JPS593226A - フ−リエ変換型分光器の光路差ゼロ点自動調節装置 - Google Patents
フ−リエ変換型分光器の光路差ゼロ点自動調節装置Info
- Publication number
- JPS593226A JPS593226A JP57113451A JP11345182A JPS593226A JP S593226 A JPS593226 A JP S593226A JP 57113451 A JP57113451 A JP 57113451A JP 11345182 A JP11345182 A JP 11345182A JP S593226 A JPS593226 A JP S593226A
- Authority
- JP
- Japan
- Prior art keywords
- signal
- sampling
- optical path
- path difference
- difference
- Prior art date
- Legal status (The legal status is an assumption and is not a legal conclusion. Google has not performed a legal analysis and makes no representation as to the accuracy of the status listed.)
- Granted
Links
Classifications
-
- G—PHYSICS
- G01—MEASURING; TESTING
- G01J—MEASUREMENT OF INTENSITY, VELOCITY, SPECTRAL CONTENT, POLARISATION, PHASE OR PULSE CHARACTERISTICS OF INFRARED, VISIBLE OR ULTRAVIOLET LIGHT; COLORIMETRY; RADIATION PYROMETRY
- G01J3/00—Spectrometry; Spectrophotometry; Monochromators; Measuring colours
- G01J3/28—Investigating the spectrum
- G01J3/45—Interferometric spectrometry
- G01J3/453—Interferometric spectrometry by correlation of the amplitudes
Landscapes
- Physics & Mathematics (AREA)
- Spectroscopy & Molecular Physics (AREA)
- General Physics & Mathematics (AREA)
- Instruments For Measurement Of Length By Optical Means (AREA)
- Spectrometry And Color Measurement (AREA)
Abstract
(57)【要約】本公報は電子出願前の出願データであるた
め要約のデータは記録されません。
め要約のデータは記録されません。
Description
【発明の詳細な説明】
本発明はフーリエ変換型分光器の光路差ゼロ点自動調節
装置に関するものである。フーリエ変換型分光器は干渉
側で移動鏡を移動させて分割されだ２光束の光路差を変
化させることによって被測定光のインターフエログラノ
、を記録し、このインターフエログラノ・をフーリエ変
換１〜で被測定光のスペクトル分布を求めるものである
。この種の分光器においては被測定光のインターフェロ
グラム信号をサンプリングするためにＨｅ−Ｎｅシレー
リ゛−光のような既知波長の中色光を干渉計に入射させ
、単色光のインターフエログラノ、を検１１１シてこの
検出信号を被測定光のインターフェログラム信号のサン
プリング信号とする構成か従来より用いられている。
装置に関するものである。フーリエ変換型分光器は干渉
側で移動鏡を移動させて分割されだ２光束の光路差を変
化させることによって被測定光のインターフエログラノ
、を記録し、このインターフエログラノ・をフーリエ変
換１〜で被測定光のスペクトル分布を求めるものである
。この種の分光器においては被測定光のインターフェロ
