JPS59227701A - 水素ガスの選択的濃縮および分離精製法 - Google Patents

Abstract

(57)【要約】本公報は電子出願前の出願データであるた
め要約のデータは記録されません。

Description

【発明の詳細な説明】 （イ）産業上の利用分野 本発明は吸着法を利用する水素ガスの選択的濃縮および
分離精製法に関するものである。さらに詳しくは本発明
は水素ガスを含む混合気体を所謂圧力サイクル方式（以
下ＰＳＡと呼称する）で処理することにより、高純度水
素を得る経済的な方法を提供するものである。

（ロ）従来技術 水素を含む気体源は多くの工業的分野で広汎に存在して
おり、これを原料ガスとして水素を濃縮したり、また分
離〜精製することはエネルギー回収の工業的見地より見
ても意義深いものである。

さて水素源となる原料ガスは廃ガスをはじめとして多く
存在するが、それの組成は複雑である。水素原料ガス中
には種々の炭化水素系のＣＩ４．Ｃ２Ｈｔ、　、　　Ｃ
３Ｈｅ　、　　Ｃ２Ｈ４、Ｃ２＋１２等の気体や、また
Ｃｏ、　　Ｃｏ　２　、ＳＯ２、Ｎ２　、　　ＮＨ３，
ｔ■２０等の無機系の気体が含まれる場合がかなり多く
存在している。水素源として有用な原料ガス源の組成は
、はなはな複雑であり、これを用いて吸着法により水素
ガスの精製や濃縮を経済的に実施するためには、有効な
吸着剤の選定とこれを用いての効率の高い水素の精製や
濃縮のプロセスの確立が技術的にも重要である。

（ハ）目的 本発明は高純度の水素ガスを効率よく得ることができる
水素ガスの選択的濃縮および分離精製法を提供すること
を主たる目的としている。

（ニ）構成 本発明にかがる水素ガスの選択的濃縮または分離精製法
は、 水素を含む混合ガス中の水素を吸着法により選択的に濃
縮または分離、精製するに際して、該混合ガスの少なく
とも一成分に対して選択吸着性を有する、主としてゼオ
ライト（Ｚ）−−活性Ｕ　（Ａ）の複合体の焼成物がら
なり、それのＺ／Ａの重量比が０．２５〜８．０の範囲
内にある活性化された吸着物質を充填した吸着床を加圧
下に保持した状態で該混合ガスを通ずることにより、不
純成分を選択的に吸着除去して水素ガスを濃縮〜精製し
て製品ガスとして取り出す第１の吸着工程、第１工程終
了後の加圧下の状態の吸着床と水素濃縮系を構成してい
る製品水素ガスによる加圧工程を終了した吸着床とを連
結して床間圧力の平均化を実施して、前者より並流方向
に放出される水素富化部を後者に並流方向に回収して同
法の加圧用に使用する平均化工程、所謂均圧の第２工程
、第２工程終了後の吸着床を向流方向に減圧して大気圧
付近に保持して床内の残留ガスを放出する第３の減圧工
程、 さらに床内を向流方向に低真空に排気して少なくとも２
００トール（ｔｏｒｒ）以下に保持する第４の排気工程
、 同工程を終了した吸着床に対して少なくとも２゜Ｏトー
ル（ｔｏｒｒ）以下の排気と＆す品水素ガスによる洗浄
（パージ）の併用工程を向流方向に実施する第５の工程
、 同工程を終了した床に対して製品水素ガスによる向流方
向の加圧を実施する第６の製品水素ガス加圧工程、 同工程終了後の床と前述の吸着工程終了後の加圧下の吸
着床とを連結して床間圧力の平均化を実施して後者の床
より亜流方向に放出される水素ガス冨化部を前者の床の
加圧用ガスとして並流方向に使用する所謂第７の床間圧
力の平均化工程、並びに第７エ程終了後の吸着床に対し
て水素を含む原料ガスを並流方向に導入して所定の吸着
圧まで加圧する第８の原料ガスの加圧工程の８工程より
なるサイクルを実施することを特徴としている。

具体的にこの方法を実施する場合は水素の濃縮系を構成
しているゼオライト（Ｚ）−活性炭（Ａ）の複合体（Ｚ
／Ａ＝０．２５〜８．０）よりなる各床に対して本発明
のサイクルを構成する各工程を好ましい条件下で順次実
施すればよい。

