JPS59189689A - イオンレ−ザ装置 - Google Patents
イオンレ−ザ装置Info
- Publication number
- JPS59189689A JPS59189689A JP6476683A JP6476683A JPS59189689A JP S59189689 A JPS59189689 A JP S59189689A JP 6476683 A JP6476683 A JP 6476683A JP 6476683 A JP6476683 A JP 6476683A JP S59189689 A JPS59189689 A JP S59189689A
- Authority
- JP
- Japan
- Prior art keywords
- laser
- anode
- cathode
- tube
- laser tube
- Prior art date
- Legal status (The legal status is an assumption and is not a legal conclusion. Google has not performed a legal analysis and makes no representation as to the accuracy of the status listed.)
- Pending
Links
- 238000007599 discharging Methods 0.000 claims abstract 2
- LTPBRCUWZOMYOC-UHFFFAOYSA-N Beryllium oxide Chemical compound O=[Be] LTPBRCUWZOMYOC-UHFFFAOYSA-N 0.000 claims description 6
- 239000000919 ceramic Substances 0.000 claims description 3
- 238000010891 electric arc Methods 0.000 abstract description 11
- 150000002500 ions Chemical class 0.000 abstract description 11
- 239000012535 impurity Substances 0.000 abstract description 4
- 230000006866 deterioration Effects 0.000 abstract description 2
- 238000004519 manufacturing process Methods 0.000 abstract description 2
- 239000007789 gas Substances 0.000 description 9
- 208000028659 discharge Diseases 0.000 description 3
- 230000003287 optical effect Effects 0.000 description 3
- 238000010586 diagram Methods 0.000 description 2
- 230000010355 oscillation Effects 0.000 description 2
- 238000001069 Raman spectroscopy Methods 0.000 description 1
- 238000001816 cooling Methods 0.000 description 1
- 239000000498 cooling water Substances 0.000 description 1
- 239000004744 fabric Substances 0.000 description 1
- 230000017525 heat dissipation Effects 0.000 description 1
- 230000020169 heat generation Effects 0.000 description 1
- 238000001093 holography Methods 0.000 description 1
- 238000010147 laser engraving Methods 0.000 description 1
- 239000000463 material Substances 0.000 description 1
- 230000005855 radiation Effects 0.000 description 1
- 238000005979 thermal decomposition reaction Methods 0.000 description 1
- 230000007704 transition Effects 0.000 description 1
Classifications
-
- H—ELECTRICITY
- H01—ELECTRIC ELEMENTS
- H01S—DEVICES USING THE PROCESS OF LIGHT AMPLIFICATION BY STIMULATED EMISSION OF RADIATION [LASER] TO AMPLIFY OR GENERATE LIGHT; DEVICES USING STIMULATED EMISSION OF ELECTROMAGNETIC RADIATION IN WAVE RANGES OTHER THAN OPTICAL
- H01S3/00—Lasers, i.e. devices using stimulated emission of electromagnetic radiation in the infrared, visible or ultraviolet wave range
- H01S3/02—Constructional details
- H01S3/03—Constructional details of gas laser discharge tubes
