JPS5932186A - 無声放電式パルスレ−ザ装置の出力制御方式 - Google Patents
無声放電式パルスレ−ザ装置の出力制御方式Info
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- JPS5932186A JPS5932186A JP57142408A JP14240882A JPS5932186A JP S5932186 A JPS5932186 A JP S5932186A JP 57142408 A JP57142408 A JP 57142408A JP 14240882 A JP14240882 A JP 14240882A JP S5932186 A JPS5932186 A JP S5932186A
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- H01S3/00—Lasers, i.e. devices using stimulated emission of electromagnetic radiation in the infrared, visible or ultraviolet wave range
- H01S3/09—Processes or apparatus for excitation, e.g. pumping
- H01S3/097—Processes or apparatus for excitation, e.g. pumping by gas discharge of a gas laser
- H01S3/0971—Processes or apparatus for excitation, e.g. pumping by gas discharge of a gas laser transversely excited
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Abstract
(57)【要約】本公報は電子出願前の出願データであるた
め要約のデータは記録されません。
め要約のデータは記録されません。
Description
【発明の詳細な説明】
この発明は、無声放電式パルスレーザ装置の出力制御方
式、特にレーザ加工におけるパルスレーザ装置の印加電
圧制御方式に関するものである。
式、特にレーザ加工におけるパルスレーザ装置の印加電
圧制御方式に関するものである。
従来、この種のレーザ装置の代表例として、第１図に示
すものがある。この回圧おいて、１は金属電極、２は誘
電体電極である。金属電極１は接地３され、誘雷、体１
！極２は金属部２１とそれを被覆する誘電体２２とによ
り構成されている。４は前記電極１．２間の放電空間、
５は変圧器、６は高周波電源である。１は全反射ミラー
、８は部分反射ミラーで、この全反射ミラーＩと部分反
射ミラー８と放電空間４とで光共撮器を形成している。
すものがある。この回圧おいて、１は金属電極、２は誘
電体電極である。金属電極１は接地３され、誘雷、体１
！極２は金属部２１とそれを被覆する誘電体２２とによ
り構成されている。４は前記電極１．２間の放電空間、
５は変圧器、６は高周波電源である。１は全反射ミラー
、８は部分反射ミラーで、この全反射ミラーＩと部分反
射ミラー８と放電空間４とで光共撮器を形成している。
９ Ｇｔ−レーザガスの流れを示す矢印、１０はレーザ
出力を示す矢印、１１はレーザ出力を曲折させるベンデ
ィングミラー、１２は集光レンズ、１３は速度Ｖで移動
する加工対象物である。
出力を示す矢印、１１はレーザ出力を曲折させるベンデ
ィングミラー、１２は集光レンズ、１３は速度Ｖで移動
する加工対象物である。
第２図は無声放電式パルスレーザ装置に印加する電圧波
形および発振出力波形を示す図である〇第２図（ａ）は
