JPS5932212A - 音叉型圧電振動子 - Google Patents
音叉型圧電振動子Info
- Publication number
- JPS5932212A JPS5932212A JP18557482A JP18557482A JPS5932212A JP S5932212 A JPS5932212 A JP S5932212A JP 18557482 A JP18557482 A JP 18557482A JP 18557482 A JP18557482 A JP 18557482A JP S5932212 A JPS5932212 A JP S5932212A
- Authority
- JP
- Japan
- Prior art keywords
- fork type
- tuning fork
- crystal
- type piezoelectric
- division
- Prior art date
- Legal status (The legal status is an assumption and is not a legal conclusion. Google has not performed a legal analysis and makes no representation as to the accuracy of the status listed.)
- Pending
Links
Classifications
-
- H—ELECTRICITY
- H03—ELECTRONIC CIRCUITRY
- H03H—IMPEDANCE NETWORKS, e.g. RESONANT CIRCUITS; RESONATORS
- H03H3/00—Apparatus or processes specially adapted for the manufacture of impedance networks, resonating circuits, resonators
- H03H3/007—Apparatus or processes specially adapted for the manufacture of impedance networks, resonating circuits, resonators for the manufacture of electromechanical resonators or networks
- H03H3/02—Apparatus or processes specially adapted for the manufacture of impedance networks, resonating circuits, resonators for the manufacture of electromechanical resonators or networks for the manufacture of piezoelectric or electrostrictive resonators or networks
Landscapes
- Engineering & Computer Science (AREA)
- Manufacturing & Machinery (AREA)
- Piezo-Electric Or Mechanical Vibrators, Or Delay Or Filter Circuits (AREA)
Abstract
(57)【要約】本公報は電子出願前の出願データであるた
め要約のデータは記録されません。
め要約のデータは記録されません。
Description
【発明の詳細な説明】
本発明は音叉型圧型振動子の［ｂ−極分割に関する。
本発明の目的は音叉型圧型振動子のｉ（極形成万疹を改
善するζ、とに」：す、安価、かつ、高注叱圧電振動子
を提供するものであね、超小型、商（Ｒ朋水晶腕時削の
実用化を図る。
善するζ、とに」：す、安価、かつ、高注叱圧電振動子
を提供するものであね、超小型、商（Ｒ朋水晶腕時削の
実用化を図る。
近年、水晶振動子σＪ小型１ヒが進み、これらの振動子
を水晶時ｉｆｌの時間標準として使わｉするよりになっ
た。これらの振動子に安来される条ｌ／１：は尚組板。
を水晶時ｉｆｌの時間標準として使わｉするよりになっ
た。これらの振動子に安来される条ｌ／１：は尚組板。
小型で、しかも安価であることである。しかし、これら
の条件全光すには色々な点で問題があシ実用化が難しか
った。第１図ｔユ従米のＭ叉型水晶奈動子の■極分割を
示し、第？図ａ 、 ｌ）及びＣはそれぞれ分割万防全
示す。第２図ａ ｌ’Ｊ、 ）１４．横分割部分にスミ
入れする筆をボし、第２図ｂＶＪ、ダイヤモンドバー、
