JPS5931435A - 油回転ポンプの油劣化モニタ−装置 - Google Patents
油回転ポンプの油劣化モニタ−装置Info
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- JPS5931435A JPS5931435A JP14099882A JP14099882A JPS5931435A JP S5931435 A JPS5931435 A JP S5931435A JP 14099882 A JP14099882 A JP 14099882A JP 14099882 A JP14099882 A JP 14099882A JP S5931435 A JPS5931435 A JP S5931435A
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- light
- cell
- oil
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- Pending
Links
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Classifications
-
- G—PHYSICS
- G01—MEASURING; TESTING
- G01N—INVESTIGATING OR ANALYSING MATERIALS BY DETERMINING THEIR CHEMICAL OR PHYSICAL PROPERTIES
- G01N21/00—Investigating or analysing materials by the use of optical means, i.e. using sub-millimetre waves, infrared, visible or ultraviolet light
- G01N21/17—Systems in which incident light is modified in accordance with the properties of the material investigated
- G01N21/25—Colour; Spectral properties, i.e. comparison of effect of material on the light at two or more different wavelengths or wavelength bands
- G01N21/31—Investigating relative effect of material at wavelengths characteristic of specific elements or molecules, e.g. atomic absorption spectrometry
- G01N21/314—Investigating relative effect of material at wavelengths characteristic of specific elements or molecules, e.g. atomic absorption spectrometry with comparison of measurements at specific and non-specific wavelengths
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Abstract
(57)【要約】本公報は電子出願前の出願データであるた
め要約のデータは記録されません。
め要約のデータは記録されません。
Description
【発明の詳細な説明】
本発明は油回転ポンプの油劣化モニター装置に関する。
従来このセＩ（ポンプは例えＱ」゛半噂体デバイスを減
圧ＯＶＤ 、プラズマＯＶＤ 、プラズマ酸化、プラズ
マエツチング等のドライプロセスにより製造するに除し
高真空をイける手段として１史用されるが、該ポンプの
作！ＩＪＪＪ ｎｌｔ ＆こけドライプロセスに使用さ
れる例えばＯＦ４．００１４の反応性ガスが排気系の構
造上混入しけちであり、これによる作動油の劣化は止む
を得ない。而して油の劣化が成る一定の１η合いを越え
ると急激に到達圧力が忠化してポンプ性能の低下を来た
し、ドライプロセスの作動効率を低下さゼるので作動油
の劣化の程度が知らされ作動油の交換の時期を知りイけ
るようにした装置ｔＣを備えることが望ましい。
圧ＯＶＤ 、プラズマＯＶＤ 、プラズマ酸化、プラズ
