JPS5930005A - 計測装置 - Google Patents
計測装置Info
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- JPS5930005A JPS5930005A JP14033582A JP14033582A JPS5930005A JP S5930005 A JPS5930005 A JP S5930005A JP 14033582 A JP14033582 A JP 14033582A JP 14033582 A JP14033582 A JP 14033582A JP S5930005 A JPS5930005 A JP S5930005A
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- 238000001514 detection method Methods 0.000 claims description 15
- 238000005259 measurement Methods 0.000 abstract description 6
- 238000012937 correction Methods 0.000 description 9
- 230000007935 neutral effect Effects 0.000 description 5
- 238000010586 diagram Methods 0.000 description 3
- 238000006073 displacement reaction Methods 0.000 description 2
- 230000000694 effects Effects 0.000 description 2
- 239000000523 sample Substances 0.000 description 2
- 239000000284 extract Substances 0.000 description 1
- 238000000034 method Methods 0.000 description 1
- 229920003987 resole Polymers 0.000 description 1
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-
- G—PHYSICS
- G01—MEASURING; TESTING
- G01B—MEASURING LENGTH, THICKNESS OR SIMILAR LINEAR DIMENSIONS; MEASURING ANGLES; MEASURING AREAS; MEASURING IRREGULARITIES OF SURFACES OR CONTOURS
- G01B21/00—Measuring arrangements or details thereof, where the measuring technique is not covered by the other groups of this subclass, unspecified or not relevant
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- Physics & Mathematics (AREA)
- General Physics & Mathematics (AREA)
- Length Measuring Devices With Unspecified Measuring Means (AREA)
Abstract
(57)【要約】本公報は電子出願前の出願データであるた
め要約のデータは記録されません。
め要約のデータは記録されません。
Description
【発明の詳細な説明】
本発明は、被測定物と検出器とを相対移動させ、その両
者が接触したときの相対移動位置から被測定物の寸法等
を計測する計測装置に関會るものであるＯ 例えば、マシニングセンタ等において工作物の自動計測
を行うには、グローブを有する検出＠羽を工作物に対し
て移動させ、グローブがエイ／［９勿への接触によって
