JPS59230471A - 表面波モ−タ - Google Patents
表面波モ−タInfo
- Publication number
- JPS59230471A JPS59230471A JP58103270A JP10327083A JPS59230471A JP S59230471 A JPS59230471 A JP S59230471A JP 58103270 A JP58103270 A JP 58103270A JP 10327083 A JP10327083 A JP 10327083A JP S59230471 A JPS59230471 A JP S59230471A
- Authority
- JP
- Japan
- Prior art keywords
- stator
- piezoelectric
- surface wave
- slots
- mover
- Prior art date
- Legal status (The legal status is an assumption and is not a legal conclusion. Google has not performed a legal analysis and makes no representation as to the accuracy of the status listed.)
- Pending
Links
- 239000013078 crystal Substances 0.000 claims 1
- 230000000694 effects Effects 0.000 description 3
- RTZKZFJDLAIYFH-UHFFFAOYSA-N Diethyl ether Chemical compound CCOCC RTZKZFJDLAIYFH-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 2
- 230000005284 excitation Effects 0.000 description 2
- WABPQHHGFIMREM-UHFFFAOYSA-N lead(0) Chemical compound [Pb] WABPQHHGFIMREM-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 2
- 238000006243 chemical reaction Methods 0.000 description 1
- 238000010276 construction Methods 0.000 description 1
- 238000009429 electrical wiring Methods 0.000 description 1
- 239000003292 glue Substances 0.000 description 1
- 230000001050 lubricating effect Effects 0.000 description 1
- 230000000644 propagated effect Effects 0.000 description 1
Classifications
-
- H—ELECTRICITY
- H02—GENERATION; CONVERSION OR DISTRIBUTION OF ELECTRIC POWER
- H02N—ELECTRIC MACHINES NOT OTHERWISE PROVIDED FOR
- H02N2/00—Electric machines in general using piezoelectric effect, electrostriction or magnetostriction
- H02N2/10—Electric machines in general using piezoelectric effect, electrostriction or magnetostriction producing rotary motion, e.g. rotary motors
- H02N2/16—Electric machines in general using piezoelectric effect, electrostriction or magnetostriction producing rotary motion, e.g. rotary motors using travelling waves, i.e. Rayleigh surface waves
- H02N2/163—Motors with ring stator
Landscapes
- General Electrical Machinery Utilizing Piezoelectricity, Electrostriction Or Magnetostriction (AREA)
Abstract
(57)【要約】本公報は電子出願前の出願データであるた
め要約のデータは記録されません。
め要約のデータは記録されません。
Description
【発明の詳細な説明】
本発明は、圧電効果により生ずる表向波を利111して
、回転速!II!lA5直線運動を得るようtこした表
面波を−9に関J6゜ 従来から広く用いられているモータは電磁駆動にJ、る
bのでA)るか、最近、^すJ率お、1:σ1h冒告の
簡素化を1指して、圧電効果を利用したモータがrIJ
l究されつつある1、これらの圧電モータは、いずれも
圧電振動片の1ili曲振動を回転運動に変換するよう
にしたものであるが、IM 造の簡素化は十分はかられ
ておらず、また、回転方向や速度を変えるなどの制御性
もいまだ不十分なものでありた。
、回転速!II!lA5直線運動を得るようtこした表
面波を−9に関J6゜ 従来から広く用いられているモータは電磁駆動にJ、る
bのでA)るか、最近、^すJ率お、1:σ1h冒告の
簡素化を1指して、圧電効果を利用したモータがrIJ
l究されつつある1、これらの圧電モータは、いずれも
圧電振動片の1ili曲振動を回転運動に変換するよう
にしたものであるが、IM 造の簡素化は十分はかられ
ておらず、また、回転方向や速度を変えるなどの制御性
もいまだ不十分なものでありた。
モこで本発明は、E[:雷効果により生ずる表面波を利
用覆ることにより、回転運動や直線運動を冑るにうにし
たものであり、栴造が簡単、1tlffiで、1−ルク
が大きく、しかも回転方向および速度を自111に変え
ることができる表面波モータを提供することを[l的と
づる。
用覆ることにより、回転運動や直線運動を冑るにうにし
たものであり、栴造が簡単、1tlffiで、1−ルク
が大きく、しかも回転方向および速度を自111に変え
ることができる表面波モータを提供することを[l的と
づる。
双手、本発明の実施例を図面を参照しつつ訂jホ1する
。
。
第1図は本発明に基づく表面波モータの平面図、第2図
は半断面図、第3図は第1図にd3りるm=111線か
らみた拡大断面図である。
は半断面図、第3図は第1図にd3りるm=111線か
らみた拡大断面図である。
同図において、1は円板状の移動子(ロータ)、2は円
板状の固定子(ステータ)を示し、これらの移動子I
A−3よび固定子2は、各表面が適当な圧力でもって接
触Jるように、軸3および固定ネジ4により結合されて
いる。固定子2の表面には、複数の溝5.6.7.8が
半径り向に設けられ、これらの溝5.6.7.8の両側
面にそれぞれP/1−などの圧電索子9.10.11.
