JPS5922445A - 光集積回路装置 - Google Patents
光集積回路装置Info
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- JPS5922445A JPS5922445A JP57131533A JP13153382A JPS5922445A JP S5922445 A JPS5922445 A JP S5922445A JP 57131533 A JP57131533 A JP 57131533A JP 13153382 A JP13153382 A JP 13153382A JP S5922445 A JPS5922445 A JP S5922445A
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- Japan
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- light
- region
- light emitting
- emitting region
- jth
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-
- H—ELECTRICITY
- H03—ELECTRONIC CIRCUITRY
- H03K—PULSE TECHNIQUE
- H03K19/00—Logic circuits, i.e. having at least two inputs acting on one output; Inverting circuits
- H03K19/02—Logic circuits, i.e. having at least two inputs acting on one output; Inverting circuits using specified components
- H03K19/14—Logic circuits, i.e. having at least two inputs acting on one output; Inverting circuits using specified components using opto-electronic devices, i.e. light-emitting and photoelectric devices electrically- or optically-coupled
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Abstract
(57)【要約】本公報は電子出願前の出願データであるた
め要約のデータは記録されません。
め要約のデータは記録されません。
Description
【発明の詳細な説明】
発明の技術分野
本発明は、同一基板に受光領域及び発光領域が形成され
、それ等を駆動して論理演算を行なう形式の光集積回路
装置の改良に関する。
、それ等を駆動して論理演算を行なう形式の光集積回路
装置の改良に関する。
従来技術と問題点
近年、光集積回路装置は種々のものが提案されているが
、論理演算用として具体的且つ実用的tものは数少ない
ようである。
、論理演算用として具体的且つ実用的tものは数少ない
ようである。
発明の目的
本発明は、高抵抗基板に受光領域及び発振しきい値を持
つ半導体レーザの如き発光領域を形成し、それ等を適宜
組合せることに依り論理演算回路を構成し、受光領域へ
の光入力の組合せに対応して各発光領域を流れる電流が
しきい値以上になったりしきい値未満になったりするよ
うに設定して光信号に依るi合理演算機能を実現した光
集積回路装置を提供するものである。
つ半導体レーザの如き発光領域を形成し、それ等を適宜
組合せることに依り論理演算回路を構成し、受光領域へ
の光入力の組合せに対応して各発光領域を流れる電流が
しきい値以上になったりしきい値未満になったりするよ
うに設定して光信号に依るi合理演算機能を実現した光
集積回路装置を提供するものである。
発明の実施例
第1図は、本発明に依る否定(NOT)演算素子の回路
図である。
図である。
図に峙いて、Dlは受光fI域、Slは発)!領域、R
1,R2は抵抗、Jは定電流源、Xは入力光、Yは出力
光をそれぞれ示す。
1,R2は抵抗、Jは定電流源、Xは入力光、Yは出力
光をそれぞれ示す。
ここで、定電流源Jから供給される電流の値をJd、発
光領域S1の発振しきい値電流をJ thとし、 J th< J d((1+R2/R1’)’ J
thの如く設定すると、受光領域DIが非導通状態の
