JPS5919353A - 切削ポイント設定用微調回転治具 - Google Patents
切削ポイント設定用微調回転治具Info
- Publication number
- JPS5919353A JPS5919353A JP57127551A JP12755182A JPS5919353A JP S5919353 A JPS5919353 A JP S5919353A JP 57127551 A JP57127551 A JP 57127551A JP 12755182 A JP12755182 A JP 12755182A JP S5919353 A JPS5919353 A JP S5919353A
- Authority
- JP
- Japan
- Prior art keywords
- cutter
- fine adjustment
- cutting
- cutting point
- diamond cutter
- Prior art date
- Legal status (The legal status is an assumption and is not a legal conclusion. Google has not performed a legal analysis and makes no representation as to the accuracy of the status listed.)
- Pending
Links
Classifications
-
- H—ELECTRICITY
- H10—SEMICONDUCTOR DEVICES; ELECTRIC SOLID-STATE DEVICES NOT OTHERWISE PROVIDED FOR
- H10P—GENERIC PROCESSES OR APPARATUS FOR THE MANUFACTURE OR TREATMENT OF DEVICES COVERED BY CLASS H10
- H10P54/00—Cutting or separating of wafers, substrates or parts of devices
Landscapes
- Dicing (AREA)
Abstract
(57)【要約】本公報は電子出願前の出願データであるた
め要約のデータは記録されません。
め要約のデータは記録されません。
Description
【発明の詳細な説明】
本発明はダイヤモンドカッターの切削ポイント位置を設
定する切削ポイント設定用微調回転治具に関する。
定する切削ポイント設定用微調回転治具に関する。
半導体装置の製造工程の一つに半導体薄板（つ工−ハ）
を縦横に分断してベレットとする工程がある。ウェーハ
の分断に先立ってウェーハ表面に縦横に切削溝な設ける
必要があるが、このウェーハの切削方法としてスクライ
バ−装置な用いダイヤモンドカッターで切削する方法が
ある。このダイヤモンドカッターには切削に一番適した
点（切削ポイント）があり、ウェーハ切削の際は、切削
ポイン）ｋ合わせて作業な行なう。切削ポイント設定の
手順としては、■ダイヤモンドカッターをスクライバ−
装置に取付ける。■ダイヤモンドカッター取付角度及び
切込み深さを決める。■ウェーハを試し切りし、その切
削状態でカッターポイントを判断する。この様な手順の
後前記■の試し切りでウェーハの切削状態が悪い場合（
切削ポイントが合っていない状態）は、カッターな微調
回転して再び試し切りを行なうとともに切削状態判定を
行なう。このような操作の繰返しによってカッタ円周３
６０のいずれかにある切削ポイントを捜し出して切削ポ
イント設定な行なう。
を縦横に分断してベレットとする工程がある。ウェーハ
の分断に先立ってウェーハ表面に縦横に切削溝な設ける
必要があるが、このウェーハの切削方法としてスクライ
バ−装置な用いダイヤモンドカッターで切削する方法が
ある。このダイヤモンドカッターには切削に一番適した
点（切削ポイント）があり、ウェーハ切削の際は、切削
ポイン）ｋ合わせて作業な行なう。切削ポイント設定の
手順としては、■ダイヤモンドカッターをスクライバ−
装置に取付ける。■ダイヤモンドカッター取付角度及び
切込み深さを決める。■ウェーハを試し切りし、その切
削状態でカッターポイントを判断する。この様な手順の
後前記■の試し切りでウェーハの切削状態が悪い場合（
切削ポイントが合っていない状態）は、カッターな微調
回転して再び試し切りを行なうとともに切削状態判定を
行なう。このような操作の繰返しによってカッタ円周３
６０のいずれかにある切削ポイントを捜し出して切削ポ
イント設定な行なう。
しかし、この方法では、微調回転の際カッター取付ネジ