12.13.14.15.1[iが接もされCいる。
板状の固定子(ステータ)を示し、これらの移動子I
A−3よび固定子2は、各表面が適当な圧力でもって接
触Jるように、軸3および固定ネジ4により結合されて
いる。固定子2の表面には、複数の溝5.6.7.8が
半径り向に設けられ、これらの溝5.6.7.8の両側
面にそれぞれP/1−などの圧電索子9.10.11.
12.13.14.15.1[iが接もされCいる。
より具体的には、固定子2の表面は中心孔の周囲に四部
が形成され、91周付近のみが移動イ 1ど1き触り゛
るJ:うに構成され、この突出した外周イ・1近1:
!i/+お、1び圧電素子が設CJられ、表向波が励起
されるものである。各圧電索子は両面に電極が形成され
、−り側の電極はリード線によって導出され、他り側の
電極は固定子2によって導出される。また、軸3は移動
子1どj1il心状に一体的に設けられている。ざらに
、移動子1の回転を円滑に行わ1するたV)、固定イ2
ど固定ネジ4どの間に潤滑用パッA−ン17が介挿され
ている。
が形成され、91周付近のみが移動イ 1ど1き触り゛
るJ:うに構成され、この突出した外周イ・1近1:
!i/+お、1び圧電素子が設CJられ、表向波が励起
されるものである。各圧電索子は両面に電極が形成され
、−り側の電極はリード線によって導出され、他り側の
電極は固定子2によって導出される。また、軸3は移動
子1どj1il心状に一体的に設けられている。ざらに
、移動子1の回転を円滑に行わ1するたV)、固定イ2
ど固定ネジ4どの間に潤滑用パッA−ン17が介挿され
ている。
本実施例においC1移動子2とリード線19.21清
を通しく、各構内の一方側の圧電索子1()、12.1
4.16に畠周波仏シ4を印加Jるど、圧電索子の1−
!み撮動によるバイク波(第3図におt」る矢印A、B
)は−/J向111表面波SAWどく【っ【固定イ2の
表向を伝ね灼、固定イ表面に加圧接触さけられた移vJ
子1は表向波SAWによる摩1祭力によって、表面i+
?/S A Wの進行方向とは逆向きの方向(矢印IE
)に回転することになる。高周波信号を、固定子2ど
リード線18.20を通して、他方側の圧M素子9.1
1.13.15に印加すると、矢印C,Dで示すバルク
波は反対方向の一方向性表面波SAW を励起し、移
動子1は逆向き(矢印F)に回転することになる。また
、移動子10回転速痕は表面波SAWすなわち高周波信
号に比例し、容易に速度調整ができる。
4.16に畠周波仏シ4を印加Jるど、圧電索子の1−
!み撮動によるバイク波(第3図におt」る矢印A、B
)は−/J向111表面波SAWどく【っ【固定イ2の
表向を伝ね灼、固定イ表面に加圧接触さけられた移vJ
子1は表向波SAWによる摩1祭力によって、表面i+
?/S A Wの進行方向とは逆向きの方向(矢印IE
)に回転することになる。高周波信号を、固定子2ど
リード線18.20を通して、他方側の圧M素子9.1
1.13.15に印加すると、矢印C,Dで示すバルク
波は反対方向の一方向性表面波SAW を励起し、移
動子1は逆向き(矢印F)に回転することになる。また
、移動子10回転速痕は表面波SAWすなわち高周波信
号に比例し、容易に速度調整ができる。
上記実施例は溝の両側面にff電素子を接着し、いずれ
の方向にも回転できるようにしているが、反転の必要性
がない場合には、溝内のいずれか片方の側面に圧電素子
を接着するようにすればよい。
の方向にも回転できるようにしているが、反転の必要性
がない場合には、溝内のいずれか片方の側面に圧電素子
を接着するようにすればよい。
また、上記実施例は回転運動を得るJ、うにしているが
、固定子および移動子を直線状にすれば、リニアモータ
に構成することができ、各種機器のアクチェータなどに
応用できる。さらに、−り記実施例は圧電素子を接着J
るための溝を有底溝で構成しているが、貫通溝を設け、
圧電素子を接着するJ、うにしてもよく、要は、表面波
を伝播させる方向と直角方向に圧Ti素子を接着でさる
