信号にもとづき
検出器１ｏよりの電気信号を判別する。

以上説明したように本発明のアンモニアガス濃度の測定
方法によ゛れば、アンモニアガスの特性吸収波長帯で、
光ファイバーの最も低損失な波長領域でしかもＣ０２，
Ｈ２Ｃの吸収帯の存在しない波長帯を選択してアンモニ
アガス濃度を測定するものであるから極めて遠隔な地点
よりｃｏ２．Ｈ２Ｃ等の影響を受けることなく高精度な
測定が可能である。

又本発明の装置によれば、発光源として例えば安定性の
よいＬＥＤを又光伝送路として低損失の石英系光ファイ
バーを、波長選択用分光器として安価な帯域透過フィル
ターを用いたものであるから遠隔地点による測定を電磁
誘導を受けたり、ケーブル断線時の短絡事故を生ずるこ
となしに、しかも広い地域にわたって配置された複数の
吸収セルでの測定を集中監視する場合などに好適である
。

まだ、吸光光度法を利用しての測定であるので実時間測
定が可能であシ、アンモニアガス濃度変動に対して迅速
な対応が可能になる。また波長選択に帯域透過フィルタ
ーを用いているので装置を小型になし得ると共に安価に
することが出来る。更に小形、低電力で冷却などを必要
としない小出方の発光ダイオードを用いても高感度の検
出を達成できる。

