JPS5918946A - 液体型感光性樹脂のウオツシユアウト方法 - Google Patents
液体型感光性樹脂のウオツシユアウト方法Info
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- JPS5918946A JPS5918946A JP12749182A JP12749182A JPS5918946A JP S5918946 A JPS5918946 A JP S5918946A JP 12749182 A JP12749182 A JP 12749182A JP 12749182 A JP12749182 A JP 12749182A JP S5918946 A JPS5918946 A JP S5918946A
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- resin
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- G—PHYSICS
- G03—PHOTOGRAPHY; CINEMATOGRAPHY; ANALOGOUS TECHNIQUES USING WAVES OTHER THAN OPTICAL WAVES; ELECTROGRAPHY; HOLOGRAPHY
- G03F—PHOTOMECHANICAL PRODUCTION OF TEXTURED OR PATTERNED SURFACES, e.g. FOR PRINTING, FOR PROCESSING OF SEMICONDUCTOR DEVICES; MATERIALS THEREFOR; ORIGINALS THEREFOR; APPARATUS SPECIALLY ADAPTED THEREFOR
- G03F7/00—Photomechanical, e.g. photolithographic, production of textured or patterned surfaces, e.g. printing surfaces; Materials therefor, e.g. comprising photoresists; Apparatus specially adapted therefor
- G03F7/26—Processing photosensitive materials; Apparatus therefor
- G03F7/30—Imagewise removal using liquid means
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- General Physics & Mathematics (AREA)
- Photosensitive Polymer And Photoresist Processing (AREA)
Abstract
(57)【要約】本公報は電子出願前の出願データであるた
め要約のデータは記録されません。
め要約のデータは記録されません。
Description
【発明の詳細な説明】
本発明は、液体型感光性樹脂全使用して基材上に所定形
状の樹脂硬化体を形成せしめる工程において、該液体型
感光性樹脂を露光、硬化せしめた後に行う未硬化部分の
ウォッシュアウト方法に関するものである。
状の樹脂硬化体を形成せしめる工程において、該液体型
感光性樹脂を露光、硬化せしめた後に行う未硬化部分の
ウォッシュアウト方法に関するものである。
近年、感光性樹脂が印刷用レリーフや電子工業分野にお
けるプリント配線基板製造時のレジスト材などに使用さ
れるようになって来た。その製造工程の概略を第１図に
示す。先ず、第１図（イ）（積層体セット工程ンの如く
、一定厚さの液体型感光性樹脂１が基材２と透明なカバ
ーフィルム６との間に保持された状態の積層体音ガラス
板４の上にネガフィルム５を介在せしめてセントする。
けるプリント配線基板製造時のレジスト材などに使用さ
れるようになって来た。その製造工程の概略を第１図に
示す。先ず、第１図（イ）（積層体セット工程ンの如く
、一定厚さの液体型感光性樹脂１が基材２と透明なカバ
ーフィルム６との間に保持された状態の積層体音ガラス
板４の上にネガフィルム５を介在せしめてセントする。
