JPS59186363A - 冷却型光電変換装置 - Google Patents
冷却型光電変換装置Info
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- JPS59186363A JPS59186363A JP58061753A JP6175383A JPS59186363A JP S59186363 A JPS59186363 A JP S59186363A JP 58061753 A JP58061753 A JP 58061753A JP 6175383 A JP6175383 A JP 6175383A JP S59186363 A JPS59186363 A JP S59186363A
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- JP
- Japan
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- light
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- element array
- photoelectric conversion
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- G—PHYSICS
- G01—MEASURING; TESTING
- G01J—MEASUREMENT OF INTENSITY, VELOCITY, SPECTRAL CONTENT, POLARISATION, PHASE OR PULSE CHARACTERISTICS OF INFRARED, VISIBLE OR ULTRAVIOLET LIGHT; COLORIMETRY; RADIATION PYROMETRY
- G01J1/00—Photometry, e.g. photographic exposure meter
- G01J1/02—Details
- G01J1/04—Optical or mechanical part supplementary adjustable parts
- G01J1/06—Restricting the angle of incident light
-
- G—PHYSICS
- G01—MEASURING; TESTING
- G01J—MEASUREMENT OF INTENSITY, VELOCITY, SPECTRAL CONTENT, POLARISATION, PHASE OR PULSE CHARACTERISTICS OF INFRARED, VISIBLE OR ULTRAVIOLET LIGHT; COLORIMETRY; RADIATION PYROMETRY
- G01J1/00—Photometry, e.g. photographic exposure meter
- G01J1/02—Details
- G01J1/04—Optical or mechanical part supplementary adjustable parts
-
- G—PHYSICS
- G01—MEASURING; TESTING
- G01J—MEASUREMENT OF INTENSITY, VELOCITY, SPECTRAL CONTENT, POLARISATION, PHASE OR PULSE CHARACTERISTICS OF INFRARED, VISIBLE OR ULTRAVIOLET LIGHT; COLORIMETRY; RADIATION PYROMETRY
- G01J5/00—Radiation pyrometry, e.g. infrared or optical thermometry
- G01J5/02—Constructional details
- G01J5/06—Arrangements for eliminating effects of disturbing radiation; Arrangements for compensating changes in sensitivity
-
- H—ELECTRICITY
- H10—SEMICONDUCTOR DEVICES; ELECTRIC SOLID-STATE DEVICES NOT OTHERWISE PROVIDED FOR
- H10F—INORGANIC SEMICONDUCTOR DEVICES SENSITIVE TO INFRARED RADIATION, LIGHT, ELECTROMAGNETIC RADIATION OF SHORTER WAVELENGTH OR CORPUSCULAR RADIATION
- H10F77/00—Constructional details of devices covered by this subclass
