JPS5931421A - 振動センサ− - Google Patents
振動センサ−Info
- Publication number
- JPS5931421A JPS5931421A JP14163582A JP14163582A JPS5931421A JP S5931421 A JPS5931421 A JP S5931421A JP 14163582 A JP14163582 A JP 14163582A JP 14163582 A JP14163582 A JP 14163582A JP S5931421 A JPS5931421 A JP S5931421A
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- JP
- Japan
- Prior art keywords
- vibration
- frequency
- extension part
- extension
- end side
- Prior art date
- Legal status (The legal status is an assumption and is not a legal conclusion. Google has not performed a legal analysis and makes no representation as to the accuracy of the status listed.)
- Pending
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Classifications
-
- G—PHYSICS
- G01—MEASURING; TESTING
- G01H—MEASUREMENT OF MECHANICAL VIBRATIONS OR ULTRASONIC, SONIC OR INFRASONIC WAVES
- G01H13/00—Measuring resonant frequency
Landscapes
- Physics & Mathematics (AREA)
- General Physics & Mathematics (AREA)
- Measurement Of Mechanical Vibrations Or Ultrasonic Waves (AREA)
Abstract
(57)【要約】本公報は電子出願前の出願データであるた
め要約のデータは記録されません。
め要約のデータは記録されません。
Description
【発明の詳細な説明】
こσ介発明は振動レンリー 、’１．’ｌに圧電体を利
用１゜ｌＪものに関づる。
用１゜ｌＪものに関づる。
一般に、圧電イホを・利用し、に振！ｆＩＩＪ１インリ
ー１；Ｌ、例えば電磁タイＩの１〕の／ｆどの他の機械
−電気変換器（１するい（５１，Ｆｌ費−電気☆換器を
用いｋ Ｉ：）のに比べで、ぞの構ｊ告をｎｖ１中に？
ｊることができるという刊Ｑがｄりる１、１・！目こ、
弾ｆ’ｌ Ｉｉ９１４ンの片面に１１電Ｉ本％−１／＋
’ｉ’ｉして振動体どする（に造はコニ１−ルフ型と
呼ばれ、−ξのづり１１メｔｊｉ’／板の−（４，ｊを
周定０２１ｊ 、ｊ：ｌ、他端を自由端と！することｌ
ＪＪ、り形成される序文１：′［６代の振！ｌ１ＩＪヒ
ンリーは、１１電休を用いる振動ｌコンリー中ｒ−０最
も簡単（ｆ構造どするεとがでε＼る。このコニ［ルフ
Ｊ１すのＩＩＮ １ＦＪＪ ’ｌごンリーは、１述した
Ｊ、うに、弾１４ ｄ板の片面に圧電体を貼着して振動
体と／Ｉ−ＩＪとともに、１記弾１）１薄板の一喘を固
定端とし他端を自由端どづることにより形成されるもの
であるから、ぞの同右の。ｊ（振周波数Ｃマ、１． ｉ
ｃｅづｌ ｌ’ｌ １ｉ（ｉ ４ｂｔ 〕？ｉ ｔ’ｌ
Ｍ ｆｉｔ ににび上記振動体の質ｔβ（、二人さく
依存づ−る。従−）で、例えば１１１．い周ｄ２／数角
”１戚の振θノを検出覆る振動レンリー（・（，１，１
−記ツリ１↑〕１薄恢の弾１１１定数づなりら一１ンノ
フイアンスを小さくするどとｂに１−配圧電体の’（：
ｉ ｆｉｔ ｂ ’ＩＸａ ＜ Ｌ／ （アル。反ｔＪ
ニ、ｆｌＣイ周Ｆｌｚ 数６ＪＩ ＩｊＥの振動を検
出りる振動センサーで（、↓、上記弾性薄（ルの一１ン
ゾーノイノ′ンスを人さくηるとどもに１．記１１電１
木の？１ ｔＡも人さ゛く号る。このようにして、この
種の圧電体を用いた撮動レンリーは、ある稈１ａの広さ