次いで、第１図（ロ）（露光工程）の如く、カバーフィ
ルム６側から光源ラングにエリ露光する。
ルム６側から光源ラングにエリ露光する。
ネガフィルム５を介在せしめていることにより、液体型
感光性樹脂１は所定の部分だけ露光されて硬化する。若
し製造対象物がレリーフ版の場合は、レリーフ底部（図
では上方に当る）を全面に硬化させるため、基材２とし
て透明なベースフィルムを使用し、図には示していない
が基月２側からも全面に軽く露光する。次いで、ガラス
板４かう積屠体全移動し、カバーフィルム６を剥離して
基材２上の未硬化の液体型感光性樹脂１′金再利用のた
めにエリかき落して回収した後に、なお残留する未硬化
の感光性樹脂１′全第１図（・・）〔ウォッシュアウト
工程〕の如く多数のノズルから噴出する合 ウォッシュアウト液（多くの揚器アルカリ性〕に八 より洗浄する。しかる後に、第１図（二〕の如く軽く後
露光を全面に行って全体の硬化を完成し、次いで乾燥し
て製造は完了する。
感光性樹脂１は所定の部分だけ露光されて硬化する。若
し製造対象物がレリーフ版の場合は、レリーフ底部（図
では上方に当る）を全面に硬化させるため、基材２とし
て透明なベースフィルムを使用し、図には示していない
が基月２側からも全面に軽く露光する。次いで、ガラス
板４かう積屠体全移動し、カバーフィルム６を剥離して
基材２上の未硬化の液体型感光性樹脂１′金再利用のた
めにエリかき落して回収した後に、なお残留する未硬化
の感光性樹脂１′全第１図（・・）〔ウォッシュアウト
工程〕の如く多数のノズルから噴出する合 ウォッシュアウト液（多くの揚器アルカリ性〕に八 より洗浄する。しかる後に、第１図（二〕の如く軽く後
露光を全面に行って全体の硬化を完成し、次いで乾燥し
て製造は完了する。
上記の如き感光樹脂硬化体製造工程のうち、ウォッシュ
アウト工程において従来性われて来たウォッシュアウト
方法について、図面により更に詳細に説明する。第２図
は従来のウォッシュアウト方法を示す全体説明図、第６
図（イ）、〔口）は第２図の場合の１部におけるウォッ
シュアウト状態を説明する拡大側面説明図でめる。従来
のウォッシュアウト工程では第２図め如く、露光によっ
て基材２と液体型感光性樹脂１の硬化部分とが一体とな
った積層碩化体乙に残留している未硬化の液体型感光性
樹脂１′（以下、未硬化樹脂と略記することがある〕の
全面に対向して多数のノズル７が配置されている。この
ノズル７は、矢印Ｘの如く一定角度だけ反覆回転する数
本の水管８に取り付けられているから、各ノズル７から
噴出するウォッシュ了つドｉｕ積層硬化体６の未硬化樹
脂１′の面上で成る程度の範囲のウォッシュアラトラ分
担する。
アウト工程において従来性われて来たウォッシュアウト
方法について、図面により更に詳細に説明する。第２図
は従来のウォッシュアウト方法を示す全体説明図、第６
図（イ）、〔口）は第２図の場合の１部におけるウォッ
シュアウト状態を説明する拡大側面説明図でめる。従来
のウォッシュアウト工程では第２図め如く、露光によっ
て基材２と液体型感光性樹脂１の硬化部分とが一体とな
った積層碩化体乙に残留している未硬化の液体型感光性
樹脂１′（以下、未硬化樹脂と略記することがある〕の
全面に対向して多数のノズル７が配置されている。この
ノズル７は、矢印Ｘの如く一定角度だけ反覆回転する数
本の水管８に取り付けられているから、各ノズル７から
噴出するウォッシュ了つドｉｕ積層硬化体６の未硬化樹
脂１′の面上で成る程度の範囲のウォッシュアラトラ分
担する。
従って、未硬化樹脂１′の全面は多数のノズル７から噴
出するウォッシュアウト液９によって同時にウォッシュ
アウトされるのである。
出するウォッシュアウト液９によって同時にウォッシュ
アウトされるのである。
しかしながら、上記の如き従来のウォッシュアウト方法
では、ウォッシュアウト完了１ですなわち未硬化樹脂１
′が完全に洗い出されてしｉう葦で全面を同時にウォッ
シュアウトするにも拘わらず、長時間を要しウォッシュ
アウト効率が不良であった。従って葦た、ノズル７の数
が多いことと共に多量のウォッシュアウト液９が必要で
あった。そしてウォッシュアウトに長時間を要している
間に大切な積層硬化体乙の表面が汚染されてし１つこと
があった。ぼた、ウォッシュアウト効率の不良全補うた
