JPS5924769U - 種結晶保持用チヤツク - Google Patents
種結晶保持用チヤツクInfo
- Publication number
- JPS5924769U JPS5924769U JP11831782U JP11831782U JPS5924769U JP S5924769 U JPS5924769 U JP S5924769U JP 11831782 U JP11831782 U JP 11831782U JP 11831782 U JP11831782 U JP 11831782U JP S5924769 U JPS5924769 U JP S5924769U
- Authority
- JP
- Japan
- Prior art keywords
- seed crystal
- pair
- legs
- chuck
- chuck body
- Prior art date
- Legal status (The legal status is an assumption and is not a legal conclusion. Google has not performed a legal analysis and makes no representation as to the accuracy of the status listed.)
- Pending
Links
Landscapes
- Crystals, And After-Treatments Of Crystals (AREA)
- Liquid Deposition Of Substances Of Which Semiconductor Devices Are Composed (AREA)
Abstract
(57)【要約】本公報は電子出願前の出願データであるた
め要約のデータは記録されません。
め要約のデータは記録されません。
Description
第1図は本考案の一実施例に係る種結晶保持用チャック
を半断面に示した正面図、第2図は上記種結晶保持用チ
ャックを半断面にて示した側面図、第3図は第1図の種
結晶保持用チャックを底側から見た図である。 1・・・種結晶保持用チャック本体、1a・・・胴部、
1b・・・脚部、2・・・種結晶、2a・・・段、3・
・・脚部1bに設けられた段、4・・・種結晶抑えブロ
ック、5・・・袋ナツト部材、6・・・ねじ部、7・・
・種結晶保持用チャック本体1に固定された支持棒、8
・・・脚部1bの下端部の外面、9・・・種結晶抑え部
材4の下端部の外面、10・・・袋ナツト部材5の下端
部内周面。
を半断面に示した正面図、第2図は上記種結晶保持用チ
ャックを半断面にて示した側面図、第3図は第1図の種
結晶保持用チャックを底側から見た図である。 1・・・種結晶保持用チャック本体、1a・・・胴部、
1b・・・脚部、2・・・種結晶、2a・・・段、3・
・・脚部1bに設けられた段、4・・・種結晶抑えブロ
ック、5・・・袋ナツト部材、6・・・ねじ部、7・・
・種結晶保持用チャック本体1に固定された支持棒、8
・・・脚部1bの下端部の外面、9・・・種結晶抑え部
材4の下端部の外面、10・・・袋ナツト部材5の下端
部内周面。
Claims (1)
- 融液中から種結晶を用いて単結晶を引上げる装置の引上
軸に固定される種結晶保持用チャックにおいて、胴部よ
り下方に突出した一対の脚部を有するチャック本体と、
一対の種結晶抑えブロックと、袋ナツト部材とを備え、
前記チャック本体お胴部の外周面には前記袋ナツト部材
をはめることの可能なねじ部が形成されており、前記チ
ャック本体の一対の脚部の互いの対向面の上部にはそれ
ぞれ段が設けられており、種結晶に設けられた一対の段
が前記チャック本体の一対の脚部にそれぞれ設けられた
段に係止されるように、前記種結晶を前記チャック本体
の一対の脚部間に挿入し、この際、該一対の脚部間に露
出している種結晶の両側面を前記一対の種結晶抑えブロ
ックで抑え、前記チャック本体のねじ部に下方から前記
袋ナツト部材をはめることにより、前記種結晶の固定を
行なうことを特徴とする種結晶保持用チャック。
Priority Applications (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP11831782U JPS5924769U (ja) | 1982-08-05 | 1982-08-05 | 種結晶保持用チヤツク |
Applications Claiming Priority (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP11831782U JPS5924769U (ja) | 1982-08-05 | 1982-08-05 | 種結晶保持用チヤツク |
Publications (1)
| Publication Number | Publication Date |
|---|---|
| JPS5924769U true JPS5924769U (ja) | 1984-02-16 |
Family
ID=30271993
Family Applications (1)
| Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
|---|---|---|---|
| JP11831782U Pending JPS5924769U (ja) | 1982-08-05 | 1982-08-05 | 種結晶保持用チヤツク |
Country Status (1)
| Country | Link |
|---|---|
| JP (1) | JPS5924769U (ja) |
Cited By (2)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| KR20030047492A (ko) * | 2001-12-11 | 2003-06-18 | 주식회사 실트론 | 실리콘 잉곳 지지장치 |
| WO2003106742A1 (ja) * | 2002-06-12 | 2003-12-24 | 信越半導体株式会社 | 種結晶保持治具及び単結晶の製造方法 |
-
1982
- 1982-08-05 JP JP11831782U patent/JPS5924769U/ja active Pending
Cited By (2)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| KR20030047492A (ko) * | 2001-12-11 | 2003-06-18 | 주식회사 실트론 | 실리콘 잉곳 지지장치 |
| WO2003106742A1 (ja) * | 2002-06-12 | 2003-12-24 | 信越半導体株式会社 | 種結晶保持治具及び単結晶の製造方法 |
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