本発明のサイクル構成は下記の如く要約される。

「吸着工程−均圧放出工程（並流方向）−減圧工程（向
流方向）−排気工程（向流方向）−排気・パージ工程（
向流方向）−製品水素ガス加圧工程（向流方向）−均圧
加圧工程（並流方向）−原料水素ガス加圧工程（並流方
向）」 但し、上記のサイクル構成をしている各工程の括弧内に
示した気体の床内の流れの方向は原料水素ガスの吸着工
程における床内の流れの方向を基準にしている。さらに
均圧は既述の如く床間圧力の平均化の操作であって、均
圧放出は均圧操作実施時のガスの放出を、さらに均圧加
圧は均圧操作時に放出されるガスによる加圧を表してい
る。

（ホ）実施例 本発明の方法に従って連続的に効率よく少なくとも９９
．４％以上に水素をえる目的に対しては既述の８工程よ
りなるサイクルを水素濃縮系を構成している各吸着床に
好ましい条件下で実施すればよい。第１吸着工程は再生
済みの吸着床を所定の吸着圧に保持して、原料水素ガス
中の不純成分を選択的に吸着除去して少なくとも９９．
４％以上、通常の場合９９．９％以上の製品水素ガスを
濃縮・精製して水素濃縮系外に製品ガスとして取り出す
工程である。本吸着工程の吸着圧は少なくとも３　ｋｇ
　／　ｃＪ・Ｇ以上に保持することが好ましい。吸着圧
をより大きくすることにより、粗水素ガスの処理容量は
増大し単位時間当たりの製品水素量も多くなる利点があ
るが、反面ＰＳＡの高圧運転はそれの低圧運転に比較し
て動力消費を増大する傾向になる。

粗水素ガス源として加圧状態のガスの使用が可能であれ
ば、この点は問題にならない。

さて、前述の吸着工程において、加圧下で水素混合ガス
を処理して一定純度の水素ガスを製品水素ガスとして取
り出した後の吸着床内には、原料ガスより水素純度に冨
んだ部分の残留ガスがかなりの量存在しているので、こ
の水素富化部を池床へ回収して収率を上昇させる必要が
ある。このために上記の吸着工程を終了した床と水素濃
縮系を構成している床であって、既に製品水素ガスによ
る加圧工程を終えた床とを互いに連結して、前者の床よ
り並流方向に放出される気体成分を後者の床の加圧用ガ
スとして並流方向に回収する操作が実施される。例えば
水素を約５０％含有する粗水素ガスを原料として本発明
のサイクル構成で吸着圧を４．　ｋｇ　／　ｃａ・Ｇ付
近に保持して、正常状態で運転して製品水素ガスとして
９９．９％以上の水素を収率８０％で取り出しているＰ
ＳＡ系では、前述の均圧工程（第２工程）終了時の平衡
圧は通常１．６〜２．０ｋｇ／ｃ艷・Ｇ付近に存在する
。

次に、上記の均圧放出の処理を終えた床は、それの再生
のための第３の向流方向の減圧工程に入る。本工程は排
気工程へ入る前の予備的段階であり、この工程では単に
弁を開放することにより床内圧力より機械的に減圧して
大気圧付近に床内を保つ単純な操作を機械的に実施して
いる。この工程で放出される気体成分は水素濃縮系に回
収されることなしに系外へ放出される。引続き真空ポン
プを用いて床内を向流方向に排気する第４の排気工程を
実施する。この場合は床の予備的な再生を実施するので
床内の真空度は必ずしも高真空を必要とせず、動力の経
済性を考慮して本方式では少なくとも２００　ｔｏｒｒ
以下であればよくミ最も好ましい範囲は１５０　ｔｏｒ
ｒ以下である。上記の工程を終了後床内は向流方向の排
気とパージを併用した再生法、所謂排気・パージの第５
工程が行われる。

この場合、パージに使用される水素ガス量は床の排気の
程度により当然異なってくる。例えば本発明の方式で製
品水素ガスの純度を９９．９％とし、水素収率を少なく
とも７５％以上に保つためには上記の工程の排気を１０
０　ｔｏｒｒ付近で実施した場合、これと併用するパー
ジの水素量は製品水素ガス量の３０％以下の使用が好ま
しく、７〜２５％の範囲の使用は最も望ましいパージ量
である。第５の排気・パージ工程を上述の如〈実施する
ことにより床の再生は終了する。