第２図Ｃはレーザー金下している。
の条件全光すには色々な点で問題があシ実用化が難しか
った。第１図ｔユ従米のＭ叉型水晶奈動子の■極分割を
示し、第？図ａ 、 ｌ）及びＣはそれぞれ分割万防全
示す。第２図ａ ｌ’Ｊ、 ）１４．横分割部分にスミ
入れする筆をボし、第２図ｂＶＪ、ダイヤモンドバー、
第２図Ｃはレーザー金下している。
（ａ）のスミ入れによる方法は人が−イ固−（固潜くた
め１埒間が多くかかりすぎ、しかも手作業であ４）σ〕
で小型化した場合電極分割ができないとい９７に点金有
していた。（ｂ）のダイヤモンドバーによる’＋Ｉｔ
４ｊｄＨ分割は水晶を削り剪って道極分割を行なうもＱ
〕であるが水晶を削るため水晶表１ｈ１にクラック等を
生じるため電気特性の劣ｆヒを１ねく、こグツ方ωは手
作業であるため作条能率が悪く、小型１にできないとい
う欠点を有していた。（Ｃ，）のレーザーによる分割は
瞬間的に温度が上昇するため水晶表面に熱歪や。
め１埒間が多くかかりすぎ、しかも手作業であ４）σ〕
で小型化した場合電極分割ができないとい９７に点金有
していた。（ｂ）のダイヤモンドバーによる’＋Ｉｔ
４ｊｄＨ分割は水晶を削り剪って道極分割を行なうもＱ
〕であるが水晶を削るため水晶表１ｈ１にクラック等を
生じるため電気特性の劣ｆヒを１ねく、こグツ方ωは手
作業であるため作条能率が悪く、小型１にできないとい
う欠点を有していた。（Ｃ，）のレーザーによる分割は
瞬間的に温度が上昇するため水晶表面に熱歪や。
熱双晶を生じる。このため電気的特性の劣化を１ねく。
又水晶を小型、薄型にした場合水晶の裏面電極をも切っ
てし１つため薄型、小型化が不可能であった。本発明は
前記の欠点を除去したものである０次に本発明について
詳ｉ己する。第５図は。
てし１つため薄型、小型化が不可能であった。本発明は
前記の欠点を除去したものである０次に本発明について
詳ｉ己する。第５図は。
本発明の基極分割をフォトエツチングによる゛万広の一
実施例を示し、（ａ） 、 （ｂ） 、 （ｃ） 、
（ｄ）に各１−桿ケ示し２ている。以下、市１極分割方
チを上程Ｉｌｌ Ｋ説明する。第６図（ａ）に卦いて、
１′は音叉型水晶撮動子の片側励（取部の断面全示し、
その表裏面と側面には電極２′が蒸看等［よって全面に
配置されている。
実施例を示し、（ａ） 、 （ｂ） 、 （ｃ） 、
（ｄ）に各１−桿ケ示し２ている。以下、市１極分割方
チを上程Ｉｌｌ Ｋ説明する。第６図（ａ）に卦いて、
１′は音叉型水晶撮動子の片側励（取部の断面全示し、
その表裏面と側面には電極２′が蒸看等［よって全面に
配置されている。
第３図（ｂ）ではさらに電極の上にｌ−ンスト６′を施
（７ている。次に、第６図（ｃ）では単極の必要部分全
フォトマスクを通してＩＫ光する。露光された８１１分
はエツチングによって残り、ｍＷ光されない１４ｉｓ
５ｆはエツチングｖＣＪ：つて除去される。第３図（ｄ
）は１本発明のフォトエツチングによっで）Ｗ、４１分
割きえした断面形状でるる。実際にｔよ、フォトマスク
は任意形状に股引、製作が出来るので、必幹とする単極
分割Ｊヒ状奮容易に得ゐことかできる。また、不発明Ｉ
ｃＪ：れば、水晶の表面に熱ろるい（・よ機砿的歪ケ加
えないため、振動子の頃気特性を劣化させることなく、
水晶振動子本来の特性を得ることができる。
（７ている。次に、第６図（ｃ）では単極の必要部分全
フォトマスクを通してＩＫ光する。露光された８１１分
はエツチングによって残り、ｍＷ光されない１４ｉｓ
５ｆはエツチングｖＣＪ：つて除去される。第３図（ｄ
）は１本発明のフォトエツチングによっで）Ｗ、４１分
割きえした断面形状でるる。実際にｔよ、フォトマスク
は任意形状に股引、製作が出来るので、必幹とする単極
分割Ｊヒ状奮容易に得ゐことかできる。また、不発明Ｉ
ｃＪ：れば、水晶の表面に熱ろるい（・よ機砿的歪ケ加
えないため、振動子の頃気特性を劣化させることなく、
水晶振動子本来の特性を得ることができる。
そして、水晶に熱歪ろゐいは機械的歪が生じないため、
エージング特性が優れ、その結果、面積度の腕時計が実
用比されるよりになつｒｖｅフォトマスクは微細加工が
可能でろるため、振動子を小型。
エージング特性が優れ、その結果、面積度の腕時計が実
用比されるよりになつｒｖｅフォトマスクは微細加工が
可能でろるため、振動子を小型。
薄型化した場合でも基極分割が容易でわり、また。
一度に大振の振動子を処理することができるから安価に
製造することができ、そのに業的１曲値は著しく大きい
。
製造することができ、そのに業的１曲値は著しく大きい
。
第１図は一般に使用されでいる音叉型水晶撮動子のｅｔ
１ｃＪｔ図、第２図（ａ） 、 （ｔ＋）および（Ｃ
） ｒ、ｌ：上記音叉型水晶撮動子の延棒分割法の説明