め、噴出するウォッシュアウト液９の圧力を上げると、
未硬化樹脂１′の１部が飛散して若干の改善はあるが、
ポンプの吐出圧全かなり高くしなければならず、無理が
あった。更に、設備としても多数のノズルＺ全必要とし
ていた。
では、ウォッシュアウト完了１ですなわち未硬化樹脂１
′が完全に洗い出されてしｉう葦で全面を同時にウォッ
シュアウトするにも拘わらず、長時間を要しウォッシュ
アウト効率が不良であった。従って葦た、ノズル７の数
が多いことと共に多量のウォッシュアウト液９が必要で
あった。そしてウォッシュアウトに長時間を要している
間に大切な積層硬化体乙の表面が汚染されてし１つこと
があった。ぼた、ウォッシュアウト効率の不良全補うた
め、噴出するウォッシュアウト液９の圧力を上げると、
未硬化樹脂１′の１部が飛散して若干の改善はあるが、
ポンプの吐出圧全かなり高くしなければならず、無理が
あった。更に、設備としても多数のノズルＺ全必要とし
ていた。
本発明者らは、上記の如き欠点を解消すること全目的に
鋭意検討した結果、従来のウォッシュアウト方法では、
ウォッシュアウト液９は次のように作用していることを
究明した。すなわち、第６図（イ）の如く、水管８を矢
印Ｘ１方向に回転させると、ノズル７から噴出したウォ
ッシュアウト液９の圧力に押されて未硬化樹脂１′ハ片
方（第ろ図（インでは右方向）へ寄せられる。しかじな
カミら水管８の回転は一定範囲内だけであるから、ノズ
ル７から噴出するウォッシュアウト液９も所定位置で反
転して逆方向に進む。従って、高粘度レジンである未硬
化樹脂１′は積層硬化体６から離脱するに至うずに、ウ
ォッシュアウト液９の反転進行と共に後戻りする。次い
で第６図（ロ）の如く、上記とは反対の方向において第
６図（イ）と１司様に、水管８のＸ２方向への回転、ウ
ォッシュアウト液９の反転進行、未硬化樹脂１′の寄せ
と後戻りが行われる。かくして従来のウォッシュアウト
方法では上記操作が繰り返されるだけであり、従ってウ
ォッシュアウトはその間に未硬化樹脂１′が徐々に溶解
することによるだけであるので、時間を要していたので
ある。
鋭意検討した結果、従来のウォッシュアウト方法では、
ウォッシュアウト液９は次のように作用していることを
究明した。すなわち、第６図（イ）の如く、水管８を矢
印Ｘ１方向に回転させると、ノズル７から噴出したウォ
ッシュアウト液９の圧力に押されて未硬化樹脂１′ハ片
方（第ろ図（インでは右方向）へ寄せられる。しかじな
カミら水管８の回転は一定範囲内だけであるから、ノズ
ル７から噴出するウォッシュアウト液９も所定位置で反
転して逆方向に進む。従って、高粘度レジンである未硬
化樹脂１′は積層硬化体６から離脱するに至うずに、ウ
ォッシュアウト液９の反転進行と共に後戻りする。次い
で第６図（ロ）の如く、上記とは反対の方向において第
６図（イ）と１司様に、水管８のＸ２方向への回転、ウ
ォッシュアウト液９の反転進行、未硬化樹脂１′の寄せ
と後戻りが行われる。かくして従来のウォッシュアウト
方法では上記操作が繰り返されるだけであり、従ってウ
ォッシュアウトはその間に未硬化樹脂１′が徐々に溶解
することによるだけであるので、時間を要していたので
ある。
本発明者ら眠、上記の究明結果に基づいて更に検討を重
ねた結果、噴出するウォッシュアウト液９を対象面上の
一定の小範囲内だけで移動させるのでなく、一端から他
端に至る壕で連続に移動させることにエリ、未硬化樹脂
１′ヲ完全に洗い落す、すなわちウォッシュアウトでき
ることを究明して本発明に到達した。
ねた結果、噴出するウォッシュアウト液９を対象面上の
一定の小範囲内だけで移動させるのでなく、一端から他
端に至る壕で連続に移動させることにエリ、未硬化樹脂
１′ヲ完全に洗い落す、すなわちウォッシュアウトでき
ることを究明して本発明に到達した。
すなわち本発明は、基材とカバーフィルムとの間に保持
された液体型感光性樹脂に対し、カバーフィルム側から
の露光を行って該液体型感光性樹脂を所定の部分だけ硬
化せしめた後に、カバーフィルムを剥離して基材上に残
留する未硬化の液体型ｇ光性樹脂をウォッシュアウトす
るに際し、未硬化の該液体型感光性樹脂面の全幅にわた
って来硬化の該液体型感光性樹脂面の一端から他端まで
連続してウオツンユアウト液金吹き付けることを特徴と
する液体型感光性樹脂のウォッシュアウト方法に関する