次に、第６の製品水素ガス加圧工程では製品水素ガスの
一部を用いて、これを向流方向に床内に導入して加圧が
行われる。かかる操作を実施することにより床内に残留
している若干の不純成分はより床の入り口付近に移動し
て、これの吸着帯を形成するので不純成分の不規則的な
拡散を防止する効果がある。引続き前述の均圧放出の第
２工程で床内より並流方向に放出される水素富化部の気
体を利用して、床を並流方向に加圧する第７の均圧加圧
工程が実施され床はさらに加圧状態になる。

上記の第７エ程を終了した床に対しては第８の原料水素
ガス加圧工程を実施する。即ち、原料水素ガスを並流方
向に導入して床内は最終的に所定の吸着圧に保持される
ようになっている。

上述の第７及び第８の工程では製品水素ガスで加圧状態
に保持されている床に対して水素純度の高い順序でガス
による並流方向の加圧が行われるので不純成分の吸着帯
の乱れは極力防止されるようになっている。

第１図は、ゼオライト−活性炭の複合体を水素の精製〜
濃縮剤として使用し、これを用いて８工程からなる本発
明のＰＳＡ方式で水素の精製〜濃縮を完全自動方式で具
体的に実施する一例として４分切り替えの５塔構成の水
素濃縮系の配置図を示している。また、関連の工程を第
１表に示した。

吸着塔４６について以下に工程の説明を行うと、時間０
〜２４０秒の間バルブ１とバルブ２が開き原料ガス配管
５３を通して粗水素ガスが加圧状態で吸着塔４６に導入
され、製品水素ガス配管５５を通して製品ガスが取り出
される。

時間２４０〜２７０秒の間、バルブ３が開き吸着塔４６
と水素加圧が終了した吸着塔４８が均圧され、水素富化
ガスが吸着塔４８に回収される。

時間２７０〜３３０秒の間、バルブ４が開き吸着塔４６
は向流方向に大気圧まで減圧される。

時間３３０〜５７０秒の間バルブ５が開き吸着塔４６は
向流方向に所定圧まで真空ポンプ５１を用いて排気され
る。

時間５７０〜８１０秒の間、バルブ６とバルブ７が開き
、吸着塔４６は真空ポンプ５２を用いて所定圧を保持し
たままで、水素製品ガスの一部で向流方向に洗浄される
。

時間８１０〜９６０秒の間、バルブ８が開き吸着塔４６
は製品水素ガスの一部を用いて所定圧まで加圧される。

時間９６０〜９９０秒の間、バルブ３０が開き、吸着塔
４６は吸着が終了した塔４９と均圧化され、水素富化ガ
スを回収する。

時間９９０〜１２００秒の間、バルブ９が開き、吸着塔
４６は吸着圧まで原料ガスで加圧される。

以上の８工程を第１表に示す。タイムシーケンスで５塔
工程をずらしながら並行して行っている。

次に、本発明の具体的実施例を説明するが、本発明はそ
の要旨を越えぬ限り本実施例に限定されるものではない
。

まず、本発明の水素ガスの精製・濃縮に使用した吸着剤
の製造方法について説明する。

Ａ−型合成ゼオライドの微粉末（１，０８Ｎａ２０　　
・八１２０３　・２．０２Ｓｉ０２　　・ｘＨ２Ｏ）乾
燥品をそれの無水物として５　ｋｇ採取し、これに活性
炭粉末（藤沢薬品：Ｂ−ＣＷ；平均粒子径１００　ｐｍ
　）　５　ｋｇを加えてＶミキサーで混合した。次に得
られた混合物に対して無機系の結合剤としてベントナイ
ト微粉末を２０％（２ｋｇ）と有機系の結合剤としてメ
チルセルロースを２％［７，０００〜１０，０００ｃｐ
ｓ　　（２％水溶液：２０℃）］とを加えて水の存在下
に湿式混和を３時間３０分行った。

湿式混和時の含水率は４４．３％であった。かがる方法
で得られた混和物を成型機により１／８〃ペレツトに成
型後、それの乾燥を１００〜１］０”Ｃで行った。引続
きフラッシャ−を用いて乾燥ペレットの長さの調整を行
って一定の長さの分布に入るようにしてから、最終的に
チン素雰囲気中で４７０〜４７５℃に３時間３０分焼成
されて本発明の水素濃縮に関する実施例に使用される１
／８”ペレットの焼成体が得られた。