- H01S3/032—Constructional details of gas laser discharge tubes for confinement of the discharge, e.g. by special features of the discharge constricting tube
- H01S3/0323—Constructional details of gas laser discharge tubes for confinement of the discharge, e.g. by special features of the discharge constricting tube by special features of the discharge constricting tube, e.g. capillary
Landscapes
- Physics & Mathematics (AREA)
- Electromagnetism (AREA)
- Engineering & Computer Science (AREA)
- Plasma & Fusion (AREA)
- Optics & Photonics (AREA)
- Lasers (AREA)
Abstract
(57)【要約】本公報は電子出願前の出願データであるた
め要約のデータは記録されません。
め要約のデータは記録されません。
Description
【発明の詳細な説明】
本発明は、ベリリアセラミック細管を有するイオンレー
ザ装置に関する。
ザ装置に関する。
従来この種のイオンレーザ装置は第1図に示すように、
レーザ電源10をレーザ管1のアノード7とカソード5
とにそれぞれ接続し、アノード7゜カソード5間で放電
し、出力ミラー3と全反射ミラー4とで構成される、光
共嶽器によりレーザ発振し、レーザ光12を出力する。
レーザ電源10をレーザ管1のアノード7とカソード5
とにそれぞれ接続し、アノード7゜カソード5間で放電
し、出力ミラー3と全反射ミラー4とで構成される、光
共嶽器によりレーザ発振し、レーザ光12を出力する。
イオンレーザは、イオン化された希ガスのエネルギレベ
ル間の遷移によってレーザ発振を行なわせるものでアシ
、可視域においてワット台の大出力連続発振が得られる
唯一のガスレーザなので、ラマン分光ホログラフィ、レ
ーザ製版など広く用いられている。しかし、希ガスのイ
オン化エネルギーが高いため、レーザ管内に数アンペア
におよぶ大電流アーク放電を行なわせる必要があシ、こ
のときレーザ細管では数KWに達する熱発生がある。し
たがって、イオンレーザの細管として−は、イオンの衝
撃に耐えることができ、熱分解しにくいベリリアセラミ
ック等をえらぶ必要がある。さらに数KWにおよぶ熱を
レーザ細管外部に放出させるため、管外部に冷却水を通
したシ、放熱フィン8を取り付け、ファン9によシ空冷
するなどし、冷却しているが長時間使用していると、細
管やレーザ管外囲器等から発生する不純ガス等により、
カソード5が劣化し、アノード7間のアーク放電を維持
できなくなり寿命となる。寸だ、レーザ管1内の布ガス
はカソード5とアノード7間のアーク放■、によりクリ
ーンアップされ減少することによってもアーク放電を維
持できなくなり寿命となる。
ル間の遷移によってレーザ発振を行なわせるものでアシ
、可視域においてワット台の大出力連続発振が得られる
唯一のガスレーザなので、ラマン分光ホログラフィ、レ
ーザ製版など広く用いられている。しかし、希ガスのイ
オン化エネルギーが高いため、レーザ管内に数アンペア
におよぶ大電流アーク放電を行なわせる必要があシ、こ
のときレーザ細管では数KWに達する熱発生がある。し
たがって、イオンレーザの細管として−は、イオンの衝
撃に耐えることができ、熱分解しにくいベリリアセラミ
ック等をえらぶ必要がある。さらに数KWにおよぶ熱を
レーザ細管外部に放出させるため、管外部に冷却水を通
したシ、放熱フィン8を取り付け、ファン9によシ空冷
するなどし、冷却しているが長時間使用していると、細
管やレーザ管外囲器等から発生する不純ガス等により、
カソード5が劣化し、アノード7間のアーク放電を維持
できなくなり寿命となる。寸だ、レーザ管1内の布ガス
はカソード5とアノード7間のアーク放■、によりクリ
ーンアップされ減少することによってもアーク放電を維
持できなくなり寿命となる。
本発明の目的は、前記欠点を除去し、長期間にわたって
レーザ出力の安定、長寿砧なイオンレーザ装置を提供す
ることにある。
レーザ出力の安定、長寿砧なイオンレーザ装置を提供す
ることにある。
以下第2図の一実施例について本発明の詳細な説明する
。
。
レーザ管1はアノード7とカソード5との間で放電し出
力ミラー3と全反射ミラー4とで構成される光共振器に
よシレーザ発振し、レーザ光12を出力する。レーザ管
1の製造工程(放電処理)で切換スイッチ11をa側に
接続することによシ。
力ミラー3と全反射ミラー4とで構成される光共振器に
よシレーザ発振し、レーザ光12を出力する。レーザ管
1の製造工程(放電処理)で切換スイッチ11をa側に
接続することによシ。
レーザ管1のアノード7′とカソード50間がアーク放
電し、レーザ管1のアノード7′とアノード7間のレー
ザ管1′の管壁は前記アーク放電によるイオンで加熱さ
れ、不純ガスが除去される。
電し、レーザ管1のアノード7′とアノード7間のレー
ザ管1′の管壁は前記アーク放電によるイオンで加熱さ
れ、不純ガスが除去される。
また、通常使用時には、切換スイッチ11をa側に接続
することによレアノード7とカソード5間がアーク放電
できる。よってレーザ管1′から発生する不純ガスはき
わめて少なく不純ガスによるカソード5の劣化も少なく
、アノード7とカソード5間アーク放電も約2倍にのび
る。また、レーザ管1だけでなくレーザ管1′が有るの
で希ガスの量も2倍になり、ガスクリーンアップに対し
ても2倍の寿命となり、総合的に4倍の寿命が達成でき
る。