とき、発光領域S1を流れる電流Jsは、Js>J、t
h であり、発光領域S1は発振状態にあるが、受光領域D
1が光照射に依って導通状態になると電流Jsは、 J s < J th となり、発光領域S1は発振停止する。
光領域S1の発振しきい値電流をJ thとし、 J th< J d((1+R2/R1’)’ J
thの如く設定すると、受光領域DIが非導通状態の
とき、発光領域S1を流れる電流Jsは、Js>J、t
h であり、発光領域S1は発振状態にあるが、受光領域D
1が光照射に依って導通状態になると電流Jsは、 J s < J th となり、発光領域S1は発振停止する。
前記したように、受光領域D1への入力光をX。
発光領域S1の出力光をYとすると、論理演算の真理値
表は次の通りである。
表は次の通りである。
表1
Y
1
0
第2図は、第1図の回路を具体化した装置の要部平面図
であり、第3図は、第2図の線A−Aに於ける要部断面
図であらて、第1図に関して説明した部分と同部分は同
記号で指示しである。
であり、第3図は、第2図の線A−Aに於ける要部断面
図であらて、第1図に関して説明した部分と同部分は同
記号で指示しである。
さて、次に、主として第3図について記号と各部とを対
比して説明するが、本明細書では、記号として若干特殊
な表現を採っているので、それを説明する。即ち、例え
ば、2はn1型1nP半導体層であるが、この半導体層
2にプロトン照射を行ってi (高抵抗)型1nP半導
体層とした場合、これを記号8(2)であられしである
。従って、このような複合記号は、括弧内が元のものを
示し、それに何等かの加工を施して新たなものになった
事を示している。
比して説明するが、本明細書では、記号として若干特殊
な表現を採っているので、それを説明する。即ち、例え
ば、2はn1型1nP半導体層であるが、この半導体層
2にプロトン照射を行ってi (高抵抗)型1nP半導
体層とした場合、これを記号8(2)であられしである
。従って、このような複合記号は、括弧内が元のものを
示し、それに何等かの加工を施して新たなものになった
事を示している。
図に於いて、1はl型1nP基板、2はn+型1nP半
導体層、3はInPに格子整合させたi型1nGaAs
P半導体層、4はに型InP半導体層、5 (3)はI
nPに格子整合させたP“型1nGaAsP半導体領域
、0 (2)はp+型1nP回折格子、6 (4)はp
”型InP半導体領域、7 (3)はInPに格子整合
させたi型1nGaAsP半導体領域、8(2)はi型
1nP半導体領域、8(4)はl型1nP半導体領域、
8(2)Aはi型1nP回折格子、10は表面保護膜、
20.21は電極、30ば定電流源をそれぞれ示してい
る。尚、抵抗食x、R2はi型1nGaAsP半導体層
3の一部を使用している。しかし、回路の等価抵抗を他
の方法で設定できるときは、抵抗R1、R2を特設する
必要はない。また、定電流源30は半導体領域5 (3
)及び半導体層2とで形成されるpn接合が順方向にバ
イアスされるよう接続されている。
導体層、3はInPに格子整合させたi型1nGaAs
P半導体層、4はに型InP半導体層、5 (3)はI
nPに格子整合させたP“型1nGaAsP半導体領域
、0 (2)はp+型1nP回折格子、6 (4)はp
”型InP半導体領域、7 (3)はInPに格子整合
させたi型1nGaAsP半導体領域、8(2)はi型
1nP半導体領域、8(4)はl型1nP半導体領域、
8(2)Aはi型1nP回折格子、10は表面保護膜、
20.21は電極、30ば定電流源をそれぞれ示してい
る。尚、抵抗食x、R2はi型1nGaAsP半導体層
3の一部を使用している。しかし、回路の等価抵抗を他
の方法で設定できるときは、抵抗R1、R2を特設する
必要はない。また、定電流源30は半導体領域5 (3
)及び半導体層2とで形成されるpn接合が順方向にバ
イアスされるよう接続されている。
本発明に於ける装置を製造する事は容易であり、液相エ
ピタキシャル成長法、気相エピタキシャル成長法、分子
ビーム・エピタキシャル成長法、多層薄膜成長法、化学
エツチング法、気相不純物拡散法、イオン注入法、プロ
トン照射法等の従来技術を適宜採用、して実現できる。
ピタキシャル成長法、気相エピタキシャル成長法、分子
ビーム・エピタキシャル成長法、多層薄膜成長法、化学
エツチング法、気相不純物拡散法、イオン注入法、プロ
トン照射法等の従来技術を適宜採用、して実現できる。
本実施例に於ける受光領域D1は半導体層2゜3.4で
形成され、発光領域S1は半導体層2.8半導体領域5