印加電圧波形を示し、ＶＯ，は高周波電圧のゼロピーク
値、Ｔｏ＝ ｌ／ｆ、は高周波電圧周期、Ｔ、は印加電
圧パルス幅、Ｔ２はパルス間隔を示す。第２図ｔｂ）は
発振出方波形を示し、Ｗ、（ｐｋ）は発振出力のピーク
値、Ｔ、は発振出力のパルス幅、ｉ”、、は発振遅れ時
間を示す。また、上記無声放電式パルスレーザ装置に用
いるレーザガスは炭酸ガス（ＣＯ２）、窒素ガス（Ｎ、
）、ヘリウムガス（）−（ｅ ）の混合気体でモル分率
５−６０−３５゜圧力２００ Ｔｏｒｒ程度である。
形および発振出力波形を示す図である〇第２図（ａ）は
印加電圧波形を示し、ＶＯ，は高周波電圧のゼロピーク
値、Ｔｏ＝ ｌ／ｆ、は高周波電圧周期、Ｔ、は印加電
圧パルス幅、Ｔ２はパルス間隔を示す。第２図ｔｂ）は
発振出方波形を示し、Ｗ、（ｐｋ）は発振出力のピーク
値、Ｔ、は発振出力のパルス幅、ｉ”、、は発振遅れ時
間を示す。また、上記無声放電式パルスレーザ装置に用
いるレーザガスは炭酸ガス（ＣＯ２）、窒素ガス（Ｎ、
）、ヘリウムガス（）−（ｅ ）の混合気体でモル分率
５−６０−３５゜圧力２００ Ｔｏｒｒ程度である。
次に上記無声放電式パルスレーザ装置の動作圧ついて説
明する。金属を極１と誘電体電極２との間Ｋ、高周波！
＃！６から変圧器５を介して、第２図（ａ）に示すよう
な、周波数ｆ。、ゼロビーク値Ｖ。。
明する。金属を極１と誘電体電極２との間Ｋ、高周波！
＃！６から変圧器５を介して、第２図（ａ）に示すよう
な、周波数ｆ。、ゼロビーク値Ｖ。。
（８ＫＶ）の高周波が、パルス幅’Ｉ’ｌ （０，５ｒ
ｎｓ ）、パルス間隔’Ｉ’２ （０，５１ｎＳ ）で
パルス状に印加される。
ｎｓ ）、パルス間隔’Ｉ’２ （０，５１ｎＳ ）で
パルス状に印加される。
レーザの励起分子寿命は１００μｓ程度であり、印加高
周波電圧の周期Ｔ。＝耳は約１０μｓであるから、レー
ザ出力は第２図ｔｂ）に示１ようなパルス状のものとな
る。すなわち期間Ｔ、 ＋ Ｔ、を周期とする幅Ｔｐの
パルス状の出力である。この出力パルスのパルス幅Ｔ、
、は印加パルスのパルス幅Ｔ、より小さく ０．３ ｍ
ｓ程度となるが、これは電圧が印加されて出力パルスが
立ち上がるまでに約０２ｍ５程度の発振遅れ時間Ｔ、を
必要とするからである。従って、印加′α圧のパルス幅
Ｔ、と発振遅れ時間ＴＩ、出力パルス幅Ｔ、との間忙は
、Ｔ１中Ｔｌ＋Ｔ、の関係が成立する。
周波電圧の周期Ｔ。＝耳は約１０μｓであるから、レー
ザ出力は第２図ｔｂ）に示１ようなパルス状のものとな
る。すなわち期間Ｔ、 ＋ Ｔ、を周期とする幅Ｔｐの
パルス状の出力である。この出力パルスのパルス幅Ｔ、
、は印加パルスのパルス幅Ｔ、より小さく ０．３ ｍ
ｓ程度となるが、これは電圧が印加されて出力パルスが
立ち上がるまでに約０２ｍ５程度の発振遅れ時間Ｔ、を
必要とするからである。従って、印加′α圧のパルス幅
Ｔ、と発振遅れ時間ＴＩ、出力パルス幅Ｔ、との間忙は
、Ｔ１中Ｔｌ＋Ｔ、の関係が成立する。
上記のままの条件でレーザ出力を発し、レーザ加工を行
うと、加工速度により加工性能が変化することになる。
うと、加工速度により加工性能が変化することになる。
その模様をセラミックスリスクライビンダ（けがき加工
）を例に示したのが第３図である。第３図（ａ）は加工
速度ｖ＝１ｍ／ｍｉｎ、第３図ｔｂ）はｖ ＝ ２ ｍ
／ｍｉｎの時のスクライビングをした状態を示している
。第３図において明らかなように加工速度の変化にょＩ
）、長径Ａ、短径Ｂ。
）を例に示したのが第３図である。第３図（ａ）は加工
速度ｖ＝１ｍ／ｍｉｎ、第３図ｔｂ）はｖ ＝ ２ ｍ
／ｍｉｎの時のスクライビングをした状態を示している
。第３図において明らかなように加工速度の変化にょＩ
）、長径Ａ、短径Ｂ。
穴間隔Ｃ２溶は込み深さＤがそれぞれ変化している。こ