これによりえられた水素精製〜濃縮用の１／８“ペレッ
ト（焼成済み）のゼオライト（Ｚ）と活性炭（八）の重
量比は、Ｚ　／Ａ−０，９６であり、それの平均硬度は
７．ｌ３ｋｇ／ベレットであった。

しかして、本実施例では主としてゼオライト（Ｚ）と活
性炭（八）の複合体より構成される水素の精製・濃縮剤
（上述の製造例より得られた１／８　“ペレット吸着剤
Ｚ　／Ａ　−０，９６）を使用して既述した本発明の８
工程よりなるＰＳＡ方式による水素の精製・濃縮が実施
された。

第２図は本試験に使用した２塔構成の手動式の水素濃縮
試験装置の配置図である。

１の吸着塔（内径４２．６龍；長さ２，０００龍）に対
しては上述の製造例より得られた水素精製剤ｌ／８　“
ペレットが各基当たり１．４７ｋｇ充填された。

吸着塔の下部より過熱チッ素ガス（１５０°Ｃ）が導入
されて塔の上部よりの放出ガスの露点が一６５°Ｃに達
するまで塔内は活性化された。

本実施例に使用された原料水素ガス（Ｈｚ＝５４．５％
；ＣＨ４＝１９．３％ｉ　　Ｃ２Ｈ６＝１９．２％１ｃ
３Ｈ１］−５，８％；　　Ｃ４Ｉｆ　ｔｏ　＝１．２％
）は配管７１を経て２塔構成の吸着塔６１へ導入される
。６２は製品水素ガス用流量計であり、６３は減圧用の
流量計、６４は湿式流量計、６５は水素分析計、６６は
真空ポンプ、６７は連成計、さらに６８は精密圧力計で
ある。

本発明の水素ガス濃縮のプロセスで必要とする加圧用の
水素は６９の水素ボンベに貯蔵されており、これは７０
のチャージタイクを経て２塔構成の吸着塔へ導入される
ようになっている。７２は真空ポンプよりの排ガスの放
出配管である。本実施例では前述の「吸着工程−均圧放
出工程（並流方向）−減圧工程（向流方向）−排気工程
（向流方向）−排気・パージ工程（向流方向）−製品水
素ガス加圧工程（向流方向）−均圧加圧工程（並流方向
）−原料水素ガス加圧工程（並流方向）」の８工程より
なるサイクルが順次実施された。

実施例の細部を第２表に示す。

実施例１〜３は吸着塔の圧力を４　ｋｇ／　ｃＡ・Ｇに
保持し、且つ、排気工程ならびに排気・パージ工程の塔
内の真空度を何れも１００　ｔｏｒｒに保持した場合で
ある。この場合、均圧工程終了時の塔内の圧力は約１．
８　ｋｇ／ｃｆ・Ｇであった。また、水素ガスの加圧工
程の水素使用量は何れの例でも２．ＩＮ＜！であった。

上記８工程の一サイクル終了時の製品水素ガスの収率は
、実施例１では７８．１％、実施例２では８２．２％、
また実施例３では８５．０％に達している。何れの実施
例でも表記した如く、水素ガス純度は９９．８％に達し
ている。なお、本発明で使用した水素精製剤１　ｋｇ当
たりの製品水素ガス量は大であり、２３〜２５隊を示し
た。

かかる結果は上記の精製剤とＰＳＡを絹み合わせた本発
明の水素精製〜濃縮法が高能率を発揮することを表して
いるに外ならない。

次に実施例４〜５は吸着圧を４ｋｇ／ｃＪ−Ｇに保持し
、且つ排気工程ならびに排気・、パージ工程の塔内の真
空度を何れも２００　ｔｏｒｒに設定した場合である。

関連の細部データは第２表に記載されている。上記の２
例の実施例では製品水素ガスの収率は７４〜７９％であ
り、また得られた水素ガス純度は何れも９９．５％に達
している。

尚、上述の実施例では、水素ガスの選択的濃縮または分
離・精製に際しては主としてゼオライト（Ｚ）−活性炭
（Ａ）の複合体の焼成物がらなり、それのＺ／Ａ重量比
が０．２５〜８．０の範囲内にある活性化された吸着物
質を充填した吸着床が使用されるとして説明したが、こ
の床の代わりに処理対象とする水素原料ガスの種類と組
成によっては、下記の床構成で合ってもよい。