- H10F77/30—Coatings
- H10F77/306—Coatings for devices having potential barriers
- H10F77/331—Coatings for devices having potential barriers for filtering or shielding light, e.g. multicolour filters for photodetectors
- H10F77/334—Coatings for devices having potential barriers for filtering or shielding light, e.g. multicolour filters for photodetectors for shielding light, e.g. light blocking layers or cold shields for infrared detectors
-
- G—PHYSICS
- G01—MEASURING; TESTING
- G01J—MEASUREMENT OF INTENSITY, VELOCITY, SPECTRAL CONTENT, POLARISATION, PHASE OR PULSE CHARACTERISTICS OF INFRARED, VISIBLE OR ULTRAVIOLET LIGHT; COLORIMETRY; RADIATION PYROMETRY
- G01J1/00—Photometry, e.g. photographic exposure meter
- G01J1/02—Details
- G01J1/0295—Constructional arrangements for removing other types of optical noise or for performing calibration
-
- G—PHYSICS
- G01—MEASURING; TESTING
- G01J—MEASUREMENT OF INTENSITY, VELOCITY, SPECTRAL CONTENT, POLARISATION, PHASE OR PULSE CHARACTERISTICS OF INFRARED, VISIBLE OR ULTRAVIOLET LIGHT; COLORIMETRY; RADIATION PYROMETRY
- G01J5/00—Radiation pyrometry, e.g. infrared or optical thermometry
- G01J5/10—Radiation pyrometry, e.g. infrared or optical thermometry using electric radiation detectors
- G01J5/28—Radiation pyrometry, e.g. infrared or optical thermometry using electric radiation detectors using photoemissive or photovoltaic cells
- G01J2005/283—Array
Landscapes
- Physics & Mathematics (AREA)
- General Physics & Mathematics (AREA)
- Spectroscopy & Molecular Physics (AREA)
- Light Receiving Elements (AREA)
- Solid State Image Pick-Up Elements (AREA)
Abstract
(57)【要約】本公報は電子出願前の出願データであるた
め要約のデータは記録されません。
め要約のデータは記録されません。
Description
【発明の詳細な説明】
（ａ） 発明の技術分野
本発明は冷却型光電変換装置に係り、特に装置内の冷却
ヘッド上に実装した赤外線受光素子アレイに対する背景
輻射光の入射を制限するコールド・シールドの構造に関
するものである。
ヘッド上に実装した赤外線受光素子アレイに対する背景
輻射光の入射を制限するコールド・シールドの構造に関
するものである。
（ｂｌ 技術の背景
一般に半導体から成る赤外線検知用の光電変換素子は、
入射光量に対応した出力を生じ、常温よりも、はるかに
低い温度に冷却しないと良好に動作しない性質がある。
入射光量に対応した出力を生じ、常温よりも、はるかに
低い温度に冷却しないと良好に動作しない性質がある。
故に例えば、一部に赤外線透過窓を設けた外筒と、該赤
外線透過窓に対向して冷却ヘッドを設けた内筒からなる
デユワ構造の真空断熱容器を用いて前記光電変換素子を
、該真空断熱容器内の真空側冷却ヘッド上に設置し、該
冷却ヘッドを介して液体窒素等によって所定の低温に冷
却して動作させている。
外線透過窓に対向して冷却ヘッドを設けた内筒からなる