(3) 、 6 (4’) 、 7 (3)及び
回折格子6 (2)、8 (2)Aから構成される分布
帰還型レーザとなっている。そして、受光領域D1は光
が照射されなければ電気的に非導通であるが、例えば、
紙面に垂直な方向から入射した光が半導体N3で吸収さ
れると導通する。この動作の詳細は特願昭54−471
048号(特開昭56−94786号公報)を参照する
と良い。
形成され、発光領域S1は半導体層2.8半導体領域5
(3) 、 6 (4’) 、 7 (3)及び
回折格子6 (2)、8 (2)Aから構成される分布
帰還型レーザとなっている。そして、受光領域D1は光
が照射されなければ電気的に非導通であるが、例えば、
紙面に垂直な方向から入射した光が半導体N3で吸収さ
れると導通する。この動作の詳細は特願昭54−471
048号(特開昭56−94786号公報)を参照する
と良い。
前記したように、受光領域D1が非導通であれば発光領
域S1は発振するので出力光Yを発生し、受光領域DI
が導通ずると発光領域S1の発振は停止するから出力光
Yは発生しない。
域S1は発振するので出力光Yを発生し、受光領域DI
が導通ずると発光領域S1の発振は停止するから出力光
Yは発生しない。
本実施例に於いて、In、GaAsPの禁止帯す留はI
nPのそれより小に設定しである為、受光領域D1の半
導体層3(活性層)及び発光領域S1の半導体領域5(
,3)(活性層)は周囲を禁止帯幅が大である半導体で
囲まれた状態にあり、従って、半導体層3及び半導体領
域5 (3)はキャリヤの閉じ込め効果を有している。
nPのそれより小に設定しである為、受光領域D1の半
導体層3(活性層)及び発光領域S1の半導体領域5(
,3)(活性層)は周囲を禁止帯幅が大である半導体で
囲まれた状態にあり、従って、半導体層3及び半導体領
域5 (3)はキャリヤの閉じ込め効果を有している。
また、半導体N3で吸収される光或いは半導体領域5(
3)で発光する光はInP半導体中を吸収されることな
く通過する。
3)で発光する光はInP半導体中を吸収されることな
く通過する。
従って、入力光Xの方向は平面で見て発光領域$1及び
抵抗R1,R2を横切る方向を除いて任意に選ぶことが
でき、そして、l型1nP基板1は、半導体N3よりも
禁止帯幅が大である為、基板1を介して半導体層3に垂
直に光を入射させることができる。また、出力光Yの方
向は、平面内で受光領域DI及び抵抗R1,R2を横切
る方向を除き任意に選ぶことができる。
抵抗R1,R2を横切る方向を除いて任意に選ぶことが
でき、そして、l型1nP基板1は、半導体N3よりも
禁止帯幅が大である為、基板1を介して半導体層3に垂
直に光を入射させることができる。また、出力光Yの方
向は、平面内で受光領域DI及び抵抗R1,R2を横切
る方向を除き任意に選ぶことができる。
前記実施例では、否定演算素子について説明したが、例
えば、受光領域D1に他の同様な受光領域を直列に接続
し、それを発光領域S1とともに定電流源Jに並列に接
続することに依りNAND演算素子を構成でき、また、
受光領域D1と他の受光領域と発光領域S1とを定電流
源Jに全て並列に接続することに依りNOR演算素子を
構成することもでき、その他、種々の機能を有する演算
素子を形成することが可能である。
えば、受光領域D1に他の同様な受光領域を直列に接続
し、それを発光領域S1とともに定電流源Jに並列に接
続することに依りNAND演算素子を構成でき、また、
受光領域D1と他の受光領域と発光領域S1とを定電流
源Jに全て並列に接続することに依りNOR演算素子を
構成することもでき、その他、種々の機能を有する演算
素子を形成することが可能である。
第4図は、排他的論理和素子の実施例を表す回路図であ
る。
る。
図に於いて、Dll〜D15は受光領域、SLl〜S1
3は発光領域、R11及びR12は抵抗、Jは定電流源
、Xll及びX12は入力光、Yは出力光をそれぞれ示
している。
3は発光領域、R11及びR12は抵抗、Jは定電流源
、Xll及びX12は入力光、Yは出力光をそれぞれ示
している。
図から判るように、受光領域D13.D14と抵抗R1
1が直列に接続され、これが受光領域D15と発光領域
S13と抵抗R12とが直列接続された回路とともに定
電流源Jに並列に接続されている。また、受光領域Dl
lと発光領域311とを直列接続してなる光分岐回路及
び受光領域D12と発光領域S12とを直列接続してな
る光分岐回路を入力部分に配設しである。
1が直列に接続され、これが受光領域D15と発光領域