変位された際、検出器からＶ」ブＪされる接触信号で機
械に装着されている座標スケール、例えはインタリドシ
ンやレゾル）々等の値を読み取υ、その値から工作物の
穴径や軸径等を計枳１１するようにしている。だが、実
際には、工作物と接するグローブの先端が球状で半径分
の誤差カニアリ、かつ接触信号が出力されてから機械が
その信号を認識するまでの間における移動誤差があるた
め、従来の計測装置におっては、座標スケールめλら読
み取った値に、グローブの半径分の誤差および信号処理
に基づく移動誤差を補正するようにしている。
者が接触したときの相対移動位置から被測定物の寸法等
を計測する計測装置に関會るものであるＯ 例えば、マシニングセンタ等において工作物の自動計測
を行うには、グローブを有する検出＠羽を工作物に対し
て移動させ、グローブがエイ／［９勿への接触によって
変位された際、検出器からＶ」ブＪされる接触信号で機
械に装着されている座標スケール、例えはインタリドシ
ンやレゾル）々等の値を読み取υ、その値から工作物の
穴径や軸径等を計枳１１するようにしている。だが、実
際には、工作物と接するグローブの先端が球状で半径分
の誤差カニアリ、かつ接触信号が出力されてから機械が
その信号を認識するまでの間における移動誤差があるた
め、従来の計測装置におっては、座標スケールめλら読
み取った値に、グローブの半径分の誤差および信号処理
に基づく移動誤差を補正するようにしている。
ところで、このような計測装置に用いられる検出器は、
例えば第１図および第２図に示す如く、ケース１にグロ
ーブ２を三次元方向へ変位可能に、つまシ中立軸線３方
向へ変位可能にかつ中立軸線３に対して傾斜可能に保持
し、このプローブ２にそのグローブ２の軸線と直角な変
位板４を一体的に設け、この変位板４の同一円周上の３
等分割位力、つまり１２０度間隔位置に可動接点５を、
前記ケース１内にグローブ２の軸線が中立軸線３と一致
した状態において前記可動接点５と接する固定接点６を
それぞれ設け、グローブ２が工作物への接触によって三
次元方向のいずれかの方向へ変位された際、少なくとも
１つの可動接点５が固定接点６かも離れることによって
接触信号が出力されるように構成しである。
例えば第１図および第２図に示す如く、ケース１にグロ
ーブ２を三次元方向へ変位可能に、つまシ中立軸線３方
向へ変位可能にかつ中立軸線３に対して傾斜可能に保持
し、このプローブ２にそのグローブ２の軸線と直角な変
位板４を一体的に設け、この変位板４の同一円周上の３
等分割位力、つまり１２０度間隔位置に可動接点５を、
前記ケース１内にグローブ２の軸線が中立軸線３と一致
した状態において前記可動接点５と接する固定接点６を
それぞれ設け、グローブ２が工作物への接触によって三
次元方向のいずれかの方向へ変位された際、少なくとも
１つの可動接点５が固定接点６かも離れることによって
接触信号が出力されるように構成しである。
しかし、このような（１ｑ成のものは、グローブ２が中
立軸線３に対して傾斜される方向によって、接触（Ｎ刊
を出力させるのにグローブ２が傾斜しなケレばならない
角度が異なる。つまり、グローブ２が固定接点６の方向
へ傾斜されたとき、その傾斜方向に対して他の２つの固
定接点６と中立軸線３との距離が最小となるため、接触
信号が出力されるまでにグローブ２が傾斜しなければな
らない角度が最も大きくなる。
立軸線３に対して傾斜される方向によって、接触（Ｎ刊
を出力させるのにグローブ２が傾斜しなケレばならない
角度が異なる。つまり、グローブ２が固定接点６の方向
へ傾斜されたとき、その傾斜方向に対して他の２つの固
定接点６と中立軸線３との距離が最小となるため、接触
信号が出力されるまでにグローブ２が傾斜しなければな
らない角度が最も大きくなる。
従って、これを開側装置へ用い、機械の移動速度が或一
定の条件のもとで測定すると、グローブ２が工作物に接
した後接触信号が出力される′までの間に機械が移動す
る距離は、グローブ２が工作物に接する方向、つまカゾ
ローゾ２が変位される方向によって第３図に示すような
差を生じることが明らかになった。このことは、グロー
ブ２を工作物に対して異なる方向から接触させ、これら