の周波数ｕＩ域の範囲内においては、そのノミ振周汲数
・ノイｃわＩ〕検出周波数を任意に設定覆ることがてさ
−る。しかし、特に高い周波数領域あるいＣＬ １１（
い周波数領域（゛（Ｊ、十記弾竹薄板の＝１ンゾライア
ンスと１−配圧電体の質量を操作するだ（プＣは所定の
共振周波数を得ることが困りＵになってくる。
ー１；Ｌ、例えば電磁タイＩの１〕の／ｆどの他の機械
−電気変換器（１するい（５１，Ｆｌ費−電気☆換器を
用いｋ Ｉ：）のに比べで、ぞの構ｊ告をｎｖ１中に？
ｊることができるという刊Ｑがｄりる１、１・！目こ、
弾ｆ’ｌ Ｉｉ９１４ンの片面に１１電Ｉ本％−１／＋
’ｉ’ｉして振動体どする（に造はコニ１−ルフ型と
呼ばれ、−ξのづり１１メｔｊｉ’／板の−（４，ｊを
周定０２１ｊ 、ｊ：ｌ、他端を自由端と！することｌ
ＪＪ、り形成される序文１：′［６代の振！ｌ１ＩＪヒ
ンリーは、１１電休を用いる振動ｌコンリー中ｒ−０最
も簡単（ｆ構造どするεとがでε＼る。このコニ［ルフ
Ｊ１すのＩＩＮ １ＦＪＪ ’ｌごンリーは、１述した
Ｊ、うに、弾１４ ｄ板の片面に圧電体を貼着して振動
体と／Ｉ−ＩＪとともに、１記弾１）１薄板の一喘を固
定端とし他端を自由端どづることにより形成されるもの
であるから、ぞの同右の。ｊ（振周波数Ｃマ、１． ｉ
ｃｅづｌ ｌ’ｌ １ｉ（ｉ ４ｂｔ 〕？ｉ ｔ’ｌ
Ｍ ｆｉｔ ににび上記振動体の質ｔβ（、二人さく
依存づ−る。従−）で、例えば１１１．い周ｄ２／数角
”１戚の振θノを検出覆る振動レンリー（・（，１，１
−記ツリ１↑〕１薄恢の弾１１１定数づなりら一１ンノ
フイアンスを小さくするどとｂに１−配圧電体の’（：
ｉ ｆｉｔ ｂ ’ＩＸａ ＜ Ｌ／ （アル。反ｔＪ
ニ、ｆｌＣイ周Ｆｌｚ 数６ＪＩ ＩｊＥの振動を検
出りる振動センサーで（、↓、上記弾性薄（ルの一１ン
ゾーノイノ′ンスを人さくηるとどもに１．記１１電１
木の？１ ｔＡも人さ゛く号る。このようにして、この
種の圧電体を用いた撮動レンリーは、ある稈１ａの広さ
の周波数ｕＩ域の範囲内においては、そのノミ振周汲数
・ノイｃわＩ〕検出周波数を任意に設定覆ることがてさ
−る。しかし、特に高い周波数領域あるいＣＬ １１（
い周波数領域（゛（Ｊ、十記弾竹薄板の＝１ンゾライア
ンスと１−配圧電体の質量を操作するだ（プＣは所定の
共振周波数を得ることが困りＵになってくる。
特に、圧電体を用いた振動センサーでは、高い方の共振
周波数（ユ比較的筒中に１！ｌることができるが、例え
ば可聴周波数以下の低い共振周波数を得ることは、その
低い周波数に見合うだけＩ「重体の貿ｌを人きくけねば
ならず、このために圧電体形状がやたらに大型化して現
実にそれを構成することが（、↓イｒはだ回動にイｊ−
）でくる。１］”電１本番３ｉ、一般に大型のものを形
成づることがノ１常に困ＩＩＩであり、仮に１ｉ７るこ
とかできたとし、ηもぞ４′１はノ１常に高二１スｈ
／Ｊ’ｂのとなってしまう３．従−）（、圧電体を用い
て（＾１造が間中でかつ低−ｌス１〜な振動センサ−−
を１ｇ、にうどりれｆＪ、どうしてもイの塗出周波数（
，１高いものどイ１らざるをｌ！？ ＜、ｃかっｉ（、
、−） ＋Ｌす、従来の圧電体を用いｌ、−振動１？ン
リ−−（９１、低い周波＠ ｌ；Ｔ応答７１°るものを
１！ｌることが（、］ど／υどでさイ「か−ンｌ、：の
て・ある。どころが、１辰！１’ＪＪ ｌ：？ンリ゛−
としくの用途は、（・η米の圧電体を用いた）ｈ＜動］
！ンリーがｉＩ怠とす“る高い周波数領域Ｊ、すＣ）、
むしろ可聴周波数以下のイ１（、い周波数領域に多いの
である。例えば、 般の機械装置において、その動作の
異常に作って生じる異常振動は数十ヘルツとい・）だ低
い周波数である。従って、こねらの機械’ＡＥｊｌの安
全システムに使用りるためには、てのＪ：うに低い周波
数を確実に検出１ｒることができる１）のでな（Ｊれば
イ１らない。
周波数（ユ比較的筒中に１！ｌることができるが、例え
ば可聴周波数以下の低い共振周波数を得ることは、その
低い周波数に見合うだけＩ「重体の貿ｌを人きくけねば
ならず、このために圧電体形状がやたらに大型化して現
実にそれを構成することが（、↓イｒはだ回動にイｊ−
）でくる。１］”電１本番３ｉ、一般に大型のものを形
成づることがノ１常に困ＩＩＩであり、仮に１ｉ７るこ
とかできたとし、ηもぞ４′１はノ１常に高二１スｈ
／Ｊ’ｂのとなってしまう３．従−）（、圧電体を用い