こで長径Ａ、短径Ｂ、穴間隔Ｃ２溶は込み深さＩ）のそ
れぞねは、加工速度Ｖの関数とし又以下の（１）〜（３
）式で示すことができる。
こで長径Ａ、短径Ｂ、穴間隔Ｃ２溶は込み深さＩ）のそ
れぞねは、加工速度Ｖの関数とし又以下の（１）〜（３
）式で示すことができる。
Ａ−Ｔ−ｖ ・・・・・川・・・川・・・・・
・・・・・（１１Ｂ−Ｄ” Ｗ （ｐ ｋ ） ・ｖ−
’ ・＝１２１Ｃ＝ （１’、 ４−Ｔ２） ｖ
’Ｅ ｆｐ−’ ・ｖ −−（３］従来のパルスレ
ーザ加工にあっては、第３図（ａ）。
・・・・・（１１Ｂ−Ｄ” Ｗ （ｐ ｋ ） ・ｖ−
’ ・＝１２１Ｃ＝ （１’、 ４−Ｔ２） ｖ
’Ｅ ｆｐ−’ ・ｖ −−（３］従来のパルスレ
ーザ加工にあっては、第３図（ａ）。
（１１） Ｋ示１ように加工精度が加工速度Ｖにより大
きく変化していた。七ハは、加工速度ｖＫよリレーザ出
力１パルス当りの受は持つ加工領域が異なること、加工
対象物１３０単位長さ当りの投入エネルギーが異なるこ
とに起因していた。
きく変化していた。七ハは、加工速度ｖＫよリレーザ出
力１パルス当りの受は持つ加工領域が異なること、加工
対象物１３０単位長さ当りの投入エネルギーが異なるこ
とに起因していた。
この発明は、上記の点にがんがみなされたもので、パル
ス用波数ｆ２、デユーティα。、印加電圧のゼロビーク
値Ｖ。１、放電電力ｗｄ、放電電流■のそれぞれを一定
の関係のもとで、２個以上を加工速度１／に応じ変化さ
せることにより、加工速度ＶのいかんＩＣかかわらすヒ
ーム出力１パルス当りのうけもつ加工領域および加工対
象物１３０爪位長さ当りの投入エネルギーをほぼ等しく
加工速度Ｖに関係なく一定のスクライビング、穴明は等
の加工が可能な無声放電式パルスレーザ装置の出力制御
方式を提供することな目的とする。以下この発明を図面
に基づいて説明する。
ス用波数ｆ２、デユーティα。、印加電圧のゼロビーク
値Ｖ。１、放電電力ｗｄ、放電電流■のそれぞれを一定
の関係のもとで、２個以上を加工速度１／に応じ変化さ
せることにより、加工速度ＶのいかんＩＣかかわらすヒ
ーム出力１パルス当りのうけもつ加工領域および加工対
象物１３０爪位長さ当りの投入エネルギーをほぼ等しく
加工速度Ｖに関係なく一定のスクライビング、穴明は等
の加工が可能な無声放電式パルスレーザ装置の出力制御
方式を提供することな目的とする。以下この発明を図面
に基づいて説明する。
第４図はこの発明の一実施例としての無声放電式パルス
レーザ装置を示す図である。この図において、第１図と
同一符号を付した部分は同一部分を示すので説明は省略
する。１４は前記加工対象物１３の移動速度を検出する
加工速度センサ、１５は印加電、圧を制御する印加電圧
制御回路、１６は前記印加電圧制御回路１５により制御
された高周波電源６からの印加電圧波形の一例である。
レーザ装置を示す図である。この図において、第１図と
同一符号を付した部分は同一部分を示すので説明は省略
する。１４は前記加工対象物１３の移動速度を検出する
加工速度センサ、１５は印加電、圧を制御する印加電圧
制御回路、１６は前記印加電圧制御回路１５により制御
された高周波電源６からの印加電圧波形の一例である。
次に上記無声放電式パルスレーザ装置の動作につＬ’−
て説明する。まずレーザ出力ｌパルス当りの受は持つ加
工領域が加工対象物１３の移動速度、すなわち加工速度
ｖｌＣ関係なく一定にする場合は、前記第（１）式、第
（３）式で示した長径Ａ、穴間隔Ｃが加工速度Ｖに関係
なく一定忙すればよい。前記第（１１式は次のように書
き直すことができる〇＝ Ｃ１Ｔｌｖ ＋Ｃ，Ａ ＝ Ｃ１ｉ、’ｚ ｖ ＋ Ｃ２・・・・・・・・・・
・・・・・・・・（４）従って、以下の２項目ケ印加電
圧忙施すことにより出力パルス当りのうけもつ加工領域
は加工速度Ｖに依存しなくなる。Ｃ，、Ｃ２を定数とし