デユワ構造の真空断熱容器を用いて前記光電変換素子を
、該真空断熱容器内の真空側冷却ヘッド上に設置し、該
冷却ヘッドを介して液体窒素等によって所定の低温に冷
却して動作させている。
また、一方前記光電変換素子に対する視野角は、素子前
面に設けたコールド・シールドの、入射光の範囲を規定
する視野決定用の開口部形状と、該開口部と素子受光面
間の距離によって定められる。
面に設けたコールド・シールドの、入射光の範囲を規定
する視野決定用の開口部形状と、該開口部と素子受光面
間の距離によって定められる。
そしてこのコールド・シールドは更に、前記光電変換素
子と共に極低温に冷却されて検知視野以外の背景輻射光
の入射を防止している。
子と共に極低温に冷却されて検知視野以外の背景輻射光
の入射を防止している。
（Ｃ１従来技術と問題点
ところで、従来の多素子型赤外線検知素子、例えば、−
次元的に配列した赤外線受光素子アレイに対するコール
ド・シールドとしては、例えば前記赤外線受光素子アレ
イの各受光素子の配列ピ・ノが通例、数μｍ〜数十μｍ
程度と極めて微少な為、各受光素子にそれぞれ対応した
個別の視野決定用開口部を列設することは、その製造上
、また構造上困難なるため、第１図の概略斜視図に示す
ように、−次元的に配列した赤外線受光素子アレイ１の
全受光面に対向して、長四角形のスリ・ノド状視野決定
用開口部４が平行になるように、かつ所定距離をもって
コールド・シールド３が配置されている。
次元的に配列した赤外線受光素子アレイに対するコール
ド・シールドとしては、例えば前記赤外線受光素子アレ
イの各受光素子の配列ピ・ノが通例、数μｍ〜数十μｍ
程度と極めて微少な為、各受光素子にそれぞれ対応した
個別の視野決定用開口部を列設することは、その製造上
、また構造上困難なるため、第１図の概略斜視図に示す
ように、−次元的に配列した赤外線受光素子アレイ１の
全受光面に対向して、長四角形のスリ・ノド状視野決定
用開口部４が平行になるように、かつ所定距離をもって
コールド・シールド３が配置されている。
然しながら、上記の如きコールド・シールド３の視野決
定用開口部４の形状にあっては、前記受光素子アレイ１
の、中央部の受光素子２ａと両端部の受光素子２ｂでの
有効視野角が異なっている。即ち、前記受光素子アレイ
１に対する入射光量が、両端部で減少するといった所謂
シェーディング（Ｓ）＋ａｄｉｎｇ ）が生ずる不都合
があった。よって前記各受光素子２の信号出力が不均一
になり、中央部から両端部に向かって感度の低下した受
光素子２を配列したのと同様の構成となり、赤外線受光
素子アレイ１にとって好ましくない現象を呈していた。
定用開口部４の形状にあっては、前記受光素子アレイ１
の、中央部の受光素子２ａと両端部の受光素子２ｂでの
有効視野角が異なっている。即ち、前記受光素子アレイ
１に対する入射光量が、両端部で減少するといった所謂
シェーディング（Ｓ）＋ａｄｉｎｇ ）が生ずる不都合
があった。よって前記各受光素子２の信号出力が不均一
になり、中央部から両端部に向かって感度の低下した受
光素子２を配列したのと同様の構成となり、赤外線受光
素子アレイ１にとって好ましくない現象を呈していた。
そこで前記受光素子アレイ１の受光面と、コールド・シ
ールド３の視野決定用開口部４との間隔を大きくとるこ
とにより前記シェーディング現象が、かなり改善される
が、この場合コールド・シールド３の構造が大きくなり
当該装置が大型化する問題がある。
ールド３の視野決定用開口部４との間隔を大きくとるこ
とにより前記シェーディング現象が、かなり改善される
が、この場合コールド・シールド３の構造が大きくなり
当該装置が大型化する問題がある。
（ｄ） 発明の目的
本発明は、上記従来の欠点に鑑み、−次元的に配列した
赤外線受光素子アレイの全受光素子面に対する、コール
ド・シールドの視野決定用開口部をブラインド形状に改
善して、前記赤外線受光素子アレイの各受光素子面に対
する視野角を均一化し、もってシェーディング現象を排
除するようにした新規な冷却型光電変換装置を提供する
ことを目的とするものである。
赤外線受光素子アレイの全受光素子面に対する、コール
ド・シールドの視野決定用開口部をブラインド形状に改
善して、前記赤外線受光素子アレイの各受光素子面に対
する視野角を均一化し、もってシェーディング現象を排
除するようにした新規な冷却型光電変換装置を提供する
ことを目的とするものである。
（ｅｌ 発明の構成
そしてこの目的は本発明によれば、赤外線受光素子アレ
イの前面に、入射光の範囲を規定する視野決定用の開口
部を有するコールド・シールドを備えた装置構成におい
て、上記コールド・シールドか、前記受光素子アレイの
受光面に対して垂直で、かつ該受光素子アレイの配列方
向に交差するよう並列配置した複数の遮光仕切板を含ん
で成ることを特徴とする冷却型光電変換装置を提供する
ことによって達成される。
イの前面に、入射光の範囲を規定する視野決定用の開口