S13と抵抗R12とが直列接続された回路とともに定
電流源Jに並列に接続されている。また、受光領域Dl
lと発光領域311とを直列接続してなる光分岐回路及
び受光領域D12と発光領域S12とを直列接続してな
る光分岐回路を入力部分に配設しである。
、ここで、定電流源Jから供給される電流の値をJd、
発光領域S13の発振しきい値をJ thとし、J、t
h< J d < (1+R12/R11) J、
thの如く設定すると、受光領域D15が導通状態で且
つ受光領域I)13.D14を含む回路が非導通状態の
とき、発光領域S13を流れる電流Jsは、Js>Jt
h であり、発光領域S13は発振状態にあるが、受光領域
D15.DL3及びD14が導通状態になると電流Js
は、 J s < J tb となり、発光領域S13は発振停止する。
発光領域S13の発振しきい値をJ thとし、J、t
h< J d < (1+R12/R11) J、
thの如く設定すると、受光領域D15が導通状態で且
つ受光領域I)13.D14を含む回路が非導通状態の
とき、発光領域S13を流れる電流Jsは、Js>Jt
h であり、発光領域S13は発振状態にあるが、受光領域
D15.DL3及びD14が導通状態になると電流Js
は、 J s < J tb となり、発光領域S13は発振停止する。
前記したように、受光領域Dll、D12への入力光を
X11.X12、発光領域S13の出力光をYとすると
、論理演算の真理値表は次の通りである。
X11.X12、発光領域S13の出力光をYとすると
、論理演算の真理値表は次の通りである。
表2
X11X12Y
0 0 0
0 1 1
1 0 1
1 1 0
第5図は、第4図の回路を具体化した装置の要部平面図
であり、第6図は第5図の線A−Aに於ける要部断面図
、第7図は第5図の線B−Hに於ける要部断面図であっ
て、第4図及び既出の図に関して説明した部分と同部分
は同記号で指示しである。
であり、第6図は第5図の線A−Aに於ける要部断面図
、第7図は第5図の線B−Hに於ける要部断面図であっ
て、第4図及び既出の図に関して説明した部分と同部分
は同記号で指示しである。
図に於いて、20〜25は電極、30−32は電源をそ
れぞれ示している。
れぞれ示している。
第8図は、半膳算器の実施例を表す回路図であり、第4
図及び既出の図に関して説明した部分と同部分は同記号
で指示しである。
図及び既出の図に関して説明した部分と同部分は同記号
で指示しである。
本実施例が第4図実施例と相違する点は、受光領域D1
3と直列に発光領域S14が挿入されていることであり
、そして、受光領域D15が導通状態で且つ受光領域D
13.D14を含む回路が非導通状態のとき、発光領域
S13にはそのしきい値組流Jth13以上の電流が流
れ、受光領域り工3.D14及びD15の全てが導通状
態のとき、発光領域S13にしきい値電流Jth、・3
未満の電流が流れ且つ発光領域S14にそのしきい値組
流Jth14以上の電流が流れるようにする為、定電流
源Jの電流値Jdは、 Jt)t、3<Jd< (1+ R12/R11)Jth13 且つ (1+R11/R12)Jth、 4<Jdであるよう
に設定されている。例えば、Jth13≠Jth、、=
Jth R12=2R14 のとき、 1 、 5 J th< J d < 3 J tll
となる。
3と直列に発光領域S14が挿入されていることであり
、そして、受光領域D15が導通状態で且つ受光領域D
13.D14を含む回路が非導通状態のとき、発光領域
S13にはそのしきい値組流Jth13以上の電流が流
れ、受光領域り工3.D14及びD15の全てが導通状
態のとき、発光領域S13にしきい値電流Jth、・3
未満の電流が流れ且つ発光領域S14にそのしきい値組
流Jth14以上の電流が流れるようにする為、定電流
源Jの電流値Jdは、 Jt)t、3<Jd< (1+ R12/R11)Jth13 且つ (1+R11/R12)Jth、 4<Jdであるよう
に設定されている。例えば、Jth13≠Jth、、=
Jth R12=2R14 のとき、 1 、 5 J th< J d < 3 J tll
となる。
入力光をX11及びX12、出力光をY及びCとすると
、論理演算の真理値表は次の通りである。
、論理演算の真理値表は次の通りである。
表3
X11X12 Y C
000。
0 1 1 。
010
1 1 o 1
第9図は、第8図の回路を具体化した装置の要部平面図
であり、第10図は第9図の線A−Aに於ける要部断面
図、第11図は第9図の線B−Bに於ける要部断面図で