なゆるめて行なう行なう為、前記手順■で設定した角度
及び切込み深さが狂い、これを更に合わせようとすると
回転方向の位置が、前回合わせた位置からどの程度回転
させたか不明となり、ポイント設定が困難となる。
なゆるめて行なう行なう為、前記手順■で設定した角度
及び切込み深さが狂い、これを更に合わせようとすると
回転方向の位置が、前回合わせた位置からどの程度回転
させたか不明となり、ポイント設定が困難となる。
したがって、本発明の目的はダイヤモンドカッターなス
クライバ−装置に固定する際、カッターの取付高さおよ
び取付角度を一定に維持した状態でカッターの微調回転
の行なえる切削ポイント設定用微調回転治具な提供する
ことにある。
クライバ−装置に固定する際、カッターの取付高さおよ
び取付角度を一定に維持した状態でカッターの微調回転
の行なえる切削ポイント設定用微調回転治具な提供する
ことにある。
この様な目的を達成するために本発明はダイヤモンドカ
ッターに切削ポイント設定用微調回転治具な取付けてお
くことにより前記状態でのダイヤモンドカッター微調回
転な可能とした。以下実施例により本発明を説明する。
ッターに切削ポイント設定用微調回転治具な取付けてお
くことにより前記状態でのダイヤモンドカッター微調回
転な可能とした。以下実施例により本発明を説明する。
第１図は本発明の一実施例による切削ポイント設定用微
調回転治具（微調回転治具）を示す断面図、第２図は同
じく側面図、第３図は微調回転治具な取り付けたダイヤ
モンドカッターをスクライバ−装置に取付けた状態を示
す要部の正面図である。微調回転治具ｌは第１図及び第
２図に示すように、ダイヤモンドカッターな挿入するた
めの挿入穴２を中央部に有する筒状の本体３からなると
ともに、外周面から挿入穴２に達するねじ孔に微調回転
治具固定ネジ４な螺装している。また、本体３の一端に
は微調回転治具ｌの微調回転操作な容易にするために１
対の突起部５が設けられている。
調回転治具（微調回転治具）を示す断面図、第２図は同
じく側面図、第３図は微調回転治具な取り付けたダイヤ
モンドカッターをスクライバ−装置に取付けた状態を示
す要部の正面図である。微調回転治具ｌは第１図及び第
２図に示すように、ダイヤモンドカッターな挿入するた
めの挿入穴２を中央部に有する筒状の本体３からなると
ともに、外周面から挿入穴２に達するねじ孔に微調回転
治具固定ネジ４な螺装している。また、本体３の一端に
は微調回転治具ｌの微調回転操作な容易にするために１
対の突起部５が設けられている。
つぎに、切削ポイントの設定について説明する。
先ず第３図で示すようにダイヤモンドカッター６なスク
ライバ−装置のアーム７の先端部に取付はダイヤモンド
カッター先端部８とウェーノーステージ９との高さく切
込み深さ）な決め、ダイヤモンドカッター６なダイヤモ
ンドカッター固定ネジｌＯで仮固定（手動で回動できる
程度の締付け）する。
ライバ−装置のアーム７の先端部に取付はダイヤモンド
カッター先端部８とウェーノーステージ９との高さく切
込み深さ）な決め、ダイヤモンドカッター６なダイヤモ
ンドカッター固定ネジｌＯで仮固定（手動で回動できる
程度の締付け）する。
次に微調回転治具ｌをアーム７の上面に接触する迄ダイ
ヤモンドカッター６の上部に挿入し微調回転治具固定ネ
ジ４でダイヤモンドカッター６に固定する。次に、ウェ
ーハステージ９上のウェーハｌ盛をためし切りし、切削
状態な判断し、悪ければ突起部５な相み、ダイヤモンド
カッター６を微調回転させ、更にためし切りと言う動作
なくり返して行ないダイヤモンドカッター６の円周部分
にあるはずの切削ポインドナ探し、切削ポイントが決ま
ったら、ダイヤモンドカッタ固定ネジｌＯをしっかりと
締付てダイヤモンドカッター６が動かないようにする。
ヤモンドカッター６の上部に挿入し微調回転治具固定ネ
ジ４でダイヤモンドカッター６に固定する。次に、ウェ
ーハステージ９上のウェーハｌ盛をためし切りし、切削
状態な判断し、悪ければ突起部５な相み、ダイヤモンド
カッター６を微調回転させ、更にためし切りと言う動作
なくり返して行ないダイヤモンドカッター６の円周部分
にあるはずの切削ポインドナ探し、切削ポイントが決ま
ったら、ダイヤモンドカッタ固定ネジｌＯをしっかりと
締付てダイヤモンドカッター６が動かないようにする。
なお、前記突起部５は微調回動時の回動量の目安ともな
る。このような実施例によれば、これまでダイヤモンド
カッター６を微調回転するために固定ネジをゆるめて行
こなっていたものが、仮固定の状態で出来るようになり
、ダイヤモンドカッター６の取付角度および取付高さく
切込深さ）が一定に維持できることから切削ポイントの