にうにす11ばよい。
、固定子および移動子を直線状にすれば、リニアモータ
に構成することができ、各種機器のアクチェータなどに
応用できる。さらに、−り記実施例は圧電素子を接着J
るための溝を有底溝で構成しているが、貫通溝を設け、
圧電素子を接着するJ、うにしてもよく、要は、表面波
を伝播させる方向と直角方向に圧Ti素子を接着でさる
にうにす11ばよい。
本発明は、以上説明したにうに構成され、(14苛が簡
単、軽量で、トルクが大きく、しかも制tlo性がり°
ぐれた表面波エータを実現JるCどが′Cさる。。
単、軽量で、トルクが大きく、しかも制tlo性がり°
ぐれた表面波エータを実現JるCどが′Cさる。。
特に、電気信号は固定子側の圧電素子へ供給りるだけで
、移動子側に電気配線を施゛り必要がなく、非常に簡単
な構造となる。まI〔、移動子を駆動りるための表1r
ii波は、固定子の溝の側面に接着(、た圧電素子によ
り励起しているので、(IIJの励起1段、例えばイン
ターディジタル電極やくさび状ゆ挟子ににる励起と比較
して、変換効率が高く、1−ルクが大きくどれる。しか
も、表面波励起手段が固定子表面に露出することがない
ので、移動子を固定子表面上に自由にかつ1■意に配置
することがCさ、構成をより一層簡素化できる。
、移動子側に電気配線を施゛り必要がなく、非常に簡単
な構造となる。まI〔、移動子を駆動りるための表1r
ii波は、固定子の溝の側面に接着(、た圧電素子によ
り励起しているので、(IIJの励起1段、例えばイン
ターディジタル電極やくさび状ゆ挟子ににる励起と比較
して、変換効率が高く、1−ルクが大きくどれる。しか
も、表面波励起手段が固定子表面に露出することがない
ので、移動子を固定子表面上に自由にかつ1■意に配置
することがCさ、構成をより一層簡素化できる。
図は本発明による表面波エータの一実施例を示し、第1
図【五平面図、第2121は半断面図、第3図は第1図
におりるIll −1[[線からみた拡大断面図である
。 1は移動子、2は固定子、5.6.7.8は溝、9.1
0.11.12.13.14.15.16は圧電素子で
ある。 特 W[出 願 人 株式会社村田製作所
図【五平面図、第2121は半断面図、第3図は第1図
におりるIll −1[[線からみた拡大断面図である
。 1は移動子、2は固定子、5.6.7.8は溝、9.1
0.11.12.13.14.15.16は圧電素子で
ある。 特 W[出 願 人 株式会社村田製作所
Claims (1)
- 17い1:、表面か接触している固定子および移動子を
備え、固定子の表面に晶をこうけ、この溝の側面に月電
素子を接盾し、この圧電索子のt!!I+により固定子
の表面に表面波を励起し、この表面波によ・、)(移動
子を駆ψ11りるJ、うにしたことを’let徴とりる
表面波モータ。
Priority Applications (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP58103270A JPS59230471A (ja) | 1983-06-08 | 1983-06-08 | 表面波モ−タ |
Applications Claiming Priority (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP58103270A JPS59230471A (ja) | 1983-06-08 | 1983-06-08 | 表面波モ−タ |
Publications (1)
| Publication Number | Publication Date |
|---|---|
| JPS59230471A true JPS59230471A (ja) | 1984-12-25 |
Family
ID=14349712
Family Applications (1)
| Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