て（＾１造が間中でかつ低−ｌス１〜な振動センサ−−
を１ｇ、にうどりれｆＪ、どうしてもイの塗出周波数（
，１高いものどイ１らざるをｌ！？ ＜、ｃかっｉ（、
、−） ＋Ｌす、従来の圧電体を用いｌ、−振動１？ン
リ−−（９１、低い周波＠ ｌ；Ｔ応答７１°るものを
１！ｌることが（、］ど／υどでさイ「か−ンｌ、：の
て・ある。どころが、１辰！１’ＪＪ ｌ：？ンリ゛−
としくの用途は、（・η米の圧電体を用いた）ｈ＜動］
！ンリーがｉＩ怠とす“る高い周波数領域Ｊ、すＣ）、
むしろ可聴周波数以下のイ１（、い周波数領域に多いの
である。例えば、 般の機械装置において、その動作の
異常に作って生じる異常振動は数十ヘルツとい・）だ低
い周波数である。従って、こねらの機械’ＡＥｊｌの安
全システムに使用りるためには、てのＪ：うに低い周波
数を確実に検出１ｒることができる１）のでな（Ｊれば
イ１らない。
この発明は、１ス十のＪ：う′／ｒ Ｙ、’（、束の問
題に化みてなされたもので、その目的と１ｊるどころは
、圧電体を用いた振動レンリーの特徴である小型かつ低
１スト（−あるという刊１．“、ミをそのま：Ｌ活かし
つつ、に］１いｆＪの」（振周波数はｂらろんのこと、
例えば数１ヘルツどい・） ／＝ような１１（い共振周
波数もイ丁息に設定ＣさるＪ、うにし、こ・れにより各
種安全シスｉ１８にお１する（ＩＹ動ｔ′！ンリーとし
Ｃも十分に使用でさろＪ、・）にした振りノヒンサーを
ｉＩ［！ＩＩξすることにある。
題に化みてなされたもので、その目的と１ｊるどころは
、圧電体を用いた振動レンリーの特徴である小型かつ低
１スト（−あるという刊１．“、ミをそのま：Ｌ活かし
つつ、に］１いｆＪの」（振周波数はｂらろんのこと、
例えば数１ヘルツどい・） ／＝ような１１（い共振周
波数もイ丁息に設定ＣさるＪ、うにし、こ・れにより各
種安全シスｉ１８にお１する（ＩＹ動ｔ′！ンリーとし
Ｃも十分に使用でさろＪ、・）にした振りノヒンサーを
ｉＩ［！ＩＩξすることにある。
１記の［１的を）構成づるために、この発明ｋｌ、弾↑
１１薄板に圧電体を貼ｒ′１シて振動体となりととｂ
＋；：１記、Ｈ１ｉｌ ｌ’ｌ ｔｓ９１ルの 喘を固
定端とし他端を自由幅：とすることにより形成される序
文持方式の振動センサーにおいＣ１１記弾ｆｉ Ｈ’ｊ
板の自由端側に所定１（さおにひ幅の延長部を設け、さ
らにこの延長部の先端部に所定質ｆ１ｊの神都を設（−
Ｊで、上記延長部の良さおよび幅と十記唾部の質量によ
り共振周波数を任意１’二設定ｄ ｌられるＪ、うにし
たことを特徴とづる。
１１薄板に圧電体を貼ｒ′１シて振動体となりととｂ
＋；：１記、Ｈ１ｉｌ ｌ’ｌ ｔｓ９１ルの 喘を固
定端とし他端を自由幅：とすることにより形成される序
文持方式の振動センサーにおいＣ１１記弾ｆｉ Ｈ’ｊ
板の自由端側に所定１（さおにひ幅の延長部を設け、さ
らにこの延長部の先端部に所定質ｆ１ｊの神都を設（−
Ｊで、上記延長部の良さおよび幅と十記唾部の質量によ
り共振周波数を任意１’二設定ｄ ｌられるＪ、うにし
たことを特徴とづる。
以上、この発明の好適な実施例を図面に厚づ゛いて説明
する。なａ５、各図中共通あるいは相当する部分には同
符号を用いて承り。
する。なａ５、各図中共通あるいは相当する部分には同
符号を用いて承り。
第１図ｄゴにび第２図（，１この発明によるｉ％ｉ ｉ
ｌ］ Ｉ！〕ノリ゛−の一実施例を示に１ｏ同図に示す
振すｊ ｔ？ン号−１０１；Ｌ、まず、所定の形状に切
り抜かれた弾ｉ４ ｉｔ？板２２に圧電素子２０を貼”
６ Ｌ／ −ｃ ｆ、ｒるＩｈ％動体１８を有する。
ｌ］ Ｉ！〕ノリ゛−の一実施例を示に１ｏ同図に示す
振すｊ ｔ？ン号−１０１；Ｌ、まず、所定の形状に切
り抜かれた弾ｉ４ ｉｔ？板２２に圧電素子２０を貼”
６ Ｌ／ −ｃ ｆ、ｒるＩｈ％動体１８を有する。
この振動体１８は、鞘部１２Ｊ１お、１、び、’ａ Ｆ
ｉｌｉ １２ ＩＩ ／）＋ ＋３イするケース１２内
に１１ｖ、納されている。弾ｆ］薄板２２は、その 端
側が固定部２４と１１す、またでの細端側が自由端どな
るべく序文持されＣいる。弾Ｍ ｉｉ’／板２２の固定
部２４に（，１、取イー１−／ｌ ３２，３２が穿設さ
れ、この取ｆ」孔３２，３２により」−記鞘部１０の付
切部１４のト々ｉ；面に固定さ：１１ている。さらに、
ｈ ｆ”Ｌ ’（７部１２の下側面に一体に突設された
仕切部１６の上端面が粗部１０側の１］切部１４の上端