あって、第8図及び既出あ図に関して説明した部分と同
部分は同記号で指示しである。
であり、第10図は第9図の線A−Aに於ける要部断面
図、第11図は第9図の線B−Bに於ける要部断面図で
あって、第8図及び既出あ図に関して説明した部分と同
部分は同記号で指示しである。
第12図は、全加算器の実施例を表すブロック図である
。
。
図に於いて、HAは半加算器、ORは論理和素子、TD
lは1段の遅延素子、TD2は2段の遅延素子、XI
1.Xi 2.C11は入力光、Y。
lは1段の遅延素子、TD2は2段の遅延素子、XI
1.Xi 2.C11は入力光、Y。
C12は出力光をそれぞれ示す。
論理和素子OR及び遅延素子TD1..TD2は、第1
3図に示しであるように、光分岐回路と同様、1個の受
光領域り及び1個の分布帰還型半導体レーザして構成さ
れ、半加算器HAと共に第10図及び第11図に見られ
るような高抵抗JnP基板上に形成される。
3図に示しであるように、光分岐回路と同様、1個の受
光領域り及び1個の分布帰還型半導体レーザして構成さ
れ、半加算器HAと共に第10図及び第11図に見られ
るような高抵抗JnP基板上に形成される。
前記したように、入力光をXll、X12.C11とし
、出力光をY、C12とすると、論理演算の真理値表は
次の通りである。
、出力光をY、C12とすると、論理演算の真理値表は
次の通りである。
表4
Xll X12 C1l Y Cl2oo
oo。
oo。
0 0 110
1010
0 ’1 1 0 10010
1 0 1 0 1
1001
1111
第14図は、半減算器の実施例を表す回路図であり、第
8図に関して説明した部分と間部分は同記号で指示しで
ある。
8図に関して説明した部分と間部分は同記号で指示しで
ある。
本実施例が第8図実施例と相違する点は、受光領域D1
3と直列接続されていた発光領域S14を除去し、抵抗
R13と受光領域S14とからなる直列回路を受光領域
013と抵抗R11とからなる直列回路に並列接続して
いることであり、そして、並列接続された各直列回路の
導通状態に応じて発光領域513.S14の発光と発光
停止を制御する為、定電流源Jの電流値Jdは、発光領
域S 13及ヒS 14のしきい値電流をそれぞれJt
h、 3及びJth、 4とすると、Jd> (1+R
13/’R12)Jth+4Jd> (1+R12/R
13)Jth+*、rd< (1+R1’2/R11+
R12/R13)Jth、。
3と直列接続されていた発光領域S14を除去し、抵抗
R13と受光領域S14とからなる直列回路を受光領域
013と抵抗R11とからなる直列回路に並列接続して
いることであり、そして、並列接続された各直列回路の
導通状態に応じて発光領域513.S14の発光と発光
停止を制御する為、定電流源Jの電流値Jdは、発光領
域S 13及ヒS 14のしきい値電流をそれぞれJt
h、 3及びJth、 4とすると、Jd> (1+R
13/’R12)Jth+4Jd> (1+R12/R
13)Jth+*、rd< (1+R1’2/R11+
R12/R13)Jth、。
Jd< (1+R13/R11+R13/R12)Jt
h、。
h、。
の如く設定されている。例えば、JthローJth、4
且っR11=R12=R13のとき、2 J th<
J d < 3 J thとなる。
且っR11=R12=R13のとき、2 J th<
J d < 3 J thとなる。
受光領域D11.D12への入力光をX11゜X12、
発光領域513,514(7)出力光をY。
発光領域513,514(7)出力光をY。
Bとすると、論理演算の真理値表は次の通りである。
表5
X11X12 Y B
0 0 0 0
0 1 1 1
1 0 1 0
1 1 0 0
第1.6図は、第14図の回路を具体化した装置の要部
平面図であり、第16図は第15図のII!A−Aに於
ける要部断面図、第17図は第15図の線B−Bに於け
る要部断面図、第18図は第15図の線C−Cに於ける
要部断面図であって、第14図及び既出の図に関して説
明した部分と同部分は同記号で指示しである。
平面図であり、第16図は第15図のII!A−Aに於
ける要部断面図、第17図は第15図の線B−Bに於け
る要部断面図、第18図は第15図の線C−Cに於ける
要部断面図であって、第14図及び既出の図に関して説
明した部分と同部分は同記号で指示しである。
第19図は、全減算器の実施例を表すブロック図である
。
。
図に於いて、H3は半減算器、ORは論理和素子、TD
Iは1段の遅延素子、TI)2は2段の遅延素子、Xl
