JPS59219009A - 水晶振動子の製造方法 - Google Patents
水晶振動子の製造方法Info
- Publication number
- JPS59219009A JPS59219009A JP9352383A JP9352383A JPS59219009A JP S59219009 A JPS59219009 A JP S59219009A JP 9352383 A JP9352383 A JP 9352383A JP 9352383 A JP9352383 A JP 9352383A JP S59219009 A JPS59219009 A JP S59219009A
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- JP
- Japan
- Prior art keywords
- crystal
- electrode
- electrodes
- thickness
- gold film
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- Pending
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Classifications
-
- H—ELECTRICITY
- H03—ELECTRONIC CIRCUITRY
- H03H—IMPEDANCE NETWORKS, e.g. RESONANT CIRCUITS; RESONATORS
- H03H3/00—Apparatus or processes specially adapted for the manufacture of impedance networks, resonating circuits, resonators
- H03H3/007—Apparatus or processes specially adapted for the manufacture of impedance networks, resonating circuits, resonators for the manufacture of electromechanical resonators or networks
- H03H3/02—Apparatus or processes specially adapted for the manufacture of impedance networks, resonating circuits, resonators for the manufacture of electromechanical resonators or networks for the manufacture of piezoelectric or electrostrictive resonators or networks
Landscapes
- Engineering & Computer Science (AREA)
- Manufacturing & Machinery (AREA)
- Piezo-Electric Or Mechanical Vibrators, Or Delay Or Filter Circuits (AREA)
Abstract
(57)【要約】本公報は電子出願前の出願データであるた
め要約のデータは記録されません。
め要約のデータは記録されません。
Description
【発明の詳細な説明】
（ａ）発明の技術分野
本発明は厚みすべり水晶振動子の製造方法に関する。
（ｂ）技術の背景
水晶の薄板状の素片に適当な電極を配設した水晶振動子
は、周波数エージング特性が良好でかつ周波数温度特性
の優れた水晶振発振器が得られるので各種装置のクロッ
ク発生器などとして広く使用されている。
は、周波数エージング特性が良好でかつ周波数温度特性
の優れた水晶振発振器が得られるので各種装置のクロッ
ク発生器などとして広く使用されている。
また一方近年は半導体部品をはじめ各種の部品の小型化
が要求されており、水晶の素材をＡ′Ｆ方位面にてカッ
トした水晶片より製造した厚みすべり水晶振動子は、水
晶片の中央部を中高にすることにより振動エネルギーを
中央部に閉し込めることが出来、水晶振動子を小型にす
ることが出来るので厚みすべり水晶振動子は中高にして
、この要求に対処している。
が要求されており、水晶の素材をＡ′Ｆ方位面にてカッ
トした水晶片より製造した厚みすべり水晶振動子は、水
晶片の中央部を中高にすることにより振動エネルギーを
中央部に閉し込めることが出来、水晶振動子を小型にす
ることが出来るので厚みすべり水晶振動子は中高にして
、この要求に対処している。
（Ｃ）従来技術と問題点
第１図の（イ） （ロ）（ハ）はそれぞれ従来の厚みす
べり水晶振動子の側面図である。
べり水晶振動子の側面図である。
