JPS59219155A - 研磨加工機 - Google Patents
研磨加工機Info
- Publication number
- JPS59219155A JPS59219155A JP58092712A JP9271283A JPS59219155A JP S59219155 A JPS59219155 A JP S59219155A JP 58092712 A JP58092712 A JP 58092712A JP 9271283 A JP9271283 A JP 9271283A JP S59219155 A JPS59219155 A JP S59219155A
- Authority
- JP
- Japan
- Prior art keywords
- shaft
- polishing
- workpiece
- feed
- thrust bearing
- Prior art date
- Legal status (The legal status is an assumption and is not a legal conclusion. Google has not performed a legal analysis and makes no representation as to the accuracy of the status listed.)
- Pending
Links
Classifications
-
- B—PERFORMING OPERATIONS; TRANSPORTING
- B24—GRINDING; POLISHING
- B24B—MACHINES, DEVICES, OR PROCESSES FOR GRINDING OR POLISHING; DRESSING OR CONDITIONING OF ABRADING SURFACES; FEEDING OF GRINDING, POLISHING, OR LAPPING AGENTS
- B24B41/00—Component parts such as frames, beds, carriages, headstocks
- B24B41/04—Headstocks; Working-spindles; Features relating thereto
Landscapes
- Engineering & Computer Science (AREA)
- Mechanical Engineering (AREA)
- Constituent Portions Of Griding Lathes, Driving, Sensing And Control (AREA)
- Grinding Of Cylindrical And Plane Surfaces (AREA)
- Finish Polishing, Edge Sharpening, And Grinding By Specific Grinding Devices (AREA)
Abstract
(57)【要約】本公報は電子出願前の出願データであるた
め要約のデータは記録されません。
め要約のデータは記録されません。
Description
【発明の詳細な説明】
産業上の利用分野
本発明は、強制送り研削と定圧研磨加工を連続して行な
うことのできる研磨加工機に関するものである。
うことのできる研磨加工機に関するものである。
従来例の構成とその問題点
従来、フェライト、ガラス、水晶等の硬脆材料の微細で
平面の鏡面加工は、まず研削により荒加工を行なった後
、定圧研磨加工あるいは遊離砥粉を用いたラッピング加
工、ボリシング加工等で仕上げていた。強制送りによる
研削加工では、加工能率は高いが、面精度（平面度、面
粗度）については十分でない由に、工程を数工程に分け
る必袈があったのである。このような工程では、面の平
面度、面粗度については高精度なものが傅ら扛るが、一
方では遊離砥粉を用いた場合、被加工物の厚さ管理は困