ものである。
された液体型感光性樹脂に対し、カバーフィルム側から
の露光を行って該液体型感光性樹脂を所定の部分だけ硬
化せしめた後に、カバーフィルムを剥離して基材上に残
留する未硬化の液体型ｇ光性樹脂をウォッシュアウトす
るに際し、未硬化の該液体型感光性樹脂面の全幅にわた
って来硬化の該液体型感光性樹脂面の一端から他端まで
連続してウオツンユアウト液金吹き付けることを特徴と
する液体型感光性樹脂のウォッシュアウト方法に関する
ものである。
以下に、本発明方法全図面を用いて詳細に説明する。第
４図は本発明方法に使用するウォッシュアウト液噴出ノ
ズル装置の１例の構造を示す斜視図、第５図ハ同じくウ
ォッシュアウト液噴出ノズル装置の他の例としてスプレ
ーノズル列の１部葡示す側面図、第６図は平面状に保持
された積層硬化体にウォッシュアウト液噴出ノズル装置
全対向せしめた状態を示す図、第７図は円筒状に保持さ
れた積層硬化体にウオツンユアウト液噴出ノズル装置全
対向せしめた状態を示す図、第８図はウォッシュアウト
液の噴出方向を示す説明図、第９図は噴出するウォッシ
ュアウト液の積層硬化体に対する移動方向を示す図、第
１０図は本発明方法にニジウォッシュアウトしている状
態？示す図、第１１図は積層硬化体全鉛直に保持して１
往路のみウォッシュアウトしたときの未硬化樹脂が集す
る状態を示す図である。
４図は本発明方法に使用するウォッシュアウト液噴出ノ
ズル装置の１例の構造を示す斜視図、第５図ハ同じくウ
ォッシュアウト液噴出ノズル装置の他の例としてスプレ
ーノズル列の１部葡示す側面図、第６図は平面状に保持
された積層硬化体にウォッシュアウト液噴出ノズル装置
全対向せしめた状態を示す図、第７図は円筒状に保持さ
れた積層硬化体にウオツンユアウト液噴出ノズル装置全
対向せしめた状態を示す図、第８図はウォッシュアウト
液の噴出方向を示す説明図、第９図は噴出するウォッシ
ュアウト液の積層硬化体に対する移動方向を示す図、第
１０図は本発明方法にニジウォッシュアウトしている状
態？示す図、第１１図は積層硬化体全鉛直に保持して１
往路のみウォッシュアウトしたときの未硬化樹脂が集す
る状態を示す図である。
本発明方法においては、未硬化樹脂１′を積層硬化体６
からウォッシュアウトするに際して、積層硬化体乙の未
硬化樹脂１′の面に対してウォッシュアウト液の吹き付
けをその全面に向って同時に行うのではなく、１方向の
全幅にわたって比較的薄い厚さでウォッシュアウト液を
吹き付けるのである。そしテカくして形成されるウォッ
シュアウト液の腹膜（以下、ウォーターナイフというこ
とがあるｌＡｉ績層硬化体乙の未硬化樹脂１′面の一端
から他端まで連続して移動させるのである。
からウォッシュアウトするに際して、積層硬化体乙の未
硬化樹脂１′の面に対してウォッシュアウト液の吹き付
けをその全面に向って同時に行うのではなく、１方向の
全幅にわたって比較的薄い厚さでウォッシュアウト液を
吹き付けるのである。そしテカくして形成されるウォッ
シュアウト液の腹膜（以下、ウォーターナイフというこ
とがあるｌＡｉ績層硬化体乙の未硬化樹脂１′面の一端
から他端まで連続して移動させるのである。
このようなウォーターナイフＡｉ形成させるのに好適な
ウォッシュアウト液噴出ノズル装置１０の１例は第４図
に示すスリット型ノズル装置であり、ノズル取付管１０
ａに圧送されて来るウォッシュアウト族をノズル取付管
１０ａの長さ方向に設けられたス１ノット型ノズル１０
ｂから噴出させてクォーターナイフＡｆ形成する。ウォ
ッシュアウト液噴出ノズル装置１０の他の例は、第５図
の如くノズル取付管１０ａにスプレーノズル好ｔ シ＜
は扇形スプレーノズル７が密に１列に並べられたもので
あり、スリット型ノズル装置とほぼ同様の効果が得られ
る。
ウォッシュアウト液噴出ノズル装置１０の１例は第４図
に示すスリット型ノズル装置であり、ノズル取付管１０
ａに圧送されて来るウォッシュアウト族をノズル取付管
１０ａの長さ方向に設けられたス１ノット型ノズル１０
ｂから噴出させてクォーターナイフＡｆ形成する。ウォ
ッシュアウト液噴出ノズル装置１０の他の例は、第５図
の如くノズル取付管１０ａにスプレーノズル好ｔ シ＜
は扇形スプレーノズル７が密に１列に並べられたもので
あり、スリット型ノズル装置とほぼ同様の効果が得られ