即ち、上述のゼオライト−活性炭の複合体よりなる床を
主な床とし、これにシリカゲルまたはアルミナゲル、或
いはシリカゲル及びアルミナゲルを充填した床を側床と
して併用して本発明の方法を実施して９９．９％以上の
水素ガスを得ることも可能である。この場合、主床構成
に使用するゼオライト−活性炭の複合吸着剤に対して側
床構成に使用する前記シリカゲル、アルミナゲル等の吸
着剤の使用量は３０％以下が吸着床の効率を上げるため
にも適当である。

（へ）効果 この発明にかかる水素ガスの選択的濃縮及び分離法によ
れば次のような効果を得ることができる。

ｔａ＞粗水素混合ガス（Ｈｚ＃５０％）を処理して少な
くとも９９．５％以上の水素を得ることは極めて容易で
あり、また、水素収率を上げることができる。

（ｂ）使用するゼオライト−活性炭複合体よりなる吸着
剤単位重量あたりの精製水素ガスの収量を極めて高くす
ることができる（例えば、水素収量は１９〜２４Ｎｉｌ
ｌ／ｋｇ吸着剤に達している）。

（Ｃ１本発明ではゼオライト−活性炭の複合体を充填し
た吸着床をしようしているので、ゼオライトのみで構成
される吸着塔や、活性炭とゼオライトの２層で構成され
る吸着塔に比較して、塔内の熱伝導度が著しく改善され
、また、塔内の温度分布もより均一になる。それ故、本
発明で提案したＰＳＡに基づく水素：ａ紬糸では極めて
安定した運転が完全自動で行える利点がある。

（ｄ）本発明で使用する水素精製用吸着剤を構成する素
材の活性炭（Ａ）の真密度は通常１．９〜２，２ｇ　／
ｃ＋Ｊ　（見掛密度：　０．８〜１．０ｇ／ｃＪ）程度
であり、一方、天然または合成ゼオライｌ−（Ｚ）の真
密度は通常２．０〜２．３ｇ／ｃＪ　（見掛密度：　０
．８〜１．３ｇ／ｃＪ）程度であるので、両者の混合物
を用いて結合剤存在下に湿式混和を実施した後、成型、
乾燥、焼成することにより活性炭とゼオライトが均一に
分散した状態の好ましい複合体組成物が得られる。

それ故、本発明の水素濃縮系で使用するゼオライト−活
性炭複合吸着剤の見掛は密度、機械的強度は大である。

またその発火点は、ゼオライトの含有に応じて上昇する
ので活性炭のみで吸着剤を構成した場合等と比較して使
用上の安全性が優れている。

ｆｅ）複合吸着剤を構成している活性炭−ゼオライドの
分散は均一に行われるで、この吸着剤より構成される吸
着床の熱伝導性は良好である。そのため、本発明によれ
ば、効率の高いＰＳＡ運転が可能である。

（ｆ１本発明で使用する活性体−ゼオライド複合体より
構成される吸着床のガスの吸着、脱着は迅速に行われる
。また、それの再生は容易である。７疋って、本発明の
８工程よりなるサイクルの所要時間も短縮できるという
利点がある。換言すれば、本発明にかかる方法によれば
、水素の精製・濃縮効率も当然大きくするとかできる。

（ｇ１本発明は活性炭−ゼオライド複合体よりなる吸着
床を用いるから、ゼオライトのみの床やゼオライトと活
性炭の２層構成床に比較しで、ガスの吸着〜脱着はより
迅速に且つ床全体を通じて均一に行えて床の効率を高く
なる利点がある。

従って、本発明に使用する吸着剤は前述のゼオライトの
みの床やゼオライトと活性炭の２Ｍ構成床に比較して、
水素を含有する混合気体より水素を分離、精製、または
濃縮する際に必要とするＭＴＺ（マストランスファーシ
ン）の長さをより短縮する方向に作用する効果がある。