部を有するコールド・シールドを備えた装置構成におい
て、上記コールド・シールドか、前記受光素子アレイの
受光面に対して垂直で、かつ該受光素子アレイの配列方
向に交差するよう並列配置した複数の遮光仕切板を含ん
で成ることを特徴とする冷却型光電変換装置を提供する
ことによって達成される。
ｆｆｌ 発明の実施例
以下図面を用いて本発明の実施例について詳細に説明す
る。
る。
第２図は本発明に係る冷却型光電変換装置におけるコー
ルド・シールドの開口部の構造の一実施例を示す概略斜
視図であり、第３図は本発明に係る第２図のコールド・
シールドの開口部と赤外線受光素子アレイの全受光素子
面との関係を説明する模式図である。
ルド・シールドの開口部の構造の一実施例を示す概略斜
視図であり、第３図は本発明に係る第２図のコールド・
シールドの開口部と赤外線受光素子アレイの全受光素子
面との関係を説明する模式図である。
まず第２図に示すように、本発明においては図示しない
冷却ヘッド上に一次元的に配列した、赤外線受光素子ア
レイ１の全受光素子面に対して所定高さを持って対向し
ているコールド・シールド３の視野決定用開口部４の形
状を、例えば該開口部４内に、前記受光素子アレイ１の
受光面に対して垂直で、かつ該受光素子アレイ１の配列
方向に直交するように、所定幅を有する複数枚の遮光仕
切板２１を図示のように所定間隔で並列配置した構成が
とられている。但しこの場合、各遮光仕切板２１によっ
て構成された所定間隔部２２は、対向する前記受光素子
アレイ１の各受光素子２面と個々に対応させる必要はな
い。
冷却ヘッド上に一次元的に配列した、赤外線受光素子ア
レイ１の全受光素子面に対して所定高さを持って対向し
ているコールド・シールド３の視野決定用開口部４の形
状を、例えば該開口部４内に、前記受光素子アレイ１の
受光面に対して垂直で、かつ該受光素子アレイ１の配列
方向に直交するように、所定幅を有する複数枚の遮光仕
切板２１を図示のように所定間隔で並列配置した構成が
とられている。但しこの場合、各遮光仕切板２１によっ
て構成された所定間隔部２２は、対向する前記受光素子
アレイ１の各受光素子２面と個々に対応させる必要はな
い。
しかして、上記のように前記受光素子アレイ１に対する
コールド・シールド３の視野決定用開口部４をブライン
ド形状に構成することにより、第３図の模式図に示すよ
うに前記受光素子アレイ１の各受光面３１での視野角は
、前記各遮光仕切板２１によって一様に規定される。そ
して例えは、図における各遮光仕切板２１の幅りが２．
各遮光仕切板２１間の間隔りが１．素子面に対する遮光
仕切板２１の高さＨを４とした場合、遮光仕切板２１直
Ｔの素子面へでの有効視野角は、２７．７２°、ｔた遮
光仕切板２１間の中央直下の素子面Ｂでの有９）ノ視野
角は、２７．４８°と殆どゆらくことはない。よって前
記コールド・シールド３の視野決定用開口部４の形状を
構成するのに、遮光仕切板２１９幅Ｌ、各遮光仕切板２
１間の間隔Ｄ、素子面に対する遮光仕切板２１の高さ■
１を適当に選択することによって受光素子アレイｌに要
求される視野角を容易に決定することが可能となり、か
つ受光素子アレイ１の中央部の受光素子２ａから両端部
の受光素子２ｂに対して生しるシェーディング現象も解
消される。
コールド・シールド３の視野決定用開口部４をブライン
ド形状に構成することにより、第３図の模式図に示すよ
うに前記受光素子アレイ１の各受光面３１での視野角は
、前記各遮光仕切板２１によって一様に規定される。そ
して例えは、図における各遮光仕切板２１の幅りが２．
各遮光仕切板２１間の間隔りが１．素子面に対する遮光
仕切板２１の高さＨを４とした場合、遮光仕切板２１直
Ｔの素子面へでの有効視野角は、２７．７２°、ｔた遮
光仕切板２１間の中央直下の素子面Ｂでの有９）ノ視野
角は、２７．４８°と殆どゆらくことはない。よって前
記コールド・シールド３の視野決定用開口部４の形状を
構成するのに、遮光仕切板２１９幅Ｌ、各遮光仕切板２
１間の間隔Ｄ、素子面に対する遮光仕切板２１の高さ■
１を適当に選択することによって受光素子アレイｌに要
求される視野角を容易に決定することが可能となり、か
つ受光素子アレイ１の中央部の受光素子２ａから両端部
の受光素子２ｂに対して生しるシェーディング現象も解
消される。
なお以上の実施例では、−次元配列の赤外線受光素子ア
レイを例にとって説明したが、本発明はこれに限らず二
次元配列の赤外線受光素子アレイにも同様に適用可能な
ことは勿論である。
レイを例にとって説明したが、本発明はこれに限らず二
次元配列の赤外線受光素子アレイにも同様に適用可能な
ことは勿論である。
ｔａ 発明の効果
以上の説明から明らかなように、本発明に係る冷却型光
電変換装置よれば、赤外線受光素子アレイの、全受光素
子面に対向配置したコールド・シールドの視野決定用開
口部に、該受光素子アレイの配列方向に交差する形に、
複数枚の遮光仕切板を、ブラインド状態に所定間隔で並