る。
ウォッシュアウトｉ実施するに当り、積層硬化体６をウ
ォッシュアウト液噴出ノズル装［１１０（図ではスリッ
ト型ノズル装置様に画いであるが、他のウォッシュアウ
ト液噴出ノズル装置１０の場合であっても同様である。
ォッシュアウト液噴出ノズル装［１１０（図ではスリッ
ト型ノズル装置様に画いであるが、他のウォッシュアウ
ト液噴出ノズル装置１０の場合であっても同様である。
）に対向せしめて保持するＫに次の如き態様がある。そ
の１つは、第６図の如く積層硬化体６を平面状に保持す
る態様である。他のものは、第７図の如く、積層硬化イ
本６を円筒体１１に巻き付けて円筒状に保持し、ウォッ
シュアウト液噴出ノズル装置１０に円筒軸と平行に保持
して両者を対向せしめる態様である。これらの態様の場
合、例えば第９図に示すように、ウォッシュアウト液噴
出ノズル装置１０全積層硬化体乙に対向させた状態で積
層復化体乙の１端から他端にウォーターナイフＡｉ移動
させるには、両者全相対的に移動させればよく、通常、
ウォッシュアウト液噴出ノズル装置１０ヲ固定して積層
筈化体６全移動させるが、その逆であっても良い。
の１つは、第６図の如く積層硬化体６を平面状に保持す
る態様である。他のものは、第７図の如く、積層硬化イ
本６を円筒体１１に巻き付けて円筒状に保持し、ウォッ
シュアウト液噴出ノズル装置１０に円筒軸と平行に保持
して両者を対向せしめる態様である。これらの態様の場
合、例えば第９図に示すように、ウォッシュアウト液噴
出ノズル装置１０全積層硬化体乙に対向させた状態で積
層復化体乙の１端から他端にウォーターナイフＡｉ移動
させるには、両者全相対的に移動させればよく、通常、
ウォッシュアウト液噴出ノズル装置１０ヲ固定して積層
筈化体６全移動させるが、その逆であっても良い。
ウォッシュアウトを効果的に行うには、ウォッシュアウ
ト液噴出ノズル装置１０ヲ次のように調整するのが好ま
しい。ウォッシュアウト液噴出ノズル装置１０の噴出口
先端と積層硬化体乙の未ｌ化樹脂１′の面との距離ｔ５
０−−以下とする。また、未硬化樹脂１′が残留する積
層硬化体乙には、一般に第８図の如き凸部が多数形成さ
れているから、その凹凸状態に従ってウォッシュアウト
効果が最も高くなるように、ウォーターナイフＡが未硬
化樹脂１′面に衝突する角度、つ−ｔＶウォッシュアウ
ト液の噴出方向を設定する。通常、凹凸の高さの差が大
きい＠層碩イＬ体乙の場合には第８図に各矢印ｙ、 ＋
Ｙ２ 、Ｙ２’、Ｙ６．Ｙ、’で示す噴出方向のうち、
Ｙ２及びＹ２′の方向が最も好ましいがその他各種の凹
凸の高さの差やパターンに工ってそれぞれ最適な角度が
存在するのであり、通常積層硬化偉乙の表面とウォッシ
ュアウト液の噴射方向とのなす角は４５°〜９０°の範
囲の角度となる。従って、例えば、凹凸の高さの差が大
きい積層硬化体乙の場合にはウォッシュアウトａ噴出ノ
ズル装［１０の往路ではウォッシュアウト液を矢印Ｙ２
方向で噴出させ、更に帰路もウォッシュアウトさせる場
合には帰路では矢印Ｙ２′方向で噴出させるのが好まし
い。
ト液噴出ノズル装置１０ヲ次のように調整するのが好ま
しい。ウォッシュアウト液噴出ノズル装置１０の噴出口
先端と積層硬化体乙の未ｌ化樹脂１′の面との距離ｔ５
０−−以下とする。また、未硬化樹脂１′が残留する積
層硬化体乙には、一般に第８図の如き凸部が多数形成さ
れているから、その凹凸状態に従ってウォッシュアウト
効果が最も高くなるように、ウォーターナイフＡが未硬
化樹脂１′面に衝突する角度、つ−ｔＶウォッシュアウ
ト液の噴出方向を設定する。通常、凹凸の高さの差が大
きい＠層碩イＬ体乙の場合には第８図に各矢印ｙ、 ＋
Ｙ２ 、Ｙ２’、Ｙ６．Ｙ、’で示す噴出方向のうち、
Ｙ２及びＹ２′の方向が最も好ましいがその他各種の凹
凸の高さの差やパターンに工ってそれぞれ最適な角度が
存在するのであり、通常積層硬化偉乙の表面とウォッシ
ュアウト液の噴射方向とのなす角は４５°〜９０°の範
囲の角度となる。従って、例えば、凹凸の高さの差が大
きい積層硬化体乙の場合にはウォッシュアウトａ噴出ノ
ズル装［１０の往路ではウォッシュアウト液を矢印Ｙ２
方向で噴出させ、更に帰路もウォッシュアウトさせる場
合には帰路では矢印Ｙ２′方向で噴出させるのが好まし
い。
ウォッシュアウト時における積層碩化体乙の保持方向と