同図の（イ）は平行平面板状の水晶片１０表面と裏面の
中央部に円形の金膜またはｔＪ！膜を蒸着して電極２を
形成し、それぞれの電極２には反対方向にリード電極３
を蒸着形成して接続しである。
中央部に円形の金膜またはｔＪ！膜を蒸着して電極２を
形成し、それぞれの電極２には反対方向にリード電極３
を蒸着形成して接続しである。
（ロ）のものの水晶片４は平行平面板状の水晶片の縁部
を面取りして、縁部の全周の板厚を薄（してベベル形と
なし、水晶片４の表面と裏面の中央部に円形の電極２を
形成し、それぞれの電極２には反対方向にリード電極３
を蒸着形成して接続しである。
を面取りして、縁部の全周の板厚を薄（してベベル形と
なし、水晶片４の表面と裏面の中央部に円形の電極２を
形成し、それぞれの電極２には反対方向にリード電極３
を蒸着形成して接続しである。
（ハ）においては水晶片５の一万の面を中高としてコン
ベックス形となし、水晶片５の表面と裏面の中央部に円
形の電極２を形成し、それぞれの電極２には反対方向に
リード電極３を蒸着形成して接続しである。
ベックス形となし、水晶片５の表面と裏面の中央部に円
形の電極２を形成し、それぞれの電極２には反対方向に
リード電極３を蒸着形成して接続しである。
しかしくイ）のものは水晶片１は大きい平板状の素材よ
り容易に切断して製造出来ると言う利点はあるが水晶片
が中高でないので、水晶振動子を小型にすることが出来
ないという問題点がある。
り容易に切断して製造出来ると言う利点はあるが水晶片
が中高でないので、水晶振動子を小型にすることが出来
ないという問題点がある。
（ロ） （ハ）は小型特に（ハ）は小型になるという利
点があるが、大きい平板状の素材より所望の平面形状の
水晶片に切断したのちに、一つ一つを中高に機械加工し
なければならず非能率的な製造手段が必要である。
点があるが、大きい平板状の素材より所望の平面形状の
水晶片に切断したのちに、一つ一つを中高に機械加工し
なければならず非能率的な製造手段が必要である。
（ｄ）発明の目的
本発明の目的は上記従来の問題点が除去された水晶振動
子の製造方法を提供することにある。
子の製造方法を提供することにある。
（ｅ）発明の構成
この目的を達成するために本発明は、ＡＴ方位面にてカ
ットされた水晶板の平面に、電極に対応して多数の円形
の金膜を配列形成し、その後弗酸系のエツチング液にて
エツチングして該金膜のド方に凸部をそれぞれ形成し、
つぎにそれぞれの該凸部に電極および該電極に接続され
たリード電極を蒸着形成後、水晶板を切断して厚みすべ
り水晶振動子に分割するもので、量産的でかつ小型の水
晶振動子を得るようにした方法である。
ットされた水晶板の平面に、電極に対応して多数の円形
の金膜を配列形成し、その後弗酸系のエツチング液にて
エツチングして該金膜のド方に凸部をそれぞれ形成し、
つぎにそれぞれの該凸部に電極および該電極に接続され
たリード電極を蒸着形成後、水晶板を切断して厚みすべ
り水晶振動子に分割するもので、量産的でかつ小型の水
晶振動子を得るようにした方法である。
（ｆ）発明の実施例
以下図示実施例を参照して本発明について詳細に説明す
る。
る。
第２図の（イ）（ロ）（ハ）はそれぞれ本発明の一実施
例の製造過程を示す断面図、第３図は分割前の平面図、
第４図は水晶振動子の斜視図である。
例の製造過程を示す断面図、第３図は分割前の平面図、
第４図は水晶振動子の斜視図である。
本発明の製造順序は第２図（イ）のように、はぼ電極に
等しい円形の孔が配列されたマスクを使用して、ＡＴ方
位面にてカットされた所望の厚さの大きい水晶板６の表
面と裏面に対応して金膜７を蒸着して形成し配列せしめ
る。つぎに金１侠７を食刻せず水晶を食刻する弗酸系、
例えば弗酸と弗化アンモニュムの混合液よりなるエツチ
ング液を用いてエツチングして（ロ）のように金膜７の
下面に金膜７と同形状の平面視円形の凸部８をもうける
。
等しい円形の孔が配列されたマスクを使用して、ＡＴ方
位面にてカットされた所望の厚さの大きい水晶板６の表
面と裏面に対応して金膜７を蒸着して形成し配列せしめ
る。つぎに金１侠７を食刻せず水晶を食刻する弗酸系、
例えば弗酸と弗化アンモニュムの混合液よりなるエツチ
ング液を用いてエツチングして（ロ）のように金膜７の
下面に金膜７と同形状の平面視円形の凸部８をもうける
。
つぎに（ハ）のように、それぞれの凸部８の上面の金膜
７の面に電極９およびそれぞれの表面。
７の面に電極９およびそれぞれの表面。
裏面で対向して対をなす電極９に反対方向にリード電極
３を所望の形状のマスクを使用して蒸着して形成する。
３を所望の形状のマスクを使用して蒸着して形成する。
第２図（ハ）のものの平面図は、第３図であって大きい
平板状の水晶板６の表面と裏面には対向してマトリック
ス状に電極９が設けられており、電極９の表面のものに
はそれぞれ一条の細幅のリード電極ｌＯが接続され、裏