|---|---|---|---|
| JP58103270A Pending JPS59230471A (ja) | 1983-06-08 | 1983-06-08 | 表面波モ−タ |
Country Status (1)
| Country | Link |
|---|---|
| JP (1) | JPS59230471A (ja) |
Cited By (3)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| JPS6218903U (ja) * | 1985-07-19 | 1987-02-04 | ||
| JPH01126179A (ja) * | 1987-11-06 | 1989-05-18 | Nec Corp | 超音波モータ |
| JPH01126178A (ja) * | 1987-11-06 | 1989-05-18 | Nec Corp | 超音波モータとその駆動方法 |
-
1983
- 1983-06-08 JP JP58103270A patent/JPS59230471A/ja active Pending
Cited By (3)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| JPS6218903U (ja) * | 1985-07-19 | 1987-02-04 | ||
| JPH01126179A (ja) * | 1987-11-06 | 1989-05-18 | Nec Corp | 超音波モータ |
| JPH01126178A (ja) * | 1987-11-06 | 1989-05-18 | Nec Corp | 超音波モータとその駆動方法 |
Similar Documents
| Publication | Publication Date | Title |
|---|---|---|
| CN100438307C (zh) | 螺纹驱动多面体超声电机 | |
| JPH0117354B2 (ja) | ||
| CN107742993B (zh) | 单相激励型面内振动超声电机及其单相激励方法 | |
| CN101707445B (zh) | 薄板式双行波型旋转超声电机及其控制方法 | |
| CN103460590A (zh) | 压电振动体及包括其的旋转型超声波马达 | |
| JPS6022479A (ja) | 超音波モータ | |
| CN103036472B (zh) | 螺纹式直线超声电机 | |
| JPH0532991B2 (ja) | ||
| JPS59230471A (ja) | 表面波モ−タ | |
| CN1258864C (zh) | 带导电轴的压电柱的超声微电机 | |
| US6489705B1 (en) | Thin-disc piezoelectric actuating ultrasonic motor | |
| JP2000102271A (ja) | 弾性表面波アクチュエータ | |
| CN1141781C (zh) | 可双向旋转的驻波超声马达 | |
| JPH0532992B2 (ja) | ||
| JPS59185180A (ja) | 超音波モ−タ | |
| JP3741875B2 (ja) | 自走式弾性表面波モータ | |
| JPH0477554B2 (ja) | ||
| JPS60148387A (ja) | 定在波型圧電モ−タ | |
| JPH0491668A (ja) | 振動波装置および駆動装置 | |
| JPH0448148Y2 (ja) | ||
| CN103856099B (zh) | 贴片式盘形结构旋转直线超声电机 | |
| CN1142624C (zh) | 单节径非轴对称振动模式的压电膜微电机 | |
| JP2507707B2 (ja) | 超音波モ−タ− | |
| JPS62135279A (ja) | 超音波モ−タ | |
| JPH0150196B2 (ja) |