しては、第１図（）・）に示すように、積層体セント工
程（第１図（イ））、露光工程（第１図（ロ））におけ
る水平保持をその１ま維持しても良く、葦た一旦積層硬
化偉６を取り外して場所全移し、鉛直に保持しても（第
７図の場合は筒軸が鉛直となる）良い。
しては、第１図（）・）に示すように、積層体セント工
程（第１図（イ））、露光工程（第１図（ロ））におけ
る水平保持をその１ま維持しても良く、葦た一旦積層硬
化偉６を取り外して場所全移し、鉛直に保持しても（第
７図の場合は筒軸が鉛直となる）良い。
かくして、第１０図に示すように、ウォッシュアウト液
噴出ノズル装置１０からウォッシュアウト液を噴出させ
ながら矢印２方向に進行させることにエリ、ウォーター
ナイフＡが勢いよく積層硬化体６の米層化樹脂１′面に
衝突して未ｌ化樹脂１′全進行方向に押し進める。この
ウォーターナイフＡの作用を、積層硬化体６の未碩化徊
脂１′面の全幅にわたり且つ１端から他端１で行わしめ
ることにより、１回の往路だけのウォッシュアウトでも
大部分の未硬化樹脂１′？他端から離脱せしめることが
できる。第１１図は、積層硬化体６を鉛直に保持し、て
１回の往路のみのウォッシュアウトによって未硬化樹脂
１′の大部分を１ケ所に集めた状態を示している。
噴出ノズル装置１０からウォッシュアウト液を噴出させ
ながら矢印２方向に進行させることにエリ、ウォーター
ナイフＡが勢いよく積層硬化体６の米層化樹脂１′面に
衝突して未ｌ化樹脂１′全進行方向に押し進める。この
ウォーターナイフＡの作用を、積層硬化体６の未碩化徊
脂１′面の全幅にわたり且つ１端から他端１で行わしめ
ることにより、１回の往路だけのウォッシュアウトでも
大部分の未硬化樹脂１′？他端から離脱せしめることが
できる。第１１図は、積層硬化体６を鉛直に保持し、て
１回の往路のみのウォッシュアウトによって未硬化樹脂
１′の大部分を１ケ所に集めた状態を示している。
通常は若干のなお残留する未硬化樹脂１′ヲウオソシュ
アウトするため、ウォーターナイフＡは少なくとも１往
復させることが好ましいが、積層硬化体乙の凹凸の高さ
やパターンによっても往路のみでよい場合もある。
アウトするため、ウォーターナイフＡは少なくとも１往
復させることが好ましいが、積層硬化体乙の凹凸の高さ
やパターンによっても往路のみでよい場合もある。
本発明方法は上記の構成に裏って以下の如き効果を有す
る。第１に、ウォーターナイフＡｉ積層硬化体６に一端
から他端壕で連続して吹き付けるだけであるから、ウォ
ッシュアウト液の使用鼠が従来法の約Ａ程度の僅かな鼠
で済むことである。
る。第１に、ウォーターナイフＡｉ積層硬化体６に一端
から他端壕で連続して吹き付けるだけであるから、ウォ
ッシュアウト液の使用鼠が従来法の約Ａ程度の僅かな鼠
で済むことである。
第２に、非常に効率よくウオンンユアウトできることか
ら、ウォッシュアウト液圧は従来法の場合の約２／３で
良く、ポンプに無理がかからないことである。第６に、
ウォッシュアウト液の噴出角度を自由に変えることによ
って、ウオツンユアウト対象面の凹凸状態に応じてウォ
ッシュアウト効果全高めることができることである。第
４に、最初の１回の往路のみで大部分の未硬化樹脂１′
全１個所に集めることができるので、この集１った未ｌ
化樹脂１′ヲ取り除いてやることでウォッシュアラトメ
夜の寿命が長くなることである。第５に、ウオソンユア
ウ）Ｕ一時に広い面積にわたって行うのではないから、
コンパクトな容積のウォッシュアウト液噴出ノズル装置
１０ｆｔ使用することができ、従って作業が容易に行え
ることである。
ら、ウォッシュアウト液圧は従来法の場合の約２／３で
良く、ポンプに無理がかからないことである。第６に、
ウォッシュアウト液の噴出角度を自由に変えることによ
って、ウオツンユアウト対象面の凹凸状態に応じてウォ
ッシュアウト効果全高めることができることである。第
４に、最初の１回の往路のみで大部分の未硬化樹脂１′
全１個所に集めることができるので、この集１った未ｌ
化樹脂１′ヲ取り除いてやることでウォッシュアラトメ
夜の寿命が長くなることである。第５に、ウオソンユア
ウ）Ｕ一時に広い面積にわたって行うのではないから、
コンパクトな容積のウォッシュアウト液噴出ノズル装置
１０ｆｔ使用することができ、従って作業が容易に行え