【図面の簡単な説明】

第１図は本発明に用いる石英系光ファイバーの伝送損失
を示すグラフ、第２図はアンモニアガスのブロードな特
性吸収帯を模式的に示す図、第３図はアンモニアガスの
実際の特性吸収波長を詳細に示した図、第５図はガウス
分布型の帯域透過フィルターを通過した光の強度分布を
示す図、第６図は本発明の装置の一実施例の構成を示す
図、第７図および第８図は夫々第２．第３の実施例の構
成を示す図である。 ｊ・・・発光源、３・・・光ファイバー、４・・・測定
セル、５・・・光ファイバー、７・・・ビームスプリッ
タ−１８・・・第１の帯域透過フィルタ〜、９・・・第
２の帯域透過フィルター、１０・・・第１の光検出器、
１１・・・第２の光検出器、Ｊ２・・・増幅器、１４・
・・信号処理装置、１５・・・表示器、１６・・・光分
岐路、１９・・・チョッパー。 出願人　　１ｊど和電工株式会社 出願人　　稲　場　文　例 代理人　　向　　　寛　二 第６図 第７図 手続補正書 昭木■８年７月ン６日 特許庁長官殿 １　事件の表示 昭和５８年特許願第５５１１６号 ２　発明の名称 アンモニアガス濃度の測定方法およびその装置３　補正
をする者 事件との関係　　特許出願人 東京都港区芝大門−丁目１３番９号 、（２００）昭和電工株式会社 代表者　岸　本　泰　延 ４代理人 東京都港区虎ノ門２−５−２ １イ白４日　５８　年　６　月　２８　日７　補正の内
容 明細書２１頁】２行目の「・・・・示した図、」と１第
５図は」の間に「第４図は■（２０の吸収波長特注曲線
を示す図、」を挿入する。 手　　続　補　　正　　書 昭＋１］５８年ｑ月６日 特許庁長官殿 １　事件の表示 １１％オＩＪ５８年特許願第５５１１６号２　発明の名
称 アンモニアガス濃度の測定方法およびその装置３　補正
をする者 事件との関係　　特許出願人 東京都港区芝大門−丁目１３番９号 （２００）昭和電工株式会社 代衣者　岸　本　柴　延 ４代理人 東京都港区虎ノ門２−５−２ ６　補正の対象 ７、　補正の内容 （１）明細書４頁３行目および４頁５行目の「問題」を
いずれも「問題」に訂正する。 （２）明細書５頁３行目および５頁１９行月の「１゜０
」を「１．１」に訂正する。 （３）　　明＃Ｉｌ書５頁８行目ノ「水−１をＦ　７１
＜蒸気」に訂正する。 （４）明細書５頁９行目の「全゛り」を「はとんど」に
訂正する。 （５）明細書５頁１２行月の「伝送中の」を「伝送する
」に訂正する。 （６）明細書５に１２２行目至１３３行目［損失がなく
廻を「損失が少なく」に訂正する。 （７）　　明細斗５貞１３行目の［受けることのない−
１を「受けることの少ない」に訂＋ＪＥする。 （８）明細書６頁１４行月および６頁１７行月のｒ存在
しない。−１をいずれも「極めて小さいか又は存在しな
い。」と訂正する。 （９）明＃１畳６頁ＪＧ行目の「波長領域においてはｊ
　　るを「波長領域においても」に訂正する。　　　　
　　く（１の　明細書７頁８行目の「範長範囲」を「波
長範　（１８）囲」に前圧する。　　　　　　　　　　
　　　　　　′（１１）明細書７頁１２行月の［吸収帯
には個々の吸収　　な帯が」を「吸収帯内には個々の吸
収線が」に訂　（１９）正する。　　　　　　　　　　
　　　　　　　　　　出（１２）明細書８頁ｊ行目の「
吸収を受けるかにょっ　　出て一］を「吸収を受けるか
を測定することにょっ　　して」に訂正する。　　　　
　　　　　　　　　　　　収（１３）明細蛎８頁９行目
の「存在しないＩを「はと　　てと 温 参照波長帯での光」を「測定波長帯の透過光の　　に強
度と参照波長帯での透過光」に訂正する。　　（２０）
（１５）明細書８頁２０行月の［ない−１を「はとんど
な　　　ドい」に削正する。　　　　　　　　　　　　
　　（２１）（１６）　　明細書９頁１０行月の「低濃
ｑを「低濃度」に　　ア訂正する。　　　　　　　　　
　　　　　　　　　　をことなくＪを「影ｇをほとんど
受けることな」に訂正する。 明細書１０頁２行目乃至３行目の「影響も受けことなし
に」を「影響もほとんど受けることしに」に訂正する。 明細書１００頁１４行月至１９９行目「ＬＤは、高力が
・・・・留意すればよい。Ｊを「ＬＤは、高力が得られ
やすく単色性が強いので発光源とて望ましい。しかしア
ンモニアガスの特性性波長帯のような一見ブロードな波
長帯であつも、発振波長を厳密に選定して安定化するこ
が必要である。すなわち、電源電圧の変動や度変化など
による発振波長の変動がないよう留意する必要かめる。 」に訂正する。 明細ｉ１１頁１８行目乃至１２頁４行目の「ブ・−な波
長帯をもつ・・・・好ましい。」を削除する。 明細書１２２頁１７行月至１３頁７行目の［なお、ンモ
ニアガスの・・・・求めることが出来る。−１削除する
。 正する。 （２３）　　明細書１３頁２０行目の「吸収セル４−１
を「測定セル４」に訂正する。 （２／Ｉ）　　明細書］４頁］行目、６行目、９行目お
よび１１行目の１−吸収セル」をいずれも「測定セル」
に訂正する。 （２５）明細書１５頁５行目のＩＩ、５μｍｌを１１，
５１０ｔｔ　ｍ　ｊに訂正する。 （２Ｇ）明細書］５頁１０行目の「用いた場合には、」
の後に「アンモニアガスの特性吸収波長帯として１．２
８５〜１，３２５μｍ帯を選び」を挿入する。 （２７）明細書１Ｇ頁１行目の「特性吸収を示さない」
を「特性吸収をほとんど示さ々い」に訂正する。 （２８）　　明ａＩ書、＋６頁７行目の「アンモニアガ
スの吸収」を「アンモニアガスによる吸収」に訂正する
。 （ｚ９）明細書１６頁１０行目乃至１１行目の［アンモ
ニアガスの吸収によって強度の−１を「アンモニアガス
による吸収によって一部の強度の」に訂正する。 （３０）　　明細訃１７頁１２行目の「更に前述の式に
もとづ＜’Ｊ　ヲ１ｍ　予めアンモニアの標準ガスで求
めた吸光比Ａとアンモニアガス濃度との関係を利用して
、」に訂正する。 （３１）明細書１７頁］３行目および１７頁２０行目の
［−吸収セル４」をいずれも「測定セル４」に訂正する
。 （：３２）　　明細書１９頁４行目の「１．５０　μｍ
　ｌを１ｍｌ、４９９μｍ」に訂正する。 （３３）明細書２０頁１行目の「判号」を「判別」に訂
正する。 （３４）明細書２０頁７行目の［存在しない−１を「は
とんど存在しない」に訂正する。 （３５）明細書２０頁１０行目の「受けることなく」を
「はとんど受けることなく」に削正する。 （３６）明細書２０頁１７行目の［吸収セル１を「測定
セル」に訂正する。 （３７）明細書２１頁頁７行目の［発光源、−１の後に
「２・・・・光結合器、」を挿入する。 （３８）明細書２１頁１８行目の「５・・・・光ファイ
バー、」の後に「６・・・・光結合器、」を挿入する。 （３９）明細書２２頁２行目の１増幅器、」の後に「１
３・・・・増幅器、」を挿入する。 （４０）明細書２２頁３行目の「分光岐路、−１の後に
「１７・・・・光結合器、１８・・・・光結合器」を挿
入する。 （４１）図面第８図を別紙図面写に朱１ピしたように訂
正（符号２　、２０＋　２０ａ　、　２ｏｂを追加）す
る。