の複数点の座標値から工作物の所定の寸法を求めるもの
にあっては、例えば穴径や直径を求めるものにおっては
、検出器の方向性に基づく誤差が謂測値に大きな影響を
与えることになる。
定の条件のもとで測定すると、グローブ２が工作物に接
した後接触信号が出力される′までの間に機械が移動す
る距離は、グローブ２が工作物に接する方向、つまカゾ
ローゾ２が変位される方向によって第３図に示すような
差を生じることが明らかになった。このことは、グロー
ブ２を工作物に対して異なる方向から接触させ、これら
の複数点の座標値から工作物の所定の寸法を求めるもの
にあっては、例えば穴径や直径を求めるものにおっては
、検出器の方向性に基づく誤差が謂測値に大きな影響を
与えることになる。
本発明の目的は、このような検出器の方向性に伴う誤差
をなくシ、高精度の測定を実現する計測装置を提供する
ことにある。
をなくシ、高精度の測定を実現する計測装置を提供する
ことにある。
そのため、本発明では、被測定物との接触に伴って検知
４６号を出力する検出器と被測定物とを相対移動させ、
検出器から検知信号が出力されたときの検出器と被測定
物との相対位置を求める計測装置において、予め検出器
の接触方向による誤差量を第１の記憶部へ記憶しておき
、検出器と被測定物とが相対移動された際、その相対移
動方向を第２の記憶部へ記憶し、その抜被１１１１定物
との接触によって検出器から検知信号が出力された際、
前記第１の記憶部の中から前記第２の記憶部に記憶され
た移動方向と対応する誤を量を読み出し、その誤差量を
前記相対位置データに対して補正することによシ、検出
器の接触方向による誤差を補正し、上記目的を達成しよ
うとするものである。
４６号を出力する検出器と被測定物とを相対移動させ、
検出器から検知信号が出力されたときの検出器と被測定
物との相対位置を求める計測装置において、予め検出器
の接触方向による誤差量を第１の記憶部へ記憶しておき
、検出器と被測定物とが相対移動された際、その相対移
動方向を第２の記憶部へ記憶し、その抜被１１１１定物
との接触によって検出器から検知信号が出力された際、
前記第１の記憶部の中から前記第２の記憶部に記憶され
た移動方向と対応する誤を量を読み出し、その誤差量を
前記相対位置データに対して補正することによシ、検出
器の接触方向による誤差を補正し、上記目的を達成しよ
うとするものである。
以下、本発明の一実施例を図面に基づいて説明する。
第４図は本実施例の全体のシステムを示している。同シ
ステムには、工作機械にセットされた被測定物としての
工作物Ｗの加工穴Ｈの直径方向のうちＸ方向（図の左右
方向）と平行な案内１１Ａを有するペッド１１が設けら
れ、このペッド１１の案内１１Ａに沿ってテーブル１２
が駆動装置１３の作動によって移動自在に設けられてい
る。
ステムには、工作機械にセットされた被測定物としての
工作物Ｗの加工穴Ｈの直径方向のうちＸ方向（図の左右
方向）と平行な案内１１Ａを有するペッド１１が設けら
れ、このペッド１１の案内１１Ａに沿ってテーブル１２
が駆動装置１３の作動によって移動自在に設けられてい
る。
駆動装ｆ４１３は、ＮＣ装置１４から与えられる移動指
令値ＣＸに従ってテーブル１２をＸ方向へ移動させると
ともに、そのテーブル１２のＸ方向における位置データ
ＤＸを前記ＮＣ装［１４へ与える。
令値ＣＸに従ってテーブル１２をＸ方向へ移動させると
ともに、そのテーブル１２のＸ方向における位置データ
ＤＸを前記ＮＣ装［１４へ与える。
また、前記テーブル１２には、前記加工穴Ｈの直径方向
のうちＹ方向（図の紙面に対して直角方向）と平行な案
内１２Ａが形成され、この案内１２Ａに沿って取付台１
５が駆動装置ｉ１６の作動によって移動自在に設けられ
ている。駆動装置１６は、前記ＮＣ装［１４から与えら
れる移動指令値ＣＹに従って取付台１５をＹ、方向へ移
動させるとともに、その取付台１５のＹ方向における位
置データＤＹを前記ＮＣ装置１４へ与える。ここで、Ｎ
Ｃ装置１４は、前記各駆動装置１３＊１６からの位置デ
ーダＤＸ 、 ＤＹに基づき、各駆動装Ｍ１３＃１６に
対して移動指令値ＣＸ 、 ｃｙを与えるとともに、そ
の移動指令値ＣＸ 、 ＣＹからＸ−Ｙ平面における取