難であり、製品の歩留り低下の一因となっていると共に
、各工程での専用加工機が心安であシ、各専用機への着
脱等の時間がかかり、コスト高の要因であった。
平面の鏡面加工は、まず研削により荒加工を行なった後
、定圧研磨加工あるいは遊離砥粉を用いたラッピング加
工、ボリシング加工等で仕上げていた。強制送りによる
研削加工では、加工能率は高いが、面精度（平面度、面
粗度）については十分でない由に、工程を数工程に分け
る必袈があったのである。このような工程では、面の平
面度、面粗度については高精度なものが傅ら扛るが、一
方では遊離砥粉を用いた場合、被加工物の厚さ管理は困
難であり、製品の歩留り低下の一因となっていると共に
、各工程での専用加工機が心安であシ、各専用機への着
脱等の時間がかかり、コスト高の要因であった。
また、以上のような欠点を改善する為に、送り量を測定
しながら強制送り研削加工と定圧研磨加工を連続して行
なう研磨加工機も開発されており、該研磨加工機につい
ては、第１図にその工法の概略を示す。１は被加工物で
あり、強制送り研削で高能率に２の部分を荒加工し、連
続して定圧研磨を行ない、３の部分を加工して最終仕上
とする。
しながら強制送り研削加工と定圧研磨加工を連続して行
なう研磨加工機も開発されており、該研磨加工機につい
ては、第１図にその工法の概略を示す。１は被加工物で
あり、強制送り研削で高能率に２の部分を荒加工し、連
続して定圧研磨を行ない、３の部分を加工して最終仕上
とする。
この上うな研磨機ばその構成を第２図に示すように、静
圧空気軸受４ａ 、４ｂ 、４ｃに支承された被加工物
を回転する軸５と、該軸を回転するモーター６と、定圧
送９時のスティック・スリップを防止する為静圧スライ
ドを用いたテーブル７と、強制送りを行なうネジ８．ナ
ツト９及びモーター１ｏと、強制送り時にナツト９とテ
ーブル７を一体的に運動さぜる為のロック用シリンダー
１１と、定圧送りを行なうリニアモーター１２と、スラ
イドテーブルの移動量を測定する測定器１３が必要であ
り、特に高精度加工では静圧スライドテーブル７に高剛
性なものが要求され、コストダウンの障害となっていた
。
圧空気軸受４ａ 、４ｂ 、４ｃに支承された被加工物
を回転する軸５と、該軸を回転するモーター６と、定圧
送９時のスティック・スリップを防止する為静圧スライ
ドを用いたテーブル７と、強制送りを行なうネジ８．ナ
ツト９及びモーター１ｏと、強制送り時にナツト９とテ
ーブル７を一体的に運動さぜる為のロック用シリンダー
１１と、定圧送りを行なうリニアモーター１２と、スラ
イドテーブルの移動量を測定する測定器１３が必要であ
り、特に高精度加工では静圧スライドテーブル７に高剛
性なものが要求され、コストダウンの障害となっていた
。
発明の目的
本発明は上記欠点を改善するものであり、強制送シ研削
加工と、定圧研磨加工を連続して行なうことのできる（
ｌＪＩＩＦｆ加工機を低コストで提供するものであり、
従来例で示した強制送り研削と定圧研磨を連続して行な
うことのできる高精度・高能率研磨機の静圧スライドテ
ーブルをホール循環式直線ガイド等を用いた比較的安価
な直勝カイトに置き換えてかつ同程度の精度を倚るとい
う特有の効果を有する。
加工と、定圧研磨加工を連続して行なうことのできる（
ｌＪＩＩＦｆ加工機を低コストで提供するものであり、
従来例で示した強制送り研削と定圧研磨を連続して行な
うことのできる高精度・高能率研磨機の静圧スライドテ
ーブルをホール循環式直線ガイド等を用いた比較的安価
な直勝カイトに置き換えてかつ同程度の精度を倚るとい
う特有の効果を有する。
発明の構成
本発明は、螺旋溝により強ｉｌ］１」シて送る送り装置
と、この送り装置に搭載された軸受・・ウジングと、軸
受ハウジングに回転自由かつ軸力向の運動自由に、空気
軸受により支承される軸と、軸を軸力向に位置規制する
スラスト軸受部と、スラスト軸受部を軸受ハウジングと
相対的に軸方向に一定圧で送る送り装置と、スラスト軸
