JPS59215778A - セラミツク圧電素体及びその製造方法 - Google Patents
セラミツク圧電素体及びその製造方法Info
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- JPS59215778A JPS59215778A JP58091092A JP9109283A JPS59215778A JP S59215778 A JPS59215778 A JP S59215778A JP 58091092 A JP58091092 A JP 58091092A JP 9109283 A JP9109283 A JP 9109283A JP S59215778 A JPS59215778 A JP S59215778A
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- Pending
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Landscapes
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Abstract
(57)【要約】本公報は電子出願前の出願データであるた
め要約のデータは記録されません。
め要約のデータは記録されません。
Description
【発明の詳細な説明】
技術分野
本発明は、セラミック圧電素体及びその製造方法に関す
るものである。
るものである。
背景技術
従来、セラミック圧電素体は適当な金属酸化物粉末を粉
末冶金的に成形後焼成することにより片状に製造されて
いるのが通常である。然し゛、この冶金的方法では素体
の厚みを薄くするに限界があるばかりでなく、片状で一
度に大面積のものに形成できないため量産性も劣るもの
である。
末冶金的に成形後焼成することにより片状に製造されて
いるのが通常である。然し゛、この冶金的方法では素体
の厚みを薄くするに限界があるばかりでなく、片状で一
度に大面積のものに形成できないため量産性も劣るもの
である。
発明の開示
本発明は、薄くて特性のよいセラミック圧電素体を能率
的に製造し得るセラミック圧電素体及びその製造方法を
提供すること、を目的とする。
的に製造し得るセラミック圧電素体及びその製造方法を
提供すること、を目的とする。
即ち１本発明に係るセラミック圧電素体においては粒径
２ル〜５ＩＬのセラミック圧電微粉末材料をフッ素系高
分子樹脂と混合した高分子圧電樹脂液で薄膜状に成形し
たものであり、セラミック微粉末をフッ素系の高分子樹
脂液中に分散し、その高分子圧電樹脂液を加圧成形する
ことにより薄膜状に形成するようにされている。
２ル〜５ＩＬのセラミック圧電微粉末材料をフッ素系高
分子樹脂と混合した高分子圧電樹脂液で薄膜状に成形し
たものであり、セラミック微粉末をフッ素系の高分子樹
脂液中に分散し、その高分子圧電樹脂液を加圧成形する
ことにより薄膜状に形成するようにされている。
以下、これを詳細に説明すれば、次の通りである。
蕊で用いるセラミック圧電材料としては三成分系ジルコ
ン・チタン酸鉛系のものがあり、それを粒径２ル〜５Ｊ
Ｌ程度の微粉末のままで使用する。
ン・チタン酸鉛系のものがあり、それを粒径２ル〜５Ｊ
Ｌ程度の微粉末のままで使用する。
また、フッ素系の樹脂材料、としてはポリテトラフルオ
ロチレン、ポリクロロトリフルオロエチレン、フッ化ビ
ニル、三フフ化エチレン、フッ化ビニリデン、六フッ化
プロピレンなどがある。このフッ素系の樹脂材料は、セ
ラミック圧電材料に比して圧電性能が劣るものの、熱可
塑性を示さずに高温でも安定的でありしかも電気的性質
に優れている。そのフッ素系樹脂液に対しては、微粉末
状のセラミック圧電材料を混合分散する。その混合比は
、セラミック微粉末：フッ素系樹脂液＝７５：２５（体
積比）が好ましく、セラミック微粉末を混合後よく撹拌
してフッ素系樹脂液中に均一に分散するようにしなけれ
ばならない。このセラミック微粉末を分散した樹脂液は
圧延、押出、射出成形により薄膜状に形成でき、特に押
出成形後圧延成形を適用するとフィルム厚み１５０ｐＨ
ｌ程度に成形することができる。その圧電樹脂フィルム
は連続したシート状に成形して後、各種用途に応じた所
望の大きさに裁断して用いるようにすることができる。
ロチレン、ポリクロロトリフルオロエチレン、フッ化ビ
ニル、三フフ化エチレン、フッ化ビニリデン、六フッ化
プロピレンなどがある。このフッ素系の樹脂材料は、セ
ラミック圧電材料に比して圧電性能が劣るものの、熱可
塑性を示さずに高温でも安定的でありしかも電気的性質
に優れている。そのフッ素系樹脂液に対しては、微粉末
状のセラミック圧電材料を混合分散する。その混合比は
、セラミック微粉末：フッ素系樹脂液＝７５：２５（体
積比）が好ましく、セラミック微粉末を混合後よく撹拌
してフッ素系樹脂液中に均一に分散するようにしなけれ
ばならない。このセラミック微粉末を分散した樹脂液は
圧延、押出、射出成形により薄膜状に形成でき、特に押
出成形後圧延成形を適用するとフィルム厚み１５０ｐＨ
ｌ程度に成形することができる。その圧電樹脂フィルム