面に合致？するＪ、うにイ「−）で、１３す、これによ
りぞの固定部２４は鞘部１０と蓋部１２の各仕切部１４
．１６の間に挾持されている。１」配圧電体２０は、実
ｈｉ！ｉ例では円板状に形成され、イのト面には焼ｆ１
等により電（ｊｉ（図示省略）か形成されている。また
、ぞの下面が接しＣいる弾性ｌＱ板２２は金属製であり
、従−）でこの弾ＩＩ１． ｔｉｕ板２板厚２電体２０
の下側電極を形成する。圧電体２０の上側電極およひ弾
↑’ｌ包仮２２の固定端側は、リード線 ４０．４２を
介しＣ外部引出しｌ）−プル３８（こ接続されている。
ｉｌｉ １２ ＩＩ ／）＋ ＋３イするケース１２内
に１１ｖ、納されている。弾ｆ］薄板２２は、その 端
側が固定部２４と１１す、またでの細端側が自由端どな
るべく序文持されＣいる。弾Ｍ ｉｉ’／板２２の固定
部２４に（，１、取イー１−／ｌ ３２，３２が穿設さ
れ、この取ｆ」孔３２，３２により」−記鞘部１０の付
切部１４のト々ｉ；面に固定さ：１１ている。さらに、
ｈ ｆ”Ｌ ’（７部１２の下側面に一体に突設された
仕切部１６の上端面が粗部１０側の１］切部１４の上端
面に合致？するＪ、うにイ「−）で、１３す、これによ
りぞの固定部２４は鞘部１０と蓋部１２の各仕切部１４
．１６の間に挾持されている。１」配圧電体２０は、実
ｈｉ！ｉ例では円板状に形成され、イのト面には焼ｆ１
等により電（ｊｉ（図示省略）か形成されている。また
、ぞの下面が接しＣいる弾性ｌＱ板２２は金属製であり
、従−）でこの弾ＩＩ１． ｔｉｕ板２板厚２電体２０
の下側電極を形成する。圧電体２０の上側電極およひ弾
↑’ｌ包仮２２の固定端側は、リード線 ４０．４２を
介しＣ外部引出しｌ）−プル３８（こ接続されている。
また、ｊ−記／７−ス１２ ｆｉ、その外底面に両面接
着シー１−４４が引−（＝Ｊ Ｉ：Ｊられ（おり、この
１妄打シート４４にＪ、すにシ測定如］Ｚ！物に簡単１
ご貼着されるＪ゛うになっている。ここＣ１ｌ ＩＸ＋
！づ’ｔ’ ｌ’ｌ ＋’＋９板２２の自由端側には、
所定長さ＋３よひ幅の延長部２８が延設され、ざらにこ
の延Ｉ廼ｉ１ｔ ？ ８のりＬ端部に所定質！■の錘３
０ｈ” ＩＢ ｔｒ剤香ｆＪ に リＨ（実Ｌ：： ｒ
＆ （＝Ｊ ｉＪられている。十記１！１艮部２８は、
図示の実施例でＩＪ 、その幅が他の部分と同じにな１
でいる。
着シー１−４４が引−（＝Ｊ Ｉ：Ｊられ（おり、この
１妄打シート４４にＪ、すにシ測定如］Ｚ！物に簡単１
ご貼着されるＪ゛うになっている。ここＣ１ｌ ＩＸ＋
！づ’ｔ’ ｌ’ｌ ＋’＋９板２２の自由端側には、
所定長さ＋３よひ幅の延長部２８が延設され、ざらにこ
の延Ｉ廼ｉ１ｔ ？ ８のりＬ端部に所定質！■の錘３
０ｈ” ＩＢ ｔｒ剤香ｆＪ に リＨ（実Ｌ：： ｒ
＆ （＝Ｊ ｉＪられている。十記１！１艮部２８は、
図示の実施例でＩＪ 、その幅が他の部分と同じにな１
でいる。
さて、Ｊズ１のＪ、うに構成された振動ロン１ノー１０
（，１、これか肢測定対象物に取付けられることにより
該被測定対象物とともに振動づる。そして、この振動に
より１−記弾性薄板２２が共振して振動し、この振動が
１−記ハー電体２０によって電気的変ずＣｌに変換され
、ケーブル３８を介して外部へ出力される。
（，１、これか肢測定対象物に取付けられることにより
該被測定対象物とともに振動づる。そして、この振動に
より１−記弾性薄板２２が共振して振動し、この振動が
１−記ハー電体２０によって電気的変ずＣｌに変換され
、ケーブル３８を介して外部へ出力される。
このとき、１−記弾竹薄板２２の振動【Ｊ、圧電体２０
の質量の他に、十記延長部２８を含む部分によって形成
される］ンプライアンスと上記鍾３０が参加して１１１
られる振動７Ｉｉ ｆｉ４ど（ｉＪ、）（定め＋７．ね
る固有の共振周波数（・行イ；゛われる。つ３、す、従
来に＋５いて（ユぞのｊｔ ＩｈＧ周波数／メ斤電１本
の７’ｉ ：＋３と弾す！１暦板の一］ンノ゛ライシ７
ンスにＪ： ＝）でほとんど決定されていたのか、ここ
では１記延艮部２８ ｉ−二ｉｌ’ｉ ４Ｊる」ンプ−
）イアンスと該延長部２８の先端部に取（＝Ｉ ｌた鍾
３０の質呈どにＪζ−）でその共振周波数が設定（＼４
するようにイｉ−）でいる。これにより、振動体１８（
Ｊ、１゛記廷良部２Ｂと一１記紳３０により、実質的に
１分にＡ、さイアー＋ンプライアンスど１゛分に人ぎな
質Ｏ１を１［することがで・３ ル（７） ’Ｃ、％
ノ共振周波数（４１従来のｌ’、）（ｊ’） Ｊ、 ５
