JPS5920656U - ガスレ−ザ装置 - Google Patents
ガスレ−ザ装置Info
- Publication number
- JPS5920656U JPS5920656U JP11492982U JP11492982U JPS5920656U JP S5920656 U JPS5920656 U JP S5920656U JP 11492982 U JP11492982 U JP 11492982U JP 11492982 U JP11492982 U JP 11492982U JP S5920656 U JPS5920656 U JP S5920656U
- Authority
- JP
- Japan
- Prior art keywords
- gas laser
- gas
- discharge section
- laser equipment
- laser medium
- Prior art date
- Legal status (The legal status is an assumption and is not a legal conclusion. Google has not performed a legal analysis and makes no representation as to the accuracy of the status listed.)
- Granted
Links
- 238000011144 upstream manufacturing Methods 0.000 claims 1
- 238000010586 diagram Methods 0.000 description 1
Landscapes
- Lasers (AREA)
Abstract
(57)【要約】本公報は電子出願前の出願データであるた
め要約のデータは記録されません。
め要約のデータは記録されません。
Description
図面は本考案の一実施例を示し、第１図は装置全体の構
成図、第２図は放電部の横断面図である。 １・・・装置本体、２・・・放電部、３・・・熱交換器
、４・・・送風機、８・・・センサ、９・・・ヒータ、
１ｏ・・・制御装置。
成図、第２図は放電部の横断面図である。 １・・・装置本体、２・・・放電部、３・・・熱交換器
、４・・・送風機、８・・・センサ、９・・・ヒータ、
１ｏ・・・制御装置。
Claims (1)
- 装置本体内に放電部、熱交換器および送風機が設けられ
、この送風機によってレーザ媒質ガスを高速循環させる
ガスレーザ装置において、上記放電部の上流側に、この
放電部に流入するレーザ媒質ガスを加熱するヒータおよ
びレーザ媒質ガスの・温度を検知して上記ヒータを制御
するセンサとを配置したことを特徴とするガスレーザ装
置。
Priority Applications (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP11492982U JPS6022634Y2 (ja) | 1982-07-30 | 1982-07-30 | ガスレ−ザ装置 |
Applications Claiming Priority (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP11492982U JPS6022634Y2 (ja) | 1982-07-30 | 1982-07-30 | ガスレ−ザ装置 |
Publications (2)
| Publication Number | Publication Date |
|---|---|
| JPS5920656U true JPS5920656U (ja) | 1984-02-08 |
| JPS6022634Y2 JPS6022634Y2 (ja) | 1985-07-05 |
Family
ID=30265478
Family Applications (1)
| Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
|---|---|---|---|
| JP11492982U Expired JPS6022634Y2 (ja) | 1982-07-30 | 1982-07-30 | ガスレ−ザ装置 |
Country Status (1)
| Country | Link |
|---|---|
| JP (1) | JPS6022634Y2 (ja) |
Cited By (1)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| JPH03227080A (ja) * | 1990-01-31 | 1991-10-08 | Shimadzu Corp | エキシマレーザ装置 |
-
1982
- 1982-07-30 JP JP11492982U patent/JPS6022634Y2/ja not_active Expired
Cited By (1)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| JPH03227080A (ja) * | 1990-01-31 | 1991-10-08 | Shimadzu Corp | エキシマレーザ装置 |
Also Published As
| Publication number | Publication date |
|---|---|
| JPS6022634Y2 (ja) | 1985-07-05 |
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