設定が短時間で適確に出来るため、ペレタイズ工程の歩
留向上が図れる。尚、本発明は前記実施例に限定されな
い。
る。このような実施例によれば、これまでダイヤモンド
カッター６を微調回転するために固定ネジをゆるめて行
こなっていたものが、仮固定の状態で出来るようになり
、ダイヤモンドカッター６の取付角度および取付高さく
切込深さ）が一定に維持できることから切削ポイントの
設定が短時間で適確に出来るため、ペレタイズ工程の歩
留向上が図れる。尚、本発明は前記実施例に限定されな
い。
第１図は本発明の一実施例による切削ポイント設定用微
調回転治具の断面図、 第２図は同じ（切削ポイント設定用微調回転治具の側面
図、 第３図は同じ（切削ポイント設定用微調回転治具なスク
ライバ−装置に取付けた要部を示す正面図である。 ■・・・微調回転治具、４・・・微調回転治具固定ネジ
、５・・・突起部、６・・・ダイヤモンドカッター、７
・・・アーム、８・・・ダイヤモンドカッター先端部、
９−ウェーハステージ、１０・・・ダイヤモンドカッタ
ー固定ネジ、１１・・・ウエーノＳ。
調回転治具の断面図、 第２図は同じ（切削ポイント設定用微調回転治具の側面
図、 第３図は同じ（切削ポイント設定用微調回転治具なスク
ライバ−装置に取付けた要部を示す正面図である。 ■・・・微調回転治具、４・・・微調回転治具固定ネジ
、５・・・突起部、６・・・ダイヤモンドカッター、７
・・・アーム、８・・・ダイヤモンドカッター先端部、
９−ウェーハステージ、１０・・・ダイヤモンドカッタ
ー固定ネジ、１１・・・ウエーノＳ。
Claims (1)
- １、スクライバ−装置のアームに固定ネジを介して取り
付けられるダイヤモンドカッターにおける切削ポイント
設定用微調回転治具であって、この治具は前記アームの
上面に突出するダイヤモンドカッタ一部分に挿入固定さ
れるとともに、アームの上面に当接する筒状本体からな
っていて、ダイヤモンドカッターの取付角度および切込
深さを一定に維持するように構成されていることを特徴
とする切削ポイント設定用微調回転治具。
Priority Applications (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP57127551A JPS5919353A (ja) | 1982-07-23 | 1982-07-23 | 切削ポイント設定用微調回転治具 |
Applications Claiming Priority (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP57127551A JPS5919353A (ja) | 1982-07-23 | 1982-07-23 | 切削ポイント設定用微調回転治具 |
Publications (1)
| Publication Number | Publication Date |
|---|---|
| JPS5919353A true JPS5919353A (ja) | 1984-01-31 |
Family
ID=14962799
Family Applications (1)
| Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
|---|---|---|---|
| JP57127551A Pending JPS5919353A (ja) | 1982-07-23 | 1982-07-23 | 切削ポイント設定用微調回転治具 |
Country Status (1)
| Country | Link |
|---|---|
| JP (1) | JPS5919353A (ja) |
Cited By (4)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| JPS62109093A (ja) * | 1985-11-07 | 1987-05-20 | 松下電器産業株式会社 | 波形合成装置 |
| JPH01289994A (ja) * | 1988-05-17 | 1989-11-21 | Casio Comput Co Ltd | 電子楽器 |
| US5212334A (en) * | 1986-05-02 | 1993-05-18 | Yamaha Corporation | Digital signal processing using closed waveguide networks |
| US5256830A (en) * | 1989-09-11 | 1993-10-26 | Yamaha Corporation | Musical tone synthesizing apparatus |