Claims (3)

【特許請求の範囲】
1. （１）発光源からの光を伝送損失の小さい光ファイバー
   を通して雰囲気ガスの流出入する測定セルへ伝送し、該
   測定セルを通った復信の光ファイバーにて伝送して光検
   出器にて検出して光吸光光度法にて濃度を検出する方法
   で、アンモニアガスの特性吸収波長帯であるｌ、２８５
   〜１．３２５μｍ又は１゜４６５〜］、５６０μｍ又は
   １．６１５〜１．．６７５μｍの波長帯内の一波長を中
   心波長とした少なくとも一つの任意の波長帯の光を測定
   光とし前記特性吸収波長帯外の波長を中心波長とする波
   長帯の光を参照光とし、前記測定光と前記参照光を検出
   器にて検出してその比を求めることによって濃度を測定
   することを特徴とするアンモニアガス濃度の測定方法。
2. （２）　　アンモニアガスの特性吸収波長帯である１゜
   ２８５〜］、３２５　ｔｔｍ又は１．４６５〜］、　５
   ６０７１４ｍ又は１゜６１５〜１，６７５μｍの波長領
   域内の波長を少なくとも含んでいる波長領域の光を発光
   する発光源と、雰囲気ガスの流出入する測定セルと、前
   記発光源の光を前記測定セルへ伝送するために用いられ
   る前記波長領域での伝送損失の少ない光ファイバーと、
   前記測定セルよりの光を前記特性吸収波長帯内の一部の
   波長帯のと特性吸収波長帯外の波長帯の光とに分光する
   分光器と、前記分光器にて分光された夫々の波長帯の光
   を検出する検出器と、前記検出器で検出された信号にも
   とづき７Ｍ度を求めるだめの演算処理装置とを備えたア
   ンモニアガス濃度測定装置。
3. （３）　　アンモニアガスの特性吸収波長帯である１゜
   ２８５〜１．３２５μｍ又はｌ、　４６５〜１．５６０
   μｍ又は１゜６１５〜１．６７５μｍのうちに含まれる
   波長帯の光を発光するレーザーダイオードと前記特性吸
   収波長帯外の波長帯の光を発光するレーザーダイオード
   とを含む少なくとも二つのレーザーダイオードよシなる
   発光源と、雰囲気ガスの出入流する測定セルと、前記発
   光源よりの光を前記測定セルに伝送するだめの伝送損失
   の小さい光ファイバーと、前記測定セルを通った光を伝
   送する伝送損失の小さい第２の光ファイバーと、前記第
   ２の光ファイバーにより伝送された光を検出する光検出
   器とを備え、前記特性吸収波長帯内の波長帯の光とそれ
   以外の波長帯の光とを交互に検出してその強度比を求め
   て濃度を測定することを特徴とするアンモニアガス濃度
   の測定装置。