それ故、実際に水素混合ガスを精製、濃縮する際に前述
のゼオライトのみの床や、ゼオライトと活性炭との２Ｎ
構成の床で必要とする床の高さに比較して、本発明で使
用する前述の構成をとる吸着床ではそれをより、軽減で
きる利点がある。これはＰＳＡ方式で例えば、気体を処
理して精製する際の排気工程等で見られる床の抵抗をよ
り小さくすることが可能であり、電力消費を軽減する利
点がある。従って、この吸着床より水素濃縮系を構成さ
せて８工程よりなるＰＳＡ号イクイクルり返す本発明に
よれば、電力消費の少ない経済的な水素濃縮が可能であ
る。

【図面の簡単な説明】

第１図は本発明の８工程からなるＰＳＡで水素の精製・
濃縮を具体的に完全自動方式で実施する際の一例として
５塔構成の水素濃縮系の配置図、第２図は本発明の８工
程からなるＰＳＡで水素の精製・濃縮を手動で具体的に
実施する際の２塔構成の装置の配置図を示している。 １〜４５・・・弁、４６〜５０は吸着塔、５１・・・真
空ポンプ、５２・・・排気・パージ用−の真空ポンプ、
５３〜５７・・・配管、６１・・・吸着塔、６２・・・
製品ガス用の流量計、６３・・・減圧用の流量計、６４
・・・湿式流量計、６５・・・水素分析計、６６・・・
真空ポンプ、６７・・・連成計、６８・・・精密圧力計
、６９・・・水素加圧用の水素ボンベ、７０・・・水素
チャージタンク、７１．７２・・・配管。 特許出願人　　日本電子材料株式会社 同　　萩原善次 代理人　　弁理士　　大　西　孝　治

Claims (2)

【特許請求の範囲】
1. （１）水素を含む混合ガス中の水素を吸着法により選択
   的に濃縮または分離精製するに際して、該混合ガスの少
   なくとも一成分に対して選択吸着性を有する主としてゼ
   オライト（Ｚ）−活性炭（Ａ）の複合体の焼成物からな
   り、それのＺ／Ａ重量比が０．２５〜８．０の範囲内に
   ある活性化された吸着物質を充填した吸着床を加圧下に
   保持した状態で該混合ガスを通ずることにより不純成分
   を選択的に吸着除去して水素ガスを濃縮〜精製して製品
   ガスとして取り出す第１の吸着工程、第１工程終了後の
   加圧下の状態の吸着床と水素濃縮系を構成している製品
   水素ガスによる加圧工程を終了した吸着床とを連結して
   床間圧力の平均化を実施して、前者より並流方向に放出
   される水素富化部を後者に並流方向に回収して、同法の
   加圧用に使用する平均化工程、いわゆる均圧の第２工程
   、 第２工程終了後の吸着床を向流方向に減圧して、大気圧
   付近に保持して床内の残留ガスを放出する第３の減圧工
   程、 さらに床内を向流方向に低真空に排気して少なくとも２
   ００トール（ｔｏｒｒ）以下に保持する第４の排気工程
   、 第４の排気工程を終了した吸着床に対して少なくとも２
   ００トール（ｔｏｒｒ）以下の排気と製品水素ガスによ
   る洗浄（パージ）の併用工程を向流方向に実施する第５
   の工程、 第５の工程を終了した床に対して製品水素ガスによる向
   流方向の加圧を実施する第６の製品水素ガス加圧工程、 第６エ程終了後の床と前述の吸着工程終了後の加圧下の
   吸着床とを連結して床間圧力の平均化を実施して後者の
   床より並流方向に放出される水素ガス冨化部を前者の床
   の加圧用ガスとして並流方向に使用するいわゆる第７の
   床間圧力の平均化工程、 ならびに第７エ程終了後の吸着床に対して水素を含む原
   料ガスを並流方向に導入して所定の吸着圧まで加圧する
   第８の原料ガスの加圧工程の８工程よりなるサイクルを
   実施することを特徴とする水素ガスの選択的濃縮および
   分離精製法。
2. （２）前記第１の吸着工程の吸着圧を少なくとも３ｋｇ
   ／ｃＩＩＩ−Ｇ以上に保持し、第４の排気工程を少な（
   とも１５０トール（ｔｏｒｒ）以下に床内を保持するま
   で実施し、さらに第５工程の排気・洗浄（パージ）の併
   用工程を少なくとも１５０トール（ｔｏｒｒ）以下の真
   空度に床内が保持されるようにしたことを特徴とする特
   許請求の範囲第１項記載の水素ガスの選択的濃縮および
   分離精製法。