-
1982
- 1982-07-23 JP JP57127551A patent/JPS5919353A/ja active Pending
Cited By (5)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| JPS62109093A (ja) * | 1985-11-07 | 1987-05-20 | 松下電器産業株式会社 | 波形合成装置 |
| US5212334A (en) * | 1986-05-02 | 1993-05-18 | Yamaha Corporation | Digital signal processing using closed waveguide networks |
| US5448010A (en) * | 1986-05-02 | 1995-09-05 | The Board Of Trustees Of The Leland Stanford Junior University | Digital signal processing using closed waveguide networks |
| JPH01289994A (ja) * | 1988-05-17 | 1989-11-21 | Casio Comput Co Ltd | 電子楽器 |
| US5256830A (en) * | 1989-09-11 | 1993-10-26 | Yamaha Corporation | Musical tone synthesizing apparatus |
Similar Documents
| Publication | Publication Date | Title |
|---|---|---|
| US5913719A (en) | Workpiece holding mechanism | |
| ATE341097T1 (de) | Halter für eine substratkassette und vorrichtung ausgerüstet mit diesem halter | |
| JP7106298B2 (ja) | チャックテーブル、切削装置、及び、切削装置のチャックテーブル修正方法 | |
| JPH04269142A (ja) | 旋削加工物のクランピング装置 | |
| US5289661A (en) | Notch beveling on semiconductor wafer edges | |
| CN210213938U (zh) | 翻转治具、翻转装置和电池组装线 | |
| JPS5919353A (ja) | 切削ポイント設定用微調回転治具 | |
| JPH08339977A (ja) | フランジ端面修正治具 | |
| KR890008921A (ko) | 얇은 웨이퍼 처리 및 제조용 장치 및 방법 | |
| JPS60141445A (ja) | 紡糸口金の加工用位置決め治具 | |
| US3777605A (en) | Vee-notching device | |
| US4682396A (en) | Centering/positioning apparatus for wafer and vacuum chuck | |
| ES466504A1 (es) | Procedimiento con su dispositivo correspondiente para la perforacion de piezas. | |
| JPH0697213A (ja) | 工具の取付構造 | |
| CN222552812U (zh) | 一种快速寻边与定位细孔放电零件的装置 | |
| JP3337574B2 (ja) | ワイヤボンディング装置における放電用トーチ電極体の位置決め方法 | |
| CN211122278U (zh) | 一种新型电子万能试验机 | |
| CN216656462U (zh) | 一种用于斜孔加工的钻模工装 | |
| CN220388722U (zh) | 一种带增高装置的夹具 | |
| CN219903179U (zh) | 色带盒治具 | |
| JPH04354620A (ja) | ワイヤ放電加工機用チャックの形成方法及びそれに使用するチャック用ブロック | |
| JPS6258842B2 (ja) | ||
| JPS60119709A (ja) | 円形半導体ウエハ− | |
| JP3067550B2 (ja) | ワイヤボンディング装置およびワイヤボンディング方法 | |
| JPS5826726Y2 (ja) | 中ぐり盤におけるバイト位置微調節装置 |