て、（１） ｖ−ＣＩ ｆｐとなるようにパルス周波
数ｆ。
て説明する。まずレーザ出力ｌパルス当りの受は持つ加
工領域が加工対象物１３の移動速度、すなわち加工速度
ｖｌＣ関係なく一定にする場合は、前記第（１）式、第
（３）式で示した長径Ａ、穴間隔Ｃが加工速度Ｖに関係
なく一定忙すればよい。前記第（１１式は次のように書
き直すことができる〇＝ Ｃ１Ｔｌｖ ＋Ｃ，Ａ ＝ Ｃ１ｉ、’ｚ ｖ ＋ Ｃ２・・・・・・・・・・
・・・・・・・・（４）従って、以下の２項目ケ印加電
圧忙施すことにより出力パルス当りのうけもつ加工領域
は加工速度Ｖに依存しなくなる。Ｃ，、Ｃ２を定数とし
て、（１） ｖ−ＣＩ ｆｐとなるようにパルス周波
数ｆ。
を加工速度ｖＫ同期させる。
（１１） αＤ ＝ ＣＩ ＴＩＶ 十Ｃ２となるよ
うＫ チュー フイαゎを加工速度Ｖに同期させる。
うＫ チュー フイαゎを加工速度Ｖに同期させる。
ここで印加電圧のパルス幅＋ｌＩ、 ＝＝ （ｐ−１α
。に対する発振遅れ時間Ｔｌの測定結果を第５図に示す
。第５図に明示するよ５にパルス幅が０．３ｍｓ以上は
発振遅れ時間は約０．２ｍｓとほぼ一定となる。
。に対する発振遅れ時間Ｔｌの測定結果を第５図に示す
。第５図に明示するよ５にパルス幅が０．３ｍｓ以上は
発振遅れ時間は約０．２ｍｓとほぼ一定となる。
次に加工対象物１３０単位長さ当りの投入エネルギーを
加工速度Ｖに関係なく一定にするには、前記第（２）式
より、以下の第（５）式を満足させる必要がある。
加工速度Ｖに関係なく一定にするには、前記第（２）式
より、以下の第（５）式を満足させる必要がある。
Ｗｒ’ｐｋ）・ｖ−’＝一定 ・・・・・・・・・
・・・・・・（５）印加電圧ゼロピーク値Ｖ。、と発振
出力ピーク値Ｗ、（ｐｋ）とは第６図に示すような関係
があるので、Ｗｒ （ｐ ｋ ） ＝Ｏとなる電圧ゼロ
ピーク値をい。、と才ると、 Ｗ、 （１） ｋ ） ” （Ｖｏｐ ％”ｏｐ
） ’・・・・・・・・１６）と表わ１°ことが
できる。前記第（５）、第（６）式より、Ｃ，ｌを定数
として以下の（ｌｌｉ ）を印加電圧に施１ことにより
、加工対象物１３０単位長さ当りの投入エネルギーを加
工速度Ｖに関係なく一定にすることができろ。
・・・・・・（５）印加電圧ゼロピーク値Ｖ。、と発振
出力ピーク値Ｗ、（ｐｋ）とは第６図に示すような関係
があるので、Ｗｒ （ｐ ｋ ） ＝Ｏとなる電圧ゼロ
ピーク値をい。、と才ると、 Ｗ、 （１） ｋ ） ” （Ｖｏｐ ％”ｏｐ
） ’・・・・・・・・１６）と表わ１°ことが
できる。前記第（５）、第（６）式より、Ｃ，ｌを定数
として以下の（ｌｌｉ ）を印加電圧に施１ことにより
、加工対象物１３０単位長さ当りの投入エネルギーを加
工速度Ｖに関係なく一定にすることができろ。
（ｉｌｌｌ （Ｖ。、−ｖ”。−ｖ−’ ＝Ｃ３よっ
て、Ｖ、、 ” Ｖ ｏｐ ＋ Ｃ，ｖ ・・・
・・・・・・・・・・・・・・・・・・（７）となるよ
うに、印加電圧ゼロピーク値■。Ｉｌ＋を加工速度Ｖに
同期させる。
て、Ｖ、、 ” Ｖ ｏｐ ＋ Ｃ，ｖ ・・・
・・・・・・・・・・・・・・・・・・（７）となるよ
うに、印加電圧ゼロピーク値■。Ｉｌ＋を加工速度Ｖに
同期させる。
セラミックスのスフライピンクを例忙とってパルス周波
数ｒ、とデユーティαＤｆｔ加工速度Ｖに同期制御した
場合を第７図（ａ）、 （ｂ）に、また、印加電圧ゼロ
ピーク値Ｖ。ｐも同時に加工速度Ｖに同期制御した場合
を第８図（ａ）、 （ｂ）に示す。第７図、第８図にお
いて、各（ａ）図は加工速度ｖ ＝ １ｍ／ ｍ ｉ
ｎ 、各（ｂ）図はｖ ＝ ２ ｍ／ｍｉ ｎの場合で
あ７８゜第７図においては加工速度Ｖに無関係にはホ一
定のプロフィールが得られているが、溶は込みシ掌さＤ
は加工速度ｖＫより変化している。第８図においては加