グラム信号をサンプリングするためにＨｅ−Ｎｅシレー
リ゛−光のような既知波長の中色光を干渉計に入射させ
、単色光のインターフエログラノ、を検１１１シてこの
検出信号を被測定光のインターフェログラム信号のサン
プリング信号とする構成か従来より用いられている。
第」図はフーリエ変換型分光器の一例を示したモノテ、
Ｍ ］−Ｖ：固定鏡、Ｍ２ｖｉ移動鏡、Ｔ３ Ｓ −１
ｉ（１、主ビームスプリンターで、これら３者によりマ
イケルソン干渉計が構成されており、これに１、被測定
光を分光するだめの干渉計である。Ｍｃｄ、コリメータ
鏡で被測定光の光源Ｓから出だ光を平行光束にして主ビ
ームスプリッタ−ＢＳＩに入射させる。
Ｍ ］−Ｖ：固定鏡、Ｍ２ｖｉ移動鏡、Ｔ３ Ｓ −１
ｉ（１、主ビームスプリンターで、これら３者によりマ
イケルソン干渉計が構成されており、これに１、被測定
光を分光するだめの干渉計である。Ｍｃｄ、コリメータ
鏡で被測定光の光源Ｓから出だ光を平行光束にして主ビ
ームスプリッタ−ＢＳＩに入射させる。
Ｍ６１は集光鏡で上記干渉計からの出射光を光検出し
器′ｉｆ］上に集光させている。このような構成で移動
鏡Ｍ２を図矢印のように一方向に動かし、検出器Ｌ１の
出力レベルを縦軸に移動鏡Ｍ２の移動量あるいはその２
倍の２光束の光路差を横軸にとって記録すると第２図ａ
のようなインターフェログラムが得られる。ビームスプ
リッタ−ＢＳｌで分割された２光束の光路長が等しくな
る移動鏡Ｍ２の位置では２光束における被測定光の全て
の波長成分の光が全部同相で重なるから一つの最高のピ
ークＰを現わす。また第］−図において、Ｍ３は補助固
定鏡、ＢＳ２は補助ビームスプリッタ−で、これら２者
と移動鏡Ｍ２とによってもう一つのマイケルソン干渉計
が構成されており、コレハサンプリング信号を得るだめ
の単色光用補助干渉計である。単色光の平行光束Ｕが補
助ビームスプリッタ−ＢＳ２に入射するようになってい
る。Ｌ２はこの単色光のインターフェログラムを測定す
る検出器である。移動鏡Ｍ２を移動させたときの上記補
助干渉計によるインターフェログラム、を第２図すに示
す。サンプリング信号はこの単色光のインターフェログ
ラム信号を波形整形して得られるパルスの立上りまだは
立下りを利用するものであるが、メインの干渉計の光路
差Ｏの点とこの立上りまたは立下り時点とは装置の構造
精度から通常一致しないので、従来はマニュアル操作に
より補助固定鏡Ｍ−の位置を微調整していた。しかし、
この従来方法では第３図に示すように、サンプリング時
点を１％、ｎとすると被測定光のインターフェログラム
］の最高ピークＰの中点すなわち光路差ゼロの点に正確
にサンプリング信号を合わせることは困難であり、その
だめに生じる位相誤差により測定精度が低下する。本発
明はこれらの問題点を解消するだめに、被測定光のイン
ターフェログラムとサンプリング信号との光路差ゼロ点
調整を機構的に行う代りに電気回路的に行い、かつ自動
化することを目的とするものである。
鏡Ｍ２を図矢印のように一方向に動かし、検出器Ｌ１の
出力レベルを縦軸に移動鏡Ｍ２の移動量あるいはその２
倍の２光束の光路差を横軸にとって記録すると第２図ａ
のようなインターフェログラムが得られる。ビームスプ
リッタ−ＢＳｌで分割された２光束の光路長が等しくな
る移動鏡Ｍ２の位置では２光束における被測定光の全て
の波長成分の光が全部同相で重なるから一つの最高のピ
ークＰを現わす。また第］−図において、Ｍ３は補助固
定鏡、ＢＳ２は補助ビームスプリッタ−で、これら２者
と移動鏡Ｍ２とによってもう一つのマイケルソン干渉計
が構成されており、コレハサンプリング信号を得るだめ
の単色光用補助干渉計である。単色光の平行光束Ｕが補
助ビームスプリッタ−ＢＳ２に入射するようになってい
る。Ｌ２はこの単色光のインターフェログラムを測定す
る検出器である。移動鏡Ｍ２を移動させたときの上記補
助干渉計によるインターフェログラム、を第２図すに示
す。サンプリング信号はこの単色光のインターフェログ
ラム信号を波形整形して得られるパルスの立上りまだは
立下りを利用するものであるが、メインの干渉計の光路
差Ｏの点とこの立上りまたは立下り時点とは装置の構造
精度から通常一致しないので、従来はマニュアル操作に
より補助固定鏡Ｍ−の位置を微調整していた。しかし、
この従来方法では第３図に示すように、サンプリング時
点を１％、ｎとすると被測定光のインターフェログラム