付台１５の移動方向Ｄθを算出するようになっている。
のうちＹ方向（図の紙面に対して直角方向）と平行な案
内１２Ａが形成され、この案内１２Ａに沿って取付台１
５が駆動装置ｉ１６の作動によって移動自在に設けられ
ている。駆動装置１６は、前記ＮＣ装［１４から与えら
れる移動指令値ＣＹに従って取付台１５をＹ、方向へ移
動させるとともに、その取付台１５のＹ方向における位
置データＤＹを前記ＮＣ装置１４へ与える。ここで、Ｎ
Ｃ装置１４は、前記各駆動装置１３＊１６からの位置デ
ーダＤＸ 、 ＤＹに基づき、各駆動装Ｍ１３＃１６に
対して移動指令値ＣＸ 、 ｃｙを与えるとともに、そ
の移動指令値ＣＸ 、 ＣＹからＸ−Ｙ平面における取
付台１５の移動方向Ｄθを算出するようになっている。
また、前記取付台１５には、第１図および第２図と同じ
構造の検出器１７が取付けられている。
構造の検出器１７が取付けられている。
ここで、検出器１７のグローブ２が加工穴Ｈの内壁に接
触し、そのグローブ２の変位に伴っていずれかの可動接
点５が固定接点６がら離れると、信号検出回路１８を通
じて検知信号が制御装置１９へ与えられる。
触し、そのグローブ２の変位に伴っていずれかの可動接
点５が固定接点６がら離れると、信号検出回路１８を通
じて検知信号が制御装置１９へ与えられる。
前記制御装置１９は、給５図に示す如く、位置レジスタ
２０と、前記信号検出回路１８がら検知信号が与えられ
た際前記ＮＣ装［１４に記憶されている位置データＤｘ
、 ＤＹを前記位置レジスタ２０へ取込むダート回路
２１と、第２の記憶部としての方向レジスタ２２と、第
１の記憶部としてのＩｄｉ正テーブル２３と、演算部２
４とから構成されている。前記方向レジスタ２２には、
前記ＮＣ装置１４において算出された移動方向データＤ
θが転送、記憶されるようになっている。また、補正テ
ーブル２３には、第６図に示す如く、検出器１７がＸ−
Ｙ方向へ移動された際、その移動方向における検出器１
７の誤差量、つまり検出器１７の接触方向による誤差量
、が予め所定角度毎に記憶されている。これには、予め
基準ダーツ等により検出器１７の接触力向による誤差量
を第３図のように測定し、その測定結果を基に一定角度
毎の誤差量を補正テーブル２３ヘプリセツトしておく。
２０と、前記信号検出回路１８がら検知信号が与えられ
た際前記ＮＣ装［１４に記憶されている位置データＤｘ
、 ＤＹを前記位置レジスタ２０へ取込むダート回路
２１と、第２の記憶部としての方向レジスタ２２と、第
１の記憶部としてのＩｄｉ正テーブル２３と、演算部２
４とから構成されている。前記方向レジスタ２２には、
前記ＮＣ装置１４において算出された移動方向データＤ
θが転送、記憶されるようになっている。また、補正テ
ーブル２３には、第６図に示す如く、検出器１７がＸ−
Ｙ方向へ移動された際、その移動方向における検出器１
７の誤差量、つまり検出器１７の接触方向による誤差量
、が予め所定角度毎に記憶されている。これには、予め
基準ダーツ等により検出器１７の接触力向による誤差量
を第３図のように測定し、その測定結果を基に一定角度
毎の誤差量を補正テーブル２３ヘプリセツトしておく。
更に、前記演算部２４は、前記信号検出回路１８から検
知信号が与えられた際、前記補正テーブル２３の中から
前記方向レジスタ２２に記憶されている移動方向データ
Ｄ１９．に対応する誤差量を読み出す読み出し手段２５
と、前記位置レジスタ２０に取込まれた位置データＤＸ
、 ＤＹから前記読み出し手段２５によって読み出さ
れた誤差量を減算する加算器２６とから構成されている
。
知信号が与えられた際、前記補正テーブル２３の中から
前記方向レジスタ２２に記憶されている移動方向データ
Ｄ１９．に対応する誤差量を読み出す読み出し手段２５
と、前記位置レジスタ２０に取込まれた位置データＤＸ
、 ＤＹから前記読み出し手段２５によって読み出さ
れた誤差量を減算する加算器２６とから構成されている
。
次に、本実施例の作用を説明する。いま、ＮＣ装置１４
からの移動指令値ＣＸ 、 ｃｙにより駆動装置１３．
１６の作動を介して検出器１７が所定方向へ移動される
と、ＮＣ装置１４において移動指令値ＣＸ 、 ｃｙか