受部の移動量を測定する測定器と軸を回転させるモータ
ーとからなり、前記軸の一端に被加工物または被加工物
を研磨する為の砥石のいずれかを設け、前記軸と対向し
て、被加工物の加工が可能に砥石または被加工物を設け
て構成され高精度な研磨加工が高能率に行なえ、かつ低
コストで製作可能である。
と、この送り装置に搭載された軸受・・ウジングと、軸
受ハウジングに回転自由かつ軸力向の運動自由に、空気
軸受により支承される軸と、軸を軸力向に位置規制する
スラスト軸受部と、スラスト軸受部を軸受ハウジングと
相対的に軸方向に一定圧で送る送り装置と、スラスト軸
受部の移動量を測定する測定器と軸を回転させるモータ
ーとからなり、前記軸の一端に被加工物または被加工物
を研磨する為の砥石のいずれかを設け、前記軸と対向し
て、被加工物の加工が可能に砥石または被加工物を設け
て構成され高精度な研磨加工が高能率に行なえ、かつ低
コストで製作可能である。
実施例の説明
以下に本発明の一実施例について図面を参照しながら説
明する。
明する。
第３図は、本発明の一実施例の断面図を示したものであ
る。本イＩ７１磨加工機は、フェライトの約２ａｓ Ｘ
４ ＋１２１の而を５０〜６０μｍ研削し、面粗度Ｒ
Ｏ，０５，平面度１μｍ以下を実現するものａｘ である。被加工物１４は第４図に一例を示すように治具
１５に貼９付けられ、軸１６の真空吸着面１７に吸着固
定される。真空吸着面１７は溝１８、継手１９を介して
図示しない真空発生装置に連結される。軸１６とノ・ウ
ジング２０は、非接触であるが、その隙間２１は約１０
μｍ程度であり、溝１８への隙間２１からの空気の流入
は十分少なく、真空度の低下はほとんどない。軸１６は
ノ・ウジング２ｏにジャーナル空気軸受２２で回転自由
かつ軸方向の移動可能に支承され、軸方向の位置決めは
、スラスト空気軸受２３＆、２３ｂを介してスラスト軸
受部２４ａ 、２４ｂ、、２４ｃによシ行なわ扛る。ス
ラスト軸受部２４ａ 、２４ｂ 、２４ｃはスライドテ
ーブル２５に支持され軸方向に移動１ｉＪ能であるが、
スライドテーブル２６は、高精度。
る。本イＩ７１磨加工機は、フェライトの約２ａｓ Ｘ
４ ＋１２１の而を５０〜６０μｍ研削し、面粗度Ｒ
Ｏ，０５，平面度１μｍ以下を実現するものａｘ である。被加工物１４は第４図に一例を示すように治具
１５に貼９付けられ、軸１６の真空吸着面１７に吸着固
定される。真空吸着面１７は溝１８、継手１９を介して
図示しない真空発生装置に連結される。軸１６とノ・ウ
ジング２０は、非接触であるが、その隙間２１は約１０
μｍ程度であり、溝１８への隙間２１からの空気の流入
は十分少なく、真空度の低下はほとんどない。軸１６は
ノ・ウジング２ｏにジャーナル空気軸受２２で回転自由
かつ軸方向の移動可能に支承され、軸方向の位置決めは
、スラスト空気軸受２３＆、２３ｂを介してスラスト軸
受部２４ａ 、２４ｂ、、２４ｃによシ行なわ扛る。ス
ラスト軸受部２４ａ 、２４ｂ 、２４ｃはスライドテ
ーブル２５に支持され軸方向に移動１ｉＪ能であるが、
スライドテーブル２６は、高精度。
高剛性である必要はない。スラスト軸受部２４ａ。
２４ｂ１２４Ｃの軸方向の駆動は、スピンドルのジャー
ナル空気軸受２２をガイドとして、電圧により推力を制
御して軸方向に移動することのできるリニアモーター２
６により行なう。軸１６を回転させるモーター２７は、
スラスト軸受部２４ｃにモーターノ・ウジングを支持さ
れ、軸１６と共に移動する。上記の軸、ハウジング、ス
ラスト軸受部等を搭載したベース２８は、ボール循環式
の送シガイド２９ａ、２９ｂ、２９ｃによりガイドされ
、送りネジ３０によりナツト３１及びベース２６に同定
されたナツトホルダー３２を介して、モーター３３によ
り強制的に送られる。、リニアモーター２６及びモータ
ー３３による送り量はスラスト軸受部２４ｃに取り付け
たリニアスケール３４ａと、基盤に固定した読取９へ・
ンド３４ｂによシ正確に読み取シが可能であり、被加工