ることである。
以上、本発明方法は、液体型感光性樹脂１を使用して基
材２上に所定形状の樹脂硬化体全形成させる工程におい
て、未硬化樹脂１′のウォッシュアラトラ高効率且つ容
易に実施させる方法であり、今後の当該技術分野の進展
に寄与する処の大きなものである。
材２上に所定形状の樹脂硬化体全形成させる工程におい
て、未硬化樹脂１′のウォッシュアラトラ高効率且つ容
易に実施させる方法であり、今後の当該技術分野の進展
に寄与する処の大きなものである。
第１図は（イ）積層体セット工程，（口〕露光工工
程，（ノ・）ウオノシュアウト工程，（二〕後露光程△
から成る感光樹脂硬化体製造工程概略図、第２図は従来
のウオツシュアウト方法全示す全体説明図、第６図（イ
）、（口〕は第２図の場合の１部におけるウォッシュア
ウト状態を説明する拡大側面説明図、第４図は本発明方
法に使用するウォッシュアウト液噴出ノズル装置の１例
の構造金示す斜視図、第５図は同じくウオツシュアウト
液噴出ノズノレ装置の他の例としてスプレーノズノレ列
の１部を示す側面図、第６図は平面状に保持された積層
硬化体にウォッシュアウト液噴出ノズル装置を対向せし
めた状態を示す図、第７図は円筒状に保持された積層硬
化体にウオツシュアウト液噴出ノズノレ装置全対向せし
めた状態金示す図、第８図はウォッシュアウト族の噴出
方向全示す説明図、第９図は噴出するウォッシュアウト
族の積層硬化体に対する移動方向を示す図、第１０図は
本発明方法に．Ｊ：ｖウオツシュアウトしている状態を
示す図、第１１図は積層硬化体を鉛直に保持して１往路
のみウォッシュアウトしたときの未硬化樹脂が集１る状
態ケ示す図である。 １・・液体型感光性樹脂 １′・・残留液体型感光性樹脂（未砿化樹脂ノ２・・基
材 ろ０−カバーフィルム ４・・ガラス板 ５・・ネガフィルム ６・・積層硬化体 ７・・ノズル ８・・水管 ９・・ウォッシュアウト液 １０・・ウォッシュアウトＰｌ−噴出／ スル装置１０
、・・ノズル取付管 １０ｂ・・スリット型ノズル １１ ・・円筒体 Ａ・・液膜（ウォーターナイフ） Ｘ・Ｘｌ・Ｘｌ・・矢印 Ｙｌ＋Ｙ２νＹ２’＋ＹＡ ＋ＹＭ’・・矢印Ｚ・・矢
印 第１図 （ハ） ８ ｘ 五 ム 駁。 ＼（ｌ ＼ＩＩ ｊｊ／ ■ ■ ■ 第２図 （ロ） 第４図 第５図 第６図 第１０ｒｌ！Ｊ 第１１ 図 ２９２
のウオツシュアウト方法全示す全体説明図、第６図（イ
）、（口〕は第２図の場合の１部におけるウォッシュア
ウト状態を説明する拡大側面説明図、第４図は本発明方
法に使用するウォッシュアウト液噴出ノズル装置の１例
の構造金示す斜視図、第５図は同じくウオツシュアウト
液噴出ノズノレ装置の他の例としてスプレーノズノレ列
の１部を示す側面図、第６図は平面状に保持された積層
硬化体にウォッシュアウト液噴出ノズル装置を対向せし
めた状態を示す図、第７図は円筒状に保持された積層硬
化体にウオツシュアウト液噴出ノズノレ装置全対向せし
めた状態金示す図、第８図はウォッシュアウト族の噴出
方向全示す説明図、第９図は噴出するウォッシュアウト
族の積層硬化体に対する移動方向を示す図、第１０図は
本発明方法に．Ｊ：ｖウオツシュアウトしている状態を
示す図、第１１図は積層硬化体を鉛直に保持して１往路
のみウォッシュアウトしたときの未硬化樹脂が集１る状
態ケ示す図である。 １・・液体型感光性樹脂 １′・・残留液体型感光性樹脂（未砿化樹脂ノ２・・基
材 ろ０−カバーフィルム ４・・ガラス板 ５・・ネガフィルム ６・・積層硬化体 ７・・ノズル ８・・水管 ９・・ウォッシュアウト液 １０・・ウォッシュアウトＰｌ−噴出／ スル装置１０
、・・ノズル取付管 １０ｂ・・スリット型ノズル １１ ・・円筒体 Ａ・・液膜（ウォーターナイフ） Ｘ・Ｘｌ・Ｘｌ・・矢印 Ｙｌ＋Ｙ２νＹ２’＋ＹＡ ＋ＹＭ’・・矢印Ｚ・・矢
印 第１図 （ハ） ８ ｘ 五 ム 駁。 ＼（ｌ ＼ＩＩ ｊｊ／ ■ ■ ■ 第２図 （ロ） 第４図 第５図 第６図 第１０ｒｌ！Ｊ 第１１ 図 ２９２
Claims (1)
- １ 基材（２）とカバーフィルム（６）との間に保持さ
れた液体型感光性樹脂（１）に対し、カバーフィルム（
ろ〕側からの露光を行って該液体型感光性樹脂（１］を
所定の部分だけ硬化せしめた後に、カバーフィルム（６
）を剥離して基材（２）上に残留する未硬化の液体型感