列配置した構成とすることにより、従来の如きシェーデ
ィング現象が解消されると共に、前記受光素子アレイ上
の各受光素子面での有効視野角を、はぼ一定に規定する
ことが可能になる。よって各受光素子にわたって均等な
出力信号が得られるようになり、当該冷却型光電変換装
置の性能を大幅に向上することができる。またコールド
・シールドを小型に構成できる等、優れた利点を有する
。
電変換装置よれば、赤外線受光素子アレイの、全受光素
子面に対向配置したコールド・シールドの視野決定用開
口部に、該受光素子アレイの配列方向に交差する形に、
複数枚の遮光仕切板を、ブラインド状態に所定間隔で並
列配置した構成とすることにより、従来の如きシェーデ
ィング現象が解消されると共に、前記受光素子アレイ上
の各受光素子面での有効視野角を、はぼ一定に規定する
ことが可能になる。よって各受光素子にわたって均等な
出力信号が得られるようになり、当該冷却型光電変換装
置の性能を大幅に向上することができる。またコールド
・シールドを小型に構成できる等、優れた利点を有する
。
第１図は従来の冷却型光電変換装置における、コールド
・シールドの開口部の構造を説明する概略斜視図、第２
図は本発明に係る冷却型光電変換装置における、コール
ド・シールドの開口部の構造の一実施例を示す概略斜視
図、第３図は本発明に係る第２図の、コールド・シール
ドの開口部と赤外線受光素子アレイの全受光素子面との
関係を説明する模式図である。 図面において、１は赤外線受光素子アレイ、２は受光素
子、２ａは中央部の受光素子、２ｂは両端部の受光素子
、３はコールド・シールド、４は視野決定用開口部、２
１は遮光仕切板、２２は所定間隔部、３１は各受光面を
示す。 第 ３図 ＼ 冒 ｊ ／昌ｌ１ｒｒｒ 手続ネ甫正葡：（自発） 昭和５９年 ３月２２日 特許庁長官殿 ■、事件の表示 昭和５８年特許願第 ６１７５３号 ２、発明の名称 冷却型光電変換装置 ３、補＋ＩＥをする者 事件との関係 特許出願人 住 所 神奈川県用崎市中原区上小田中１０１５番地（
５２２）名称冨士通株式会社 代表者 山 本 卓 眞 ４、代理人 郵便番号 ２１１ ５、補正命令の１（イ」 な し ６、補正により増加する発明の数 な しく１）
明細書第１頁に記載の［特許請求の範囲ヨを別紙のと
おり訂正する。 （２）明細書第４頁１９行〜第５頁５行の「赤外線受光
素子子レイ・・・・・・・・含んで成るｊを次のとおり
訂正する。 「赤外線受光素子アレイの前面乙こ、入射光の範囲を規
定する視野決定用の開口部をそなえたコールドシールド
を有して成り、該コールドシールドは、その開口部に前
記受光素子アレイの受光面に対して垂直で、かつ該受光
素子アレイの配列方向に交差するよう並列配置した複数
の遮光仕切板を有し、該遮光仕切板の間隔と幅および受
光素子の受光面からの設置高さによって受光素子各部に
お＆ｊる視野角を設定するようにし各イ寸書類の目録 ′ｌ：ｉｉｆ求の範囲 １ 通に
ノ−ト 特許請求の範囲 赤外線受光素子アレイの前面に、入射光の範囲を規定す
る視野決定用の開口部をそなえたコール」レーソ監ヒ剣
有ユ」曝Ｖ仮工該コールドスニＪｌ／ Ｆ’ １．！
。 土■同旦Ｕ前記受光素子アレイの受光面に対して垂直で
、かつ該受光素子アレイの配列方向に交差するよう並列
配置した複数の遮光仕切板を有ムエ肚凡奎殺２丁−全ｊ
ｆＸに↓Ｊζ二２．を特徴とする冷却型光電変換装置。
・シールドの開口部の構造を説明する概略斜視図、第２
図は本発明に係る冷却型光電変換装置における、コール
ド・シールドの開口部の構造の一実施例を示す概略斜視
図、第３図は本発明に係る第２図の、コールド・シール
ドの開口部と赤外線受光素子アレイの全受光素子面との
関係を説明する模式図である。 図面において、１は赤外線受光素子アレイ、２は受光素
子、２ａは中央部の受光素子、２ｂは両端部の受光素子
、３はコールド・シールド、４は視野決定用開口部、２
１は遮光仕切板、２２は所定間隔部、３１は各受光面を
示す。 第 ３図 ＼ 冒 ｊ ／昌ｌ１ｒｒｒ 手続ネ甫正葡：（自発） 昭和５９年 ３月２２日 特許庁長官殿 ■、事件の表示 昭和５８年特許願第 ６１７５３号 ２、発明の名称 冷却型光電変換装置 ３、補＋ＩＥをする者 事件との関係 特許出願人 住 所 神奈川県用崎市中原区上小田中１０１５番地（
５２２）名称冨士通株式会社 代表者 山 本 卓 眞 ４、代理人 郵便番号 ２１１ ５、補正命令の１（イ」 な し ６、補正により増加する発明の数 な しく１）
明細書第１頁に記載の［特許請求の範囲ヨを別紙のと
おり訂正する。 （２）明細書第４頁１９行〜第５頁５行の「赤外線受光
素子子レイ・・・・・・・・含んで成るｊを次のとおり
訂正する。 「赤外線受光素子アレイの前面乙こ、入射光の範囲を規
定する視野決定用の開口部をそなえたコールドシールド
を有して成り、該コールドシールドは、その開口部に前
記受光素子アレイの受光面に対して垂直で、かつ該受光