物を加工する砥石３５と、治具１６の距離は、あ６図に
断面図を示ずセットアツプと呼んでいるリミ・ノドスイ
ッチ音用いた治具を、回転停止中の砥石３５と治具１５
で挾さみ込むようにモータ３３で送りネジ３゜を駆動し
、リミ、、 ｌ−スイ・ノチがオンになった点を、リニ
アスケール３４ａ上でＬにリセットすることにより、砥
イｊ３５と治具１５の和動距離を正確に測定する。
ナル空気軸受２２をガイドとして、電圧により推力を制
御して軸方向に移動することのできるリニアモーター２
６により行なう。軸１６を回転させるモーター２７は、
スラスト軸受部２４ｃにモーターノ・ウジングを支持さ
れ、軸１６と共に移動する。上記の軸、ハウジング、ス
ラスト軸受部等を搭載したベース２８は、ボール循環式
の送シガイド２９ａ、２９ｂ、２９ｃによりガイドされ
、送りネジ３０によりナツト３１及びベース２６に同定
されたナツトホルダー３２を介して、モーター３３によ
り強制的に送られる。、リニアモーター２６及びモータ
ー３３による送り量はスラスト軸受部２４ｃに取り付け
たリニアスケール３４ａと、基盤に固定した読取９へ・
ンド３４ｂによシ正確に読み取シが可能であり、被加工
物を加工する砥石３５と、治具１６の距離は、あ６図に
断面図を示ずセットアツプと呼んでいるリミ・ノドスイ
ッチ音用いた治具を、回転停止中の砥石３５と治具１５
で挾さみ込むようにモータ３３で送りネジ３゜を駆動し
、リミ、、 ｌ−スイ・ノチがオンになった点を、リニ
アスケール３４ａ上でＬにリセットすることにより、砥
イｊ３５と治具１５の和動距離を正確に測定する。
また、砥石３６と治具１６は偏心しており、相方が回転
することにより、被加工物の表面はムラ無く加工される
。
することにより、被加工物の表面はムラ無く加工される
。
以上のように構成された２軸対向型の研磨加工機につい
て、以下にその動作を説明する。
て、以下にその動作を説明する。
被加工物１４を貼シ伺けた治具１５は、軸１６に取り付
けられ、前記セ・ノトア・ノブで砥石３５との和動距離
を測定後、送りネジ３０及びモーター３３による強制送
り加入で、定圧研磨による仕上げ取り量を残すところま
で最も能率的に研削を行なう。強制送り加工後、モータ
ー３０は停止され、リニアモーター２６により定圧研磨
を行ない、リニアスケール３４ａ及び読取りへ・ノド３
４ｂにより製品仕上り寸法１で研磨が行なわ牡たことを
確認後、直ちに加工を終了し機械は加工前の位置捷で戻
し停止する。
けられ、前記セ・ノトア・ノブで砥石３５との和動距離
を測定後、送りネジ３０及びモーター３３による強制送
り加入で、定圧研磨による仕上げ取り量を残すところま
で最も能率的に研削を行なう。強制送り加工後、モータ
ー３０は停止され、リニアモーター２６により定圧研磨
を行ない、リニアスケール３４ａ及び読取りへ・ノド３
４ｂにより製品仕上り寸法１で研磨が行なわ牡たことを
確認後、直ちに加工を終了し機械は加工前の位置捷で戻
し停止する。
以上のように構成された本実施例によれは、強制送りイ
リ［削と、定圧研磨を連続しで行なう２軸対向型のロー
タリー精密研削盤の、被加工物取伺側の空気軸受スピン
ドルの、ラジアル軸受部とスラスト軸受部を相対的に軸
方向に移動可能とし、ラジアル軸受部を定圧研磨時の送
りガイドにするこスピ〉トｌし とにより、≠４Ａ半を搭載するスライドテーブルとして
空気軸受スライドを用いる必要はなく、値脆拐料の高精
度、高能率研磨加工機を、低コストで製作することが可
能である。
リ［削と、定圧研磨を連続しで行なう２軸対向型のロー
タリー精密研削盤の、被加工物取伺側の空気軸受スピン
ドルの、ラジアル軸受部とスラスト軸受部を相対的に軸
方向に移動可能とし、ラジアル軸受部を定圧研磨時の送
りガイドにするこスピ〉トｌし とにより、≠４Ａ半を搭載するスライドテーブルとして
空気軸受スライドを用いる必要はなく、値脆拐料の高精
度、高能率研磨加工機を、低コストで製作することが可
能である。