］の最高ピークＰの中点すなわち光路差ゼロの点に正確
にサンプリング信号を合わせることは困難であり、その
だめに生じる位相誤差により測定精度が低下する。本発
明はこれらの問題点を解消するだめに、被測定光のイン
ターフェログラムとサンプリング信号との光路差ゼロ点
調整を機構的に行う代りに電気回路的に行い、かつ自動
化することを目的とするものである。
第４図は本発明装置の一実施例を示したもので、干渉計
に既知波長の単色光を入射させ、その出射光のピークを
検出して分光対象光のインターフェログラム信号のサン
プリング信号とする第１図のットマルチバイブレータＭ
Ｖを設け、サンプリングされたインターフェログラム信
号の各レベル値Ｄ］・・・Ｄｎ（第３図参照）を記憶す
る記憶回路ＭＫＭと、記憶された各レベル値Ｄ１・・・
Ｄｎのうち最大値Ｄｍの前後にある２個のレベル値Ｄｍ
−１およびＤ ｍ−１−１を選択して両レベル値を比較
し、その結果により遅延手段の時定数を増減させる等の
制御動作を行うマイクロプロセッサＣＰＵおよびＤ／Ａ
コンバータＤＡを設けたものである。ＡＤはサンプリン
グ手段としてのＡ ／ Ｄコンバータで、ＢＵＳはパス
ラインである。
に既知波長の単色光を入射させ、その出射光のピークを
検出して分光対象光のインターフェログラム信号のサン
プリング信号とする第１図のットマルチバイブレータＭ
Ｖを設け、サンプリングされたインターフェログラム信
号の各レベル値Ｄ］・・・Ｄｎ（第３図参照）を記憶す
る記憶回路ＭＫＭと、記憶された各レベル値Ｄ１・・・
Ｄｎのうち最大値Ｄｍの前後にある２個のレベル値Ｄｍ
−１およびＤ ｍ−１−１を選択して両レベル値を比較
し、その結果により遅延手段の時定数を増減させる等の
制御動作を行うマイクロプロセッサＣＰＵおよびＤ／Ａ
コンバータＤＡを設けたものである。ＡＤはサンプリン
グ手段としてのＡ ／ Ｄコンバータで、ＢＵＳはパス
ラインである。
第４図においてワンショットマルチバイブレータＭＶで
発生するサンプリング信号のパルス幅ｄはＶＶＲの抵抗
値とコンデンサＣの容量との積で定寸り、したがって波
形整形されだＨｅ −Ｎ ｅフ５−− リンジ信号がワンショットマルチバイブレータＭＶのト
リガ端子に入力されると、第５図に示すようにＨａ−Ｎ
θフリンジ信号の立上り時点がらパルス幅ｄのサンプリ
ング信号が出力され、このサンプリング信号の立下りに
よってＡ、 ／ Ｄコンバータのザンプルホールドが行
われ、サンプリングのタイミングはワンソヨットマルチ
バイプレークＭＶの出力パルスの幅の制御によって調整
される。
発生するサンプリング信号のパルス幅ｄはＶＶＲの抵抗
値とコンデンサＣの容量との積で定寸り、したがって波
形整形されだＨｅ −Ｎ ｅフ５−− リンジ信号がワンショットマルチバイブレータＭＶのト
リガ端子に入力されると、第５図に示すようにＨａ−Ｎ
θフリンジ信号の立上り時点がらパルス幅ｄのサンプリ
ング信号が出力され、このサンプリング信号の立下りに
よってＡ、 ／ Ｄコンバータのザンプルホールドが行
われ、サンプリングのタイミングはワンソヨットマルチ
バイプレークＭＶの出力パルスの幅の制御によって調整
される。
ＥＯＣばＡ ／ Ｄ変換終了信号である。
第７図は本発明装置のフローチャートの一例を示したも
ので、まずイにおいてインターフェログラム信号の各レ
ベル値Ｄ］−・・・Ｄｎのサンプリング゛ を行い、こ
れを第６図のメモリマツプに示すように記憶回路ＭＥＭ
に格納する。つぎに口において最大値Ｄｍの前後のデー
タＤｍ−１およびＤｍ＋１−を求め、両データの差が許
容誤差より大きい場合にはハにおいてＤ／Ａコンバータ
ＤＡへ出カスるデータを単位量ずつ増減する。Ｄ ／
ＡコンバータＤＡの出力電圧は電圧制御可変抵抗素子Ｖ
ＶＲに印加されて同素子の抵抗を変化させ、この抵抗変
化によってワンンヨットマルチバイブレークＭＶの出力
パルスを変化させて、サンプリングのタイミングを調節
する。この動作をＤｍ−１およびＤ ｍ ＋１の差が上
記許容誤差以下になるまで繰返すのである。いまＨｅ−
Ｎｅフリンジ間隔を３００７１Ｓ、ＶＶＲを５０ Ｋｆ
２７Ｖ 、 Ｃを０．０１− ｐ Ｆとすれば、ＶＶＲ
の制御入力電圧をＯ〜］−Ｖ変化さぜだとき遅れ時間ｉ
ｔ Ｏ〜２５０ＰＳ変化させることができる。オたＶＶ
ＲはＦＥＴのＶｇ・（４’ −Ｒ％ 性により実現でき
る。インターフェログラムは光路差０の点を中心にして