素子アレイの配列方向に交差するよう並列配置した複数
の遮光仕切板を有し、該遮光仕切板の間隔と幅および受
光素子の受光面からの設置高さによって受光素子各部に
お＆ｊる視野角を設定するようにし各イ寸書類の目録 ′ｌ：ｉｉｆ求の範囲 １ 通に
ノ−ト 特許請求の範囲 赤外線受光素子アレイの前面に、入射光の範囲を規定す
る視野決定用の開口部をそなえたコール」レーソ監ヒ剣
有ユ」曝Ｖ仮工該コールドスニＪｌ／ Ｆ’ １．！
。 土■同旦Ｕ前記受光素子アレイの受光面に対して垂直で
、かつ該受光素子アレイの配列方向に交差するよう並列
配置した複数の遮光仕切板を有ムエ肚凡奎殺２丁−全ｊ
ｆＸに↓Ｊζ二２．を特徴とする冷却型光電変換装置。
Claims (1)
- 赤外線受光素子アレイの前面に、入射光の範囲を規定す
る視野決定用の開口部を有するコールド・シールドを備
えた装置構成において、上記コールド・シールドが、前
記受光素子アレイの受光面に対して垂直で、かつ該受光
素子アレイの配列方向に交差するよう並列配置した複数
の遮光仕切板を含んで成ることを特徴とする冷却型光電
変換装置。
Priority Applications (4)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP58061753A JPS59186363A (ja) | 1983-04-07 | 1983-04-07 | 冷却型光電変換装置 |
| US06/596,706 US4609820A (en) | 1983-04-07 | 1984-04-04 | Optical shield for image sensing device |
| DE8484302329T DE3483371D1 (de) | 1983-04-07 | 1984-04-05 | Abschirmung fuer optischen fuehler. |
| EP84302329A EP0125016B1 (en) | 1983-04-07 | 1984-04-05 | Optical shields for optical sensing devices |
Applications Claiming Priority (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP58061753A JPS59186363A (ja) | 1983-04-07 | 1983-04-07 | 冷却型光電変換装置 |
Publications (2)
| Publication Number | Publication Date |
|---|---|
| JPS59186363A true JPS59186363A (ja) | 1984-10-23 |
| JPH0449262B2 JPH0449262B2 (ja) | 1992-08-11 |
Family
ID=13180234
Family Applications (1)
| Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
|---|---|---|---|
| JP58061753A Granted JPS59186363A (ja) | 1983-04-07 | 1983-04-07 | 冷却型光電変換装置 |
Country Status (1)
| Country | Link |
|---|---|
| JP (1) | JPS59186363A (ja) |
Citations (2)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| JPS5242071U (ja) * | 1976-06-09 | 1977-03-25 | ||
| JPS56161772A (en) * | 1980-05-15 | 1981-12-12 | Canon Inc | Original reader |
-
1983
- 1983-04-07 JP JP58061753A patent/JPS59186363A/ja active Granted
Patent Citations (2)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| JPS5242071U (ja) * | 1976-06-09 | 1977-03-25 | ||
| JPS56161772A (en) * | 1980-05-15 | 1981-12-12 | Canon Inc | Original reader |
Also Published As
| Publication number | Publication date |
|---|---|
| JPH0449262B2 (ja) | 1992-08-11 |
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