工速度Ｖに関係なくは＋ヂ均一の加工精度が得られる。
数ｒ、とデユーティαＤｆｔ加工速度Ｖに同期制御した
場合を第７図（ａ）、 （ｂ）に、また、印加電圧ゼロ
ピーク値Ｖ。ｐも同時に加工速度Ｖに同期制御した場合
を第８図（ａ）、 （ｂ）に示す。第７図、第８図にお
いて、各（ａ）図は加工速度ｖ ＝ １ｍ／ ｍ ｉ
ｎ 、各（ｂ）図はｖ ＝ ２ ｍ／ｍｉ ｎの場合で
あ７８゜第７図においては加工速度Ｖに無関係にはホ一
定のプロフィールが得られているが、溶は込みシ掌さＤ
は加工速度ｖＫより変化している。第８図においては加
工速度Ｖに関係なくは＋ヂ均一の加工精度が得られる。
第９図は放ＩＷ、［力Ｗｄと発振出力ピーク値Ｗ、（ｐ
ｋ）の関係を示した図、第１０図は放電電流工と発振出
力ピーク値Ｗ、（ｐｋ）の関係を示した図である。
ｋ）の関係を示した図、第１０図は放電電流工と発振出
力ピーク値Ｗ、（ｐｋ）の関係を示した図である。
第９図、第１０図において発振出力ピーク値Ｗｒ（ｐｋ
）が００時の放電電力および放ｍｌ流、すなわちレーザ
発振がおこるしきい値放電、 ｍ、力およびしきい値放
電電流はＷｄ、 Ｉｔ となる。上記（ｌｌｌＩに対応
する関係は、この放電電力Ｗｄ、放軍、’ｉ、流ＩＫつ
いても考えることができる。すなわち、レーザ発振のお
こるしき（・値放電電力Ｗ−に関して、Ｃ１を定数とし
、放電電力Ｗ、をＷｄ＝ Ｗ ｄ＋ Ｃ４ｖとなるよ’
）Ｋ加工速度Ｖに同期させることにより加工物ｍ位長さ
当りの投入エネルギーを加」−速度Ｖに関係な（一定に
才ることができる。また、同様にレーザ発振のＪｄころ
しきい値放電ｉｔ流ビに関して、Ｃ３を定数とし、Ｉ
” ｌ −４−Ｃ！ｌ ｖ となるよ５に放電電流
］を加工速度Ｖに同期させることにより、加工対象物１
３０単位長さ当りの投入エネルギーを加工速度Ｖに関係
なく一定にすることができる。
）が００時の放電電力および放ｍｌ流、すなわちレーザ
発振がおこるしきい値放電、 ｍ、力およびしきい値放
電電流はＷｄ、 Ｉｔ となる。上記（ｌｌｌＩに対応
する関係は、この放電電力Ｗｄ、放軍、’ｉ、流ＩＫつ
いても考えることができる。すなわち、レーザ発振のお
こるしき（・値放電電力Ｗ−に関して、Ｃ１を定数とし
、放電電力Ｗ、をＷｄ＝ Ｗ ｄ＋ Ｃ４ｖとなるよ’
）Ｋ加工速度Ｖに同期させることにより加工物ｍ位長さ
当りの投入エネルギーを加」−速度Ｖに関係な（一定に
才ることができる。また、同様にレーザ発振のＪｄころ
しきい値放電ｉｔ流ビに関して、Ｃ３を定数とし、Ｉ
” ｌ −４−Ｃ！ｌ ｖ となるよ５に放電電流
］を加工速度Ｖに同期させることにより、加工対象物１
３０単位長さ当りの投入エネルギーを加工速度Ｖに関係
なく一定にすることができる。
なお、この発明は加工全般に適用でき、例えば紙の穴明
けなどにも有効である。
けなどにも有効である。
以上説明したように、この発明に係る無声放電式パルス
レーザ装置の出力制御方式は、断続的印加電圧の継続周
波数、電圧印加時間の割合、電圧ゼロピーク値または放
電電力あるいは放電電流のいずれか２個以上の関係をも
って加工速度に同期させるか、あるいは電圧ゼロピーク
値にかえて放電電力ないしは放電電流を一定の関係をも
って加工速度に応じ変化させるようにしたので、加工速
度妬関係な（一定の加工が可能となり、例えば、加工テ
ーブルが定速度忙なるまでの間にも加工ができ、材料の
節減、加工時間の短縮が可能となるという１ぐｔ］た効
果がある。また、加工形状により加工速度を変化しなけ
ればならない場合にも均一の精度で加工を行うことが可
能であるというすぐれた効果も有する。
レーザ装置の出力制御方式は、断続的印加電圧の継続周
波数、電圧印加時間の割合、電圧ゼロピーク値または放
電電力あるいは放電電流のいずれか２個以上の関係をも
って加工速度に同期させるか、あるいは電圧ゼロピーク