ら検出器１７の移動方向が算出され、その移動方向デー
タＤθが制御装置１９の方向レジスタ２２に転送、記憶
される。また、検出器１７の移動に伴って、その検出器
１７のＸ、Ｙ方向における位ｆ〃データＤｘ 、 Ｄｙ
が、駆動装置１３．１６からＮＣ装置１４へ逐次与えら
れて記憶される。
からの移動指令値ＣＸ 、 ｃｙにより駆動装置１３．
１６の作動を介して検出器１７が所定方向へ移動される
と、ＮＣ装置１４において移動指令値ＣＸ 、 ｃｙか
ら検出器１７の移動方向が算出され、その移動方向デー
タＤθが制御装置１９の方向レジスタ２２に転送、記憶
される。また、検出器１７の移動に伴って、その検出器
１７のＸ、Ｙ方向における位ｆ〃データＤｘ 、 Ｄｙ
が、駆動装置１３．１６からＮＣ装置１４へ逐次与えら
れて記憶される。
そこで、検出器１７の移動により、プローブ２が工作物
Ｗへの接触によって変位されると、いずれかの可ｖｒＪ
接点５が固定接点６から離れることによって信号検出回
路１８を通じて検知信号がｒ−ト回路２１および読み出
し手段２５へ与えられる。
Ｗへの接触によって変位されると、いずれかの可ｖｒＪ
接点５が固定接点６から離れることによって信号検出回
路１８を通じて検知信号がｒ−ト回路２１および読み出
し手段２５へ与えられる。
すると、ダート回路２１が開放され、ＮＣ装置１４に記
憶されている位首データ職、 ＤＹが位置レジスタ２０
へ転送、記憶される。一方、読み出し手段２５は、検知
信号が与えられた後、補正テーブル２３の中から方向レ
ジスタ２′２の移動方向データに対応する誤差量を読み
出し、それを加算器２６を通じて位置レジスタ２０の位
置データ以。
憶されている位首データ職、 ＤＹが位置レジスタ２０
へ転送、記憶される。一方、読み出し手段２５は、検知
信号が与えられた後、補正テーブル２３の中から方向レ
ジスタ２′２の移動方向データに対応する誤差量を読み
出し、それを加算器２６を通じて位置レジスタ２０の位
置データ以。
］）Ｙから減算する。この結果は、図示しない表示器に
表示され、また次の計測値との演算のために一時記憶さ
れる。
表示され、また次の計測値との演算のために一時記憶さ
れる。
このようにして、工作物Ｗの複数点の座標値を４測する
ことによって、工作物Ｗの穴径、軸径、孔ピッチ等の寸
法を正確に求めることができる。
ことによって、工作物Ｗの穴径、軸径、孔ピッチ等の寸
法を正確に求めることができる。
ちなみに、穴径を計測するには、第４図のように、検出
器１７のグローブ２を工作物Ｗの加工穴Ｈの仮中心位置
に位置させた後、ＮＣ装置１４からの移動指令値ｃｙに
よシ駆動装置１６の作動を介して検出器１７をＸ方向へ
往復移動させ、グローブ２が加工穴Ｉ（の上下の内壁と
接した位置データを求める。次に、その両位置データか
ら両者の中間座標を演算し、その中間座標にグローブ２
を位置させる。次に、ＮＣ装置１４からの移動指令値Ｃ
Ｘによシ駆動装置１３の作動を介して検出器１７をＸ方
向へ往復移動させ、グローブ２が加工穴Ｈの両側の内壁
と接した位置データを求めた後、その両位置データの距
離を演算すれば、加工穴Ｈの直径を求めることができる
。
器１７のグローブ２を工作物Ｗの加工穴Ｈの仮中心位置
に位置させた後、ＮＣ装置１４からの移動指令値ｃｙに
よシ駆動装置１６の作動を介して検出器１７をＸ方向へ
往復移動させ、グローブ２が加工穴Ｉ（の上下の内壁と
接した位置データを求める。次に、その両位置データか
ら両者の中間座標を演算し、その中間座標にグローブ２
を位置させる。次に、ＮＣ装置１４からの移動指令値Ｃ
Ｘによシ駆動装置１３の作動を介して検出器１７をＸ方
向へ往復移動させ、グローブ２が加工穴Ｈの両側の内壁
と接した位置データを求めた後、その両位置データの距
離を演算すれば、加工穴Ｈの直径を求めることができる
。
従って、本実施例によれば、予め検出器１７の接触方向
による誤差量を補正テーブル２３へ記憶しておき、ＮＣ
装置１４からの指令によって検出器１７が移動された際
、検出器１７の移動力向を方向レジスタ２２へ記憶し、
その後工作物Ｗとの接触によって検出器１７から検出信
号が出された際、補正テーブル２３の中から前記方向レ
ジスタ２２に記憶された移動方向と対応する誤差量を胱