なお、本実施例では、定圧研磨時の送りの１′朝へ動と
してリニアモーター２６を用いたか、定圧イリ１磨によ
る仕」二げ取り量が少なく、かつ被加工物か、一種類ま
たは数棟類で、圧力を頻繁に変える必要がない場合には
、定圧研磨時の送りの駆動としてスプリングを用い、強
制送り加工時にはエアーンリングー等でスラスト軸受部
をロックしてもよい。
してリニアモーター２６を用いたか、定圧イリ１磨によ
る仕」二げ取り量が少なく、かつ被加工物か、一種類ま
たは数棟類で、圧力を頻繁に変える必要がない場合には
、定圧研磨時の送りの駆動としてスプリングを用い、強
制送り加工時にはエアーンリングー等でスラスト軸受部
をロックしてもよい。
また、本実施例では２軸対向型の精密研磨加工機の被加
工ｑ７／Ｊ取伺スピンドル側を加工の為送ったが、砥石
側のスピンドルを送ってもよい。丑だその場合、２ ｌ
ｉｌ＋対向型でなく、被加工物は固定しても同様の効果
が得ら扛る。
工ｑ７／Ｊ取伺スピンドル側を加工の為送ったが、砥石
側のスピンドルを送ってもよい。丑だその場合、２ ｌ
ｉｌ＋対向型でなく、被加工物は固定しても同様の効果
が得ら扛る。
発明の効果
以上のように本発明は強御送り研削加工の送りガイドと
して、高剛性のボール循環方式等のスライドテーブルを
用い、連続して行なう定圧研磨ではスピンドルのジャー
ナル空気軸受を送りガイドとして用いる為、硬脆拐料の
高精度、高能率研磨加工機を低コストで製作できるとい
う特長を有し、その効果ｄ、犬なるものがある。
して、高剛性のボール循環方式等のスライドテーブルを
用い、連続して行なう定圧研磨ではスピンドルのジャー
ナル空気軸受を送りガイドとして用いる為、硬脆拐料の
高精度、高能率研磨加工機を低コストで製作できるとい
う特長を有し、その効果ｄ、犬なるものがある。
第１図は、固定砥粒により硬脆材料を高精度。
高能率に加工する為の工法の概略図、第２図は従来の高
精度、高能率研磨加工機の断面図、第３図は本発明の一
実力市例における研磨加工機の断面図、第４図は、被加
工物の貼り伺は方の一例を示す説明図、第６図は、セッ
トアツプの断面図である。 １４・・・・・・被加工物、１５・・・・・・軸、２０
−゛ハウジング、２２・・・・・・ジャーナル空気軸受
、２３ａ。 ２３ｂ、２３Ｃ・・・・・・スラスト軸受部、２５・・
・スライドテーブル、２６・・・・・リニアモーター、
２７・・・・・・モーター、２８・・・・・・ベース、
３０・・・・・送りネジ、３１・・・・・・ナツト、３
２・・・・・・ナツトホルダー、３３・・・・・・モー
ター、３４ａ・・・・・リニアスケール、３４ｂ・・・
・・・読み取りヘッド、３６・・・・砥石。 代理人の氏名 弁理士 中 尾 敏 男 ほか１名第
１ 図 １ 第 ２ 図 第３図
精度、高能率研磨加工機の断面図、第３図は本発明の一
実力市例における研磨加工機の断面図、第４図は、被加
工物の貼り伺は方の一例を示す説明図、第６図は、セッ
トアツプの断面図である。 １４・・・・・・被加工物、１５・・・・・・軸、２０
−゛ハウジング、２２・・・・・・ジャーナル空気軸受
、２３ａ。 ２３ｂ、２３Ｃ・・・・・・スラスト軸受部、２５・・
・スライドテーブル、２６・・・・・リニアモーター、
２７・・・・・・モーター、２８・・・・・・ベース、
３０・・・・・送りネジ、３１・・・・・・ナツト、３
２・・・・・・ナツトホルダー、３３・・・・・・モー
ター、３４ａ・・・・・リニアスケール、３４ｂ・・・
・・・読み取りヘッド、３６・・・・砥石。 代理人の氏名 弁理士 中 尾 敏 男 ほか１名第
１ 図 １ 第 ２ 図 第３図
Claims (1)
- 螺旋溝により強制して送る送り装置と、この送り装置に
搭載された軸受ハウジングと、この軸受ハウジングに回
転自在かつ軸方向の運動自由に、空気軸受により支承さ
れる軸と、この軸を軸方向に位置規制するスラスト軸受
部と、このスラスト軸受部を軸受ハウジングと相対的に
軸方向に一定圧で送る送シ装置と、スラスト軸受部の移