値にかえて放電電力ないしは放電電流を一定の関係をも
って加工速度に応じ変化させるようにしたので、加工速
度妬関係な（一定の加工が可能となり、例えば、加工テ
ーブルが定速度忙なるまでの間にも加工ができ、材料の
節減、加工時間の短縮が可能となるという１ぐｔ］た効
果がある。また、加工形状により加工速度を変化しなけ
ればならない場合にも均一の精度で加工を行うことが可
能であるというすぐれた効果も有する。
第１図は従来の無声放電式パルスレーザ装置の構成を示
す原理図、第２図（ａ）はその印加電圧波形図、第２図
（＋３）はその発振出力波形図、第３図＋ａ）、 （ｂ
）は従来のパルスレーザによるセラミックスのスクライ
ビング例を示す図、第４図はこの発明妊係る無声放電式
パルスレーザ装置を示す図、第５図は発振遅ｆ１時間Ｔ
ｌの測定結果を示す図、第６図は印加電圧ゼロビーク電
圧Ｖ。、と発掘出力ピーク値Ｗ、！ｐｋ）との関係を示
した図、第７図（ａ）、 （ｂ）、および第８図（ａ
）、 （ｂ）はこの発明に係る無声放電式パルスレー
ザ装置の出力制御方弐九よるセラミックススフライピン
クの発振出力ピーク値と放電電力、ならびに発振出力ピ
ーク値と放電電流の関係を示す図、第９図、第１０図は
それぞれの放を電力Ｗｄ、放電電流■と発振出力ピーク
値Ｗ、（ｐｋ）の関係を示す図である。 図中、１は金属電極、２は誘電体電極、４は放電空間、
５は変圧器、６は高周波電源、１は全反射ミラー、８は
部分反射ミラー、１１はベンゾインクミラー、１２は集
光レンズ、１３は加工対象物、１４は加工速度センサ、
１５は印加電圧制御回路、２１は金属部、２２は誘電体
である。なお、図中の同一符号は同一または相当部分を
示す。 代理人 葛野信−（外１名） ７図 （ｂ） ８図 第９図 第 １０ 図− １１許１’ｌ長官１ル １、 ’Ｉ（ｆ’ｌの表小 Ｔｉ”）”Ｍ（５
７−ｔ ４２４ ｏ ｓ号２ 発明′）名４４：
無７” 放電式パルスレーザ装置の出力制御方式
３、 浦ｉ１ｉ ｋ １’る古 代表Ｒ片１＋ Ｖへ部 ４、代理人 ６ 補正の対象 図面 ７ 補正の内容 図面第８図を別紙のように補正する。 以上 第 ８ λ （ｂ）
す原理図、第２図（ａ）はその印加電圧波形図、第２図
（＋３）はその発振出力波形図、第３図＋ａ）、 （ｂ
）は従来のパルスレーザによるセラミックスのスクライ
ビング例を示す図、第４図はこの発明妊係る無声放電式
パルスレーザ装置を示す図、第５図は発振遅ｆ１時間Ｔ
ｌの測定結果を示す図、第６図は印加電圧ゼロビーク電
圧Ｖ。、と発掘出力ピーク値Ｗ、！ｐｋ）との関係を示
した図、第７図（ａ）、 （ｂ）、および第８図（ａ
）、 （ｂ）はこの発明に係る無声放電式パルスレー
ザ装置の出力制御方弐九よるセラミックススフライピン
クの発振出力ピーク値と放電電力、ならびに発振出力ピ
ーク値と放電電流の関係を示す図、第９図、第１０図は
それぞれの放を電力Ｗｄ、放電電流■と発振出力ピーク
値Ｗ、（ｐｋ）の関係を示す図である。 図中、１は金属電極、２は誘電体電極、４は放電空間、
５は変圧器、６は高周波電源、１は全反射ミラー、８は
部分反射ミラー、１１はベンゾインクミラー、１２は集
光レンズ、１３は加工対象物、１４は加工速度センサ、
１５は印加電圧制御回路、２１は金属部、２２は誘電体
である。なお、図中の同一符号は同一または相当部分を
示す。 代理人 葛野信−（外１名） ７図 （ｂ） ８図 第９図 第 １０ 図− １１許１’ｌ長官１ル １、 ’Ｉ（ｆ’ｌの表小 Ｔｉ”）”Ｍ（５
７−ｔ ４２４ ｏ ｓ号２ 発明′）名４４：
無７” 放電式パルスレーザ装置の出力制御方式
３、 浦ｉ１ｉ ｋ １’る古 代表Ｒ片１＋ Ｖへ部 ４、代理人 ６ 補正の対象 図面 ７ 補正の内容 図面第８図を別紙のように補正する。 以上 第 ８ λ （ｂ）
Claims (1)