） ’４３人幅に１１（り設定することがてきるよ）に
１．蒙る。そしてこれにより、従来におい（【、Ｌはど
んど不可能であった数十ヘルツどいったＪうな低い共振
周波数も筒中にもた【！ることがでさ、ｔ、Ｌ−）で１
１７艇；ｌ＃１彼数ノズ−１；の撮動す高感度ＩＪ検出
できるＪ、うにその周波数感１α特竹を設定ｃすること
が（゛きる。他方、ぞの延長部２８の良さを極く短くし
てイのコンプライアンスを小さクシ、かつ紳３０の質Ｇ
；を小さい−ｂのにづれば、その検出感痕特↑１１を高
い周波数にも−）てくることｂ曲中に行ｌＩ′うことが
できる。つまり、この発明による振動【？シリ−１０で
は、測定しようどづる１ｈ＜仙の周波数か１１めで低い
周波数領域であ・）てｂ 、あろい＋：ｔ Ｊｌｂｉ゛
に１−ｂい周波数領域であって（］、ト記延艮部２８の
良さ＋５よびその幅と一１記鍾３０の貿ｔ；＋ ４・選
ぶ（二とによっＣ簡す１に対応することができるように
な−）でいる。さらに）１目すべきことは、１記振動１
＋１８の共振周波数を極めて低く設定したどじでも、ぞ
の設定は−１−記延艮部２８と上記紳３０にＪ、−）（
行イ１うごとがＣきるから、圧電体２０の形状を人望化
すイ）必要は全くないということである１、シか６、ぞ
の延長部２８１．１上記弾ｆＩＬ薄Ｍｉ２２１；て一体
にｊｉ設される１）のであって、該弾性薄板２２が切り
抜かれるとさ°（Ｊ同１．＋１に形成されるしので′あ
るから、製造・組で！の面倒が増したり 、あるい（ユ
］ストが高くイ蒙つたり′？ＪるＪ：うなことは全くイ
Ｚ ＜ 、従−）で４Ｍ ７ｆＱが簡Ｎ１て小型かつ低
］スＩ−であるという圧電体型振動ｌ？ンリーの利点は
少しも損イつれることかない。
の質量の他に、十記延長部２８を含む部分によって形成
される］ンプライアンスと上記鍾３０が参加して１１１
られる振動７Ｉｉ ｆｉ４ど（ｉＪ、）（定め＋７．ね
る固有の共振周波数（・行イ；゛われる。つ３、す、従
来に＋５いて（ユぞのｊｔ ＩｈＧ周波数／メ斤電１本
の７’ｉ ：＋３と弾す！１暦板の一］ンノ゛ライシ７
ンスにＪ： ＝）でほとんど決定されていたのか、ここ
では１記延艮部２８ ｉ−二ｉｌ’ｉ ４Ｊる」ンプ−
）イアンスと該延長部２８の先端部に取（＝Ｉ ｌた鍾
３０の質呈どにＪζ−）でその共振周波数が設定（＼４
するようにイｉ−）でいる。これにより、振動体１８（
Ｊ、１゛記廷良部２Ｂと一１記紳３０により、実質的に
１分にＡ、さイアー＋ンプライアンスど１゛分に人ぎな
質Ｏ１を１［することがで・３ ル（７） ’Ｃ、％
ノ共振周波数（４１従来のｌ’、）（ｊ’） Ｊ、 ５
） ’４３人幅に１１（り設定することがてきるよ）に
１．蒙る。そしてこれにより、従来におい（【、Ｌはど
んど不可能であった数十ヘルツどいったＪうな低い共振
周波数も筒中にもた【！ることがでさ、ｔ、Ｌ−）で１
１７艇；ｌ＃１彼数ノズ−１；の撮動す高感度ＩＪ検出
できるＪ、うにその周波数感１α特竹を設定ｃすること
が（゛きる。他方、ぞの延長部２８の良さを極く短くし
てイのコンプライアンスを小さクシ、かつ紳３０の質Ｇ
；を小さい−ｂのにづれば、その検出感痕特↑１１を高
い周波数にも−）てくることｂ曲中に行ｌＩ′うことが
できる。つまり、この発明による振動【？シリ−１０で
は、測定しようどづる１ｈ＜仙の周波数か１１めで低い
周波数領域であ・）てｂ 、あろい＋：ｔ Ｊｌｂｉ゛
に１−ｂい周波数領域であって（］、ト記延艮部２８の
良さ＋５よびその幅と一１記鍾３０の貿ｔ；＋ ４・選
ぶ（二とによっＣ簡す１に対応することができるように
な−）でいる。さらに）１目すべきことは、１記振動１
＋１８の共振周波数を極めて低く設定したどじでも、ぞ
の設定は−１−記延艮部２８と上記紳３０にＪ、−）（
行イ１うごとがＣきるから、圧電体２０の形状を人望化
すイ）必要は全くないということである１、シか６、ぞ
の延長部２８１．１上記弾ｆＩＬ薄Ｍｉ２２１；て一体
にｊｉ設される１）のであって、該弾性薄板２２が切り
抜かれるとさ°（Ｊ同１．＋１に形成されるしので′あ
るから、製造・組で！の面倒が増したり 、あるい（ユ
］ストが高くイ蒙つたり′？ＪるＪ：うなことは全くイ
Ｚ ＜ 、従−）で４Ｍ ７ｆＱが簡Ｎ１て小型かつ低
］スＩ−であるという圧電体型振動ｌ？ンリーの利点は
少しも損イつれることかない。
第３図、第４図、第５図はこの発明の他の実施例を承り
。同図に示？１実施例（” Ｌｌ 、弾↑Ｉ［λ９板２