面の電極９には表面のリード電極１０とは反対方向に一
条のリード電極１０がそれぞれ接続されて設けられてい
る。
平板状の水晶板６の表面と裏面には対向してマトリック
ス状に電極９が設けられており、電極９の表面のものに
はそれぞれ一条の細幅のリード電極ｌＯが接続され、裏
面の電極９には表面のリード電極１０とは反対方向に一
条のリード電極１０がそれぞれ接続されて設けられてい
る。
その後それぞれの電極９が中心になる如くに、水晶板６
をＸ軸、Ｙ軸に平行する線にて切断して第４図のような
水晶振動子１１に分割して、厚みすべり水晶振動子を多
数個同時に製造する。
をＸ軸、Ｙ軸に平行する線にて切断して第４図のような
水晶振動子１１に分割して、厚みすべり水晶振動子を多
数個同時に製造する。
なお円形孔の配列したマスクを使用せずに、水晶板の表
面裏面の全面に金膜を蒸着しレジストを塗布し、ホトリ
ソグラフィ一手段により円形の金膜７を形成してもよい
。また凸部の上面の金１模を除去したのちにあらためて
、金あるいは銀を蒸着して電極とリード電極とを形成し
ても良い。
面裏面の全面に金膜を蒸着しレジストを塗布し、ホトリ
ソグラフィ一手段により円形の金膜７を形成してもよい
。また凸部の上面の金１模を除去したのちにあらためて
、金あるいは銀を蒸着して電極とリード電極とを形成し
ても良い。
（ｇ）発明の詳細
な説明したように本発明は、水晶片の表面と裏面に凸面
部を設けることにより、小型の厚みすべり水晶振動子を
多数量１することが出来ると言う実用上で優れた効果の
ある水晶振動子の製造方法である。
部を設けることにより、小型の厚みすべり水晶振動子を
多数量１することが出来ると言う実用上で優れた効果の
ある水晶振動子の製造方法である。
第１図の（イ） （ロ）（ハ）ばそれぞれ従来の厚みす
べり水晶振動子の側面図、第２図の（イ）（ロ）（ハ）
はそれぞれ本発明の一実施例の製造過程を示す断面図、
第３図は分割前の平面図、第４図は水晶振動子の斜視図
である。 図中１．４．５は水晶片、２．９は電極、３゜１０はリ
ード電極、６は水晶板、７は金膜、８は凸部、１１は水
晶振動子を示す。 ３イ、 も１図 寮？閃 ７ ４３− 拳３閉 ’ｆ−，４図 ／／
べり水晶振動子の側面図、第２図の（イ）（ロ）（ハ）
はそれぞれ本発明の一実施例の製造過程を示す断面図、
第３図は分割前の平面図、第４図は水晶振動子の斜視図
である。 図中１．４．５は水晶片、２．９は電極、３゜１０はリ
ード電極、６は水晶板、７は金膜、８は凸部、１１は水
晶振動子を示す。 ３イ、 も１図 寮？閃 ７ ４３− 拳３閉 ’ｆ−，４図 ／／
Claims (1)
- ＡＴ方位面にてカットされた水晶板の平面に、電極に対
応して多数の円形の金膜を配列形成し、その後弗酸系の
エツチング液にてエツチングして該金膜の下方に凸部を
それぞれ形成し、つぎにそれぞれの該凸部に電極および
該電極に接続されたリード電極を蒸着形成後、水晶板を
切断しζ厚のすべり水晶振動子に分割することを特徴と
する水晶振動子の製造方法。
Priority Applications (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP9352383A JPS59219009A (ja) | 1983-05-27 | 1983-05-27 | 水晶振動子の製造方法 |
Applications Claiming Priority (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP9352383A JPS59219009A (ja) | 1983-05-27 | 1983-05-27 | 水晶振動子の製造方法 |
Publications (1)
| Publication Number | Publication Date |
|---|---|
| JPS59219009A true JPS59219009A (ja) | 1984-12-10 |
Family
ID=14084678
Family Applications (1)
| Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
|---|---|---|---|
| JP9352383A Pending JPS59219009A (ja) | 1983-05-27 | 1983-05-27 | 水晶振動子の製造方法 |
Country Status (1)
| Country | Link |
|---|---|
| JP (1) | JPS59219009A (ja) |
-
1983
- 1983-05-27 JP JP9352383A patent/JPS59219009A/ja active Pending
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