図、第３図（ａ） 、 （ｂ）。 （ｃ）ｂ工ひ（ｄ）は本発明の音叉型水晶撮動子の■極
分割のフォトエツチングに、ｃ′６エ桿Ｉｌｌ ｆ示す
説明図で゛める。 １・・・・音叉型水晶振動子 ２・・・・・・表面の電極分割部 ３、・４・・・１ｌｌｔ１面の電極分割部１′・・・・
・・水晶 ２′・・・・・・露光 ６′・・・・Ｉ７ジスト ４′・・・・・ｒ、＝ｎ ′ｙｔさノしたレジストＧＪ
上 出願人 株式会ｉ１． ン君二１青工合代理人 弁理
」：最Ｆ、 務 ６Ｃ
１ｃＪｔ図、第２図（ａ） 、 （ｔ＋）および（Ｃ
） ｒ、ｌ：上記音叉型水晶撮動子の延棒分割法の説明
図、第３図（ａ） 、 （ｂ）。 （ｃ）ｂ工ひ（ｄ）は本発明の音叉型水晶撮動子の■極
分割のフォトエツチングに、ｃ′６エ桿Ｉｌｌ ｆ示す
説明図で゛める。 １・・・・音叉型水晶振動子 ２・・・・・・表面の電極分割部 ３、・４・・・１ｌｌｔ１面の電極分割部１′・・・・
・・水晶 ２′・・・・・・露光 ６′・・・・Ｉ７ジスト ４′・・・・・ｒ、＝ｎ ′ｙｔさノしたレジストＧＪ
上 出願人 株式会ｉ１． ン君二１青工合代理人 弁理
」：最Ｆ、 務 ６Ｃ
Claims (1)
- 音叉型圧…′振動子の■極分割方法において、前記音叉
型圧■振動子の表襲面と側１自１に■′極を配置（−１
次に、北極のににレジス１１布し、〕）トエッチングに
よって表ａ ｉｉ＋ど側面の草極？分割１゜たことを！
１′ｆ徴とする■叉型用Ｔ［振ｊｋＪ１子の市極分割力
法。
Priority Applications (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP18557482A JPS5932212A (ja) | 1982-10-22 | 1982-10-22 | 音叉型圧電振動子 |
Applications Claiming Priority (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP18557482A JPS5932212A (ja) | 1982-10-22 | 1982-10-22 | 音叉型圧電振動子 |
Related Parent Applications (1)
| Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
|---|---|---|---|
| JP8694876A Division JPS5312295A (en) | 1976-07-21 | 1976-07-21 | Tuning fork type piezoelectric vibrator |
Publications (1)
| Publication Number | Publication Date |
|---|---|
| JPS5932212A true JPS5932212A (ja) | 1984-02-21 |
Family
ID=16173185
Family Applications (1)
| Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
|---|---|---|---|
| JP18557482A Pending JPS5932212A (ja) | 1982-10-22 | 1982-10-22 | 音叉型圧電振動子 |
Country Status (1)
| Country | Link |
|---|---|
| JP (1) | JPS5932212A (ja) |
Cited By (1)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| JPH03503991A (ja) * | 1987-10-30 | 1991-09-05 | トライ‐テック システムズ インターナショナル インコーポレイテッド | 容器及び缶のためのプラスチック製閉止部並びにこの閉止部を作る方法 |
-
1982
- 1982-10-22 JP JP18557482A patent/JPS5932212A/ja active Pending
Cited By (1)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| JPH03503991A (ja) * | 1987-10-30 | 1991-09-05 | トライ‐テック システムズ インターナショナル インコーポレイテッド | 容器及び缶のためのプラスチック製閉止部並びにこの閉止部を作る方法 |
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