動量を測定する測定器と、上記軸を回転させるモーター
とからなり、前記軸の一端に被加工物または被加工物を
研磨する為の砥石のいずれかを設け、前記軸と対向して
、被加工物の加工が可能に砥石または被加工物を設けた
研磨加工機。
Priority Applications (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP58092712A JPS59219155A (ja) | 1983-05-26 | 1983-05-26 | 研磨加工機 |
Applications Claiming Priority (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP58092712A JPS59219155A (ja) | 1983-05-26 | 1983-05-26 | 研磨加工機 |
Publications (1)
| Publication Number | Publication Date |
|---|---|
| JPS59219155A true JPS59219155A (ja) | 1984-12-10 |
Family
ID=14062072
Family Applications (1)
| Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
|---|---|---|---|
| JP58092712A Pending JPS59219155A (ja) | 1983-05-26 | 1983-05-26 | 研磨加工機 |
Country Status (1)
| Country | Link |
|---|---|
| JP (1) | JPS59219155A (ja) |
Cited By (4)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| JPS62218889A (ja) * | 1986-03-20 | 1987-09-26 | 日本精工株式会社 | 真空吸着機構付き静圧気体軸受スピンドル |
| JPH05185349A (ja) * | 1992-01-14 | 1993-07-27 | Toyo Glass Co Ltd | ガラス製品の表面加工装置 |
| JP2007222958A (ja) * | 2006-02-21 | 2007-09-06 | Koyo Mach Ind Co Ltd | 回転式工作装置及びその製造方法 |
| CN111906676A (zh) * | 2020-07-01 | 2020-11-10 | 程光辉 | 一种基于圆的特性对轴承外圈进行旋转抛光的装置 |
-
1983
- 1983-05-26 JP JP58092712A patent/JPS59219155A/ja active Pending
Cited By (4)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| JPS62218889A (ja) * | 1986-03-20 | 1987-09-26 | 日本精工株式会社 | 真空吸着機構付き静圧気体軸受スピンドル |
| JPH05185349A (ja) * | 1992-01-14 | 1993-07-27 | Toyo Glass Co Ltd | ガラス製品の表面加工装置 |
| JP2007222958A (ja) * | 2006-02-21 | 2007-09-06 | Koyo Mach Ind Co Ltd | 回転式工作装置及びその製造方法 |
| CN111906676A (zh) * | 2020-07-01 | 2020-11-10 | 程光辉 | 一种基于圆的特性对轴承外圈进行旋转抛光的装置 |
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