み出し、その誤差遍を、検知信号が出されたときの検出
器１７の位置データＤＸ 、 Ｉ）Ｙに対して補正する
Ｊ：うにしたので、検出器１７の接触方向による誤差が
なく、検出器１７が工作物Ｗと接する全ての方向に対し
て高精度の計測ができ、従って工作物の穴径や軸径等を
高精度に測定できる。
による誤差量を補正テーブル２３へ記憶しておき、ＮＣ
装置１４からの指令によって検出器１７が移動された際
、検出器１７の移動力向を方向レジスタ２２へ記憶し、
その後工作物Ｗとの接触によって検出器１７から検出信
号が出された際、補正テーブル２３の中から前記方向レ
ジスタ２２に記憶された移動方向と対応する誤差量を胱
み出し、その誤差遍を、検知信号が出されたときの検出
器１７の位置データＤＸ 、 Ｉ）Ｙに対して補正する
Ｊ：うにしたので、検出器１７の接触方向による誤差が
なく、検出器１７が工作物Ｗと接する全ての方向に対し
て高精度の計測ができ、従って工作物の穴径や軸径等を
高精度に測定できる。
なお）上記実施例では、グローブ２の球状部径や信号処
理に伴う誤差Ｌ１については説明していないが、実際に
はこれらの誤差分についても補正する必要がある。この
場合、補正テーブル２３の誤差ｈ１にゾローゾ径の誤差
分および信号処理に伴う誤差分を含めるようにしておけ
ば、全ての補正が１回の処理で終了させることができる
。
理に伴う誤差Ｌ１については説明していないが、実際に
はこれらの誤差分についても補正する必要がある。この
場合、補正テーブル２３の誤差ｈ１にゾローゾ径の誤差
分および信号処理に伴う誤差分を含めるようにしておけ
ば、全ての補正が１回の処理で終了させることができる
。
また、上記実施例では、検出器１７を三次元方向、つま
りＸ、Ｙ方向へ移動させる場合について説明したが、検
出器１７の移動力向については一次元方向或いは三次元
方向であってもよい◇更に為検出器１７に対して工作物
Ｗを移動させるようにしても、同様な効果が期待できる
。
りＸ、Ｙ方向へ移動させる場合について説明したが、検
出器１７の移動力向については一次元方向或いは三次元
方向であってもよい◇更に為検出器１７に対して工作物
Ｗを移動させるようにしても、同様な効果が期待できる
。
以上説明した通シ、本発明によれば、検出器の方向性に
よる誤差が補正されるため、高精度の測定が可能な計測
装置を提供することができる。
よる誤差が補正されるため、高精度の測定が可能な計測
装置を提供することができる。
第１図は検出器を示す断面図、第２図は第】図の■−ｎ
Ｈ断面図、第３図は検出器の接触方向による誤差Ｂ、
を示す図、第４図は本発明の一実施例を示すブロック図
、第５図は制御装置のブロック図、第６図は補正テーブ
ルの説明図である。 １７・・・検出器、２２・・・第２の記憶部としての方
向レジスタ、２３・・・第１の記憶部としての補正テー
ブル、２４・・・演η部。 代理人 弁理士 木 下 實 三 （ほか１名） 第１図 第３図 第４図
Ｈ断面図、第３図は検出器の接触方向による誤差Ｂ、
を示す図、第４図は本発明の一実施例を示すブロック図
、第５図は制御装置のブロック図、第６図は補正テーブ
ルの説明図である。 １７・・・検出器、２２・・・第２の記憶部としての方
向レジスタ、２３・・・第１の記憶部としての補正テー
ブル、２４・・・演η部。 代理人 弁理士 木 下 實 三 （ほか１名） 第１図 第３図 第４図
Claims (1)
- （１）被測定物との接触に伴って検知信号を出力する検
出器と被測定物とを相対移動させ、検出器から検知信号
が出力されたときの検出器と被測定物との相対位置を求
める計測装置であって、前記検出器の接触力向による誤
差量を記憶した第１の記憶部と、前記検出器と被測定物
とが相対移動された際その相対移動方向を記憶する第２
の記憶部と、前記検出器から検知信号が出力された際前
記第１の記憶部の中から前記第２の記憶部に記憶された
移動方向と対応する誤差量を読み出し、その誤差量を前
記相対位置データに対して補正する手段とを含むことを
特徴とする計測装置。
Priority Applications (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP14033582A JPS5930005A (ja) | 1982-08-12 | 1982-08-12 | 計測装置 |