マエツチング等のドライプロセスにより製造するに除し
高真空をイける手段として１史用されるが、該ポンプの
作！ＩＪＪＪ ｎｌｔ ＆こけドライプロセスに使用さ
れる例えばＯＦ４．００１４の反応性ガスが排気系の構
造上混入しけちであり、これによる作動油の劣化は止む
を得ない。而して油の劣化が成る一定の１η合いを越え
ると急激に到達圧力が忠化してポンプ性能の低下を来た
し、ドライプロセスの作動効率を低下さゼるので作動油
の劣化の程度が知らされ作動油の交換の時期を知りイけ
るようにした装置ｔＣを備えることが望ましい。
本発明はこれに適した装置ａを提供することをその目的
としたもので、油回転ポンプの作動油を透光性のセル内
に導き、該セルの側方に、白色電球その他の光源と、該
セルを介して嶋過する該光源からの異なる２種の波長の
透過光強度を夫々検知する受光器とを設け、両受光器に
その検出値の比を算出する演に回路を接続したことを特
徴とする。
としたもので、油回転ポンプの作動油を透光性のセル内
に導き、該セルの側方に、白色電球その他の光源と、該
セルを介して嶋過する該光源からの異なる２種の波長の
透過光強度を夫々検知する受光器とを設け、両受光器に
その検出値の比を算出する演に回路を接続したことを特
徴とする。
本発明装置の実施例を図面について説明するに、その第
１図に於て、（１）は油回転ポンプ、（２）は核油回転
ポンプ（１）の作動油が導かれる透光性のセルを示し、
該セル（２）にはフィルター（３１？Ｉ＋’ｊ ５’ｔ
ポンプ（４）を介して該ポンプ（１１の作動油が循環供
給されるようにした。（５）（ま該セル（２）の１則方
に設けらハだ５ｏｏｏ Ｘ乃至７０００Ｘの範囲の波長
を含む先縁を放射する白色螢光ランプからなる白色電球
の光源、（（ｉ） （７１は該セル（２）を透過した該
光源（５）のｒ！５過光強光強度知する十一体の受光器
で、一方の受光器（６）のｎ１ｆ方に５０００Ｘ附近の
波長の光を１：！５過ざセるフィルター（８）を設ける
と共に他方の・受光器（７）の１１１方に７ｏｏｏＸ附
近の波長の光を透過さ・しるフィルター（９）を設け、
セル（２）を６過する光源（（う）からの九のうちの２
神の波長のものの強度が（、・知されるようにした。作
動油は前記したように反１＋ｉ’；、ガスの混入により
劣化するが、実験によれはその劣化の度合に応じて司視
光が波長ｆＪ’＜存性をもって１１に収されることが判
明した。
１図に於て、（１）は油回転ポンプ、（２）は核油回転
ポンプ（１）の作動油が導かれる透光性のセルを示し、
該セル（２）にはフィルター（３１？Ｉ＋’ｊ ５’ｔ
ポンプ（４）を介して該ポンプ（１１の作動油が循環供
給されるようにした。（５）（ま該セル（２）の１則方
に設けらハだ５ｏｏｏ Ｘ乃至７０００Ｘの範囲の波長
を含む先縁を放射する白色螢光ランプからなる白色電球
の光源、（（ｉ） （７１は該セル（２）を透過した該
光源（５）のｒ！５過光強光強度知する十一体の受光器
で、一方の受光器（６）のｎ１ｆ方に５０００Ｘ附近の
波長の光を１：！５過ざセるフィルター（８）を設ける
と共に他方の・受光器（７）の１１１方に７ｏｏｏＸ附
近の波長の光を透過さ・しるフィルター（９）を設け、
セル（２）を６過する光源（（う）からの九のうちの２
神の波長のものの強度が（、・知されるようにした。作
動油は前記したように反１＋ｉ’；、ガスの混入により
劣化するが、実験によれはその劣化の度合に応じて司視
光が波長ｆＪ’＜存性をもって１１に収されることが判
明した。
レリえは反応ガスに００１４を用いたＡ１のエツチング
を行なうドライプロセスの場合、セル（２］を透過する
可視光のうち７ｏｏｏＸ附近と５ｏｏｏＸ附近の２柿の
波長のめ両光強度の比は第２図示の如く作動油の約１油
の透過光強１０を１．０として測定すると使用日数に１
芯じて上昇し、換言ずれば両、波長のろ過光度の比を知
ることによって作動油の劣化の状態を知ることが出来る
。
を行なうドライプロセスの場合、セル（２］を透過する
可視光のうち７ｏｏｏＸ附近と５ｏｏｏＸ附近の２柿の
波長のめ両光強度の比は第２図示の如く作動油の約１油
の透過光強１０を１．０として測定すると使用日数に１
芯じて上昇し、換言ずれば両、波長のろ過光度の比を知
ることによって作動油の劣化の状態を知ることが出来る
。
かかる観点に従い各受光器（６１（７１を演算回路（１
０１に接続して各受光器（６１（７１に於て検）１．Ｉ
した透過光強度の、ｔｔが算出されるようにし、その
比が例えば１．２５になると作動油の劣化が進み、間も
なく油回転ポンプ（１１のｔｕ達正圧力低下することを
予知し得、作動油の交換の時期が迫っていることを判断