l、X12.Bllは入力光、Y。
Iは1段の遅延素子、TI)2は2段の遅延素子、Xl
l、X12.Bllは入力光、Y。
B12は出力光をそれぞれ示す。
論理和素子OR及び遅延素子TDI、TD2は、第13
図に関して説明したものと同じであり、半減算器)IS
と共に第17図乃至第19図に見られるような高抵抗I
nP基板上に形成される。
図に関して説明したものと同じであり、半減算器)IS
と共に第17図乃至第19図に見られるような高抵抗I
nP基板上に形成される。
前記したように、入力光をxi i、XI 2.B11
とし、出力光をY、B12とすると、論理演表6 Xll X12 、B11 Y B12o
ooo。
とし、出力光をY、B12とすると、論理演表6 Xll X12 、B11 Y B12o
ooo。
0 0 1 1 1
0 1 0 1 1
1101
ioot。
0100
1LO’0−0
1111
前記実施例では、InP / InGaAsP系の半導
体を使用したものについて説明したが、他の系、例えば
、GaAs/ GaAlAs系についても同様に実施で
きる。
体を使用したものについて説明したが、他の系、例えば
、GaAs/ GaAlAs系についても同様に実施で
きる。
発明の効果
本発明に依れば、高抵抗基板に受光領域及び発光領域を
形成し?それ等受光領域と発光領域とを適宜組合せて論
理演算回路を構成できるので、従来、実現されていなか
った論理演算可能な光集積回路が提供される。
形成し?それ等受光領域と発光領域とを適宜組合せて論
理演算回路を構成できるので、従来、実現されていなか
った論理演算可能な光集積回路が提供される。
第1図は本発明一実施例の回路図、第2図は第1図の回
路を具体化した装置の要部平面図、第3図は第2図の線
A−Aに於ける要部断面図、第4図は他の実施例の回路
図、第5図は第4図の回路を具体化した装置の要部平面
図、第6図は第5図の線A−Aに於ける要部断面図、第
7図は第5図の線B−Bに於ける要部断面図、第8図は
他の実施例の回路図、第9図は第8図の回路を具体、化
した装置の要部平面図、第10図は第9図の線A−Aに
於ける要部断面図、第11図は第9図の線B−Bに於け
る要部断面図、第12図は他の実施例のブロック図、第
13図は第12図に使用し、た回路を具体化して表した
説明図、第14図は他の実施例の回路図、第15図は第
14図の回路を具体化した装置の要部平面図、第16図
は第15図の線A−Aに於ける要部断面図、第17図は
第15図の線B−Bに於ける要部断面図、第18図は第
15図に於ける要部断面図、第19図は他の実施例のブ
ロック図である。 図に於いて、1はl型1nP基板、2はn1型InP半
導体層、3はl型InGaAsP半導体層、4はn“型
InP半導体層、5 (3)はp+梨型1nGaAsP
導体領域、6 (2)はP+型1nP回折格子、6 (
4)ばp”型InP半導体領域、7(3)はl型1nG
aAsP半導体領域、8(2)及び8(4)はl型1n
P半導体領域、8 (2)Aはl型1nP回折格子、i
oは表面保護膜、20及び21は電極、30は定電流源
をそれぞれ示している。 特許出願人 富士通株式会社 代理人弁理士 玉蟲 久五部 (外3名) 第12図 第13図 第14図 第15図
路を具体化した装置の要部平面図、第3図は第2図の線
A−Aに於ける要部断面図、第4図は他の実施例の回路
図、第5図は第4図の回路を具体化した装置の要部平面
図、第6図は第5図の線A−Aに於ける要部断面図、第
7図は第5図の線B−Bに於ける要部断面図、第8図は
他の実施例の回路図、第9図は第8図の回路を具体、化
した装置の要部平面図、第10図は第9図の線A−Aに
於ける要部断面図、第11図は第9図の線B−Bに於け
る要部断面図、第12図は他の実施例のブロック図、第
13図は第12図に使用し、た回路を具体化して表した
説明図、第14図は他の実施例の回路図、第15図は第
14図の回路を具体化した装置の要部平面図、第16図
は第15図の線A−Aに於ける要部断面図、第17図は
第15図の線B−Bに於ける要部断面図、第18図は第
15図に於ける要部断面図、第19図は他の実施例のブ
ロック図である。 図に於いて、1はl型1nP基板、2はn1型InP半
導体層、3はl型InGaAsP半導体層、4はn“型
InP半導体層、5 (3)はp+梨型1nGaAsP
導体領域、6 (2)はP+型1nP回折格子、6 (
4)ばp”型InP半導体領域、7(3)はl型1nG
aAsP半導体領域、8(2)及び8(4)はl型1n
P半導体領域、8 (2)Aはl型1nP回折格子、i
