JPS59190335U - 多重イオン源 - Google Patents

多重イオン源

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Publication number
JPS59190335U
JPS59190335U JP8325983U JP8325983U JPS59190335U JP S59190335 U JPS59190335 U JP S59190335U JP 8325983 U JP8325983 U JP 8325983U JP 8325983 U JP8325983 U JP 8325983U JP S59190335 U JPS59190335 U JP S59190335U
Authority
JP
Japan
Prior art keywords
ion source
vacuum container
source vacuum
rotary table
reserve
Prior art date
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Pending
Application number
JP8325983U
Other languages
English (en)
Inventor
孝 皆藤
Original Assignee
セイコーインスツルメンツ株式会社
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Filing date
Publication date
Application filed by セイコーインスツルメンツ株式会社 filed Critical セイコーインスツルメンツ株式会社
Priority to JP8325983U priority Critical patent/JPS59190335U/ja
Publication of JPS59190335U publication Critical patent/JPS59190335U/ja
Pending legal-status Critical Current

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  • Physical Or Chemical Processes And Apparatus (AREA)
  • Electron Sources, Ion Sources (AREA)

Abstract

(57)【要約】本公報は電子出願前の出願データであるた
め要約のデータは記録されません。

Description

【図面の簡単な説明】
第１図は従来の多重イオン源の構造を示す。第２図ａは
本考案の好適実施例を示す。また第２図すは、第２図ａ
中のリザーバ部の詳細図である。 １・・・イオン源真空容器、２・・・開口部、３・・・
リザーバ部、４・・・回転台、５・・・駆動軸、６・・
・回転導入器、７・・・回転駆動部、８・・・カソード
電極、９・・・引出電極、１０・・・電極接続器、１４
・・・絶縁板、１５・・・液体金属、１６・・・管状リ
ザーバ、１７・・・エミックニードル。

Claims (1)

    【実用新案登録請求の範囲】
  1. 全体が箱形をなすイオン源真空容器内に回転駆動部によ
    り回転自在に保持された回転台と、この回転台の周縁部
    近傍に設けられた複数のリザーブ部と、前記イオン源真
    空容器の一端に設けられ前記各リザーブの１個と電気的
    に接続可能に設けられた電圧導入端子と、前記イオン源
    真空容器内に設けられ前記各リザーブ部の１個と対応す
    ることができる位置に配設されたカソード電極および引
    出電極とを備え、前記回転台の回転により任意のリザー
    ブ部を選択して複数種のイオン種を得ることができるよ
    うに構成した多重イオン源。
JP8325983U 1983-06-01 1983-06-01 多重イオン源 Pending JPS59190335U (ja)

Priority Applications (1)

Application Number Priority Date Filing Date Title
JP8325983U JPS59190335U (ja) 1983-06-01 1983-06-01 多重イオン源

Applications Claiming Priority (1)

Application Number Priority Date Filing Date Title
JP8325983U JPS59190335U (ja) 1983-06-01 1983-06-01 多重イオン源

Publications (1)

Publication Number Publication Date
JPS59190335U true JPS59190335U (ja) 1984-12-17

Family

ID=30213217

Family Applications (1)

Application Number Title Priority Date Filing Date
JP8325983U Pending JPS59190335U (ja) 1983-06-01 1983-06-01 多重イオン源

Country Status (1)

Country Link
JP (1) JPS59190335U (ja)

Cited By (1)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
JPS63276858A (ja) * 1987-03-13 1988-11-15 イアン・ジー・ブラウン イオンビーム発生装置

Cited By (1)

* Cited by examiner, † Cited by third party
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