２の延長部２８の先端側に該延長部２８の延長方向に長
い長孔３４が穿設され、この長孔３４にネジ３６を用い
Ｃ錘３０が取イ」けられている。このＪ：うな構成とし
たことにより、！ｌｌ１３０１Ｊ ｌ：記ンジ３６を緩
める（−どに・にす、Ｆミ孔３４の良さの範囲内でぞの
ＩＩＲ（；口Ｊ（ｆｉ冒をｎ山に可変設定りること／］
（できる。でしでこれにＪ：す１辰動体１８の共振周波
数を自由に可変調節りることが−（さる。従って、測定
し、Ｊ、）どりる撮動の周波数に合せて共振周波数を精
密（Ｊ調整することｂここぐは１ｒ；１中に行なえ、（
−４′々により目的とげる振動をざらに高感Ｉσに検出
？Ｊろ（−とがてきるように仕る。
。同図に示？１実施例（” Ｌｌ 、弾↑Ｉ［λ９板２
２の延長部２８の先端側に該延長部２８の延長方向に長
い長孔３４が穿設され、この長孔３４にネジ３６を用い
Ｃ錘３０が取イ」けられている。このＪ：うな構成とし
たことにより、！ｌｌ１３０１Ｊ ｌ：記ンジ３６を緩
める（−どに・にす、Ｆミ孔３４の良さの範囲内でぞの
ＩＩＲ（；口Ｊ（ｆｉ冒をｎ山に可変設定りること／］
（できる。でしでこれにＪ：す１辰動体１８の共振周波
数を自由に可変調節りることが−（さる。従って、測定
し、Ｊ、）どりる撮動の周波数に合せて共振周波数を精
密（Ｊ調整することｂここぐは１ｒ；１中に行なえ、（
−４′々により目的とげる振動をざらに高感Ｉσに検出
？Ｊろ（−とがてきるように仕る。
；、Ｉ ７ｊ、この発明は、いわ１１）る１−しルノタ
イブの振動子を用いた振ＩＪ＋セン１ｊ−だ【Ｊでは４
１り、バイ七ルーツタイプの振動子を用いた振動ｌ！ン
リーにち適用づ−ることができる。パイモネフタイブの
振動子は、前述した５＃、うＩＪ、但いｊｔ Ｉｈｉ周
波数のものがユニモルフタイプのものよりｔ）さらに作
り難いが、しかしこれも、第５図にその実施例を示Ｊよ
うに、１１電（Ａ２０．２０が両面から貼着されている
＋ｒｌＰ１ノド’１１７ ＋１ｊ ２２に所ンｒのＩ（
さく！５よび幅を有する延長部２８と該延長部２８の先
９η；部に錘３０を取付【〕ることににす、十分に低い
共振周波数に簡単に設定することか（きる。これにＪ、
す、バイーＥルノタイプの振動！′Ｑ）７″ｆ徴である
高１■痘という利点かそのま３１ａ話かされた振動レン
リーを極めて簡単かつ小型に 、しからば］ス１−にｉ
！ｌることができる。もらろんこの実施例にＪ５いても
、ぞのＪし振周波散り４「わら検出１、’、１波数は、
ト記延長部２８および十記紳３０を操作すること１こ上
り広いＩＩＱ囲の中から任意に設定り−ることかでさる
。
イブの振動子を用いた振ＩＪ＋セン１ｊ−だ【Ｊでは４
１り、バイ七ルーツタイプの振動子を用いた振動ｌ！ン
リーにち適用づ−ることができる。パイモネフタイブの
振動子は、前述した５＃、うＩＪ、但いｊｔ Ｉｈｉ周
波数のものがユニモルフタイプのものよりｔ）さらに作
り難いが、しかしこれも、第５図にその実施例を示Ｊよ
うに、１１電（Ａ２０．２０が両面から貼着されている
＋ｒｌＰ１ノド’１１７ ＋１ｊ ２２に所ンｒのＩ（
さく！５よび幅を有する延長部２８と該延長部２８の先
９η；部に錘３０を取付【〕ることににす、十分に低い
共振周波数に簡単に設定することか（きる。これにＪ、
す、バイーＥルノタイプの振動！′Ｑ）７″ｆ徴である
高１■痘という利点かそのま３１ａ話かされた振動レン
リーを極めて簡単かつ小型に 、しからば］ス１−にｉ
！ｌることができる。もらろんこの実施例にＪ５いても
、ぞのＪし振周波散り４「わら検出１、’、１波数は、
ト記延長部２８および十記紳３０を操作すること１こ上
り広いＩＩＱ囲の中から任意に設定り−ることかでさる
。
１スｉのように、この発明ににる振動ヒンリ−〜ｌｅｔ
、圧電体を用いる（二どによ−）で得られる種々の利点
、−ｃＪなりら構）古か曲中で・小型であり 、かつ低
丁１ス１〜であるといつＩこようへ刊白をそのまま残し
つ−）、その共振周波数リイ「わら検出周波数を、高い
周波数作成にも、また低い周波数領域にも自由に５ｐ定
することかできる。
、圧電体を用いる（二どによ−）で得られる種々の利点
、−ｃＪなりら構）古か曲中で・小型であり 、かつ低
丁１ス１〜であるといつＩこようへ刊白をそのまま残し
つ−）、その共振周波数リイ「わら検出周波数を、高い
周波数作成にも、また低い周波数領域にも自由に５ｐ定
することかできる。
第１図はこの発明に′よるｌＡ％動ヒンリーの一実茄例