- 【特許請求の範囲】 ２個の電極の内少なくとも一方を金属表面が誘電体で被
覆された構造の誘電体電極とし、この両市２極間に高周
波電圧を断続的に印加し、パルス発振出力を得ろ無声放
電式パルスレーザ装置釦おい−〔、加工対象物の移動速
度を検出する加工速度センサと、この加工速度センサの
出力により印加電圧を制御する印加電圧制御回路と、断
続的印加電圧を出力する高周波電源とからなり、前記印
加電圧制御回路により前記断続的印加電圧の断続周波数
、電圧印加時間の割合、電圧ゼロピーク値または放！、
ｍカあるいは放電電流のいずれか２個以上を前記加工速
度センサからの加工速度に応じて変化させ、被加工物の
速度に関係なく所定の加工を施すパルス発振出力を発生
せしめることを特徴と−する無声放電式パルスレーザ装
置の出力制御方式。
Priority Applications (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP57142408A JPS5932186A (ja) | 1982-08-17 | 1982-08-17 | 無声放電式パルスレ−ザ装置の出力制御方式 |
Applications Claiming Priority (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP57142408A JPS5932186A (ja) | 1982-08-17 | 1982-08-17 | 無声放電式パルスレ−ザ装置の出力制御方式 |
Publications (2)
| Publication Number | Publication Date |
|---|---|
| JPS5932186A true JPS5932186A (ja) | 1984-02-21 |
| JPH048154B2 JPH048154B2 (ja) | 1992-02-14 |
Family
ID=15314641
Family Applications (1)
| Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
|---|---|---|---|
| JP57142408A Granted JPS5932186A (ja) | 1982-08-17 | 1982-08-17 | 無声放電式パルスレ−ザ装置の出力制御方式 |
Country Status (1)
| Country | Link |
|---|---|
| JP (1) | JPS5932186A (ja) |
Cited By (1)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| JPS6360084A (ja) * | 1986-08-29 | 1988-03-16 | Mitsubishi Electric Corp | レ−ザ加工装置 |
-
1982
- 1982-08-17 JP JP57142408A patent/JPS5932186A/ja active Granted
Cited By (1)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| JPS6360084A (ja) * | 1986-08-29 | 1988-03-16 | Mitsubishi Electric Corp | レ−ザ加工装置 |
Also Published As
| Publication number | Publication date |
|---|---|
| JPH048154B2 (ja) | 1992-02-14 |
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