光性樹脂（１’）’にウォッシュアウトするに際し、未
硬化の該液体型感光性樹脂（１勺面の全幅にわたって未
硬化の該感光性樹脂（１勺面の一端から他端葦で連続し
てウォッシュアウト液を吹き付けることを特徴とする孜
体型感元性樹脂（１勺のウォッシュアウト方法。
Priority Applications (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP12749182A JPS5918946A (ja) | 1982-07-23 | 1982-07-23 | 液体型感光性樹脂のウオツシユアウト方法 |
Applications Claiming Priority (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP12749182A JPS5918946A (ja) | 1982-07-23 | 1982-07-23 | 液体型感光性樹脂のウオツシユアウト方法 |
Publications (1)
| Publication Number | Publication Date |
|---|---|
| JPS5918946A true JPS5918946A (ja) | 1984-01-31 |
Family
ID=14961265
Family Applications (1)
| Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
|---|---|---|---|
| JP12749182A Pending JPS5918946A (ja) | 1982-07-23 | 1982-07-23 | 液体型感光性樹脂のウオツシユアウト方法 |
Country Status (1)
| Country | Link |
|---|---|
| JP (1) | JPS5918946A (ja) |
Cited By (3)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| JPH03500935A (ja) * | 1988-05-31 | 1991-02-28 | ナップ・システムズ・（ユーエスエイ）・インコーポレーテッド | 印刷原板を処理するための装置及び方法 |
| JPH0350550A (ja) * | 1989-07-19 | 1991-03-05 | Sigma Gijutsu Kogyo Kk | 基板処理方法および基板処理装置 |
| JPH06202344A (ja) * | 1992-12-30 | 1994-07-22 | Chuo Riken:Kk | 現像装置 |
Citations (1)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| JPS5735318B2 (ja) * | 1976-06-14 | 1982-07-28 |
-
1982
- 1982-07-23 JP JP12749182A patent/JPS5918946A/ja active Pending
Patent Citations (1)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| JPS5735318B2 (ja) * | 1976-06-14 | 1982-07-28 |
Cited By (3)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| JPH03500935A (ja) * | 1988-05-31 | 1991-02-28 | ナップ・システムズ・（ユーエスエイ）・インコーポレーテッド | 印刷原板を処理するための装置及び方法 |
| JPH0350550A (ja) * | 1989-07-19 | 1991-03-05 | Sigma Gijutsu Kogyo Kk | 基板処理方法および基板処理装置 |
| JPH06202344A (ja) * | 1992-12-30 | 1994-07-22 | Chuo Riken:Kk | 現像装置 |
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