を承り断面図、第２図はその１辰動体ｎｌ１分を取り出
して承り平面図、第３図（」この発明の他の実り角例を
示１Ｊ’ １１１＋面図、第４図１．１ε１）３図ＩＬ
−，ｉｌｊ ｌノる振動１？ンリーの振動体部分を取り
出して承り平面図、第５図ＩＬＬ Ｍ ラニ別の実施例
６： ／ｌ’； ”Ｊす’ｊ ７ｉ１ｔ ｆｆ７＋面図
テ・′ある。 １０・・・・・・・・・・・・振動上ンリー１２・・・
・・・・・・・・・／／ ’ｌ。 １２ａ・・・・・・・・・精品 １２１＋・・・・・・・・・蓋部 １４．１６・・・・・・イ゛１切部 １８・・・ ・・・ ・・・ ・・・ 娠 動 １ホ２
０・・・ ・・・ ・・・ ・・・ 圧 電 １本２２
・・・・・・・・・・・・弾↑すｉＥ９４Ｆｘ２イ・・
・ ・・・ ・・・ ・・・ｅ・−１定部２６・・・・
・・・・・・・・自由端側２８・・・・・・・・・・・
・延長部 ３０・・・・・・・・・・・・神都 ３２・・・・・・・・・・・・取イ・１孔３４・・・・
・・・・・・・・長孔 ３Ｇ・・・・・・・・・・・・ネジ Ｊ（８・・・・・・・・・・・クープル４０．４２・・
・・・・リード線 ４４・・・・・・・・・・・・両面接役シートＱ！Ｉ
ｉｉ’ｌ出願人 冨１電気化学株式会ン１
代 理 人 弁ｊｌＪ！ ：ｆ
−芭 叶 輔ｔぢＩ図
を承り断面図、第２図はその１辰動体ｎｌ１分を取り出
して承り平面図、第３図（」この発明の他の実り角例を
示１Ｊ’ １１１＋面図、第４図１．１ε１）３図ＩＬ
−，ｉｌｊ ｌノる振動１？ンリーの振動体部分を取り
出して承り平面図、第５図ＩＬＬ Ｍ ラニ別の実施例
６： ／ｌ’； ”Ｊす’ｊ ７ｉ１ｔ ｆｆ７＋面図
テ・′ある。 １０・・・・・・・・・・・・振動上ンリー１２・・・
・・・・・・・・・／／ ’ｌ。 １２ａ・・・・・・・・・精品 １２１＋・・・・・・・・・蓋部 １４．１６・・・・・・イ゛１切部 １８・・・ ・・・ ・・・ ・・・ 娠 動 １ホ２
０・・・ ・・・ ・・・ ・・・ 圧 電 １本２２
・・・・・・・・・・・・弾↑すｉＥ９４Ｆｘ２イ・・
・ ・・・ ・・・ ・・・ｅ・−１定部２６・・・・
・・・・・・・・自由端側２８・・・・・・・・・・・
・延長部 ３０・・・・・・・・・・・・神都 ３２・・・・・・・・・・・・取イ・１孔３４・・・・
・・・・・・・・長孔 ３Ｇ・・・・・・・・・・・・ネジ Ｊ（８・・・・・・・・・・・クープル４０．４２・・
・・・・リード線 ４４・・・・・・・・・・・・両面接役シートＱ！Ｉ
ｉｉ’ｌ出願人 冨１電気化学株式会ン１
代 理 人 弁ｊｌＪ！ ：ｆ
−芭 叶 輔ｔぢＩ図
Claims (1)
- 【特許請求の範囲】 （１）弾性薄板に圧電体を貼着して振動体となすとどｂ
Ｉ−１，１−紀弾ｆｌａｌｒ仮の 端を固定端どし他
端を自１１１端どすることにＪ、り形成される序文１’
ｊＩｈ’ｊ’ｃの振動レンリー（ご、りｉいて、ト記弾
↑り薄板の自由端側に１す１定長さｊ； Ｊ、ひ幅の゛
延長部を設置Ｊ、さらにこのｊＬＩ（ｎｌ’＝の先部ｊ
８１（に所定７１半の神品を設置ノで、上記延１（部の
長さｃ１７．１、σ幅と−Ｆ記鍾部の貿聞にＪ、す１友
振周波数をイ［戸に設定さｌられるようにしたことを特
１放どりる（ｈ（動（ビンリー１゜（２） ’４８ ｉ
＊Ｔ請求の範囲（１）のものにイ１５いて、−１配錘部
をｌ記延艮部の延長方向に対しＣ移動自在にＪ＆ （＝
Ｊ ＩＪたことを特徴どする振動レンリー。 （３）特晶′１の請求の範囲（１〉または（２）のしの
において、十記弾ｆ／ｌ： ｆｉｔ板の固定端を被測定
対象物に貼着されるｊＦンリーケースと該ケースを閉塞
する蓋部どの間に挟持して支持したことを特徴とする振
動ヒンリー。
Priority Applications (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP14163582A JPS5931421A (ja) | 1982-08-17 | 1982-08-17 | 振動センサ− |
Applications Claiming Priority (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP14163582A JPS5931421A (ja) | 1982-08-17 | 1982-08-17 | 振動センサ− |
Publications (1)
| Publication Number | Publication Date |