左右対称であるので、上述の動作によって所要精度でゼ
ロ点調整が行われる。
ので、まずイにおいてインターフェログラム信号の各レ
ベル値Ｄ］−・・・Ｄｎのサンプリング゛ を行い、こ
れを第６図のメモリマツプに示すように記憶回路ＭＥＭ
に格納する。つぎに口において最大値Ｄｍの前後のデー
タＤｍ−１およびＤｍ＋１−を求め、両データの差が許
容誤差より大きい場合にはハにおいてＤ／Ａコンバータ
ＤＡへ出カスるデータを単位量ずつ増減する。Ｄ ／
ＡコンバータＤＡの出力電圧は電圧制御可変抵抗素子Ｖ
ＶＲに印加されて同素子の抵抗を変化させ、この抵抗変
化によってワンンヨットマルチバイブレークＭＶの出力
パルスを変化させて、サンプリングのタイミングを調節
する。この動作をＤｍ−１およびＤ ｍ ＋１の差が上
記許容誤差以下になるまで繰返すのである。いまＨｅ−
Ｎｅフリンジ間隔を３００７１Ｓ、ＶＶＲを５０ Ｋｆ
２７Ｖ 、 Ｃを０．０１− ｐ Ｆとすれば、ＶＶＲ
の制御入力電圧をＯ〜］−Ｖ変化さぜだとき遅れ時間ｉ
ｔ Ｏ〜２５０ＰＳ変化させることができる。オたＶＶ
ＲはＦＥＴのＶｇ・（４’ −Ｒ％ 性により実現でき
る。インターフェログラムは光路差０の点を中心にして
左右対称であるので、上述の動作によって所要精度でゼ
ロ点調整が行われる。
本発明は−１一連のように構成されたもので、サンプリ
ング信号の光路差ゼロ点への調整が自動的に行えるので
マニュアル操作の手間が省ける上に、機械的な操作を伴
なわないので調整が瞬時に完了するという利点があり、
まだ最大レベル値の前後の２個のデータを用いるのでイ
ンターフェログラム信号における最大ピークの両側の急
峻な勾配を利用することができ、したがって精度がきわ
めて高いという利点がある。なお本実施例に用いたプロ
グラムでは両テータ値の差を一定の誤差範囲内にするよ
うにしたが、この差が最小になるようにプログラムする
こともできる。また干渉計としてはマイケルソン干渉計
を用いているが、本発明はマイケルソン干渉計に限られ
るものではない。
ング信号の光路差ゼロ点への調整が自動的に行えるので
マニュアル操作の手間が省ける上に、機械的な操作を伴
なわないので調整が瞬時に完了するという利点があり、
まだ最大レベル値の前後の２個のデータを用いるのでイ
ンターフェログラム信号における最大ピークの両側の急
峻な勾配を利用することができ、したがって精度がきわ
めて高いという利点がある。なお本実施例に用いたプロ
グラムでは両テータ値の差を一定の誤差範囲内にするよ
うにしたが、この差が最小になるようにプログラムする
こともできる。また干渉計としてはマイケルソン干渉計
を用いているが、本発明はマイケルソン干渉計に限られ
るものではない。
第１図は本発明の一実施例装置の平面図、第２図は同上
で得られるインターフェログラム・、第３図は同上のサ
ンプリング状態の説明図、第４図は本発明装置の要部回
路図、第５図は同上の各部波形図、第６図は同上のメモ
リマツプ、第７図は同上の動作を示すフローチャートで
ある。 ＢＳＩは主ビームスプリッタ−１ＢＳ２は補助ビームス
プリッタ−１Ｍ１は固定鏡、Ｍ２は移動鏡、ＭＯはコリ
メータ鏡、ＭＳは集光鏡、Ｓは被測定光の光源、Ｌｌ、
Ｌ２は光検出器、Ｍ３は補助固定鏡、ＶＶＲは電圧制御
可変抵抗素子、Ｃは固定容量コンデンサ、ＭＶはワンシ
ョットマルチパイブレーク、ＤＡはＤ ／ Ａコンバー
タ、ＡＤはＡ ／ Ｄ ｊ ンハ、−タ、ＣＰ Ｕ（ｄ
、マイクロプロセッサ、ＭＫＭは記憶回路、ＢＵＳはパ
スライン。 代理人 弁理士 縣 浩 介
で得られるインターフェログラム・、第３図は同上のサ
ンプリング状態の説明図、第４図は本発明装置の要部回
路図、第５図は同上の各部波形図、第６図は同上のメモ
リマツプ、第７図は同上の動作を示すフローチャートで
ある。 ＢＳＩは主ビームスプリッタ−１ＢＳ２は補助ビームス
プリッタ−１Ｍ１は固定鏡、Ｍ２は移動鏡、ＭＯはコリ
メータ鏡、ＭＳは集光鏡、Ｓは被測定光の光源、Ｌｌ、
Ｌ２は光検出器、Ｍ３は補助固定鏡、ＶＶＲは電圧制御
可変抵抗素子、Ｃは固定容量コンデンサ、ＭＶはワンシ
ョットマルチパイブレーク、ＤＡはＤ ／ Ａコンバー
タ、ＡＤはＡ ／ Ｄ ｊ ンハ、−タ、ＣＰ Ｕ（ｄ
、マイクロプロセッサ、ＭＫＭは記憶回路、ＢＵＳはパ
スライン。 代理人 弁理士 縣 浩 介
Claims (1)
- 干渉計に既知波長の単色光を入射させ、その干渉信号の