は連続したシート状に成形して後、各種用途に応じた所
望の大きさに裁断して用いるようにすることができる。
実施例
セラミック圧電材料としてＰＺＴ粉末を用い、またフッ
素系樹脂液としてポリクロロトリフルオロエチレンを用
いて、これらを７５ ： ２５ （体積比）で混合しよ
く撹拌した。これを押出圧延機でフィルム状に成形した
ところ、そのフィルム厚みを１５０ｐＬｍにできた。
素系樹脂液としてポリクロロトリフルオロエチレンを用
いて、これらを７５ ： ２５ （体積比）で混合しよ
く撹拌した。これを押出圧延機でフィルム状に成形した
ところ、そのフィルム厚みを１５０ｐＬｍにできた。
このフィルムを電子ブザー用ユニモルフ振動子に適用し
た。その圧電特性は優れたものであって、特に良好なた
わみ振動を示すものにできた。
た。その圧電特性は優れたものであって、特に良好なた
わみ振動を示すものにできた。
発明の効果
このように、本発明に依れば、極めて薄い圧電素体を形
成できて良好なたわみ振動特性を示すものにでき、また
連続したフィルム状に形成するため生産性を向上して量
産化に十分対処し得るようになる。
成できて良好なたわみ振動特性を示すものにでき、また
連続したフィルム状に形成するため生産性を向上して量
産化に十分対処し得るようになる。
Claims (2)
- （１）粒径２ｐ〜５色のセラミック圧電微粉末材料をフ
ッ素系高分子樹脂と混合した高分子圧電樹脂液で薄膜状
に形成したことを特徴とするセラミック圧電素体。 - （２）セラミック圧電材料の微粉末をフッ素系の高分子
樹脂液中に分散し、その高分子圧電樹脂液を薄膜状に加
圧成形するようにしたことを特徴とするセラミック圧電
素体の製・遣方法。
Priority Applications (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP58091092A JPS59215778A (ja) | 1983-05-24 | 1983-05-24 | セラミツク圧電素体及びその製造方法 |
Applications Claiming Priority (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP58091092A JPS59215778A (ja) | 1983-05-24 | 1983-05-24 | セラミツク圧電素体及びその製造方法 |
Publications (1)
| Publication Number | Publication Date |
|---|---|
| JPS59215778A true JPS59215778A (ja) | 1984-12-05 |
Family
ID=14016875
Family Applications (1)
| Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
|---|---|---|---|
| JP58091092A Pending JPS59215778A (ja) | 1983-05-24 | 1983-05-24 | セラミツク圧電素体及びその製造方法 |
Country Status (1)
| Country | Link |
|---|---|
| JP (1) | JPS59215778A (ja) |
Cited By (2)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| JPS61295678A (ja) * | 1985-06-25 | 1986-12-26 | Japan Gore Tex Inc | 圧電性フイルムの製造法 |
| US5650810A (en) * | 1992-12-03 | 1997-07-22 | Brother Kogyo Kabushiki Kaisha | Ink jet print head having a manifold wall portion and method of producing the same by injection molding |
-
1983
- 1983-05-24 JP JP58091092A patent/JPS59215778A/ja active Pending
Cited By (2)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| JPS61295678A (ja) * | 1985-06-25 | 1986-12-26 | Japan Gore Tex Inc | 圧電性フイルムの製造法 |
| US5650810A (en) * | 1992-12-03 | 1997-07-22 | Brother Kogyo Kabushiki Kaisha | Ink jet print head having a manifold wall portion and method of producing the same by injection molding |
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