|---|---|
| JPS5931421A true JPS5931421A (ja) | 1984-02-20 |
Family
ID=15296623
Family Applications (1)
| Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
|---|---|---|---|
| JP14163582A Pending JPS5931421A (ja) | 1982-08-17 | 1982-08-17 | 振動センサ− |
Country Status (1)
| Country | Link |
|---|---|
| JP (1) | JPS5931421A (ja) |
Cited By (6)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| JPS61187429U (ja) * | 1985-05-14 | 1986-11-21 | ||
| WO2014046237A1 (ja) * | 2012-09-24 | 2014-03-27 | 積水化学工業株式会社 | 漏洩検出器、漏洩検知方法および配管網の監視装置 |
| JP2014062868A (ja) * | 2012-09-24 | 2014-04-10 | Sekisui Chem Co Ltd | 圧電型振動センサーおよび漏水検知方法 |
| JP2014077776A (ja) * | 2012-09-24 | 2014-05-01 | Sekisui Chem Co Ltd | 漏洩検出器 |
| JP2014219343A (ja) * | 2013-05-10 | 2014-11-20 | 積水化学工業株式会社 | 圧電型振動センサーおよびこれを用いた漏洩検知方法 |
| JP2015152337A (ja) * | 2014-02-12 | 2015-08-24 | 積水化学工業株式会社 | 圧電型振動センサー |
Citations (1)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| JPS4813082B1 (ja) * | 1968-08-16 | 1973-04-25 |
-
1982
- 1982-08-17 JP JP14163582A patent/JPS5931421A/ja active Pending
Patent Citations (1)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| JPS4813082B1 (ja) * | 1968-08-16 | 1973-04-25 |
Cited By (8)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| JPS61187429U (ja) * | 1985-05-14 | 1986-11-21 | ||
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| JP2014077776A (ja) * | 2012-09-24 | 2014-05-01 | Sekisui Chem Co Ltd | 漏洩検出器 |
| CN105247335A (zh) * | 2012-09-24 | 2016-01-13 | 积水化学工业株式会社 | 泄露检测器、泄露检测方法及配管网的监视装置 |
| US10168243B2 (en) | 2012-09-24 | 2019-01-01 | Sekisui Chemical Co., Ltd. | Leakage detector, leakage detection method, and pipe network monitoring apparatus |
| JP2014219343A (ja) * | 2013-05-10 | 2014-11-20 | 積水化学工業株式会社 | 圧電型振動センサーおよびこれを用いた漏洩検知方法 |
| JP2015152337A (ja) * | 2014-02-12 | 2015-08-24 | 積水化学工業株式会社 | 圧電型振動センサー |
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