ピークを検出して分光対象光のインターフェログラム信
号のサンプリング信号とする構成において、上記サンプ
リング信号を遅延させる手段と、サンプリングされたイ
ンターフェログラム信号の各レベル値を記憶する手段と
、記憶された各レベル値のうち最大値の前後にサンプリ
ングされた２個のレベル値を比較する手段と、該比較出
力により上記遅延手段の時定数を単位量ずつ増減さぜる
手段とを具え、上記両レベル値の差が充分小さくなる寸
で」−記サンプリングおよび」−記時定数の増減を繰り
返すように構成（〜で成ることを特徴とするフーリエ変
換型分光器の光路差七口点自動調節装置。
Priority Applications (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP57113451A JPS593226A (ja) | 1982-06-29 | 1982-06-29 | フ−リエ変換型分光器の光路差ゼロ点自動調節装置 |
Applications Claiming Priority (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP57113451A JPS593226A (ja) | 1982-06-29 | 1982-06-29 | フ−リエ変換型分光器の光路差ゼロ点自動調節装置 |
Publications (2)
| Publication Number | Publication Date |
|---|---|
| JPS593226A true JPS593226A (ja) | 1984-01-09 |
| JPH0315686B2 JPH0315686B2 (ja) | 1991-03-01 |
Family
ID=14612559
Family Applications (1)
| Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
|---|---|---|---|
| JP57113451A Granted JPS593226A (ja) | 1982-06-29 | 1982-06-29 | フ−リエ変換型分光器の光路差ゼロ点自動調節装置 |
Country Status (1)
| Country | Link |
|---|---|
| JP (1) | JPS593226A (ja) |
Cited By (4)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| JPS633230A (ja) * | 1986-06-23 | 1988-01-08 | Advantest Corp | 光デジタルスペクトルアナライザ |
| JP2018009909A (ja) * | 2016-07-15 | 2018-01-18 | 三菱電機株式会社 | フーリエ変換型分光装置 |
| JP2019194550A (ja) * | 2018-05-02 | 2019-11-07 | 株式会社島津製作所 | フーリエ変換型分光光度計 |
| CN111398183A (zh) * | 2020-03-10 | 2020-07-10 | 上海卫星工程研究所 | 星载傅里叶变换光谱仪零位偏置调节方法 |
-
1982
- 1982-06-29 JP JP57113451A patent/JPS593226A/ja active Granted
Cited By (5)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| JPS633230A (ja) * | 1986-06-23 | 1988-01-08 | Advantest Corp | 光デジタルスペクトルアナライザ |
| JP2018009909A (ja) * | 2016-07-15 | 2018-01-18 | 三菱電機株式会社 | フーリエ変換型分光装置 |
| JP2019194550A (ja) * | 2018-05-02 | 2019-11-07 | 株式会社島津製作所 | フーリエ変換型分光光度計 |
| CN111398183A (zh) * | 2020-03-10 | 2020-07-10 | 上海卫星工程研究所 | 星载傅里叶变换光谱仪零位偏置调节方法 |