oは表面保護膜、20及び21は電極、30は定電流源
をそれぞれ示している。 特許出願人 富士通株式会社 代理人弁理士 玉蟲 久五部 (外3名) 第12図 第13図 第14図 第15図
Claims (1)
- 高抵抗化合物半導体基板と、該基板上に形成され流れる
電流がしきい値を越えたときに発振開始する発光領域と
、前記基板上に形成され光の照射或いは非照射で導通或
いは非導通とな4て前記発光領域に流れる電流を発振し
きい値以上或いは未満となるよう制御する受光領域と−
を備えてなることを特徴とする光集積回路装置。
Priority Applications (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP57131533A JPS5922445A (ja) | 1982-07-28 | 1982-07-28 | 光集積回路装置 |
Applications Claiming Priority (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP57131533A JPS5922445A (ja) | 1982-07-28 | 1982-07-28 | 光集積回路装置 |
Publications (1)
| Publication Number | Publication Date |
|---|---|
| JPS5922445A true JPS5922445A (ja) | 1984-02-04 |
Family
ID=15060290
Family Applications (1)
| Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
|---|---|---|---|
| JP57131533A Pending JPS5922445A (ja) | 1982-07-28 | 1982-07-28 | 光集積回路装置 |
Country Status (1)
| Country | Link |
|---|---|
| JP (1) | JPS5922445A (ja) |
Cited By (3)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| JPS61144241U (ja) * | 1985-02-27 | 1986-09-05 | ||
| JPS62200147U (ja) * | 1986-06-10 | 1987-12-19 | ||
| US5541443A (en) * | 1992-05-05 | 1996-07-30 | At&T Corp. | Active optical logic device incorporating a surface-emitting laser |
Citations (2)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| JPS4842370A (ja) * | 1971-10-01 | 1973-06-20 | ||
| JPS4911784A (ja) * | 1972-05-16 | 1974-02-01 |
-
1982
- 1982-07-28 JP JP57131533A patent/JPS5922445A/ja active Pending
Patent Citations (2)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| JPS4842370A (ja) * | 1971-10-01 | 1973-06-20 | ||
| JPS4911784A (ja) * | 1972-05-16 | 1974-02-01 |
Cited By (3)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| JPS61144241U (ja) * | 1985-02-27 | 1986-09-05 | ||
| JPS62200147U (ja) * | 1986-06-10 | 1987-12-19 | ||
| US5541443A (en) * | 1992-05-05 | 1996-07-30 | At&T Corp. | Active optical logic device incorporating a surface-emitting laser |
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