出来る。該演算回路００）にはこれに於て算出された比
を表示するディスクプレイ或はその比が設定（、（１を
越えたことを知らせるｂ報装置（団を接続することが可
能である。
０１に接続して各受光器（６１（７１に於て検）１．Ｉ
した透過光強度の、ｔｔが算出されるようにし、その
比が例えば１．２５になると作動油の劣化が進み、間も
なく油回転ポンプ（１１のｔｕ達正圧力低下することを
予知し得、作動油の交換の時期が迫っていることを判断
出来る。該演算回路００）にはこれに於て算出された比
を表示するディスクプレイ或はその比が設定（、（１を
越えたことを知らせるｂ報装置（団を接続することが可
能である。
まだ光源（５）として第５図示の如く約７００ＯＡの光
線を放射するＧａＡｏ等の赤色発光ダイオード（５ａ）
と約５００ＯＡの光線を放射するＳｊＯ等の青色発光ダ
イオード（５ｂ）を使用し、各ダイオード（５ａ） （
５ｂ）及び各受光器（６１ｆ７１の’ｆｔＵ方にレンズ
（１２）を設けて集光するようにしてもよい。さらに作
動油内に混入する反応ガスの柚類によって受光器（６）
（７）に受光される透過光の２柚の波長は適宜選択され
、これに応じて光源（５）の紳ｌｉｄが選定される。
線を放射するＧａＡｏ等の赤色発光ダイオード（５ａ）
と約５００ＯＡの光線を放射するＳｊＯ等の青色発光ダ
イオード（５ｂ）を使用し、各ダイオード（５ａ） （
５ｂ）及び各受光器（６１ｆ７１の’ｆｔＵ方にレンズ
（１２）を設けて集光するようにしてもよい。さらに作
動油内に混入する反応ガスの柚類によって受光器（６）
（７）に受光される透過光の２柚の波長は適宜選択され
、これに応じて光源（５）の紳ｌｉｄが選定される。
その作動を説明するに、油回転ポンプ（１１の作動油は
循環ポンプ（４）により透光性のセル（２）内に３！Ｊ
かれ、そこで光源（５）から該セル（２１を介して透過
する２棹の波長の肉過光強ｊ（ｙを受光器ｆ６１ （７
１に於て検知すると共にその検出値の比を演１；【回路
（１０）により算出することにより作動油の劣化状況が
判定さノＬる。
循環ポンプ（４）により透光性のセル（２）内に３！Ｊ
かれ、そこで光源（５）から該セル（２１を介して透過
する２棹の波長の肉過光強ｊ（ｙを受光器ｆ６１ （７
１に於て検知すると共にその検出値の比を演１；【回路
（１０）により算出することにより作動油の劣化状況が
判定さノＬる。
このように本発明によるとさけセル内の作動油を透過す
る２紳の波長のｄＭ過光強川用比を知ることにより作動
油の劣化の４．ｌＪ度を知ることが出来るもので、作動
油の交換の時期を察知し得、油回転ポンプの作動中にそ
の１／Ｉ−能が低下する不測の事態の発生を防ぐことが
ＪＨ来、ドライプロセス等の作動効率を向−りさせるに
有効である４ｊの効果がある。
る２紳の波長のｄＭ過光強川用比を知ることにより作動
油の劣化の４．ｌＪ度を知ることが出来るもので、作動
油の交換の時期を察知し得、油回転ポンプの作動中にそ
の１／Ｉ−能が低下する不測の事態の発生を防ぐことが
ＪＨ来、ドライプロセス等の作動効率を向−りさせるに
有効である４ｊの効果がある。
第１図は本冗明装置？ｉの実り出側の線図、第２図は作
動油の劣化４人幅の線１凶、第６図は本発明装置ａの変
形例の線図である。 （１）・・・・・・油回転ポンプ （２）・・・・・・セ ル （１う）・・・ ・・・ 光 ｉ１１
鼠（６）（７）・・・受 光 器 （１１））・・・・・・ｌσ！算回ＩＪｉｉ特許出廓１
人 １］本真空技イ１１ｉ＋４：′１４式会ト［代
理 人 北 杓 ｊ１ス −
′１′夕１２ 名 第２図 イｔ １）日 豪女
動油の劣化４人幅の線１凶、第６図は本発明装置ａの変
形例の線図である。 （１）・・・・・・油回転ポンプ （２）・・・・・・セ ル （１う）・・・ ・・・ 光 ｉ１１
鼠（６）（７）・・・受 光 器 （１１））・・・・・・ｌσ！算回ＩＪｉｉ特許出廓１
人 １］本真空技イ１１ｉ＋４：′１４式会ト［代
理 人 北 杓 ｊ１ス −
′１′夕１２ 名 第２図 イｔ １）日 豪女
Claims (1)
- 油回転ポンプの作動油を透光性のセル内に擲き、該セル
の側方に、白色′１↓ｆ球そめ他の光源と、該セルを介
して透ｈ１する該光源からの異なる２抽の波長の透過光
強度を夫々検知する受光器とを設け、両受光器にその検
出（１ｉｉの比を算出する演算回路を接秋したことを特
徴とするＭｌ＋回転ポンプの油劣化モニター装置。
Priority Applications (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP14099882A JPS5931435A (ja) | 1982-08-16 | 1982-08-16 | 油回転ポンプの油劣化モニタ−装置 |