| CN111398183B (zh) * | 2020-03-10 | 2023-06-09 | 上海卫星工程研究所 | 星载傅里叶变换光谱仪零位偏置调节方法 |
Also Published As
| Publication number | Publication date |
|---|---|
| JPH0315686B2 (ja) | 1991-03-01 |
Similar Documents
| Publication | Publication Date | Title |
|---|---|---|
| US4792230A (en) | Method and apparatus for measuring ultrashort optical pulses | |
| US5631736A (en) | Absolute interferometer measuring process and apparatus having a measuring interferometer, control interferometer and tunable laser | |
| EP3413021B1 (en) | Spectrum measurement method using fourier-transform-type spectrometer | |
| US8169616B2 (en) | Interferometer step scanning systems and methods | |
| JPH09133505A (ja) | 振動に対して低減された感度を有する光学的干渉計法測定の方法と装置 | |
| CN111522018B (zh) | 双飞秒激光频率梳测距装置和方法 | |
| CN113253241B (zh) | 扫频干涉测距信号处理方法 | |
| EP2149778B1 (en) | Multiwavelength interferometric displacement measuring method and apparatus | |
| JPS593226A (ja) | フ−リエ変換型分光器の光路差ゼロ点自動調節装置 | |
| US5422721A (en) | Fourier transform spectroscopy by varying the path length difference between the paths in each of a plurality of pairs of optical paths | |
| CN103326238A (zh) | 一种可调谐激光器自动跳模抑制方法 | |
| JPH1090065A (ja) | フーリエ変換分光器のデータ処理方法及びデータ処理装置 | |
| JP3003801B2 (ja) | 干渉測定法 | |
| CN115597696B (zh) | 超快脉冲激光干涉系统的等效波长校准装置及方法 | |
| US5247342A (en) | Light wavelength measuring apparatus including an interference spectroscopic section having a movable portion | |
| JPH07119564B2 (ja) | 二光束干渉計 | |
| JPH063401B2 (ja) | 干渉分光光度計 | |
| US20160084711A1 (en) | Object movement control device and fourier transform infrared spectrophotometer | |
| JPS5940133A (ja) | フ−リエ変換分光光度計 | |
| JP2858630B2 (ja) | Ｆｔｉｒの移動鏡制御装置 | |
| JP2694201B2 (ja) | 分散測定方法およびその装置 | |
| SU1681171A1 (ru) | Фурье-спектрометр | |
| CN114777917B (zh) | 一种超短脉冲激光延时测量装置及方法 | |
| JPH063189A (ja) | フーリエ変換型分光器のサンプリング光路差変動補正方法 | |
| US10663347B2 (en) | Optical measurement apparatus and recording medium |