することによレアノード7とカソード5間がアーク放電
できる。よってレーザ管1′から発生する不純ガスはき
わめて少なく不純ガスによるカソード5の劣化も少なく
、アノード7とカソード5間アーク放電も約2倍にのび
る。また、レーザ管1だけでなくレーザ管1′が有るの
で希ガスの量も2倍になり、ガスクリーンアップに対し
ても2倍の寿命となり、総合的に4倍の寿命が達成でき
る。
第1図は従来のイオンレーザ装置ヲ示すブロック図、第
2図は本発明のイオンレーザ装置を示すブロック図であ
る。 1.1′・・・・・・レーザ管、2.2’・・・・・・
光学窓、3・・・・・・出力ミラー、4・・・・・・全
反射ミラー、5・・・・・・カソード、6・・・・・・
細管、7.7’・・・・・・アノード、8・・・・・・
放熱フィン、9・・・・・・ファン、10・・・・・・
レーザ電源、11・・・・・・切換スイッチ、12・・
・・・・レーザ光0
2図は本発明のイオンレーザ装置を示すブロック図であ
る。 1.1′・・・・・・レーザ管、2.2’・・・・・・
光学窓、3・・・・・・出力ミラー、4・・・・・・全
反射ミラー、5・・・・・・カソード、6・・・・・・
細管、7.7’・・・・・・アノード、8・・・・・・
放熱フィン、9・・・・・・ファン、10・・・・・・
レーザ電源、11・・・・・・切換スイッチ、12・・
・・・・レーザ光0
Claims (1)
- アノードとカソード間にベリリアセラミック細管を有す
るイオンレーザ装置において、該アノードt−2個と、
該アノードとアノードとの間のガス留めを具備し、該ア
ノードとカソード間を放電させるためのレーザ電源と、
該2個のアノードに該レーザ電源を接続するための切換
スイッチを具備することを特徴とするイオンレーザ装置
。
Priority Applications (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP6476683A JPS59189689A (ja) | 1983-04-13 | 1983-04-13 | イオンレ−ザ装置 |
Applications Claiming Priority (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP6476683A JPS59189689A (ja) | 1983-04-13 | 1983-04-13 | イオンレ−ザ装置 |
Publications (1)
| Publication Number | Publication Date |
|---|---|
| JPS59189689A true JPS59189689A (ja) | 1984-10-27 |
Family
ID=13267638
Family Applications (1)
| Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
|---|---|---|---|
| JP6476683A Pending JPS59189689A (ja) | 1983-04-13 | 1983-04-13 | イオンレ−ザ装置 |
Country Status (1)
| Country | Link |
|---|---|
| JP (1) | JPS59189689A (ja) |
-
1983
- 1983-04-13 JP JP6476683A patent/JPS59189689A/ja active Pending
Similar Documents
| Publication | Publication Date | Title |
|---|---|---|
| RU2592065C2 (ru) | Однополостная двухэлектродная разрядная камера и эксимерный лазер | |
| JPS59189689A (ja) | イオンレ−ザ装置 | |
| JP2725493B2 (ja) | 空冷式アルゴンイオンレーザ管 | |
| US4912719A (en) | Ion laser tube | |
| US4905248A (en) | Metal vapor laser apparatus | |
| JPS58188179A (ja) | イオンレ−ザ装置 | |
| JPS58188176A (ja) | イオンレ−ザ装置 | |
| JPH0738476B2 (ja) | スラブ型固体レーザ発振器 | |
| US3483481A (en) | Radiation source for producing continuous coherent radiations | |
| JPS604281A (ja) | イオンレ−ザ装置 | |
| US3604968A (en) | High pressure discharge lamp of the cooled electrode type | |
| JPS59188986A (ja) | イオンレ−ザ装置 | |
| JPH02241074A (ja) | エキシマレーザ発生装置 | |
| JPS58123784A (ja) | イオンレ−ザ管 | |
| JPS633479A (ja) | イオンレ−ザ管 | |
| JPS6310598B2 (ja) | ||
| JPH10190094A (ja) | 固体レーザ装置の励起部 | |
| JPH05110163A (ja) | レ−ザ−管 | |
| JPS6348881A (ja) | ガスレ−ザ発振装置 | |
| KR870000046Y1 (ko) | 다색발진 고출력 기체레이져 발진기 | |
| JPS63211690A (ja) | 金属蒸気レ−ザ装置 | |
| JPS5918695Y2 (ja) | イオンレ−ザ管 | |
| KR100685868B1 (ko) | 레이저 장치 | |
| JPS5886784A (ja) | 封じ切り型ガスレ−ザ | |
| JPS59188987A (ja) | イオンレ−ザ装置 |