Applications Claiming Priority (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP14099882A JPS5931435A (ja) | 1982-08-16 | 1982-08-16 | 油回転ポンプの油劣化モニタ−装置 |
Publications (1)
| Publication Number | Publication Date |
|---|---|
| JPS5931435A true JPS5931435A (ja) | 1984-02-20 |
Family
ID=15281777
Family Applications (1)
| Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
|---|---|---|---|
| JP14099882A Pending JPS5931435A (ja) | 1982-08-16 | 1982-08-16 | 油回転ポンプの油劣化モニタ−装置 |
Country Status (1)
| Country | Link |
|---|---|
| JP (1) | JPS5931435A (ja) |
Cited By (3)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| US5397417A (en) * | 1992-12-24 | 1995-03-14 | Mitsubishi Pencil Kabushiki Kaisha | Process for producing sponge rubber stamp having open cell |
| JP2004534374A (ja) * | 2000-10-09 | 2004-11-11 | リーブテック，インコーポレイテッド | 浮上回転ポンプ送り又は混合素子を用いた流体ポンプ送り又は混合システム及びそれに関連する方法 |
| JP2010531997A (ja) * | 2007-06-28 | 2010-09-30 | フライマスター エル．エル．シー． | 深いフライヤ装置用のオイル品質センサおよびオイルヒータ |
Citations (1)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| JPS55162041A (en) * | 1979-06-06 | 1980-12-17 | Lotte Co Ltd | Liquid purity deciding device for frying oil or the like |
-
1982
- 1982-08-16 JP JP14099882A patent/JPS5931435A/ja active Pending
Patent Citations (1)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| JPS55162041A (en) * | 1979-06-06 | 1980-12-17 | Lotte Co Ltd | Liquid purity deciding device for frying oil or the like |
Cited By (3)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| US5397417A (en) * | 1992-12-24 | 1995-03-14 | Mitsubishi Pencil Kabushiki Kaisha | Process for producing sponge rubber stamp having open cell |
| JP2004534374A (ja) * | 2000-10-09 | 2004-11-11 | リーブテック，インコーポレイテッド | 浮上回転ポンプ送り又は混合素子を用いた流体ポンプ送り又は混合システム及びそれに関連する方法 |
| JP2010531997A (ja) * | 2007-06-28 | 2010-09-30 | フライマスター エル．エル．シー． | 深いフライヤ装置用のオイル品質センサおよびオイルヒータ |
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