Applications Claiming Priority (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP14033582A JPS5930005A (ja) | 1982-08-12 | 1982-08-12 | 計測装置 |
Publications (2)
| Publication Number | Publication Date |
|---|---|
| JPS5930005A true JPS5930005A (ja) | 1984-02-17 |
| JPH0244002B2 JPH0244002B2 (ja) | 1990-10-02 |
Family
ID=15266428
Family Applications (1)
| Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
|---|---|---|---|
| JP14033582A Granted JPS5930005A (ja) | 1982-08-12 | 1982-08-12 | 計測装置 |
Country Status (1)
| Country | Link |
|---|---|
| JP (1) | JPS5930005A (ja) |
Cited By (2)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| JPH0264404A (ja) * | 1988-08-31 | 1990-03-05 | Okuma Mach Works Ltd | タッチプローブ径補正方法 |
| JPH07204991A (ja) * | 1994-01-13 | 1995-08-08 | Japan Small Corp | 変位検出形測定ヘッドを用いた測定システム |
Citations (1)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| JPS57125812A (en) * | 1981-01-30 | 1982-08-05 | Mitsutoyo Mfg Co Ltd | Measuring method of three-dimensional measuring machine and reference for this method |
-
1982
- 1982-08-12 JP JP14033582A patent/JPS5930005A/ja active Granted
Patent Citations (1)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| JPS57125812A (en) * | 1981-01-30 | 1982-08-05 | Mitsutoyo Mfg Co Ltd | Measuring method of three-dimensional measuring machine and reference for this method |
Cited By (2)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| JPH0264404A (ja) * | 1988-08-31 | 1990-03-05 | Okuma Mach Works Ltd | タッチプローブ径補正方法 |
| JPH07204991A (ja) * | 1994-01-13 | 1995-08-08 | Japan Small Corp | 変位検出形測定ヘッドを用いた測定システム |
Also Published As
| Publication number | Publication date |
|---|---|
| JPH0244002B2 (ja) | 1990-10-02 |
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